JP2019510932A - 6自由度で支持プレートの運動を生成するシステム - Google Patents
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Abstract
Description
第1の下部プレートおよび第1の上部プレートと、
少なくとも2つの運動ユニットであって、第1の下部プレートの上面に固定される運動ユニットと、
直線ガイドレールであって、ガイドレールの各々は、関連する運動ユニットの1つに取り付けられ、ガイドレールの各々は、関連する運動ユニットの運動方向に直交して配置され、且つ関連する運動ユニットの動作の元で移動するよう設計され、ガイドレールの各々が、関連する運動ユニットの運動方向に直交するように自由に移動するように設計された移動キャリッジを支持し、移動キャリッジの各々は、第1の上部プレートの下面に接続される、直線ガイドレールと
を含む。
3つの運動ユニットと、
3つの直線ガイドレールであって、ガイドレールの各々は、関連する運動ユニットの1つに取り付けられ、ガイドレールの各々は、関連する運動ユニットの運動方向に直交して配置され、そのように設計されている関連する運動ユニットの動作の元で移動するよう設計され、ガイドレールの各々が、関連する運動ユニットの運動方向に直交して自由に移動できるように設計される移動キャリッジを担持し、移動キャリッジの各々には、XY平面内で自由に回転するように設計される回転システムが設けられ、3つの回転システムはそれぞれ第1の上部プレートの下面に接続される、直線ガイドレールと
を含む。
第2の下部プレートおよび第2の上部プレートと、
第2の下部プレートの上面に固定される、並進運動を生成するように設計される3つの運動ユニットと、
3つの直線ガイドレールであって、ガイドレールの各々が、関連する運動ユニットの1つに、XY平面に対して傾斜して取り付けられ、ガイドレールの各々は、関連する運動ユニットの運動方向に長手方向に配置されて、関連する運動ユニットの動作の元で移動するように設計され、ガイドレールの各々は、自由に移動するよう設計された移動キャリッジを担持し、移動キャリッジの各々には、自由に回転するように設計されたボールが設けられ、これらの3つのボールがそれぞれ、第1の上部プレートの下面に関節結合される、直線ガイドレールと
を含む。
Xi運動を生成するように設計される補助制御ステージと、
Yi運動を生成するように設計される補助制御ステージと、
θZ運動を生成するように設計される補助制御ステージと
の3つの補助制御ステージのうちの少なくとも1つを含むが、好ましくはいくつかを含む。
X方向に沿った、Xiと称される並進移動と、
X方向周りの、いわゆるθX回転と、
Y方向に沿った、Yiと称される並進移動と、
Y方向周りの、いわゆるθY回転と、
Z方向に沿った、Ziと称される並進移動と、
Z方向周りの、いわゆるθZ回転と
にそれぞれ対応する。
以後、本明細書では、形容詞「上方」および「下方」は、Z方向の矢印によって定義される方向に関して適用され、図1に示される通り、上方は矢印の方向(+z)であり、下方は反対方向(−z)である。
そのうちの第1の下部制御ステージE1は、Xi、Yi、およびθZの運動(すなわちXおよびY方向の並進移動、およびZ方向の回転)を生成するように設計された制御モジュールM1を含み、また
そのうちの第2の上部制御ステージE2は、θX、θY、およびZiの運動を生成するように設計された制御モジュールM2を含む、
2つの制御ステージE1およびE2のみを含む。
下部プレート5および上部プレート6と、
3つの運動ユニットU1であって、図3に示される通り下部プレート5の上面5Aに固定される3つの運動ユニットU1と、
直線ガイドレール7と
を含む。
下部プレート13および上部プレート14(これはプレート2またはプレート2に固定されるプレートに対応する)と、
並進運動を生成するように設計された3つの運動ユニットU2であって、これらの3つの運動ユニットU2は、下部プレート13の上面13A(図5)に固定され、また運動ユニットU2は、好ましくは、制御モジュールM1の運動ユニットU1と同様である運動ユニットU2と、
3つの直線ガイドレール15と
を含む。
制御モジュールM1は、特にXi、YiおよびθZの運動のうちのいくつかのみを実施しなければならない場合、特にその特性の少なくとも1つを変更することによって様々に実行可能であり、また
運動を生成するシステム1は、これらの2つの制御モジュールM1およびM2のうちの1つのみを含むことができ、これは、1つまたは複数の補助制御ステージに関連付けられる。
Xi、Yi、およびθZの運動を生成するシステムを得るために通常の態様でθZの運動を生成するように設計された第1補助制御ステージと、
Xi、Yi、およびZiにおける運動を生成するシステムを得るために通常の態様でZiの運動を生成するように設計された第2の補助制御ステージと、または
第1補助制御ステージおよび第2の補助制御ステージと同時に
関連付けられることができる。
Xi運動を生成するよう設計される補助制御ステージE5と、
Yi運動を生成するよう設計される補助制御ステージE4と、
θZ運動を生成するよう設計される補助制御ステージE6と
の3つの補助制御装置の少なくとも1つの(ただし、好ましくはいくつかの)ステージを含む。
Claims (9)
- 支持プレートの運動を生成するためのシステムであって、前記支持プレート(2)は、いわゆる中立位置において、いわゆるX方向およびいわゆるY方向によって定義されるXY平面と実質的に平行であり、前記システム(1)は、前記支持プレート(2)を6自由度のうちの少なくともいくつかについて移動させることができるよう構成され、前記6自由度は、前記X方向に沿ったいわゆるXi並進移動およびこのX方向周りのいわゆるθX回転と、前記Y方向に沿ったいわゆるYi並進移動およびこのY方向周りのいわゆるθY回転と、いわゆるZ方向に沿ったいわゆるZi並進移動およびこのZ方向周りのいわゆるθZ回転とにそれぞれ対応し、前記Z方向は前記X方向および前記Y方向と直交し、前記システムは、方向Zに重ね合わされて互いに固定される少なくとも2つの制御ステージ(E1、E2)を有し、前記制御ステージ(E1、E2)のうちの少なくとも1つが制御モジュール(M1、M2)を有する、システムにおいて、
