KR20190014841A

KR20190014841A - 이동 가능한 테이블 시스템

Info

Publication number: KR20190014841A
Application number: KR1020170098871A
Authority: KR
Inventors: 조규중
Original assignee: 이노6 주식회사
Priority date: 2017-08-04
Filing date: 2017-08-04
Publication date: 2019-02-13
Also published as: KR101989120B1

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 이동 가능한 테이블 시스템은, 테이블, 상기 테이블이 제1 방향으로 함께 이동 가능하도록 상기 테이블과 결합된 제1 가이드 플레이트를 포함하는 제1 가이드 유닛, 상기 테이블이 제2 방향으로 함께 이동 가능하도록 상기 테이블과 결합된 제2 가이드 플레이트를 포함하는 제2 가이드 유닛 및 상기 제1 가이드 유닛과 상기 제2 가이드 유닛에 동력을 전달하는 구동 유닛을 포함하고, 상기 제1 가이드 플레이트는 상기 테이블이 상기 제1 가이드 플레이트의 일측면을 따라 상기 제2 방향으로 이동되도록 가이드하는 제1 플레이트 레일부를 포함하고, 상기 제2 가이드 플레이트는 상기 테이블이 상기 제2 가이드 플레이트의 일측면을 따라 상기 제1 방향으로 이동되도록 가이드하는 제2 플레이트 레일부를 포함한다.

Description

이동 가능한 테이블 시스템{Moveable Table System}

본 발명은 이동 가능한 테이블 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 테이블이 효율적으로 이동될 수 있는 테이블 시스템에 관한 것이다.

이동 가능하게 구성된 테이블 장치는 XY 평면 상을 이동할 수 있도록 구성되어 있다. 테이블 장치는 테이블 위에 놓여지는 기판 등의 위치를 정밀하게 조절하는 얼라이먼트 테이블로서 이용된다.

한국 공개특허공보 제2008-0083297호, 한국 공개특허공보 제2000-0006149호, 일본 공개특허공보 제2005-297189호 등 다수의 이동 가능한 테이블은 하부에 적어도 1개 이상의 움직이는 테이블을 배치하고 있고, 이로 인하여 테이블의 구조가 대형화되고 있다.

한국공개특허 제2008-0083297호 한국공개특허 제2000-0006149호

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 테이블이 효율적으로 이동될 수 있도록 개선된 구성을 가지는 이동 가능한 테이블 시스템을 제공하는데 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 상술된 것에 제한되지 않는다.

상기 제1 가이드 유닛은 상기 제1 방향으로 연장되어 일측에 결합된 상기 제1 가이드 플레이트가 상기 제1 방향으로 이동가능하도록 마련되는 제1 가이드 레일을 더 포함하고, 상기 제2 가이드 유닛은 상기 제2 방향으로 연장되어 일측에 결합된 상기 제2 가이드 플레이트가 상기 제2 방향으로 이동가능하도록 마련되는 제2 가이드 레일을 더 포함할 수 있다.

상기 제1 가이드 유닛은 상기 제1 가이드 플레이트가 상기 제1 방향으로 이동되도록 구성되는 가이드 레일과, 상기 가이드 레일의 일측에 결합되어 상기 상기 제1 가이드 플레이트에서 발생되는 진동을 저감시키는 진동 저감부를 더 포함할 수 있다.

상기 제1 가이드 유닛과 상기 제2 가이드 유닛은 서로 나란히 배치될 수 있다.

