JPS6234745A - テ−ブル装置 - Google Patents
テ−ブル装置Info
- Publication number
- JPS6234745A JPS6234745A JP17181385A JP17181385A JPS6234745A JP S6234745 A JPS6234745 A JP S6234745A JP 17181385 A JP17181385 A JP 17181385A JP 17181385 A JP17181385 A JP 17181385A JP S6234745 A JPS6234745 A JP S6234745A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- yoke
- linear motor
- linear
- guide
- bodies
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/28—Electric drives
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/035—DC motors; Unipolar motors
- H02K41/0352—Unipolar motors
- H02K41/0354—Lorentz force motors, e.g. voice coil motors
- H02K41/0356—Lorentz force motors, e.g. voice coil motors moving along a straight path
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はテーブル装置に係り、特に微小な位置決め精度
を必要とする装置に関する。
を必要とする装置に関する。
この種の装置としては、特開昭５７−２０６９２６号公
報に開示された装置が知られている。この装置は第４図
に示すように、リニアモータと静圧流体支持機構を併用
したもので、ステージ（１）は両側に配設された一対の
りニアモータ（２ａ） 、 （２ｂ）の可動体（３ａ）
、 （３ｂ）に支持されている。これら可動体は駆動
コイル（４ａ）、（４ｂ）を有し、内側ヨーク（５ａ）
。
報に開示された装置が知られている。この装置は第４図
に示すように、リニアモータと静圧流体支持機構を併用
したもので、ステージ（１）は両側に配設された一対の
りニアモータ（２ａ） 、 （２ｂ）の可動体（３ａ）
、 （３ｂ）に支持されている。これら可動体は駆動
コイル（４ａ）、（４ｂ）を有し、内側ヨーク（５ａ）
。
（５ｂ）に挿通されている。さらに、ステージ（１）に
は基準面（６）と外側ヨーク（７ａ） 、 （７ｂ）が
互いに対向している案内面（８ンとに圧縮空気を射出す
るノズル（９）が内設され、射出された圧縮空気の作用
ではステージ（１）が浮上するようになっている。
は基準面（６）と外側ヨーク（７ａ） 、 （７ｂ）が
互いに対向している案内面（８ンとに圧縮空気を射出す
るノズル（９）が内設され、射出された圧縮空気の作用
ではステージ（１）が浮上するようになっている。
上記の構成から明らかなよう忙ステージ（１）の可動部
分に摩擦抵抗がなく、送シ精度が良い利克がある。しか
しながら、上記の構成ではステージｆｌ）Ｋ対しての可
動体（３ａ） 、 （３ｂ）を介してのりニアモータＣ
２８）、（２ｂ）の取付は精度、すなわち平行度が問題
となる、すなわち、内側ヨーク（５ａ）、（５ｂ）のス
テージ（１）に対する平行度に僅かな狂いがあった場合
には、たとえ基準面（６）と案内面１８）とが静圧流
−体支持になっていても可動体（３ａ）、（：（ｂ
）は内側（５ａ）、（５ｂ）の軸方向に移動することに
なり、高精度な直線移動ができなくなる。また、その際
の基準面（６）等におけるステージ（１）のミスアライ
ト面の修正は難かしめ。さらに、駆動コイル（４ａ）、
（４ｂ）からの発熱による可動体、内側ヨーク等への熱
影響も高精度な直線移動上無視できない。
分に摩擦抵抗がなく、送シ精度が良い利克がある。しか
しながら、上記の構成ではステージｆｌ）Ｋ対しての可
動体（３ａ） 、 （３ｂ）を介してのりニアモータＣ
２８）、（２ｂ）の取付は精度、すなわち平行度が問題
となる、すなわち、内側ヨーク（５ａ）、（５ｂ）のス
テージ（１）に対する平行度に僅かな狂いがあった場合
には、たとえ基準面（６）と案内面１８）とが静圧流
−体支持になっていても可動体（３ａ）、（：（ｂ
）は内側（５ａ）、（５ｂ）の軸方向に移動することに
なり、高精度な直線移動ができなくなる。また、その際
の基準面（６）等におけるステージ（１）のミスアライ
ト面の修正は難かしめ。さらに、駆動コイル（４ａ）、
（４ｂ）からの発熱による可動体、内側ヨーク等への熱
影響も高精度な直線移動上無視できない。
