JP4376225B2 - テーブル装置 - Google Patents

テーブル装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4376225B2
JP4376225B2 JP2005344238A JP2005344238A JP4376225B2 JP 4376225 B2 JP4376225 B2 JP 4376225B2 JP 2005344238 A JP2005344238 A JP 2005344238A JP 2005344238 A JP2005344238 A JP 2005344238A JP 4376225 B2 JP4376225 B2 JP 4376225B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
actuator
linear
moving
sliding means
sliding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2005344238A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2007144584A (ja
Inventor
充 山崎
豊司 風間
雄亮 植木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Bearing Co Ltd
Original Assignee
Nippon Bearing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Bearing Co Ltd filed Critical Nippon Bearing Co Ltd
Priority to JP2005344238A priority Critical patent/JP4376225B2/ja
Priority to US11/531,763 priority patent/US7823516B2/en
Priority to EP06019569A priority patent/EP1790430A1/en
Publication of JP2007144584A publication Critical patent/JP2007144584A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4376225B2 publication Critical patent/JP4376225B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/60Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/62Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
    • B23Q1/621Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/60Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q5/00Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
    • B23Q5/22Feeding members carrying tools or work
    • B23Q5/34Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
    • B23Q5/38Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
    • B23Q5/40Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

本発明は、テーブル装置に関するものである。
従来のテーブル装置として、出願人に係る特開平10−34463号公報(特許文献1)に開示されたテーブル装置がある。
この特許文献1に開示されているテーブル装置は、第一方向に移動する第一テーブルと第二方向に移動する第二テーブルとを、夫々同一平面上に配される第一アクチュエータ(第一ボールネジ)及び第二アクチュエータ(第二ボールネジ)によって移動させるように構成することで、第一アクチュエータと第二アクチュエータとを積層する必要なく、第一テーブルと第二テーブルとを積層するだけで、第一方向及び第二方向に移動可能なテーブルとする技術である。
特開平10−34463号公報
本発明は、上記特許文献1に開示されたテーブル装置をもとに、更なる薄型化・小型化を図るべく鋭意研究の結果完成したもので、二つのテーブルを積層する必要なく一つのテーブルを第一方向及び第二方向に移動させることを実現した極めて実用性に秀れたテーブル装置を提供するものである。
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