상기 테이블은 상기 제1 플레이트 레일부와 결합되어 상기 제2 방향으로 슬라이딩 되도록 마련되는 제1 테이블 결합부와, 상기 제2 플레이트 레일부와 결합되어 상기 제1 방향으로 슬라이딩 되도록 마련되는 제2 테이블 결합부를 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 이동 가능한 테이블 시스템은, 테이블, 상기 테이블이 제1 방향으로 이동 가능하도록 상기 테이블의 일측과 결합된 제1 가이드 유닛, 상기 제1 가이드 유닛과 나란히 배치되고, 상기 테이블이 제2 방향으로 이동 가능하도록 상기 테이블의 타측과 결합된 제2 가이드 유닛 및 상기 제1 가이드 유닛과 상기 제2 가이드 유닛에 동력을 전달하는 구동 유닛을 포함하고, 상기 테이블은 상기 제1 가이드 유닛과 함께 상기 제1 방향으로 이동되면서 상기 제2 가이드 유닛과 결합된 부분이 상기 제2 가이드 유닛을 따라 상기 제1 방향으로 슬라이딩 이동되고, 상기 제2 가이드 유닛과 함께 상기 제2 방향으로 이동되면서 상기 제1 가이드 유닛과 결합된 부분이 상기 제1 가이드 유닛을 따라 상기 제2 방향으로 슬라이딩 이동되도록 구성된다.

상기 제1 가이드 유닛은 상기 제1 방향으로 상기 테이블과 함께 이동되도록결합된 제1 가이드 플레이트와, 상기 제1 방향으로 연장되어 일측에 결합된 상기 제1 가이드 플레이트가 상기 제1 방향으로 이동 가능하도록 마련되는 제1 가이드 레일을 포함하고, 상기 제2 가이드 유닛은 상기 제2 방향으로 상기 테이블과 함께 이동되도록결합된 제2 가이드 플레이트와, 상기 제2 방향으로 연장되어 일측에 결합된 상기 제2 가이드 플레이트가 상기 제2 방향으로 이동 가능하도록 마련되는 제2 가이드 레일을 포함할 수 있다.

상기 제1 가이드 유닛은 상기 제1 가이드 레일의 일측에 결합되어 상기 상기 제1 가이드 플레이트에서 발생되는 진동을 저감시키는 진동 저감부를 더 포함할 수 있다.

상기 제1 가이드 플레이트는 상기 테이블이 상기 제1 가이드 플레이트의 일측면을 따라 상기 제2 방향으로 이동되도록 가이드하는 제1 플레이트 레일부를 포함하고, 상기 테이블은 상기 제1 플레이트 레일부와 결합되어 상기 제2 방향으로 슬라이딩 되도록 마련되는 제1 테이블 결합부와, 상기 제2 플레이트 레일부와 결합되어 상기 제1 방향으로 슬라이딩 되도록 마련되는 제2 테이블 결합부를 포함할 수 있다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 이동 가능한 테이블 시스템은, 테이블, 상기 제1 가이드 유닛은 상기 제1 방향으로 상기 테이블과 함께 이동되도록결합된 제1 가이드 플레이트와, 상기 제1 방향으로 연장되어 일측에 결합된 상기 제1 가이드 플레이트가 상기 제1 방향으로 이동가능하도록 마련되는 적어도 하나의 가이드 레일을 포함하는 제1 가이드 유닛, 상기 제2 가이드 유닛은 상기 제2 방향으로 상기 테이블과 함께 이동되도록 결합된 제2 가이드 플레이트와, 상기 제2 방향으로 연장되어 일측에 결합된 상기 제2 가이드 플레이트가 상기 제2 방향으로 이동가능하도록 마련되는 적어도 하나의 가이드 레일을 포함하는 제2 가이드 유닛 및 상기 제1 가이드 유닛과 상기 제2 가이드 유닛에 동력을 전달하는 구동 유닛을 포함하고, 상기 테이블은 상기 제1 가이드 플레이트의 일측과 결합되어 상기 제2 방향으로 슬라이딩 되도록 마련되는 제1 테이블 결합부와, 상기 제2 가이드 플레이트와 결합되어 상기 제1 방향으로 슬라이딩 되도록 마련되는 제2 테이블 결합부를 포함한다.

본 발명의 실시예들에 따른 이동 가능한 테이블 시스템은 테이블을 효율적으로 이동시킬 수 있다.

