CN109073137B - 用于使支撑板在六个自由度产生运动的系统 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于使支撑板(2)运动的系统(1)，支撑板(2)在所谓的中立位置处大致平行于由所谓的X方向和所谓的Y方向限定的XY平面，所述系统包括至少两个控制级(E1，E2)，所述至少两个控制级沿正交于所述X方向和所述Y方向的方向Z叠置，两个控制级(E1，E2)彼此固定，所述控制级(E1，E2)中的至少一个包括控制模块(M1，M2)，所述控制模块(M1，M2)仅包括运动单元，所述运动单元被设计成使得每个运动单元在XY平面中产生平移运动，并且运动单元分别处于不同的方向上。

Description

用于使支撑板在六个自由度产生运动的系统
技术领域
本发明涉及一种用于使支撑板在多个自由度产生运动的系统。
该系统的目的是允许两个板之间的相对运动，该两个板为能够承载光学、机械或其他设备以便进行测量、处理等的支撑板(或平台)以及被放置在支撑元件上(例如在工作站上)的下部板。
背景技术
为了在六个可能的自由度产生这种运动，已知一种六脚架类型的定位器，该定位器是由形成腿的六个致动器构成的并联机器人。六个腿被致动以改变长度并改变上部平台的取向。这样，一组唯一的腿长度与上部平台的给定位置相关联。
并联机器人类型的系统，特别是六脚架，通常具有缺点，具体为大的尺寸和/或有限的工作区域。
此外，通过文献FR-2757925已知一种用于使负荷在至少三个自由度发生运动的模块化设备，该模块化设备包括支撑负荷的三角形平台。
发明内容
本发明的的目的是克服这些缺点。本发明涉及一种用于使支撑板产生运动的系统，所述支撑板在所谓的中立位置处大致平行于由所谓的X方向和所谓的Y方向限定的XY平面，所述系统被构造成能够使所述板在六个自由度中的至少一些自由度发生运动，所述六个自由度分别对应于：所谓的沿着X方向的Xi平移和所谓的围绕该X方向的θX旋转、所谓的沿着Y方向的Yi平移和所谓的围绕该Y方向的θY旋转、所谓的沿着所谓的Z方向的Zi平移和所谓的围绕该Z方向的θZ旋转，所述Z方向正交于所述X方向和所述Y方向。
根据本发明，所述用于产生运动的系统包括至少两个控制级，所述至少两个控制级沿方向Z叠置并且彼此固定，所述控制级中的至少一个包括控制模块，并且所述至少一个控制模块仅包括如下的运动单元：所述运动单元被设计成使得每个运动单元在XY平面中产生平移运动，并且所述运动单元分别处于不同的方向上。
这样，由于本发明，如下文所述说明的，用于产生运动的系统是模块化类型的。由于这种模块化结构和使用被设计成仅产生平移运动的运动单元，如下文所说明的，获得了非常紧凑的用于产生运动的系统。另外，用于产生运动的系统具有广大的工作区域。这使得能够克服上述缺点。
有利地，所述运动单元被布置在XY平面中并且以使得具有不同的平移方向的方式进行定位，所述不同的平移方向分别在其之间形成120°的角度。
在优选的实施例中，第一控制模块包括：
-第一下部板和第一上部板；
-至少两个运动单元，所述运动单元被固定在所述第一下部板的上部面上；和
-直的导轨，所述导轨中的每一个被安装在所述运动单元中的一个与该导轨相关联的运动单元上，所述导轨中的每一个相对于该相关联的运动单元的运动方向被正交地布置并且以使得在该相关联的运动单元的作用下发生运动的方式进行设计，所述导轨中的每一个承载移动式支架，所述移动式支架被设计成正交于该相关联的运动单元的运动方向自由地移动，所述移动式支架中的每一个被连接到所述第一上部板的下部面。