本発明は熱的な影響がなくかつ直線精度を高度に維持し
て移動するテーブル・Ａ置を提供することを目的とする
。
て移動するテーブル・Ａ置を提供することを目的とする
。
〔発明の概要〕
少なくとも一対の直線ｍ動体とこれら直線駆動体の可動
体に固着される載置部とを備えたテーブル装置において
、上記直線駆動体は少なくとも一方が可動体を挿通して
案内するガイド体をヨークとしたりニアモータとし上記
目的を達成するようにしだものである。
体に固着される載置部とを備えたテーブル装置において
、上記直線駆動体は少なくとも一方が可動体を挿通して
案内するガイド体をヨークとしたりニアモータとし上記
目的を達成するようにしだものである。
以Ｆ、本発明を実施例を示す図面に基いて説明する。
第１図において、■は本発明の一実施例を示すテーブル
装置で、平行に配設された一対のりニアモータ（２１ａ
）、（２１ｂ）とこれらリニアモータの可１助体（２２
ａ）、（２２ｂ）の上部に固着された載置部となるテー
ブル（４）とを主要構成としている。リニアモータ（２
１ａ）。
装置で、平行に配設された一対のりニアモータ（２１ａ
）、（２１ｂ）とこれらリニアモータの可１助体（２２
ａ）、（２２ｂ）の上部に固着された載置部となるテー
ブル（４）とを主要構成としている。リニアモータ（２
１ａ）。
（２１ｂ）は同じ構成になっていて、これらの構成につ
いては、一方のりニアモータ（２１ａ）のみについて詳
述する。すなわち、サイドヨーク（２５ａ）、（２５ｂ
）と端板（２６ａ）、（２６ｂ）とで枠状に組まれた外
側ヨーク（５）を有しサイドヨーク（２５ａ）、（２５
ｂ）の内側にはマグネット（Ｚ７ａ）。
いては、一方のりニアモータ（２１ａ）のみについて詳
述する。すなわち、サイドヨーク（２５ａ）、（２５ｂ
）と端板（２６ａ）、（２６ｂ）とで枠状に組まれた外
側ヨーク（５）を有しサイドヨーク（２５ａ）、（２５
ｂ）の内側にはマグネット（Ｚ７ａ）。
（２７ｂ ）が固着されている。外側ヨーク（２５ａ）
の内側ては断面が矩形状の内側ヨーク弼が軸方向に沿っ
て端板（２６ａ）、（２６ｂ）に固着されている。この
内側ヨーク（至）に一方の可動体（２２ａ ）が若干の
間隙を介して挿通されている。可動体（２２ａ）は内側
ヨークシ樽に挿通しているコイルボビン（至）とこのコ
イルボビンに巻回されているコイル（３０）とで構成さ
れている。内側ヨーク（至）の中心軸線となる位置に通
気孔０υが設けられ、さらにこの通気孔Ｇ１）から四方
向に向い、内側ヨークの各外面に開く多数の噴出乱国が
分岐されている。これら噴出孔０湯に対向してコイルボ
ビン（２）の四方向のそれぞれの内面には角溝状の中央
ポケット（至）が両端近傍にわたって刻設されている。
の内側ては断面が矩形状の内側ヨーク弼が軸方向に沿っ
て端板（２６ａ）、（２６ｂ）に固着されている。この
内側ヨーク（至）に一方の可動体（２２ａ ）が若干の
間隙を介して挿通されている。可動体（２２ａ）は内側
ヨークシ樽に挿通しているコイルボビン（至）とこのコ
イルボビンに巻回されているコイル（３０）とで構成さ
れている。内側ヨーク（至）の中心軸線となる位置に通
気孔０υが設けられ、さらにこの通気孔Ｇ１）から四方
向に向い、内側ヨークの各外面に開く多数の噴出乱国が
分岐されている。これら噴出孔０湯に対向してコイルボ
ビン（２）の四方向のそれぞれの内面には角溝状の中央
ポケット（至）が両端近傍にわたって刻設されている。
これら中央ポケット（至）からはさらに第３図に示すよ
うに、両側に多数の絞り溝（ロ）がそれぞれ直角に分岐
して刻設されている。なお、（至）は供給管で一方の端
板（２６ａ ）を介して通気孔６υに接続されている。
うに、両側に多数の絞り溝（ロ）がそれぞれ直角に分岐
して刻設されている。なお、（至）は供給管で一方の端
板（２６ａ ）を介して通気孔６υに接続されている。
この供給管（至）、他方のりニアモータ（２１ｂ）側に
も共通に接続され、図示せぬコンプレッサから所定の圧
力にされた加圧空気を両方の１７ ニアモータ（２１ａ
）、（２１ｔ））へ供給するようになっている。
も共通に接続され、図示せぬコンプレッサから所定の圧
力にされた加圧空気を両方の１７ ニアモータ（２１ａ
）、（２１ｔ））へ供給するようになっている。
次に、上記の構成による作用について説明する。
可動体（２２ａ）、（２２ｂ）はコイル（３ｏ）への直
流電圧の印加により、リニアモータの原理に従っ−Ｃｆ
−７” ルｔ２ａと一体となって前後に直線移動する
。このとき、供給管（至）からの加圧空気の供給で内側
ヨーク（ハ）とコイルボビンＣ！湧間の隙間に加圧空気
の流れによる圧力膜が形成され、可動体（２２ａ）、
（２２ｂ）は内側ヨークに非接触に支持される。すなわ
ち、内側ヨーク翰が可動体（２２ａ）、（２２ｂ）のガ
イドとなり、テーブルのは極めて高精度に直線駆動され
る。