또한, 테이블 시스템의 구성을 단순화하여 테이블 시스템을 소형화하고, 중량을 감소시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이동 가능한 테이블 시스템을 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1의 구성의 결합관계를 보여주는 분해 사시도이다.
도 3은 도 1의 가이드 유닛을 보여주는 도면이다.
도 4는 도 1의 가이드 플레이트의 저면을 보여주는 도면이다.
도 5는 도 1의 테이블의 저면을 보여주는 도면이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 실시예들을 설명한다. 그러나, 기술되는 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명되는 실시예들에 의하여 한정되는 것은 아니다. 또한, 여러 실시예들은 당해 기술분야에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이동 가능한 테이블 시스템을 보여주는 사시도이고, 도 2는 도 1의 구성의 결합관계를 보여주는 분해 사시도이고, 도 3은 도 1의 가이드 유닛을 보여주는 도면이고, 도 4는 도 1의 가이드 플레이트의 저면을 보여주는 도면이고, 도 5는 도 1의 테이블의 저면을 보여주는 도면이다.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이동 가능한 테이블 시스템(1)은 테이블(10), 가이드 유닛(20), 그리고 구동 유닛(미도시)을 포함할 수 있다. 이동 가능한 테이블 시스템(1)은 베이스 플레이트(80)의 상부에서 테이블(10)이 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동 가능하도록 구성될 수 있다.

테이블(10)은 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 테이블(10)은 가이드 유닛(20)에 의하여 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 이하에서 제1 방향(91)과 제2 방향(92)은 서로 수직한 방향으로 정의한다.

테이블(10)은 평판 형상의 테이블 본체(11)와, 테이블(10)이 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동 가능하도록 가이드 유닛(20)과 결합되는 적어도 하나의 테이블 결합부(13, 14, 15)를 포함할 수 있다.

테이블 결합부(13, 14, 15)는 가이드 유닛(20)의 일측과 결합될 수 있다. 테이블 결합부(13, 14, 15)는 가이드 유닛(20)과 함께 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 일 예에 의하면, 테이블 결합부(13, 14, 15)는 가이드 유닛(20)과 함께 제1 방향(91)으로 이동될 수 있고, 가이드 유닛(20)의 일측면을 슬라이딩 이동하면서 제2 방향(92)으로 이동되도록 구성될 수 있다. 또한, 테이블 결합부(13, 14, 15)는 가이드 유닛(20)과 함께 제1 방향(91)으로 이동될 수 있고, 가이드 유닛(20)의 일측면을 슬라이딩 이동하면서 제2 방향(92)으로 이동되도록 구성될 수 있다.

일 예에 의하면, 테이블 결합부(13, 14, 15)는 후술하는 제1 가이드 유닛(21)과 결합되는 제1 테이블 결합부(13, 14)와, 제2 가이드 유닛(22)과 결합되는 제2 테이블 결합부(15)를 포함할 수 있다.

제1 테이블 결합부(13, 14)는 테이블 본체(11) 하단에 결합될 수 있다. 제1 테이블 결합부(13, 14)는 후술하는 제1 가이드 유닛(21)의 제1 가이드 플레이트(31)의 일측에 결합되어 제1 가이드 플레이트(31)와 함께 테이블(10)이 제1 방향(91)으로 이동될 수 있도록 구성될 수 있다. 또한, 제1 테이블 결합부(13, 14)는 제1 가이드 플레이트(31)에서 제2 방향(92)으로 슬라이딩 이동될 수 있도록 구성될 수 있다. 제1 테이블 결합부(13, 14)는 테이블 본체(11) 하단 양측에 각각 결합될 수 있다.

제2 테이블 결합부(15)는 테이블 본체(11) 하단에 결합될 수 있다. 제2 테이블 결합부(15)는 후술하는 제2 가이드 유닛(22)의 제2 가이드 플레이트(32)의 일측에 결합되어 제2 가이드 플레이트(32)와 함께 테이블(10)이 제2 방향(92)으로 이동될 수 있도록 구성될 수 있다. 제2 테이블 결합부(15)는 제2 가이드 플레이트(32)에서 제1 방향(91)으로 슬라이딩 이동될 수 있도록 구성될 수 있다.