在这种情况下，在第一替代实施例中，所述第一控制模块被设计成产生Xi运动和Yi运动，并且所述第一控制模块包括两个运动单元和一直的辅助导轨，所述辅助导轨被布置在与所述两个运动单元的运动方向不同的方向上并且承载被设计成能够自由移动的移动式支架，所述移动式支架被固定到所述第一上部板的下部面。
此外，在第二替代实施例中，所述第一控制模块被设计成产生Yi运动和θZ运动，并且所述第一控制模块包括两个运动单元和一直的辅助导轨，所述辅助导轨被布置在与所述两个运动单元的运动方向不同的方向上并且承载被设计成能够自由移动的移动式支架，所述移动式支架中的每一个被设置有旋转系统，所述旋转系统被设计成在XY平面中自由地旋转，三个所述旋转系统中的每个旋转系统被连接到所述第一上部板的下部面。在这种情况下，有利地，所述系统包括辅助控制级，所述辅助控制级被设计成使所谓的第一控制模块产生Xi运动。
此外，在第三(优选的)替代实施例中，所述第一控制模块被设计成产生Xi运动、Yi运动和θZ运动，并且所述第一控制模块包括：
-三个运动单元；和
-三个直的导轨，所述导轨中的每一个被安装在所述运动单元中的一个与该导轨相关联的运动单元上，所述导轨中的每一个相对于该相关联的运动单元的运动方向被正交地布置并且以使得在该相关联的运动单元的作用下发生运动的方式进行设计，所述导轨中的每一个承载移动式支架，所述移动式支架被设计成正交于该相关联的运动单元的运动方向自由地移动，所述移动式支架中的每一个被设置有旋转系统，所述旋转系统被设计成在所述XY平面中自由地旋转，三个旋转系统中的每一个被连接到所述第一上部板的下部面。
此外，在优选的实施例中，第二控制模块被设计成产生θX运动、θY运动和Zi运动，并且所述第二控制模块包括：
-第二下部板和第二上部板；
-被设计成产生平移运动的三个运动单元，该运动单元被固定在第二下部板的上部面上；和
-三个直的导轨，所述导轨中的每一个相对于XY平面以倾斜的方式安装在所述运动单元中的一个与该导轨相关联的运动单元上，所述导轨中的每一个相对于该相关联的运动单元的运动方向被纵向地布置并且以使得在该相关联的运动单元的作用下发生运动的方式进行设计，所述导轨中的每一个承载被设计成能够自由移动的移动式支架，所述移动式支架中的每一个被设置有滚珠，所述滚珠被设计成自由地旋转，三个所述滚珠中的每一个被铰接到所述第一上部板的下部面。
在第一替代实施例中，所述系统还包括以下三个辅助控制级中的至少一个，但优选为几个：
-被设计成产生Xi运动的辅助控制级；
-被设计成产生Yi运动的辅助控制级；和
-被设计成产生θZ运动的辅助控制级。
此外，在第二(优选的)替代实施例中，用于产生运动的系统仅包括两个控制级，两个控制级中的一个为所谓的第一控制级，所述第一控制级包括被设计成产生Xi运动、Yi运动和θZ运动的所谓的第一控制模块，两个控制级中的另一个为所谓的第二控制级，所述第二控制级包括被设计成产生θX运动、θY运动和Zi运动的所述第二控制模块。
附图说明
附图将示出如何实施本发明。在这些图中，相同的附图标记表示类似的元件。
图1是用于产生运动的系统的优选实施例的透视图。
图2是图1的用于产生运动的系统的第一控制模块处于安装位置的透视图，该第一控制模块与辅助控制级相关联。
图3是图2的控制模块的局部分解透视图。
图4是图2的控制模块的分解透视图。
图5是图1的用于产生运动的系统的第二控制模块的透视图。
图6是图5的控制模块的分解透视图。
图7是图5的与两个辅助控制级相关联的控制模块的透视图。
图8是图5的与三个辅助控制级相关联的控制模块的透视图。
具体实施方式