流電圧の印加により、リニアモータの原理に従っ−Ｃｆ
−７” ルｔ２ａと一体となって前後に直線移動する
。このとき、供給管（至）からの加圧空気の供給で内側
ヨーク（ハ）とコイルボビンＣ！湧間の隙間に加圧空気
の流れによる圧力膜が形成され、可動体（２２ａ）、
（２２ｂ）は内側ヨークに非接触に支持される。すなわ
ち、内側ヨーク翰が可動体（２２ａ）、（２２ｂ）のガ
イドとなり、テーブルのは極めて高精度に直線駆動され
る。
なお、上記実施例ではりニアモータを一対平行して設け
たが、これに限定されることなく、たとえば一方のみを
リニアモータとし、他方は接触形もしくは非接触形の摺
動体としてもよい。また、リニアモータにおいて、内側
モータとガイド体とを圧力流体膜によって非接触支持と
したが、内側ヨークがガイドを兼ねるならば、テフロン
等の摩擦係数の極めて微小な材質の介在によって接触支
持の方式をとっても差し支えない。
たが、これに限定されることなく、たとえば一方のみを
リニアモータとし、他方は接触形もしくは非接触形の摺
動体としてもよい。また、リニアモータにおいて、内側
モータとガイド体とを圧力流体膜によって非接触支持と
したが、内側ヨークがガイドを兼ねるならば、テフロン
等の摩擦係数の極めて微小な材質の介在によって接触支
持の方式をとっても差し支えない。
リニアモータとテーブル案内が一体化され、リニアモー
タとテーブルとの取付けが容易とアリ。
タとテーブルとの取付けが容易とアリ。
装置がよシ小形になったつまた。リニアモータの推力方
向とガイドとなる内側ヨークの案内方向が一致するため
に、カのベクトルが一致し、テーブルへの力のアンバラ
ンス力が働かないので、Ｋｎｅ （１／１００μｍオー
ダ）の送りが達成された０さらに、静圧支持の構成とし
た場合は、ヨーインクなどの撮動はテーブルに生じない
他、リニアモータから生ずる発熱は内側ヨークとコイル
ボビン間で形成する空気軸受の断熱膨張による冷却効果
で、冷やさ化熱的影響を受けることがなく、７す、また
リニアモータとテーブルの取付は状態によるテーブルの
特性の変化もない。
向とガイドとなる内側ヨークの案内方向が一致するため
に、カのベクトルが一致し、テーブルへの力のアンバラ
ンス力が働かないので、Ｋｎｅ （１／１００μｍオー
ダ）の送りが達成された０さらに、静圧支持の構成とし
た場合は、ヨーインクなどの撮動はテーブルに生じない
他、リニアモータから生ずる発熱は内側ヨークとコイル
ボビン間で形成する空気軸受の断熱膨張による冷却効果
で、冷やさ化熱的影響を受けることがなく、７す、また
リニアモータとテーブルの取付は状態によるテーブルの
特性の変化もない。
第１図は本発明の一実施例を示す一部切欠した斜視図、
第２図は第１図のＩｆ−１線に沿う断面図。 ｉＸ３図は第２図のｍ−四線に后う断面図、第４図は従
来例を示す斜視図である。 （２１ａ）、 （２１ｈ）−・・リニアモータ、（２２
ａ）、（２２ｂ） ・、可動体、＠・・・内側ヨーク。 凶・・・コイルボビン、 Ｇυ・・通気孔、 １．３２・・・噴出孔、 ｃ３Ｓ・・・供給・Ｍｆり 第１Ｂ 第２図 第３図
第２図は第１図のＩｆ−１線に沿う断面図。 ｉＸ３図は第２図のｍ−四線に后う断面図、第４図は従
来例を示す斜視図である。 （２１ａ）、 （２１ｈ）−・・リニアモータ、（２２
ａ）、（２２ｂ） ・、可動体、＠・・・内側ヨーク。 凶・・・コイルボビン、 Ｇυ・・通気孔、 １．３２・・・噴出孔、 ｃ３Ｓ・・・供給・Ｍｆり 第１Ｂ 第２図 第３図
Claims (3)
- （１）少なくとも一対の直線駆動体と、これら直線駆動
体の可動体に固着される載置部とを備えたテーブル装置
において、上記直線駆動体は少なくとも一方が可動体を
挿通して案内するガイド体をヨークとしたリニアモータ
としたことを特徴とするテーブル装置。 - （２）可動体とヨークとなるガイド体とは静圧支持機構
になることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のテ
ーブル装置。 - （３）可動体とヨークとなるガイド体とは摩擦係数の微
小な物質の介在 て接触していることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のテーブル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17181385A JPS6234745A (ja) | 1985-08-06 | 1985-08-06 | テ−ブル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17181385A JPS6234745A (ja) | 1985-08-06 | 1985-08-06 | テ−ブル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6234745A true JPS6234745A (ja) | 1987-02-14 |