ワークが載置されるテーブル1を具備したテーブル装置であって、第一方向X及び第二方向Yに移動するテーブル1と、不動部2と該不動部2に対して直動する直動部3とから成り前記テーブル1を第一方向Xに移動させるための第一アクチュエータ4と、この第一アクチュエータ4の直動部3の直動方向に平行若しくは該直動方向と同一直線上に配される不動部5と該不動部5に対して直動する直動部6とから成り第一アクチュエータ4と略同一平面上に配され前記テーブル1を第二方向Yに移動させるための第二アクチュエータ7と、前記第一アクチュエータ4の直動部3と連設され前記テーブル1を第一方向Xに摺動させるための第一摺動手段8と、この第一摺動手段8と連され前記テーブル1を第二方向Yに摺動させるための第二摺動手段9と、前記第二アクチュエータ7の直動部6と連設される摺動手段10a及び前記テーブル1に前記第二アクチュエータ7の直動部6の直動方向に対して所定の角度θを有する状態で設けられ前記摺動手段10aと組み合わせられる摺動手段10bから成り前記第二摺動手段9と協働して前記テーブル1を第二方向Yに摺動させる第三摺動手段10と、前記第二アクチュエータ7の直動部6の直動をガイドする第四摺動手段12とで構成されていることを特徴とするテーブル装置に係るものである。
また、請求項1記載のテーブル装置において、前記所定の角度θは45°に設定されていることを特徴とするテーブル装置に係るものである。
また、請求項1,2いずれか1項に記載のテーブル装置において、前記第二アクチュエータ7の前記不動部5は前記第一アクチュエータ4の前記直動部3の直動方向に平行に設けられていることを特徴とするテーブル装置に係るものである。
本発明は、上述のように構成したから、更なる小型化・薄型化を実現できる極めて実用性に秀れたテーブル装置となる。
好適と考える本発明の実施形態を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。
第一アクチュエータ4の直動部3を直動させることで、第一摺動手段8によりテーブル1を第一方向Xに移動させることができ、更に、第二アクチュエータ7の直動部6を直動させることで、第二摺動手段9及び第三摺動手段10によりテーブル1を第二方向Yに移動させることができる。従って、一つのテーブル1を第一方向X及び第二方向Yに夫々移動させることができ、従来のように第一方向に移動する第一テーブルと第二方向に移動する第二テーブルとを積層する必要がないから、それだけ装置の薄型化・小型化を図ることが可能となる。
本発明の具体的な実施例について図面に基づいて説明する。
本実施例はワークが載置されるテーブル1を具備したテーブル装置であって、第一方向X及び第二方向Yに移動するテーブル1と、不動部2と該不動部2に対して直動する直動部3とから成り前記テーブル1を第一方向Xに移動させるための第一アクチュエータ4と、この第一アクチュエータ4の直動部3の直動方向に平行若しくは該直動方向と同一直線上に配される不動部5と該不動部5に対して直動する直動部6とから成り第一アクチュエータ4と略同一平面上に配され前記テーブル1を第二方向Yに移動させるための第二アクチュエータ7と、前記第一アクチュエータ4の直動部3と連設され前記テーブル1を第一方向に摺動させるための第一摺動手段8と、この第一摺動手段8と連され前記テーブル1を第二方向Yに摺動させるための第二摺動手段9と、前記第二アクチュエータ7の直動部6と連設される摺動手段10a及び前記テーブル1に前記第二アクチュエータ7の直動部6の直動方向に対して所定の角度θを有する状態で設けられ前記摺動手段10aと組み合わせられる摺動手段10bから成り前記第二摺動手段9と協働して前記テーブル1を第二方向Yに摺動させる第三摺動手段10と、前記第二アクチュエータ7の直動部6の直動をガイドする第四摺動手段12とで構成されるものである。
各部を具体的に説明する。
テーブル1は、図1に図示したように適宜な鋼製部材を平面視方形状に形成した板状体であり、このテーブル1は、該テーブル1と同様に適宜な鋼製部材を平面視方形状に形成した板状体である設置台14の上面に配設されている。
設置台14の上面の前後端部には夫々第一ガイドレール8aが設けられており、該第一ガイドレール8aには2つの第一ガイド体8bが被嵌されている。この第一ガイドレール8aと第一ガイド体8bとで第一摺動手段8が構成される。更に、第一ガイドレール8aに被嵌される2つの第一ガイド体8bは連結部材13の下面に夫々設けられ、この連結部材13同士が連結材16によりに連結されている。
また、テーブル1の下面の左右端部には夫々第二ガイドレール9aが設けられており、該第二ガイドレール9aには2つの第二ガイド体9bが被嵌されている。この第二ガイドレール9aと第二ガイド体9bとで第二摺動手段9が構成される。更に、第二ガイドレール9aに被嵌される2つの第二ガイド体9bは前記連結部材13の上面に夫々連結されている。
即ち、第一ガイド体8bと、第二ガイド体9bとは連結部材13を介して積層連結される構成であり、計8つのガイド体8b・9bは一体に摺動するように構成されている。
また、第一ガイドレール8aと第二ガイドレール9aとは直交状態となるように配設されている。
従って、第一ガイド体8bを摺動させることでテーブル1は第一方向Xに移動し、第二ガイド体9bを摺動させることでテーブル1は第二方向Yに移動する。
また、設置台14には、第一アクチュエータ4及び第二アクチュエータ7が、第一ガイドレール8aと並設状態(第一アクチュエータ4の直動部3の直動方向と平行)に配設されている。即ち、第一アクチュエータ4と第二アクチュエータ7とは同一平面上に設けられている。尚、第二アクチュエータ7は、第一アクチュエータ4の直動部3の直動方向と同一直線上に該第一アクチュエータ4と向かい合わせに配設する構成としても良い。