图1所示的并且示出了本发明的系统1是用于使板(或平台)2相对于支撑件(未示出)产生运动的系统，该板优选地总体上是平坦的，系统1被放置在(具体是固定在)该支撑件上。
例如由金属制成的板2在板2的所谓的中立位置(即在不激活下文说明的系统1的各种运动装置的基础位置)大致平行于由所谓的X方向(或纵向方向)和所谓的Y方向(或侧向方向)限定的XY平面。
这些X和Y方向是图1、图2和图5至图7中所示的坐标系R(或XYZ)的一部分。除了形成XY平面的X和Y方向(或轴线)之外，用于促进理解的该坐标系R包括与所述XY平面正交的所谓的Z方向(或轴线)(或竖向方向)。
为了清楚起见，图1中详细示出的坐标系R被定位在系统1的外部。然而，Z方向穿过中心竖向轴线。
如上文所述，支撑板2处于中立位置(未激活)，大致平行于XY平面。系统1被设计成能够使所述板2在六个自由度中的至少一些自由度发生运动。
如图1所示，这六个自由度(如双箭头所示)分别对应于:
-沿着X方向的称为Xi的平移；
-所谓的围绕X方向的θX旋转；
-沿着Y方向的称为Yi的平移；
-所谓的围绕Y方向的θY旋转；
-沿着Z方向的称为Zi的平移；和
-所谓的围绕Z方向的θZ旋转。
下文描述中的形容词“上部”和“下部”相对于由Z方向的箭头定义的方向被应用，“上部”在箭头的方向(+z)，而“下部”在相反的方向(-z)，如图1所示。
板2可以支撑特定元件(未示出)，该特定元件可以通过使紧固装置(例如螺钉)穿过孔3而固定在板上，该孔3可以在板2中看到(图1)。
另外，系统1可以通过使紧固装置(例如螺钉)穿过孔4而被放置并固定在支撑元件(未示出)上，该孔4可以在系统1的下部板5中看到(图1)。
在优选的应用中，系统1是用于半导体工业、特别是用于在标准大气压下或真空罐中的处理或控制应用、或者用于光学和光电子工业的精确定位设备(或机器)的一部分，以便进行光学元件、光电元件等的定位。
在图1所示的优选实施例中，系统1包括两个沿方向Z叠置并彼此固定的控制级E1和E2。
系统1是模块化类型的，并且所述控制级E1和E2中的每一个包括控制模块M1和M2。
另外，所述控制模块M1和M2中的每一个包括运动单元U1和U2，这些运动单元被设计成使得每个运动单元仅在XY平面中产生平移运动。
各自包括例如电动马达或另一种类型的马达的这些运动单元U1和U2通常可由操作者(或通过自动控制系统)通过未示出的控制元件的介入来控制。具体来讲，可以控制平移的距离和方向(在所考虑的方向上)以及可能控制平移速度。因此，这些运动单元U1和U2中的每一个限定马达驱动轴线(axe motorisé)(根据运动单元的平移方向(或轴线))。
通过所考虑的各种运动单元U1和U2的控制(从而和定位)的特定组合来获得所寻求的板2的位置。
另外，运动单元U1和U2被设计成每一个分别沿不同方向产生平移运动。更确切地说，运动单元U1和U2被布置在XY平面中并且以使得具有不同的平移方向的方式进行定位，该不同的平移方向分别优选地在它们之间形成120°的角度。
在图1所示的优选实施例中，系统1仅包括两个控制级E1和E2；
-其中，第一下部控制级E1包括所述控制模块M1，所述控制模块M1被设计用于产生Xi运动、Yi运动和θZ运动(即，沿X方向和Y方向的平移以及围绕Z方向的旋转)；和
-其中，第二上部控制级E2包括所述控制模块M2，所述控制模块M2被设计用于产生θX运动、θY运动和Zi运动。
更确切地说，在优选实施例中，如图2至图4所示，控制模块M1包括：
-下部板5和上部板6；
-三个运动单元U1。如在图3中看到的，三个运动单元U1固定在下部板5的上部面5A上；和
