JP6795602B2 - ６自由度で支持プレートの運動を生成するシステム - Google Patents

Description

本発明は、いくつかの自由度で支持プレートの運動を生成するシステムに関する。

このシステムは、測定、処理などを行うために光学的デバイス、機械的デバイス、またはその他のデバイスを担持することができる支持プレート（またはプラットフォーム）と、支持要素上（例えばワークステーション上）に置かれる下面プレートとの２つのプレートの間の相対運動を可能にするためのものである。

そのような６自由度の運動をできれば生成するために、ヘキサポッド（６脚）タイプのポジショナ（保定器）が知られており、これは、脚を形成する６つのアクチュエータから構成される平行ロボットである。これらの６本の脚は、その長さを変えて上部プラットフォームの向きを変えるために作動される。したがって一組のそれら独自の脚の長さが、上部プラットフォームの所与の位置に関連付けられる。

平行ロボットタイプのシステム、特にヘキサポッドは、一般的に欠点を有し、特に実質的な邪魔物および／または制限された作業領域を有する。

さらに、荷重を支持する三角形のプラットフォームを有し、命令（ｃｈａｒｇｅ）を少なくとも３つの自由度の運動に移行するモジュラー型デバイスが仏国特許第２７５７９２５号明細書により知られている。

本発明の目的は、これらの欠点を克服することである。本発明は、いわゆるＸ方向およびいわゆるＹ方向によって規定されるＸＹ平面に実質的に平行な、いわゆる中立位置にある支持プレートの運動を生成するシステムに関するものであって、このシステムは、６自由度の少なくとも一部においてプレートを移動させることができるように構成され、６自由度は、Ｘ方向に沿ったいわゆるＸｉ並進移動およびこのＸ方向周りのいわゆるθＸ回転と、Ｙ方向に沿ったいわゆるＹｉ並進移動およびこのＹ方向周りのいわゆるθＹ回転と、いわゆるＺ方向に沿ったいわゆるＺｉ並進移動およびこのＺ方向周りのいわゆるθＺ回転とにそれぞれ対応し、Ｚ方向は、Ｘ方向およびＹ方向に直交する。

本発明によれば、運動を生成するシステムは、方向Ｚに重ねられ且つ互いに固定された少なくとも２つの制御ステージを含み、制御ステージの少なくとも１つが制御モジュールを含み、少なくとも１つの制御モジュールが、ＸＹ平面内でそれぞれ並進運動を生成するように設計された運動ユニットのみを含み、これらの運動は、それぞれ異なる方向に移動する。

このように、本発明のおかげで、以下に記述される運動を生成することができ、このシステムはモジュラータイプである。このモジュラー構造と、並進運動だけを生成するように設計された運動ユニットを使用することにより、以下に記載される、運動を生成する非常にコンパクトなシステムを得ることができる。さらに、この運動を生成するシステムは、拡張された作業領域を有する。これにより、前述の欠点を克服することが可能になる。

好都合なことには、この運動ユニットはＸＹ平面内に配置され、それぞれ、１２０°の角度を形成する、異なる並進移動方向を有するように配置される。

好ましい実施形態では、第１の制御モジュールは、
第１の下部プレートおよび第１の上部プレートと、
少なくとも２つの運動ユニットであって、第１の下部プレートの上面に固定される運動ユニットと、
直線ガイドレールであって、ガイドレールの各々は、関連する運動ユニットの１つに取り付けられ、ガイドレールの各々は、関連する運動ユニットの運動方向に直交して配置され、且つ関連する運動ユニットの動作の元で移動するよう設計され、ガイドレールの各々が、関連する運動ユニットの運動方向に直交するように自由に移動するように設計された移動キャリッジを支持し、移動キャリッジの各々は、第１の上部プレートの下面に接続される、直線ガイドレールと
を含む。

この場合、第１の代替の実施形態では、この第１の制御モジュールが、ＸｉおよびＹｉ運動を生成するように設計され、２つの運動ユニットおよび直線の補助ガイドレールを含み、この補助ガイドレールが、２つの運動ユニットの運動方向とは異なる方向に配置され、第１の上部プレートの下面に固定される自由に移動するよう設計される移動キャリッジを担持する。