前記少なくとも1つの制御モジュール(M1、M2)は、前記XY平面内で前記支持プレート(2)の並進運動をそれぞれ異なる方向にそれぞれが生成するように設計された複数の運動ユニット(U1、U2)のみを有し、また
第1の制御モジュール(M1)と称される前記少なくとも1つの制御モジュールは、
第1の下部プレート(5)および第1の上部プレート(6)と、
少なくとも2つの運動ユニット(U1)であって、前記第1の下部プレート(5)の上面(5A)に固定される運動ユニット(U1)と、
直線ガイドレール(7)であって、各ガイドレール(7)は、それが関連付けられる前記運動ユニット(U1)の1つに取り付けられ、各ガイドレール(7)は、前記関連付けられる運動ユニット(U1)の運動方向に直交して配置され、且つ前記関連付けられる運動ユニット(U1)の動作により移動するよう設計され、各ガイドレール(7)は、前記関連付けられる運動ユニット(U1)の運動方向に直交する方向に自由に移動できるように設計された移動キャリッジ(8)を担持し、各移動キャリッジ(8)は、前記第1の上部プレート(6)の下面(6A)に接続される、直線ガイドレール(7)と
を有していることを特徴とする、システム。 - 前記運動ユニット(U1、U2)は前記XY平面内に配置され、且つそれぞれの間に120°の角度を形成する異なる並進移動方向を有するように位置付けられることを特徴とする請求項1に記載のシステム。
- 前記第1の制御モジュール(M1)は、Xi運動およびYi運動を生成するよう設計されること、また前記第1の制御モジュール(M1)は、2つの運動ユニットと直線補助ガイドレールとを有し、前記補助ガイドレールは、前記2つの運動ユニットの運動方向とは異なる方向に配置され、且つ自由に移動できるように設計された移動キャリッジを担持し、前記移動キャリッジは、前記第1の上部プレートの下面に固定されること
を特徴とする請求項1および2のうちの一項に記載のシステム。 - 前記第1の制御モジュール(M1)は、Yi運動およびθZ運動を生成するように設計されること、また前記第1の制御モジュール(M1)は、2つの運動ユニットと直線補助ガイドレールとを有し、前記補助ガイドレールは、前記2つの運動ユニットの運動方向とは異なる方向に配置され、且つ自由に移動できるように設計された移動キャリッジを担持し、各移動キャリッジは、前記XY平面内で自由に回転するように設計された回転システムを備え、前記3つの回転システムは、それぞれが前記第1の上部プレートの下面に接続されること
を特徴とする請求項1および2のうちの一項に記載のシステム。 - 前記いわゆる第1制御モジュール(M1)のXi運動を生成するように設計された補助制御ステージ(E3)を有することを特徴とする請求項4に記載のシステム。
- 前記第1の制御モジュール(M1)は、Xi、YiおよびθZ運動を生成するように設計されること、および
前記第1の制御モジュール(M1)は、
3つの運動ユニット(U1)と、
3つの直線ガイドレール(7)と
を有し、各ガイドレール(7)は、それが関連付けられる前記運動ユニット(U1)の1つに取り付けられ、各ガイドレール(7)は、前記関連付けられる運動ユニット(U1)の運動方向に直交して配置され、且つ前記関連付けられる運動ユニット(U1)の動作により移動するように設計され、各ガイドレール(7)は、前記関連付けられる運動ユニット(U1)の運動方向に直交する方向に自由に移動できるように設計された移動キャリッジ(8)を担持し、各移動キャリッジ(8)は、前記XY平面内で自由に回転するように設計された回転システム(9)を備え、前記3つの回転システム(9)は、各々が前記第1の上部プレート(6)の下面(6A)に接続されること
を特徴とする請求項1および2のうちの一項に記載のシステム。 - 第2の制御モジュール(M2)が、θX、θYおよびZi運動を生成するように設計されること、および
前記第2の制御モジュール(M2)は、
第2の下部プレート(13)および第2の上部プレート(14)と、
並進運動を生成するように設計された3つの運動ユニット(U2)であって、前記第2の下部プレート(13)の上面(13A)に固定される3つの運動ユニット(U2)と、
3つの直線ガイドレール(15)と
を有し、各ガイドレール(15)は、それが関連付けられる前記運動ユニット(U2)の1つに、前記XY平面に対して傾斜して取り付けられ、各ガイドレール(15)は、前記関連付けられる運動ユニット(U2)の運動方向に対して長手方向に配置され、且つ前記関連付けられる運動ユニット(U2)の動作により移動するように設計され、各ガイドレール(15)は、自由に移動するように設計された移動キャリッジ(16)を担持し、各移動キャリッジ(16)は、自由に回転するように設計されたボール(19)を備え、前記3つのボール(19)は、前記第1の上部プレート(14)の下面(14A)にそれぞれ関節結合されること
を特徴とする請求項1から6までのいずれか一項に記載のシステム。 - 前記システムが、
Xi運動を生成するように設計された補助制御ステージ(E5)と、
Yi運動を生成するように設計された補助制御ステージ(E4)と、
θZ運動を生成するように設計された補助制御ステージ(E6)と