-直的导轨7。
三个导轨7中的每一个被安装在三个运动单元U1中的一个与其相关联的运动单元上。
这样，控制模块M1针对每个运动单元U1包括一个导轨7，并且每个运动单元U1被设置有导轨7。
导轨7中的每一个相对于相关联的运动单元U1的运动方向被正交地布置，如针对图3的右侧部分的包括纵向轴线L2的导轨7所示的。导轨7的纵向轴线L2与运动单元U1的纵向轴线(或运动轴线)L1正交。
导轨7中的每一个以使得在相关联的运动单元U1的作用下发生运动(沿L1方向)的方式进行设计。
此外，导轨7中的每一个承载有移动式支架8。该移动式支架8被设计成沿方向L2、即正交于相关联的运动单元U1的运动方向L1自由地移动。
此外，移动式支架8中的每一个被设置有旋转系统9，该旋转系统优选地包括滚珠轴承10，滚珠轴承被设计成在上部板6的在中立位置与XY平面相对应的平面中自由地旋转。
三个旋转系统9各自通过布置在上部板6中的常见的紧固元件11的介入而连接到上部板6的下部面6A。
另外，控制模块M1包括封闭的侧壁12，封闭的侧壁与下部板5成一体，如图4所示。
因此，操作者或运动单元U1的自动控制系统的命令产生导轨7的运动。在导轨7的这种运动过程中，移动式支架8可以自由地移动并且作用于上部板6的位置上。
此外，在优选实施例中，如图5至图7所示，第二控制模块M2包括：
-下部板13和上部板14(上部板14对应于板2或对应于其上固定有板2的板)；
-三个运动单元U2，该三个运动单元被设计用于产生平移运动。三个运动单元U2固定在下部板13的上部面13A(图5)上。优选地，运动单元U2类似于控制模块M1的运动单元U1；和
-三个直的导轨15。
三个导轨15中的每一个被安装在三个运动单元U2中的一个与其相关联的运动单元上。这样，控制模块M2针对每个运动单元U2包括一个导轨15，并且每个运动单元U2设置有导轨15。
运动单元U2中的每一个被固定在上部面13A上，以便在XY平面中沿着如通过在图5的右侧可看到的运动单元U2的L3方向所示的给定方向产生运动。
此外，导轨15中的每一个相对于相关联的运动单元U2的运动方向L3被纵向地布置。另外，导轨以使得在相关联的运动单元U2的作用下发生运动的方式进行设计。
此外，导轨15中的每一个承载有移动式支架16，该移动式支架16被设计成可自由地移动。导轨15中的每一个沿Z竖向方向相对于相关联的导轨倾斜地安装。
如图6所示，在XZ或YZ竖向平面中，可自由移动的支架16的运动方向L4相对于导轨15(在运动单元U2的作用下)的运动方向具有非零的角度α。为此，导轨15通过斜面型支撑元件17连接到运动单元U2，该斜面型支撑元件在竖向平面中具有三角形形状。
由于导轨在运动单元U2上的定位，移动式支架17在XY平面中沿L3方向移动。如图5所示，L4运动方向在XY平面中的投影L4A与L3方向平行(或混同(confondue))。
此外，移动式支架16包括斜面型支撑元件18，该斜面型支撑元件18与斜面型支撑元件17配合，并且适配于斜面型支撑元件17，使得支撑元件18的上部面大致平行于支撑元件17的下部面。
此外，支架18中的每一个设置有滚珠19，滚珠19被设计成自由地旋转。
三个滚珠19各自铰接地安装到上部板14的下部面14A。
例如上文所述的(用于产生运动的)系统1特别是由于其模块化结构以及设计成仅产生平移运动的运动单元U1和U2的使用而非常紧凑，另外，该系统特别是相对于通常的系统(特别是六脚架类型的系统)具有广大的工作区域。
在例如上文所述的并在图1中示出的系统1的优选实施例中，所述系统1包括两个控制级E1和E2，这两个控制级分别包括例如上文所述的控制模块M1和M2。