가이드 유닛(20)은 테이블(10)을 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동시킬 수 있도록 구성될 수 있다. 가이드 유닛(20)은 테이블(10)과 결합되어 함께 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동되는 가이드 플레이트(30)와, 가이드 플레이트(30)가 이동되는 경로를 형성하는 가이드 레일(40)을 포함할 수 있다. 가이드 유닛(20)은 제1 가이드 유닛(21)과 제2 가이드 유닛(22)을 포함할 수 있다.

제1 가이드 유닛(21)은 테이블(10)을 제1 방향(91)으로 이동시킬 수 있도록 구성될 수 있다. 제1 가이드 유닛(21)은 제1 가이드 플레이트(31)와 제1 가이드 레일(41)을 포함할 수 있다.

제1 가이드 플레이트(31)는 테이블(10)이 제1 방향(91)으로 함께 이동 가능하도록 테이블(10)과 결합될 수 있다. 제1 가이드 플레이트(31)는 제1 가이드 레일(41)을 따라 제1 방향(91)으로 이동될 수 있도록 구성될 수 있다. 제1 가이드 플레이트(31)는 결합된 테이블(10)과 함께 제1 방향(91)으로 이동되도록 구성될 수 있다.

제1 가이드 플레이트(31)는 일측에 제1 플레이트 레일부(31a)가 형성될 수 있다. 제1 플레이트 레일부(31a)는 제1 가이드 플레이트(31)의 일측면을 따라 제2 방향(92)으로 연장된 형상으로 마련될 수 있다. 제1 플레이트 레일부(31a)는 제1 테이블 결합부(13, 14)와 결합되도록 구성될 수 있다. 제1 플레이트 레일부(31a)는 제1 테이블 결합부(13, 14)와 결합되어 테이블(10)이 제1 방향(91)으로 제1 가이드 플레이트(31)와 함께 이동되도록 구성될 수 있다. 또한, 제1 플레이트 레일부(31a)는 제1 테이블 결합부(13, 14)가 제1 플레이트 레일부(31a)를 따라 제2 방향(92)으로 슬라이딩 이동될 수 있도록 구성될 수 있다.

제1 가이드 플레이트(31)는 일측에 제1 플레이트 결합부(31b)가 형성될 수 있다. 제1 플레이트 결합부(31b)는 제1 가이드 플레이트(31)의 저면 일측에 제1 가이드 레일(41)와 마주하는 위치에 형성될 수 있다. 제1 플레이트 결합부(31b)는 제1 가이드 레일(41)을 따라 제1 방향(91)으로 슬라이딩 이동되도록 구성될 수 있다. 제1 플레이트 결합부(31b)는 제1 가이드 레일(41)의 개수에 대응하는 개수로 제공될 수 있다.

제1 가이드 레일(41)은 베이스 플레이트(80)의 일측에 제1 방향(91)으로 연장된 형상으로 마련될 수 있다. 제1 가이드 레일(41)은 제1 가이드 플레이트(31)가 제1 가이드 레일(41)을 따라 제1 방향(91)으로 슬라이딩 이동 가능하도록 마련될 수 있다. 제1 가이드 레일(41)은 제1 방향(91)으로 연장된 형상으로 복수개 제공될 수 있다.

제2 가이드 유닛(22)은 테이블(10)을 제2 방향(92)으로 이동시킬 수 있도록 구성될 수 있다. 제2 가이드 유닛(22)은 제2 가이드 플레이트(32)와 제2 가이드 레일(42)을 포함할 수 있다.

제2 가이드 플레이트(32)는 테이블(10)이 제2 방향(92)으로 함께 이동 가능하도록 테이블(10)과 결합될 수 있다. 제2 가이드 플레이트(32)는 제2 가이드 레일(42)을 따라 제2 방향(92)으로 이동될 수 있도록 구성될 수 있다. 제2 가이드 플레이트(32)는 결합된 테이블(10)과 함께 제2 방향(92)으로 이동되도록 구성될 수 있다.