さらに、第２の代替的な実施形態では、第１の制御モジュールが、ＹｉおよびθＺ運動を生成するように設計され、また２つの運動ユニットおよび直線状の補助ガイドレールを含み、この補助ガイドレールが、２つの運動ユニットの運動方向とは異なる方向に配置され、且つ自由に移動するよう設計される移動キャリッジを担持し、移動キャリッジの各々には、ＸＹ平面内で自由に回転するように設計された回転システムが設けられ、これらの３つの回転システムはそれぞれ、第１の上部プレートの下面に接続される。この場合、好都合なことに、このシステムは、いわゆる第１の制御モジュールのＸｉ運動を生成するように設計された補助制御ステージを含む。

さらに、第３の（好ましい）別の実施形態では、第１の制御モジュールが、Ｘｉ、ＹｉおよびθＺ運動を生成するよう設計され、この制御モジュールは、
３つの運動ユニットと、
３つの直線ガイドレールであって、ガイドレールの各々は、関連する運動ユニットの１つに取り付けられ、ガイドレールの各々は、関連する運動ユニットの運動方向に直交して配置され、そのように設計されている関連する運動ユニットの動作の元で移動するよう設計され、ガイドレールの各々が、関連する運動ユニットの運動方向に直交して自由に移動できるように設計される移動キャリッジを担持し、移動キャリッジの各々には、ＸＹ平面内で自由に回転するように設計される回転システムが設けられ、３つの回転システムはそれぞれ第１の上部プレートの下面に接続される、直線ガイドレールと
を含む。

さらに、好ましい実施形態では、第２の制御モジュールが、θＸ、θＹ、およびＺｉの運動を生成するように設計され、この制御モジュールは、
第２の下部プレートおよび第２の上部プレートと、
第２の下部プレートの上面に固定される、並進運動を生成するように設計される３つの運動ユニットと、
３つの直線ガイドレールであって、ガイドレールの各々が、関連する運動ユニットの１つに、ＸＹ平面に対して傾斜して取り付けられ、ガイドレールの各々は、関連する運動ユニットの運動方向に長手方向に配置されて、関連する運動ユニットの動作の元で移動するように設計され、ガイドレールの各々は、自由に移動するよう設計された移動キャリッジを担持し、移動キャリッジの各々には、自由に回転するように設計されたボールが設けられ、これらの３つのボールがそれぞれ、第１の上部プレートの下面に関節結合される、直線ガイドレールと
を含む。

第１の代替の実施形態では、第２の制御モジュールは、さらに、
Ｘｉ運動を生成するように設計される補助制御ステージと、
Ｙｉ運動を生成するように設計される補助制御ステージと、
θＺ運動を生成するように設計される補助制御ステージと
の３つの補助制御ステージのうちの少なくとも１つを含むが、好ましくはいくつかを含む。

さらに、第２の（好ましい）別の実施形態では、運動を生成するシステムは、２つの制御ステージのみを含み、いわゆる第１制御ステージは、Ｘｉ、ＹｉおよびθＺ運動を生成するように設計された第１の制御モジュールを含み、いわゆる第２の制御ステージは、θＸ、θＹおよびＺｉ運動を生成するように設計された第２の制御モジュールを含む。

添付図面には、本発明の実施方法が示される。これらの図では、同一の参照符号により同様の要素が示されている。

運動を生成するシステムの好ましい実施形態の斜視図である。 補助制御ステージに関連付けられた、図１の運動を生成するシステムの第１の制御モジュールの取り付け位置における斜視図である。 図２の制御モジュールの部分分解斜視図である。 図２の制御モジュールの分解斜視図である。 図１の運動を生成するシステムの第２の制御モジュールの斜視図である。 図５の制御モジュールの斜視分解図である。 ２つの補助制御ステージに関連付けられた図５の制御モジュールの斜視図である。 ３つの補助制御ステージに関連付けられた図５の制御モジュールの斜視図である。