但是，在本发明的框架内并且如下文所说明的：
-特别是当控制模块必须仅实施Xi运动、Yi运动和θZ运动中的一些运动时，控制模块M1可以特别是通过改变其特征中的至少一个而被不同地实施；和
-用于产生运动的系统1可以仅包括这两个控制模块M1和M2中的一个控制模块，然后将该一个控制模块与一个或多个辅助控制级相关联。
这样，在相对于前述图2至图4的实施例的第一替代实施例中，控制模块M1被设计成仅产生Xi运动和Yi运动。
在该第一替换实施例(具体未示出)中，控制模块M1仅包括两个运动单元U1以及直的辅助导轨。该辅助导轨替代图2至图4的实施例的第三运动单元U1。
辅助导轨布置在与两个运动单元的运动方向不同并且与图2至图4的第三运动单元的运动方向相同的方向上。
另外，导轨承载有被设计成可自由移动的移动式支架，并且辅助导轨以如下方式布置：使得移动式支架可以沿所述替代的第三运动单元的运动方向自由地移动。
三个移动式支架直接固定在上部板6的下部面6A上，并且没有设置旋转系统。
根据该第一替代实施例的运动模块可以在用于产生运动的系统内与下述辅助控制级相关联：
-第一辅助控制级，第一辅助控制级被设计成以通常的方式产生θZ运动，以这种方式来获得用于产生Xi运动、Yi运动和θZ运动的系统；
-第二辅助控制级，第二辅助控制级被设计成以通常的方式产生Zi运动，以这种方式来获得用于产生Xi运动、Yi运动和Zi运动的系统；或者
-同时与所述第一辅助控制级和所述第二辅助控制级相关联。
此外，在第二替代实施例中，第一控制模块M1被设计成仅产生Yi运动和θZ运动。
在该第二替代实施例中，控制模块M1包括两个运动单元U1以及直的辅助导轨。
辅助导轨被布置在与两个运动单元的运动方向不同并且与图2至图4的第三运动单元的运动方向相同的方向上。
另外，辅助导轨以及两个运动单元各自承载被设计成可自由移动的移动式支架。
在这种情况下，例如类似于移动式支架8的三个移动式支架中的每一个设置有被设计成在平面XY中自由旋转的旋转系统，例如前述旋转系统9。
另外，三个旋转系统各自被连接到上部板6A的下部面6A。
结合该第二实施例，在特定实施例中，系统1可包括图2中以细线(为了说明的目的)示出的辅助控制级E3。该辅助控制级E3被设计成使所述控制模块M1产生Xi运动。
该辅助控制级E3可包括运动元件20，以便产生Xi运动。在特定实施例中，运动元件20设置有承载移动式支架22的导轨21以及用于控制移动式支架22在导轨21上的运动的装置(未示出)，例如电动马达。
因此，移动式支架22可移动地安装在导轨21上，并且移动式支架22承载根据第二替代实施例的控制模块M1。
此外，在另一个替代实施例中(如图7和图8所示)，用于产生运动的系统包括代替控制模块M1与控制模块M2相关联的以下三个辅助控制级中的至少一个(但优选为数个)：
-被设计成产生Xi运动的辅助控制级E5；
-被设计成产生Yi运动的辅助控制级E4；和
-被设计成产生θZ运动的辅助控制级E6。
根据所考虑的应用(以及待被控制的运动)，控制模块M2与辅助控制级E4至E6中的一个或数个的所有组合都是可能的。
这样，在图7所示的第一实施例中，用于产生运动的系统包括在该图7中以细线示出的两个辅助控制级E4和E5。
辅助控制级E4可包括运动元件23，以便产生Yi运动。在特定实施例中，运动元件23设置有承载移动式支架26的导轨25，以及用于控制移动式支架26在导轨25上的运动的装置(未示出)，例如电动马达，该装置可以由操作者或自动控制系统以通常的方式进行控制。因此，移动式支架26可移动地安装在导轨25上并且移动式支架26承载辅助控制级E5。