第一アクチュエータ4は、設置台14の略中程に配設された正逆回転自在のモーター2aにより回動する不動部2としての螺杆2bと、この螺杆2bに螺合して該螺杆2bの回動により該螺杆2bの軸方向へ移動する直動部3としてのナット部材とから成り、この直動部3は、第一ガイドレール8aに被嵌される第一ガイド体8bに連結された連結部材13に連結体15を介して連結されている。従って、第一アクチュエータの直動部3を移動させることで、テーブル1は第一方向Xに移動する。
第二アクチュエータ7は、正逆回転自在のモーター5aにより回動する不動部5としての螺杆5bと、この螺杆5bに嵌合して該螺杆5bの回動により該螺杆5bの軸方向へ移動する直動部6としてのナット部材とから成り、更に、この直動部6の上面には該直動部6の直動方向に対して所定の角度θを有する状態で摺動手段10aとしての第三ガイド体10aが固着されている。
この第三ガイド体10aは、テーブル1の下面に設けられ前記直動部6の直動方向に対して所定の角度θを有する状態で設けられる摺動手段10bとしての第三ガイドレール10bと嵌合される。本実施例においては、この所定の角度θは45°に設定されている。
従って、テーブル1の第二方向Yへの移動は、第二アクチュエーター7に係る直動部6を図2中左側方向へ移動させた場合、第二ガイドレール9aと第三ガイドレール10bとで誘導され図2中下側方向へ移動し、これとは反対に、直動部6を図2中右側方向へ移動させた場合には、第二ガイドレール9aと第三ガイドレール10bとで誘導され図2中上側方向へ移動することになる。
尚、本実施例は上述のように第三ガイドレール10bを直動部6の直動方向に対して45°の角度θを有する状態に設定しており、この角度θを大きくすればする程(90°に近づく程)テーブル1の第二方向Yへの移動量が多くなり、小さくすればする程(0°に近づく程)テーブル1の第二方向Yへの移動量は少なくなるものの大きな移動力が得られる。従って、角度θは45°に限られるものではないが、45°に設定した場合、平均的な移動量及び移動力が得られることになる。
図中、符号17はモーター2a,5a夫々に連設されるコードである。
また、本実施例においては、前記第二アクチュエータ7の直動部6の直動をガイドする第四摺動手段12が設けられている。具体的には、第四摺動手段12は、前記第一ガイドレール8aの内方に設けられる第四ガイドレール12aと、前記第二アクチュエータ7の直動部6に設けられ前記第四ガイドレール12aに被嵌せしめられる第四ガイド体12b(開口が側方を向く形状)とで構成されている。
従って、第二アクチュエータ7の直動部6の移動は第四摺動手段12によりガイドされ、直動部6を直動させて第三ガイドレール10bを用いてテーブル1を第二方向Yに移動させる際に第二アクチュエータ7の不動部5に作用する負荷が軽減され、該不動部5が撓むことが阻止される。
本実施例は上述のように構成したから、第一アクチュエーター4,第二アクチュエーター7を同一平面上に配するとともに、2つのテーブルを積層する必要なくテーブル1を第一方向X及び第二方向Yに移動させることができるから、特許文献1に比し更に薄型化・軽量化を図ることができ、一層第一及び第二アクチュエータにかかる負荷が軽減されより高速駆動性及び高応答性に秀れ、簡易構造にしてコスト安となる。
また、第四摺動手段12を設けたから、第二アクチュエータ7の直動部6を直動させても不動部5が撓むことが阻止され、より高精度なテーブル1の移動制御を実現できる。
また、各ガイド体を連結したから、軽量でありながら剛性に秀れた構造となり、この点からも高精度なテーブル1の移動制御を実現できる。
従って、本実施例は、更なる小型化・薄型化を実現できる極めて実用性に秀れたテーブル装置となる。
本実施例の一部を切り欠いた概略説明斜視図である。 本実施例の一部を切り欠いた概略説明平面図である。
1 テーブル
2 不動部
3 直動部
4 第一アクチュエータ
5 不動部
6 直動部
7 第二アクチュエータ
8 第一摺動手段
9 第二摺動手段
10 第三摺動手段
10a・10b 摺動手段
12 第四摺動手段

Claims (3)

  1. ワークが載置されるテーブルを具備したテーブル装置であって、第一方向X及び第二方向Yに移動するテーブルと、不動部と該不動部に対して直動する直動部とから成り前記テーブルを第一方向Xに移動させるための第一アクチュエータと、この第一アクチュエータの直動部の直動方向に平行若しくは該直動方向と同一直線上に配される不動部と該不動部に対して直動する直動部とから成り第一アクチュエータと略同一平面上に配され前記テーブルを第二方向Yに移動させるための第二アクチュエータと、前記第一アクチュエータの直動部と連設され前記テーブルを第一方向Xに摺動させるための第一摺動手段と、この第一摺動手段と連され前記テーブルを第二方向Yに摺動させるための第二摺動手段と、前記第二アクチュエータの直動部と連設される摺動手段及び前記テーブルに前記第二アクチュエータの直動部の直動方向に対して所定の角度θを有する状態で設けられ前記摺動手段と組み合わせられる摺動手段から成り前記第二摺動手段と協働して前記テーブルを第二方向Yに摺動させる第三摺動手段と、前記第二アクチュエータの直動部の直動をガイドする第四摺動手段とで構成されていることを特徴とするテーブル装置。