本発明を説明する図１に示されるシステム１は、このシステム１が設置される（具体的には固定される）支持体（図示せず）に対するプレート２（またはプラットフォーム）の運動を、好ましくは全体的に平坦な運動を生成するシステムである。

例えばこの金属製のプレート２は、いわゆるＸ方向（または長手方向）といわゆるＹ方向（または横方向）とによって規定されるＸＹ平面に実質的に平行に、プレート２のいわゆる中立位置に、すなわち以下で特定されるシステム１の様々な運動の手段を作動させていないベース位置に配置される。

これらのＸおよびＹ方向は、図１、図２および図５〜図７に示される座標系Ｒ（またはＸＹＺ）の一部である。この座標系Ｒは、理解を容易にするために、ＸＹ平面を構成するＸおよびＹ方向（または軸線）に加えて、ＸＹ平面に直交する、いわゆるＺ方向（または軸線）（または垂直）を含む。

明確化のため、図１に詳細に示される座標系Ｒは、システム１の外側に配置されている。しかし、Ｚ方向は中心垂直軸線を通過している。

上述したように、支持プレート２は中立位置（作動されていない）にあり、ＸＹ平面に実質的に平行である。システム１は、６つの自由度の少なくとも一部においてプレート２を移動させることができるように設計されている。

これらの６つの自由度（両方向の矢印として示される）は、図１に示されるように、
Ｘ方向に沿った、Ｘｉと称される並進移動と、
Ｘ方向周りの、いわゆるθＸ回転と、
Ｙ方向に沿った、Ｙｉと称される並進移動と、
Ｙ方向周りの、いわゆるθＹ回転と、
Ｚ方向に沿った、Ｚｉと称される並進移動と、
Ｚ方向周りの、いわゆるθＺ回転と
にそれぞれ対応する。
以後、本明細書では、形容詞「上方」および「下方」は、Ｚ方向の矢印によって定義される方向に関して適用され、図１に示される通り、上方は矢印の方向（＋ｚ）であり、下方は反対方向（−ｚ）である。

プレート２は、プレート２（図１）に見える穴３を通過する締結手段（例えばネジ）を介して固定可能な特定の要素（図示せず）を支持することができる。

さらに、システム１は、システム１（図１）の下部プレート５に見える穴４を通過する締結手段（例えばネジ）を介して支持要素（図示せず）上に配置し固定することができる。

好適なアプリケーションでは、このシステム１は、半導体業界向けの（特に標準的な雰囲気内または空のタンク内での処理または制御用途のための）、または光学および光電子産業向けの（光学装置、光電子部品などの位置決めのための）精密位置決めデバイス（または機械）の一部である。

図１に示される好ましい実施形態では、このシステム１は、方向Ｚに重ねられ、互いに対して固定される２つの制御ステージＥ１およびＥ２を含む。

このシステム１は、モジュラータイプであり、制御ステージＥ１およびＥ２はそれぞれ、制御モジュールＭ１およびＭ２を含む。

さらに、制御モジュールＭ１およびＭ２の各々は、ＸＹ平面で並進運動のみをそれぞれ生成するよう設計された運動ユニットＵ１およびＵ２を含む。

これらの運動ユニットＵ１およびＵ２は、例えば電動モータ、またはその他のタイプのモータをそれぞれ含み、通常、制御要素（図示せず）を介して操作者（または自動制御システム）によって制御可能である。具体的には、（関連する方向における）並進移動の距離と方向、および（場合によって）並進移動の速度を制御可能である。したがって、これらの運動ユニットＵ１およびＵ２の各々は、（その移動方向（または軸線）に従う）電動軸線を画定する。

プレート２の求められる位置は、関連する様々な運動ユニットＵ１およびＵ２の制御の（したがって位置決めの）特定の組み合わせによって得られる。

さらに、運動ユニットＵ１およびＵ２の各々は、異なる方向の並進運動をそれぞれ生成するように設計される。より正確には、これらの運動ユニットＵ１およびＵ２は、ＸＹ平面に配置され、それぞれ、好ましくはそれらの間に１２０°の角度を形成する異なる並進移動方向を有するように配置される。