辅助控制级E5可包括运动元件24，以便产生Xi运动。在特定实施例中，运动元件24还设置有导轨27，导轨27还承载移动式支架28以及用于控制移动式支架28在导轨27上的运动的装置(未示出)，例如电动马达，该装置通常可由操作者或自动控制系统控制。因此，移动式支架28在导轨27上可移动并且该移动式支架承载控制模块M2。
因此，根据该第一实施例的用于产生运动的系统能够产生Xi运动、Yi运动、Zi运动、θX运动和θY运动。
此外，在图8所示的第二优选实施例中，用于产生运动的系统包括同时与控制模块M2相关联的在图8中以细线示出的三个辅助控制级E4、E5和E6。辅助控制级E4和E5类似于图7的辅助控制级。
对于辅助控制级E6，它可以包括用于驱动旋转的元件29，例如马达，以便产生θZ运动，即，以便产生围绕Z轴线的旋转。在图8所示的示例中，用于驱动旋转的元件29(其通常可由操作者或自动控制系统控制)安装在控制模块M2的上部板14上。
因此，根据该第二实施例的用于产生运动的系统能够产生Xi运动、Yi运动、Zi运动、θX运动、θY运动和θZ运动(即，六个自由度的运动)。

Claims (9)

1.用于使支撑板产生运动的系统，所述支撑板(2)在所谓的中立位置处大致平行于由所谓的X方向和所谓的Y方向限定的XY平面，所述系统(1)被构造成能够使所述支撑板(2)在六个自由度中的至少一些自由度发生运动，所述六个自由度分别对应于：所谓的沿着X方向的Xi平移和所谓的围绕所述X方向的θX旋转、所谓的沿着Y方向的Yi平移和所谓的围绕所述Y方向的θY旋转、所谓的沿着所谓的Z方向的Zi平移和所谓的围绕所述Z方向的θZ旋转，所述Z方向正交于所述X方向和所述Y方向，所述系统包括至少两个控制级(E1，E2)，所述至少两个控制级沿Z方向叠置并且彼此固定，所述控制级(E1，E2)中的至少一个包括控制模块(M1，M2)，
其特征在于，至少一个所述控制模块(M1，M2)仅包括如下的运动单元(U1，U2)，所述运动单元被设计成使得每个运动单元使所述支撑板(2)在所述XY平面中产生平移运动，并且所述运动单元分别处于不同的方向上，并且，至少一个称为第一控制模块(M1)的所述控制模块包括：
-第一下部板(5)和第一上部板(6)；
-至少两个运动单元(U1)，所述运动单元(U1)被固定在所述第一下部板(5)的上部面(5A)上；和
-直的导轨(7)，所述导轨(7)中的每一个导轨被安装在所述运动单元(U1)中的一个与该导轨相关联的运动单元上，所述导轨(7)中的每一个相对于该相关联的运动单元(U1)的运动方向被正交地布置并且以使得在该相关联的运动单元(U1)的作用下发生运动的方式进行设计，所述导轨(7)中的每一个承载移动式支架(8)，所述移动式支架被设计成能够正交于该相关联的运动单元(U1)的运动方向自由地移动，所述移动式支架(8)中的每一个被连接到所述第一上部板(6)的下部面(6A)。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述运动单元(U1，U2)被布置在所述XY平面中并且以使得具有不同的平移方向的方式进行定位，所述不同的平移方向分别在其之间形成120°的角度。
3.根据权利要求1和2中任一项所述的系统，其特征在于，所述第一控制模块(M1)被设计成产生Xi运动和Yi运动，并且所述第一控制模块包括两个运动单元和一直的辅助导轨，所述辅助导轨被布置在与所述两个运动单元的运动方向不同的方向上并且承载被设计成能够自由移动的移动式支架，所述移动式支架被固定到所述第一上部板的下部面。