の3つの補助制御ステージのうちの少なくとも1つをさらに有することを特徴とする請求項7に記載のシステム。 - 前記システムが2つの制御ステージ(E1、E2)のみを有し、そのうちの1つのいわゆる下部制御ステージ(E1)が、Xi、YiおよびθZ運動を生成するように設計されたいわゆる第1制御モジュール(M1)を有し、そのうちの1つのいわゆる第2の制御ステージが、θX、θYおよびZi運動を生成するように設計された第2の制御モジュール(M2)を有することを特徴とする請求項6および7に記載のシステム。
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Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3046451B1 (fr) * | 2016-01-06 | 2018-07-06 | Micro-Controle - Spectra-Physics | Systeme de generation de deplacement d'une plaque de support selon six degres de liberte. |
CN107504895B (zh) * | 2017-08-03 | 2019-11-15 | 山东大学 | 面向光栅型微纳定位平台的零点微调装置 |
CN108332941A (zh) * | 2018-04-16 | 2018-07-27 | 交通运输部天津水运工程科学研究所 | 一种适用于模拟多个自由度运动的试验装置 |
CN110371891A (zh) * | 2018-09-13 | 2019-10-25 | 天津京东深拓机器人科技有限公司 | 一种举升结构和运输车 |
CN109638720B (zh) * | 2019-01-30 | 2020-10-16 | 国网山东省电力公司建设公司 | 一种输电线路的跨越装置 |
CN114097013A (zh) * | 2019-04-26 | 2022-02-25 | 迪尼斯玛有限公司 | 运动系统 |
CN116097330A (zh) * | 2021-09-07 | 2023-05-09 | 罗恩外科股份公司 | 肾脏手术训练系统 |
KR102683112B1 (ko) * | 2021-09-07 | 2024-07-10 | 주식회사 로엔서지컬 | 신장 내부 삽입 훈련 시스템 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005140185A (ja) * | 2003-11-05 | 2005-06-02 | Nikon Corp | パラレルリンク機構、ステージ装置及び露光装置 |
JP2011112625A (ja) * | 2009-11-30 | 2011-06-09 | Thk Co Ltd | 2軸直交案内装置、3軸直交案内装置、3軸直交・回転案内装置及びテーブル装置 |
Family Cites Families (37)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3142521A (en) * | 1962-04-30 | 1964-07-28 | Petroff Associates R | Machine assembly support |
US3155383A (en) * | 1962-10-11 | 1964-11-03 | Link Division Of General Prec | Precision positioning apparatus |
DE3481694D1 (de) * | 1983-06-02 | 1990-04-26 | Sumitomo Electric Industries | Positioniermechanismus. |
JP2601834B2 (ja) * | 1987-08-26 | 1997-04-16 | 株式会社東芝 | テーブル装置 |
JPH01242989A (ja) * | 1988-03-24 | 1989-09-27 | Kazuya Hirose | テーブルの縦横移動旋回機構 |
US4934647A (en) * | 1989-08-09 | 1990-06-19 | Northrop Corporation | Universal mount |
US5228358A (en) * | 1990-02-21 | 1993-07-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Motion guiding device |
DE4107881C2 (de) * | 1990-03-13 | 1997-04-17 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | Verstellbarer Tisch |
JP2757925B2 (ja) | 1990-06-13 | 1998-05-25 | 株式会社日立製作所 | 電圧引外し装置 |
JP3089150B2 (ja) * | 1993-10-19 | 2000-09-18 | キヤノン株式会社 | 位置決めステージ装置 |
JP3459315B2 (ja) * | 1994-07-11 | 2003-10-20 | 日本トムソン株式会社 | ボールねじを具備した駆動装置及び該駆動装置を含むxy駆動装置 |
JP2759912B2 (ja) * | 1996-02-07 | 1998-05-28 | 和也 廣瀬 | 多自由度テーブル機構用支持ユニット並びに多自由度テーブル機構 |
FR2757925B1 (fr) * | 1996-12-27 | 1999-03-26 | Thomson Csf | Dispositif modulaire de mise en mouvement de charge selon au moins trois degres de liberte |