図１に示される、好ましい実施形態では、システム１は、２つの制御ステージＥ１およびＥ２であって、
そのうちの第１の下部制御ステージＥ１は、Ｘｉ、Ｙｉ、およびθＺの運動（すなわちＸおよびＹ方向の並進移動、およびＺ方向の回転）を生成するように設計された制御モジュールＭ１を含み、また
そのうちの第２の上部制御ステージＥ２は、θＸ、θＹ、およびＺｉの運動を生成するように設計された制御モジュールＭ２を含む、
２つの制御ステージＥ１およびＥ２のみを含む。

より正確には、好ましい実施形態では、制御モジュールＭ１は、図２〜図４に示すように、
下部プレート５および上部プレート６と、
３つの運動ユニットＵ１であって、図３に示される通り下部プレート５の上面５Ａに固定される３つの運動ユニットＵ１と、
直線ガイドレール７と
を含む。

３つのガイドレール７の各々は、関連する３つの運動ユニットＵ１のうちの１つに取り付けられる。

したがって、制御モジュールＭ１は、運動ユニットＵ１ごとに１つのガイドレール７を含み、各運動ユニットＵ１にはガイドレール７が設けられている。

各ガイドレール７は、関連する運動ユニットＵ１の運動方向に直交するように配置され、図３の右側部分のガイドレール７のために示される通り長手方向軸線Ｌ２を含む。このガイドレール７の長手方向軸線Ｌ２は、運動ユニットＵ１の長手方向軸（または移動軸線）Ｌ１と直交している。

ガイドレール７の各々は、関連する運動ユニットＵ１の作動の元で（Ｌ１方向に）移動するように設計される。

さらに、ガイドレール７の各々は、移動キャリッジ８を担持する。この移動キャリッジ８は、方向Ｌ２（すなわち関連する運動ユニットＵ１の運動方向Ｌ１に直交する方向）に自由に移動できるように設計される。

さらに、移動キャリッジ８の各々には回転システム９が設けられ、この回転システム９は、好ましくは中立位置で、ＸＹ平面に対応する上部プレート６の平面内で自由に回転するように設計されたボールベアリング１０を含む。

これらの３つの回転システム９はそれぞれ、上部プレート６に配置される通常の締結要素１１を介して上部プレート６の下面６Ａに接続される。

さらに、図４に示される通り、制御モジュールＭ１は、下部プレート５と一体である閉じた側壁１２を含む。

したがって、運動ユニットＵ１の操作者または自動制御システムの命令により、ガイドレール７の運動が生成される。このガイドレール７の運動の間、移動キャリッジ８は自由に移動し、上部プレート６の位置に作用することができる。

さらに、図５〜図７に示される通り、好ましい実施形態では、第２の制御モジュールＭ２は、
下部プレート１３および上部プレート１４（これはプレート２またはプレート２に固定されるプレートに対応する）と、
並進運動を生成するように設計された３つの運動ユニットＵ２であって、これらの３つの運動ユニットＵ２は、下部プレート１３の上面１３Ａ（図５）に固定され、また運動ユニットＵ２は、好ましくは、制御モジュールＭ１の運動ユニットＵ１と同様である運動ユニットＵ２と、
３つの直線ガイドレール１５と
を含む。

これら３つのガイドレール１５の各々は、関連する３つの運動ユニットＵ２のうちの１つに取り付けられる。このように制御モジュールＭ２は、運動ユニットＵ２ごとに１つのガイドレール１５を含み、各運動ユニットＵ２にはガイドレール１５が設けられている。

運動ユニットＵ２の各々は、図５の右側に示されている運動ユニットＵ２のＬ３の方向に示されるＸＹ平面内の所定の方向への運動を生成させるために、上面１３Ａに固定されている。

さらに、ガイドレール１５の各々は、関連する運動ユニットＵ２の運動方向Ｌ３に対して長手方向に配置される。さらに、関連する運動ユニットＵ２の動作を受けて移動するように設計される。