  2. 請求項1記載のテーブル装置において、前記所定の角度θは45°に設定されていることを特徴とするテーブル装置。
  3. 請求項1,2いずれか1項に記載のテーブル装置において、前記第二アクチュエータの前記不動部は前記第一アクチュエータの前記直動部の直動方向に平行に設けられていることを特徴とするテーブル装置。
JP2005344238A 2005-11-29 2005-11-29 テーブル装置 Expired - Fee Related JP4376225B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005344238A JP4376225B2 (ja) 2005-11-29 2005-11-29 テーブル装置
US11/531,763 US7823516B2 (en) 2005-11-29 2006-09-14 Table apparatus
EP06019569A EP1790430A1 (en) 2005-11-29 2006-09-19 Table apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005344238A JP4376225B2 (ja) 2005-11-29 2005-11-29 テーブル装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007144584A JP2007144584A (ja) 2007-06-14
JP4376225B2 true JP4376225B2 (ja) 2009-12-02

Family

ID=37776808

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005344238A Expired - Fee Related JP4376225B2 (ja) 2005-11-29 2005-11-29 テーブル装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7823516B2 (ja)
EP (1) EP1790430A1 (ja)
JP (1) JP4376225B2 (ja)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE112006003352B4 (de) * 2005-12-06 2017-05-11 Thk Co., Ltd. XY-Tisch-Stellglied
US8104752B2 (en) * 2006-03-20 2012-01-31 Boaz Eidelberg Integrated large XY rotary positioning table with virtual center of rotation
DE102008063996A1 (de) * 2008-12-19 2010-06-24 Rudi Broghammer Tisch für Objekte
CN102554638B (zh) * 2010-12-31 2016-06-29 富泰华工业(深圳)有限公司 定位机台
GB201204413D0 (en) * 2012-03-13 2012-04-25 Elopak Systems Improvements in or relating to rotary die cutting apparatus
EP3103581B1 (de) * 2015-06-11 2019-10-30 Schneeberger Holding AG Positioniervorrichtung
FR3046451B1 (fr) * 2016-01-06 2018-07-06 Micro-Controle - Spectra-Physics Systeme de generation de deplacement d'une plaque de support selon six degres de liberte.
CN107290119A (zh) * 2016-04-13 2017-10-24 富泰华工业(深圳)有限公司 抗摔损测试机构及具有该测试机构的测试装置
JP6690516B2 (ja) * 2016-12-13 2020-04-28 株式会社デンソー 移送装置
US11938677B2 (en) * 2020-05-14 2024-03-26 John Martin Harra Positioning system

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3495519A (en) * 1967-02-01 1970-02-17 Microform Data Systems Xy table
JPS55134414A (en) 1979-04-06 1980-10-20 Hitachi Ltd Precise moving unit
JPS61230829A (ja) 1985-04-04 1986-10-15 Toshiba Mach Co Ltd ステ−ジ装置
NL8700445A (nl) 1986-02-28 1987-09-16 Nippon Seiko Kk Positioneertafel voor een samengestelde beweging.