Family
ID=15930203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17181385A Pending JPS6234745A (ja) | 1985-08-06 | 1985-08-06 | テ−ブル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6234745A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4995711A (en) * | 1988-12-16 | 1991-02-26 | Hitachi, Ltd. | Slide table |
| US5688084A (en) * | 1993-03-10 | 1997-11-18 | Max Rhodius Gmbh | Machine tool |
| JP2006102902A (ja) * | 2004-10-07 | 2006-04-20 | Seiko Instruments Inc | ステージ装置および工作機械 |
| US7654207B1 (en) * | 1999-09-10 | 2010-02-02 | Nec Corporation | XY stage |
| DE102011051020A1 (de) * | 2011-06-10 | 2012-12-13 | IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gGmbH (IMMSgGmbH) | Gleichstromlinearantrieb mit einem einen permanenterregten Magnetkreis umfassenden Stator und einem eine bewegliche Spule umfassenden Läufer |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5271779A (en) * | 1975-12-12 | 1977-06-15 | Fanuc Ltd | Feeding mechanism |
-
1985
- 1985-08-06 JP JP17181385A patent/JPS6234745A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5271779A (en) * | 1975-12-12 | 1977-06-15 | Fanuc Ltd | Feeding mechanism |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4995711A (en) * | 1988-12-16 | 1991-02-26 | Hitachi, Ltd. | Slide table |
| US5688084A (en) * | 1993-03-10 | 1997-11-18 | Max Rhodius Gmbh | Machine tool |
| US5933933A (en) * | 1993-03-10 | 1999-08-10 | Max Rhodius Gmbh | Machine tool |
| US7654207B1 (en) * | 1999-09-10 | 2010-02-02 | Nec Corporation | XY stage |
| JP2006102902A (ja) * | 2004-10-07 | 2006-04-20 | Seiko Instruments Inc | ステージ装置および工作機械 |
| DE102011051020A1 (de) * | 2011-06-10 | 2012-12-13 | IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gGmbH (IMMSgGmbH) | Gleichstromlinearantrieb mit einem einen permanenterregten Magnetkreis umfassenden Stator und einem eine bewegliche Spule umfassenden Läufer |
| DE102011051020B4 (de) | 2011-06-10 | 2019-06-27 | IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gGmbH (IMMSgGmbH) | Gleichstromlinearantrieb |
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