さらに、ガイドレール１５の各々は、移動自在に設計される移動キャリッジ１６を担持する。ガイドレール１５の各々は、関連するガイドレールに対してＺ垂直方向に傾斜して取り付けられる。

図６に示される通り、ＸＺ垂直平面またはＹＺ垂直平面において、自由に移動可能なキャリッジ１６の運動方向Ｌ４は、（運動ユニットＵ２の動作を受けた）ガイドレール１５の運動方向に対してゼロではない角度αを有する。これを達成するために、ガイドレール１５は、垂直面内で三角形の傾斜支持要素１７を介して運動ユニットＵ２に接続される。

移動キャリッジ１７は、運動ユニットＵ２上に位置決めされているため、ＸＹ平面内をＬ３方向に移動する。図５に示される通り、ＸＹ平面におけるＬ４運動方向の投影Ｌ４Ａは、Ｌ３方向と平行（または混同）である。

さらに、移動キャリッジ１６は、傾斜支持要素１８を含み、この傾斜支持要素１８は、傾斜支持要素１７と協働して、傾斜支持要素１８の上面が支持要素１７の下面とほぼ平行であるように傾斜支持要素１７に適合する。

さらに、各キャリッジ１８には、回転自在に設計されるボール１９が設けられる。

これらの３つのボール１９はそれぞれ、上部プレート１４の下面１４Ａに関節結合されて取り付けられる。

特にそのモジュラー構造により、また並進運動だけを生成するように設計された運動ユニットＵ１およびＵ２の使用により、上述したような（運動を生成する）システム１は非常にコンパクトとなり、さらに、特に通常のシステム（特にヘキサポッドタイプのシステム）に対して拡張された作業領域を有する。

上述の図１に示すようなシステム１の好ましい実施形態では、システム１は、上述したような制御モジュールＭ１およびＭ２をそれぞれ含む２つの制御ステージＥ１およびＥ２を含む。

しかし、本発明の枠組みにおいて、以下に特定されるように、
制御モジュールＭ１は、特にＸｉ、ＹｉおよびθＺの運動のうちのいくつかのみを実施しなければならない場合、特にその特性の少なくとも１つを変更することによって様々に実行可能であり、また
運動を生成するシステム１は、これらの２つの制御モジュールＭ１およびＭ２のうちの１つのみを含むことができ、これは、１つまたは複数の補助制御ステージに関連付けられる。

したがって、前述の図２〜図４の第１の代替の実施形態では、制御モジュールＭ１は、ＸｉおよびＹｉの運動のみを生成するように設計される。

この第１の代替の実施形態（具体的には図示せず）では、制御モジュールＭ１は、直線補助ガイドレールと、ただ２つの運動ユニットＵ１とを含む。この補助ガイドレールは、図２〜図４の実施形態の第３の運動ユニットＵ１を置き換える。

この補助ガイドレールは、２つの運動ユニットの移動方向とは異なるが、図２〜４の第３の運動ユニットのものと同一である方向に配置される。

さらに、ガイドレールは自由に移動できるように設計された移動キャリッジを担持し、補助ガイドレールは、移動キャリッジが第３の置き換えられた運動ユニットの移動方向に自由に移動できるように配置される。

これらの３つの移動キャリッジは、上部プレート６の下面６Ａに直接固定されており、回転システムは設けられない。

この第１の代替の実施形態による運動モジュールは、運動を生成するシステム内において、
Ｘｉ、Ｙｉ、およびθＺの運動を生成するシステムを得るために通常の態様でθＺの運動を生成するように設計された第１補助制御ステージと、
Ｘｉ、Ｙｉ、およびＺｉにおける運動を生成するシステムを得るために通常の態様でＺｉの運動を生成するように設計された第２の補助制御ステージと、または
第１補助制御ステージおよび第２の補助制御ステージと同時に
関連付けられることができる。