제2 가이드 플레이트(32)는 일측에 제2 플레이트 레일부(32a)가 형성될 수 있다. 제2 플레이트 레일부(32a)는 제2 가이드 플레이트(32)의 일측면을 따라 제1 방향(91)으로 연장된 형상으로 마련될 수 있다. 제2 플레이트 레일부(32a)는 제2 테이블 결합부(15)와 결합되도록 구성될 수 있다. 제2 플레이트 레일부(32a)는 제1 테이블 결합부(15)와 결합되어 테이블(10)이 제2 방향(92)으로 제2 가이드 플레이트(32)와 함께 이동되도록 구성될 수 있다. 또한, 제2 플레이트 레일부(32a)는 제1 테이블 결합부(15)가 제2 플레이트 레일부(32a)를 따라 제1 방향(91)으로 슬라이딩 이동될 수 있도록 구성될 수 있다.

제2 가이드 플레이트(32)는 일측에 제2 플레이트 결합부(32b)가 형성될 수 있다. 제2 플레이트 결합부(32b)는 제2 가이드 플레이트(32)의 저면 일측에 제2 가이드 레일(42)와 마주하는 위치에 형성될 수 있다. 제2 플레이트 결합부(32b)는 제2 가이드 레일(42)을 따라 제2 방향(92)으로 슬라이딩 이동되도록 구성될 수 있다. 제2 플레이트 결합부(32b)는 제2 가이드 레일(42)의 개수에 대응하는 개수로 제공될 수 있다.

제2 가이드 레일(42)은 베이스 플레이트(80)의 일측에 제2 방향(92)으로 연장된 형상으로 마련될 수 있다. 제2 가이드 레일(42)은 제2 가이드 플레이트(32)가 제2 가이드 레일(42)을 따라 제2 방향(92)으로 슬라이딩 이동 가능하도록 마련될 수 있다. 제2 가이드 레일(42)은 제2 방향(92)으로 연장된 형상으로 복수개 제공될 수 있다.

가이드 유닛(20)은 진동 저감부(50)를 더 포함할 수 있다. 진동 저감부(50)는 가이드 유닛(20)이 구동하면서 발생되는 진동을 저감시킬 수 있다. 진동 저감부(50)는 제1 가이드 유닛(21)에 설치된 제1 진동 저감부(51)와 제2 가이드 유닛(22)에 설치된 제2 진동 저감부(52)를 포함할 수 있다.

제1 진동 저감부(51)는 제1 가이드 레일(41)의 일측에 접촉되도록 구성될 수 있다. 제1 진동 저감부(51)는 제1 가이드 레일(41)로부터 전달된 진동을 감쇄시키도록 구성될 수 있다. 일 예에 의하면, 제1 진동 저감부(51)는 복수개의 제1 가이드 레일(41) 중에서 제1 가이드 플레이트(31)의 중앙부에 위치한 제1 가이드 레일(41a)과 연결되도록 마련될 수 있다.

제1 진동 저감부(51)는 제1 가이드 레일(41)과 접촉되어 진동을 전달받는 저감부 몸체(51a)와, 저감부 몸체(51a)의 양측에 이격되어 설치된 고정부(51b), 그리고 저감부 몸체(51a)와 고정부(51b)를 연결하고 진동을 감쇄시키는 완충부재(51c)를 포함할 수 있다.

제2 진동 저감부(52)는 제2 가이드 레일(42)의 일측에 접촉되도록 구성될 수 있다. 제2 진동 저감부(52)는 제2 가이드 레일(42)로부터 전달된 진동을 감쇄시키도록 구성될 수 있다. 일 예에 의하면, 제2 진동 저감부(52)는 복수개의 제2 가이드 레일(42) 중에서 제2 가이드 플레이트(32)의 중앙부에 위치한 제2 가이드 레일(42a)과 연결되도록 마련될 수 있다.