DE19951919C2 (de) | 1999-10-28 | 2001-12-06 | Stn Atlas Elektronik Gmbh | Bewegungssystem |
US6408767B1 (en) * | 2000-03-01 | 2002-06-25 | Nikon Corporation | Low stiffness suspension for a stage |
US6405659B1 (en) * | 2000-05-01 | 2002-06-18 | Nikon Corporation | Monolithic stage |
GB0106977D0 (en) * | 2001-03-21 | 2001-05-09 | Renishaw Plc | Tilting table |
TW546595B (en) * | 2002-07-23 | 2003-08-11 | Internet Motion Navigator Corp | Six-axis translation-type dynamic simulation device |
JP2004156679A (ja) * | 2002-11-05 | 2004-06-03 | Hiihaisuto Seiko Kk | 多自由度微動位置決め装置 |
JP4160824B2 (ja) | 2002-12-20 | 2008-10-08 | 日本トムソン株式会社 | 昇降用案内ユニット及びそれを組み込んだステージ装置 |
JP4485138B2 (ja) | 2003-03-31 | 2010-06-16 | 日本トムソン株式会社 | 2軸直動・旋回案内ユニット及びそれを用いたテーブル装置 |
ATE441876T1 (de) | 2003-07-17 | 2009-09-15 | Newport Corp | Hochauflísender dynamischer positionierungsmechanismus |
EP1501065A1 (en) | 2003-07-22 | 2005-01-26 | William Lai | Parallel kinematic hexapodal dynamic simulator |
JP4875287B2 (ja) * | 2003-12-24 | 2012-02-15 | セイコーインスツル株式会社 | アクチュエータ及びテーブル装置 |
JP4376225B2 (ja) * | 2005-11-29 | 2009-12-02 | 日本ベアリング株式会社 | テーブル装置 |
JP2008014913A (ja) * | 2006-07-10 | 2008-01-24 | Olympus Corp | 電動テーブル装置及び顕微鏡ステージ |
US20120301067A1 (en) * | 2008-08-26 | 2012-11-29 | Morgan Christopher J | Apparatus and methods for forming kinematic coupling components |
JP2010274429A (ja) * | 2009-05-26 | 2010-12-09 | Ihi Corp | アライメントステージ |
JP5490650B2 (ja) | 2010-08-31 | 2014-05-14 | ヒーハイスト精工株式会社 | 位置決めテーブル |
US8575791B2 (en) * | 2010-12-17 | 2013-11-05 | National Formosa University | Manufacturing-process equipment |
US20130112118A1 (en) * | 2011-11-09 | 2013-05-09 | Alex K. Deyhim | Six degrees of freedom optical table |
EP2584551B2 (en) * | 2012-12-12 | 2020-11-04 | Moog B.V. | Simulator |
FR3007499B1 (fr) * | 2013-06-21 | 2015-07-17 | Cedrat Technologies | Mecanisme tripode a actionneurs piezoelectriques |
CN103381601B (zh) * | 2013-07-01 | 2016-05-25 | 上海交通大学 | 六自由度3-3正交型并联机器人 |
CN106489192B (zh) | 2014-07-03 | 2020-02-28 | 新港公司 | 多轴定位装置 |
TWI569285B (zh) * | 2014-12-10 | 2017-02-01 | 財團法人金屬工業研究發展中心 | 可調整角度之多軸承載裝置 |
FR3046451B1 (fr) * | 2016-01-06 | 2018-07-06 | Micro-Controle - Spectra-Physics | Systeme de generation de deplacement d'une plaque de support selon six degres de liberte. |
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005140185A (ja) * | 2003-11-05 | 2005-06-02 | Nikon Corp | パラレルリンク機構、ステージ装置及び露光装置 |
JP2011112625A (ja) * | 2009-11-30 | 2011-06-09 | Thk Co Ltd | 2軸直交案内装置、3軸直交案内装置、3軸直交・回転案内装置及びテーブル装置 |
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