さらに、第２の代替の実施形態では、第１の制御モジュールＭ１は、ＹｉおよびθＺの運動のみを生成するように設計される。

この第２の代替の実施形態では、制御モジュールＭ１は、２つの運動ユニットＵ１、および直線補助ガイドレールを含む．

この補助ガイドレールは、２つの運動ユニットの移動方向とは異なるが、図２〜４の第３の運動ユニットのものと同一である方向に配置される。

さらに、補助ガイドレール、および２つの運動ユニットはそれぞれ、自由に移動可能に設計された移動キャリッジを担持する。

この場合、３つの移動キャリッジの各々には、例えば移動キャリッジ８と同様に、前述の回転システム９などの平面ＸＹ内で自由に回転するように設計された回転システムが設けられる。

また、３つの回転システムはそれぞれ、上部プレート６Ａの下面６Ａに接続される。

この第２の実施形態に関連して、このシステム１は、特定の実施形態では、図２の細い線（図示の目的のため）で示される補助制御ステージＥ３を含むことができる。この補助制御ステージＥ３は、制御モジュールＭ１のＸｉ運動を生成するよう設計される。

この補助制御ステージＥ３は、Ｘｉ運動を生成するために運動要素２０を含むことができる。特定の実施形態では、運動要素２０には、移動キャリッジ２２を担持するガイドレール２１と、例えば電気モータなどのガイドレール２１上の移動キャリッジ２２の運動（図示せず）を制御する手段が設けられる。

したがって移動キャリッジ２２は、ガイドレール２１上に移動可能に取り付けられ、第２の代替の実施形態による制御モジュールＭ１を担持する。

さらに、（図７および図８に示される）別の代替の実施形態では、この運動を生成するシステムは、制御モジュールＭ２に関連して、制御モジュールＭ１の代わりに、
Ｘｉ運動を生成するよう設計される補助制御ステージＥ５と、
Ｙｉ運動を生成するよう設計される補助制御ステージＥ４と、
θＺ運動を生成するよう設計される補助制御ステージＥ６と
の３つの補助制御装置の少なくとも１つの（ただし、好ましくはいくつかの）ステージを含む。

考えられる用途（および、制御される運動）に応じて、制御モジュールＭ２と１つまたは複数の補助制御ステージＥ４〜Ｅ６のすべての組み合わせが可能である。

このように、図７に示される第１の実施形態では、運動を生成するシステムは、この図７において細い線として示される２つの補助制御ステージＥ４およびＥ５を含む。

補助制御ステージＥ４は、Ｙｉ運動を生成するために運動要素２３を含み得る。特定の実施形態では、運動要素２３には、移動キャリッジ２６を担持するガイドレール２５と、例えば電気モータなどのガイドレール２５上の移動キャリッジ２６の移動を制御する手段（図示せず）とが設けられ、これらは、操作者または自動制御システムによって通常のやり方で制御され得る。したがってこの移動キャリッジ２６は、ガイドレール２５上に移動可能に取り付けられ、補助制御ステージＥ５を担持する。

この補助制御ステージＥ５は、Ｘｉ運動を生成するために運動要素２４を含み得る。特定の実施形態では、運動要素２４にも、移動キャリッジ２８を担持するガイドレール２７と、電気モータなどのガイドレール２７上の移動キャリッジ２８の運動を制御する手段（図示せず）とが設けられ、これらは、通常、操作者または自動制御システムによって制御され得る。したがって移動キャリッジ２８はガイドレール２７上を移動可能であり、制御モジュールＭ２を担持する。

したがって、この第１の実施形態による運動を生成するシステムは、Ｘｉ、Ｙｉ、Ｚｉ、θＸ、およびθＹの運動を生成することができる。

さらに、図８に示される、第２の好ましい実施形態では、運動を生成するシステムは、制御モジュールＭ２に関連付けられた、この図８において細い線として示される３つの補助制御ステージＥ４、Ｅ５およびＥ６を含む。これらの補助制御ステージＥ４およびＥ５は、図７のものと同様である。