제2 진동 저감부(52)는 제2 가이드 레일(42)과 접촉되어 진동을 전달받는 저감부 몸체(52a)와, 저감부 몸체(52a)의 양측에 이격되어 설치된 고정부(52b), 그리고 저감부 몸체(52a)와 고정부(52b)를 연결하고 진동을 감쇄시키는 완충부재(52c)를 포함할 수 있다.

구동 유닛(미도시)은 동력을 발생하고 만들어진 동력을 가이드 유닛(20)에 전달하도록 마련될 수 있다. 구동 유닛(미도시)은 제1 가이드 유닛(21)과 제2 가이드 유닛(22)에 각각 동력이 전달되도록 제공될 수 있다. 구동 유닛(미도시)은 제1 가이드 유닛(21)을 제1 방향(91)으로 이동시키고, 제2 가이드 유닛(22)을 제2 방향(92)으로 이동시켜 테이블(10)이 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동되도록 마련될 수 있다.

이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.

그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 특허청구범위의 범위에 속한다.

1 : 이동 가능한 테이블 시스템
10 : 테이블
20 : 가이드 유닛
30 : 가이드 플레이트
40 : 가이드 레일
50 : 진동 저감부
80 : 베이스 플레이트

Claims

테이블;
상기 테이블이 제1 방향으로 함께 이동 가능하도록 상기 테이블과 결합된 제1 가이드 플레이트를 포함하는 제1 가이드 유닛;
상기 테이블이 제2 방향으로 함께 이동 가능하도록 상기 테이블과 결합된 제2 가이드 플레이트를 포함하는 제2 가이드 유닛; 및
상기 제1 가이드 유닛과 상기 제2 가이드 유닛에 동력을 전달하는 구동 유닛;을 포함하고,
상기 제1 가이드 플레이트는 상기 테이블이 상기 제1 가이드 플레이트의 일측면을 따라 상기 제2 방향으로 이동되도록 가이드하는 제1 플레이트 레일부;를 포함하고,
상기 제2 가이드 플레이트는 상기 테이블이 상기 제2 가이드 플레이트의 일측면을 따라 상기 제1 방향으로 이동되도록 가이드하는 제2 플레이트 레일부;를 포함하는 이동 가능한 테이블 시스템.
제1항에 있어서,
상기 제1 가이드 유닛은 상기 제1 방향으로 연장되어 일측에 결합된 상기 제1 가이드 플레이트가 상기 제1 방향으로 이동 가능하도록 마련되는 제1 가이드 레일을 더 포함하고,
상기 제2 가이드 유닛은 상기 제2 방향으로 연장되어 일측에 결합된 상기 제2 가이드 플레이트가 상기 제2 방향으로 이동 가능하도록 마련되는 제2 가이드 레일을 더 포함하는 이동 가능한 테이블 시스템.
제1항에 있어서,
상기 제1 가이드 유닛은 상기 제1 가이드 플레이트가 상기 제1 방향으로 이동되도록 구성되는 가이드 레일과, 상기 가이드 레일의 일측에 결합되어 상기 상기 제1 가이드 플레이트에서 발생되는 진동을 저감시키는 진동 저감부를 더 포함하는 이동 가능한 테이블 시스템.
제1항에 있어서,
상기 제1 가이드 유닛과 상기 제2 가이드 유닛은 서로 나란히 배치되는 이동 가능한 테이블 시스템.
제1항에 있어서,
상기 테이블은 상기 제1 플레이트 레일부와 결합되어 상기 제2 방향으로 슬라이딩 되도록 마련되는 제1 테이블 결합부와, 상기 제2 플레이트 레일부와 결합되어 상기 제1 방향으로 슬라이딩 되도록 마련되는 제2 테이블 결합부를 포함하는 이동 가능한 테이블 시스템.