4.根据权利要求1和2中任一项所述的系统，其特征在于，所述第一控制模块(M1)被设计成产生Yi运动和θZ运动，并且所述第一控制模块包括两个运动单元和一直的辅助导轨，所述辅助导轨被布置在与所述两个运动单元的运动方向不同的方向上并且承载被设计成能够自由移动的移动式支架，所述移动式支架中的每一个被设置有旋转系统，所述旋转系统被设计成在所述XY平面中自由地旋转，三个所述旋转系统中的每一个被连接到所述第一上部板的下部面。
5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述系统包括辅助控制级(E3)，所述辅助控制级被设计成使所谓的第一控制模块(M1)产生Xi运动。
6.根据权利要求1和2中任一项所述的系统，其特征在于，所述第一控制模块(M1)被设计成产生Xi运动、Yi运动和θZ运动，并且所述第一控制模块包括：
-三个运动单元(U1)；和
-三个直的导轨(7)，所述导轨(7)中的每一个导轨被安装在所述运动单元(U1)中的一个与该导轨相关联的运动单元上，所述导轨(7)中的每一个相对于该相关联的运动单元(U1)的运动方向被正交地布置并且以使得在该相关联的运动单元(U1)的作用下发生运动的方式进行设计，所述导轨(7)中的每一个承载移动式支架(8)，所述移动式支架被设计成能够正交于该相关联的运动单元(U1)的运动方向自由地移动，所述移动式支架(8)中的每一个被设置有旋转系统(9)，所述旋转系统被设计成在所述XY平面中自由地旋转，三个所述旋转系统(9)中的每一个被连接到所述第一上部板(6)的下部面(6A)。
7.根据权利要求1和2中任一项所述的系统，其特征在于，第二控制模块(M2)被设计成产生θX运动、θY运动和Zi运动，并且所述第二控制模块包括：
-第二下部板(13)和第二上部板(14)；
-被设计成产生平移运动的三个运动单元(U2)，该运动单元(U2)被固定到所述第二下部板(13)的上部面(13A)上；和
-三个直的导轨(15)，所述导轨(15)中的每一个导轨相对于所述XY平面以倾斜的方式安装在所述运动单元(U2)中的一个与该导轨相关联的运动单元上，所述导轨(15)中的每一个相对于该相关联的运动单元(U2)的运动方向被纵向地布置并且以使得在该相关联的运动单元(U2)的作用下发生运动的方式进行设计，所述导轨(15)中的每一个承载被设计成能够自由移动的移动式支架(16)，所述移动式支架(16)中的每一个被设置有滚珠(19)，所述滚珠被设计成自由地旋转，三个所述滚珠(19)中的每一个被铰接到所述第一上部板(14)的下部面(14A)。
8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述系统还包括以下三个辅助控制级中的至少一个：
-被设计成产生Xi运动的辅助控制级(E5)；
-被设计成产生Yi运动的辅助控制级(E4)；和
-被设计成产生θZ运动的辅助控制级(E6)。
9.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述系统仅包括两个控制级(E1，E2)，所述两个控制级中的一个为所谓的下部控制级(E1)，所述下部控制级包括被设计成产生Xi运动、Yi运动和θZ运动的所谓的第一控制模块(M1)，所述两个控制级中的另一个为所谓的第二控制级，所述第二控制级包括被设计成产生θX运动、θY运动和Zi运动的所述第二控制模块(M2)。
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