補助制御ステージＥ６に関しては、θＺ運動を生成するために（すなわちＺ軸の周りの回転を生成するために）、回転駆動用の要素２９（例えばモータ）を含み得る。図８に示される例では、制御モジュールＭ２の上部プレート１４に、（通常、操作者または自動制御システムによって制御され得る）回転駆動用の要素２９が取り付けられる。

したがって、この第２の実施形態による運動を生成するシステムは、Ｘｉ、Ｙｉ、Ｚｉ、θＸ、θＹおよびθＺの運動（すなわち６自由度の運動）を生成することができる。

Claims (9)

1. 支持プレートの運動を生成するためのシステムであって、前記支持プレート（２）は、いわゆる中立位置において、いわゆるＸ方向およびいわゆるＹ方向によって定義されるＸＹ平面と実質的に平行であり、前記システム（１）は、前記支持プレート（２）を６自由度のうちの少なくともいくつかについて移動させることができるよう構成され、前記６自由度は、前記Ｘ方向に沿ったいわゆるＸｉ並進移動およびこのＸ方向周りのいわゆるθＸ回転と、前記Ｙ方向に沿ったいわゆるＹｉ並進移動およびこのＹ方向周りのいわゆるθＹ回転と、いわゆるＺ方向に沿ったいわゆるＺｉ並進移動およびこのＺ方向周りのいわゆるθＺ回転とにそれぞれ対応し、前記Ｚ方向は前記Ｘ方向および前記Ｙ方向と直交し、前記システムは、方向Ｚに重ね合わされて互いに固定される少なくとも２つの制御ステージ（Ｅ１、Ｅ２）を有し、前記制御ステージ（Ｅ１、Ｅ２）のうちの少なくとも１つが制御モジュール（Ｍ１、Ｍ２）を有する、システムにおいて、
   前記少なくとも１つの制御モジュール（Ｍ１、Ｍ２）は、前記ＸＹ平面内で前記支持プレート（２）の並進運動をそれぞれ異なる方向にそれぞれが生成するように設計された複数の運動ユニット（Ｕ１、Ｕ２）のみを有し、また
   第１の制御モジュール（Ｍ１）と称される前記少なくとも１つの制御モジュールは、
   第１の下部プレート（５）および第１の上部プレート（６）と、
   少なくとも２つの運動ユニット（Ｕ１）であって、前記第１の下部プレート（５）の上面（５Ａ）に固定される運動ユニット（Ｕ１）と、
   直線ガイドレール（７）であって、各ガイドレール（７）は、それが関連付けられる前記運動ユニット（Ｕ１）の１つに取り付けられ、各ガイドレール（７）は、前記関連付けられる運動ユニット（Ｕ１）の運動方向に直交して配置され、且つ前記関連付けられる運動ユニット（Ｕ１）の動作により移動するよう設計され、各ガイドレール（７）は、前記関連付けられる運動ユニット（Ｕ１）の運動方向に直交する方向に自由に移動できるように設計された移動キャリッジ（８）を担持し、各移動キャリッジ（８）は、前記第１の上部プレート（６）の下面（６Ａ）に接続される、直線ガイドレール（７）と
   を有していることを特徴とする、システム。
2. 前記運動ユニット（Ｕ１、Ｕ２）は前記ＸＹ平面内に配置され、且つそれぞれの間に１２０°の角度を形成する異なる並進移動方向を有するように位置付けられることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
3. 前記第１の制御モジュール（Ｍ１）は、Ｘｉ運動およびＹｉ運動を生成するよう設計されること、また前記第１の制御モジュール（Ｍ１）は、２つの運動ユニットと直線補助ガイドレールとを有し、前記補助ガイドレールは、前記２つの運動ユニットの運動方向とは異なる方向に配置され、且つ自由に移動できるように設計された移動キャリッジを担持し、前記移動キャリッジは、前記第１の上部プレートの下面に固定されること
   を特徴とする請求項１および２のうちの一項に記載のシステム。