테이블;
상기 테이블이 제1 방향으로 이동 가능하도록 상기 테이블의 일측과 결합된 제1 가이드 유닛;
상기 제1 가이드 유닛과 나란히 배치되고, 상기 테이블이 제2 방향으로 이동 가능하도록 상기 테이블의 타측과 결합된 제2 가이드 유닛; 및
상기 제1 가이드 유닛과 상기 제2 가이드 유닛에 동력을 전달하는 구동 유닛;을 포함하고,
상기 테이블은 상기 제1 가이드 유닛과 함께 상기 제1 방향으로 이동되면서 상기 제2 가이드 유닛과 결합된 부분이 상기 제2 가이드 유닛을 따라 상기 제1 방향으로 슬라이딩 이동되고, 상기 제2 가이드 유닛과 함께 상기 제2 방향으로 이동되면서 상기 제1 가이드 유닛과 결합된 부분이 상기 제1 가이드 유닛을 따라 상기 제2 방향으로 슬라이딩 이동되도록 구성되는 이동 가능한 테이블 시스템.
제6항에 있어서,
상기 제1 가이드 유닛은 상기 제1 방향으로 상기 테이블과 함께 이동되도록 상기 테이블에 결합된 제1 가이드 플레이트와, 상기 제1 방향으로 연장되어 일측에 결합된 상기 제1 가이드 플레이트가 상기 제1 방향으로 이동 가능하도록 마련되는 제1 가이드 레일을 포함하고,
상기 제2 가이드 유닛은 상기 제2 방향으로 상기 테이블과 함께 이동되도록 상기 테이블에 결합된 제2 가이드 플레이트와, 상기 제2 방향으로 연장되어 일측에 결합된 상기 제2 가이드 플레이트가 상기 제2 방향으로 이동 가능하도록 마련되는 제2 가이드 레일을 포함하는 이동 가능한 테이블 시스템.
제7항에 있어서,
상기 제1 가이드 유닛은 상기 제1 가이드 레일의 일측에 결합되어 상기 상기 제1 가이드 플레이트에서 발생되는 진동을 저감시키는 진동 저감부를 더 포함하는 이동 가능한 테이블 시스템.
제7항에 있어서,
상기 제1 가이드 플레이트는 상기 테이블이 상기 제1 가이드 플레이트의 일측면을 따라 상기 제2 방향으로 이동되도록 가이드하는 제1 플레이트 레일부;를 포함하고,
상기 테이블은 상기 제1 플레이트 레일부와 결합되어 상기 제2 방향으로 슬라이딩 되도록 마련되는 제1 테이블 결합부와, 상기 제2 플레이트 레일부와 결합되어 상기 제1 방향으로 슬라이딩 되도록 마련되는 제2 테이블 결합부를 포함하는 이동 가능한 테이블 시스템.
테이블;
상기 제1 가이드 유닛은 상기 제1 방향으로 상기 테이블과 함께 이동되도록결합된 제1 가이드 플레이트와, 상기 제1 방향으로 연장되어 일측에 결합된 상기 제1 가이드 플레이트가 상기 제1 방향으로 이동가능하도록 마련되는 적어도 하나의 가이드 레일을 포함하는 제1 가이드 유닛;
상기 제2 가이드 유닛은 상기 제2 방향으로 상기 테이블과 함께 이동되도록결합된 제2 가이드 플레이트와, 상기 제2 방향으로 연장되어 일측에 결합된 상기 제2 가이드 플레이트가 상기 제2 방향으로 이동가능하도록 마련되는 적어도 하나의 가이드 레일을 포함하는 제2 가이드 유닛; 및
상기 제1 가이드 유닛과 상기 제2 가이드 유닛에 동력을 전달하는 구동 유닛;을 포함하고,
상기 테이블은 상기 제1 가이드 플레이트의 일측과 결합되어 상기 제2 방향으로 슬라이딩 되도록 마련되는 제1 테이블 결합부와, 상기 제2 가이드 플레이트와 결합되어 상기 제1 방향으로 슬라이딩 되도록 마련되는 제2 테이블 결합부를 포함하는 이동 가능한 테이블 시스템.