4. 前記第１の制御モジュール（Ｍ１）は、Ｙｉ運動およびθＺ運動を生成するように設計されること、また前記第１の制御モジュール（Ｍ１）は、２つの運動ユニットと直線補助ガイドレールとを有し、前記補助ガイドレールは、前記２つの運動ユニットの運動方向とは異なる方向に配置され、且つ自由に移動できるように設計された移動キャリッジを担持し、各移動キャリッジは、前記ＸＹ平面内で自由に回転するように設計された回転システムを備え、前記３つの回転システムは、それぞれが前記第１の上部プレートの下面に接続されること
   を特徴とする請求項１および２のうちの一項に記載のシステム。
5. 前記いわゆる第１制御モジュール（Ｍ１）のＸｉ運動を生成するように設計された補助制御ステージ（Ｅ３）を有することを特徴とする請求項４に記載のシステム。
6. 前記第１の制御モジュール（Ｍ１）は、Ｘｉ、ＹｉおよびθＺ運動を生成するように設計されること、および
   前記第１の制御モジュール（Ｍ１）は、
   ３つの運動ユニット（Ｕ１）と、
   ３つの直線ガイドレール（７）と
   を有し、各ガイドレール（７）は、それが関連付けられる前記運動ユニット（Ｕ１）の１つに取り付けられ、各ガイドレール（７）は、前記関連付けられる運動ユニット（Ｕ１）の運動方向に直交して配置され、且つ前記関連付けられる運動ユニット（Ｕ１）の動作により移動するように設計され、各ガイドレール（７）は、前記関連付けられる運動ユニット（Ｕ１）の運動方向に直交する方向に自由に移動できるように設計された移動キャリッジ（８）を担持し、各移動キャリッジ（８）は、前記ＸＹ平面内で自由に回転するように設計された回転システム（９）を備え、前記３つの回転システム（９）は、各々が前記第１の上部プレート（６）の下面（６Ａ）に接続されること
   を特徴とする請求項１および２のうちの一項に記載のシステム。
7. 第２の制御モジュール（Ｍ２）が、θＸ、θＹおよびＺｉ運動を生成するように設計されること、および
   前記第２の制御モジュール（Ｍ２）は、
   第２の下部プレート（１３）および第２の上部プレート（１４）と、
   並進運動を生成するように設計された３つの運動ユニット（Ｕ２）であって、前記第２の下部プレート（１３）の上面（１３Ａ）に固定される３つの運動ユニット（Ｕ２）と、
   ３つの直線ガイドレール（１５）と
   を有し、各ガイドレール（１５）は、それが関連付けられる前記運動ユニット（Ｕ２）の１つに、前記ＸＹ平面に対して傾斜して取り付けられ、各ガイドレール（１５）は、前記関連付けられる運動ユニット（Ｕ２）の運動方向に対して長手方向に配置され、且つ前記関連付けられる運動ユニット（Ｕ２）の動作により移動するように設計され、各ガイドレール（１５）は、自由に移動するように設計された移動キャリッジ（１６）を担持し、各移動キャリッジ（１６）は、自由に回転するように設計されたボール（１９）を備え、前記３つのボール（１９）は、前記第１の上部プレート（１４）の下面（１４Ａ）にそれぞれ関節結合されること
   を特徴とする請求項１から６までのいずれか一項に記載のシステム。
8. 前記システムが、
   Ｘｉ運動を生成するように設計された補助制御ステージ（Ｅ５）と、
   Ｙｉ運動を生成するように設計された補助制御ステージ（Ｅ４）と、
   θＺ運動を生成するように設計された補助制御ステージ（Ｅ６）と
   の３つの補助制御ステージのうちの少なくとも１つをさらに有することを特徴とする請求項７に記載のシステム。
9. 前記システムが２つの制御ステージ（Ｅ１、Ｅ２）のみを有し、そのうちの１つのいわゆる下部制御ステージ（Ｅ１）が、Ｘｉ、ＹｉおよびθＺ運動を生成するように設計されたいわゆる第１制御モジュール（Ｍ１）を有し、そのうちの１つのいわゆる第２の制御ステージが、θＸ、θＹおよびＺｉ運動を生成するように設計された第２の制御モジュール（Ｍ２）を有することを特徴とする請求項６および７に記載のシステム。

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