KR0129662B1 (ko) * 1987-10-30 1998-04-07 고다까 토시오 이동 테이블 장치
JP2557316Y2 (ja) * 1990-02-28 1997-12-10 エヌティエヌ 株式会社 移動テーブル
DE4107881C2 (de) * 1990-03-13 1997-04-17 Ntn Toyo Bearing Co Ltd Verstellbarer Tisch
JPH05277870A (ja) * 1992-03-27 1993-10-26 Nippon Thompson Co Ltd 駆動装置及びこれを具備したxy駆動装置
JPH05280610A (ja) * 1992-03-31 1993-10-26 Nippon Seiko Kk 位置決めテーブル装置
JPH0818210B2 (ja) * 1992-05-15 1996-02-28 健 柳沢 2次元運動機構
JP3346838B2 (ja) * 1993-06-29 2002-11-18 有限会社創造庵 回転運動機構
JP3459315B2 (ja) * 1994-07-11 2003-10-20 日本トムソン株式会社 ボールねじを具備した駆動装置及び該駆動装置を含むxy駆動装置
JP3878252B2 (ja) * 1996-07-19 2007-02-07 日本ベアリング株式会社 テーブル装置
JP3966921B2 (ja) 1996-07-19 2007-08-29 日本ベアリング株式会社 テーブル装置
US5724893A (en) * 1996-10-15 1998-03-10 Taichung Machinery Works Co. Ltd. Servo-type shaking table assembly
JPH11300557A (ja) * 1998-04-15 1999-11-02 Thk Co Ltd 移動テーブル装置
ES2210703T3 (es) * 1998-07-14 2004-07-01 Kummer Freres Sa, Fabrique De Machines Dispositivo de accionamiento de una plataforma para desplazamiento en un plano.
JP2000230991A (ja) * 1999-02-12 2000-08-22 Takeshi Yanagisawa 2次元運動機構
JP4485138B2 (ja) * 2003-03-31 2010-06-16 日本トムソン株式会社 2軸直動・旋回案内ユニット及びそれを用いたテーブル装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007144584A (ja) 2007-06-14
US7823516B2 (en) 2010-11-02
US20070119347A1 (en) 2007-05-31
EP1790430A1 (en) 2007-05-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4376225B2 (ja) テーブル装置
JP6480905B2 (ja) ロボットハンド
WO2005124789A1 (ja) Xyガイドテーブル
WO2008149718A1 (ja) Xyテーブルアクチュエータ
US10023392B2 (en) Belt driven linear actuator
US6634204B2 (en) Sheet metal follower for a bending press
JP2005297189A (ja) Xyテーブル装置
JP3344900B2 (ja) 直角座標型ロボット
JP2000230548A (ja) 曲線レールを用いた三次元案内装置
JP2007245828A (ja) ラック受けシート、サポートヨーク及び舵取装置
CN114280899A (zh) 一种输入输出同向或反向的模块化差动柔性位移缩小机构
KR20120017281A (ko) 얼라인 스테이지 시스템
JPH08118171A (ja) 水平移動テーブル
JP2011038538A (ja) スライド機構
CN114337364B (zh) 一种输入输出非同向的差动柔性位移缩小机构
JP2014084975A (ja) 直動テーブル装置及び直動テーブル装置のボールねじサポート機構
JP3803263B2 (ja) XYθテーブル
US11331712B2 (en) Transfer mechanism and transfer device
JP2004242493A5 (ja)
JP7180895B2 (ja) 位置決めテーブル
WO2021161872A1 (ja) アライメント装置、アクチュエータ
JP2015150626A (ja) ワーク移動装置
JP2010064135A (ja) 駆動ユニット
KR101738437B1 (ko) 벨트 구동 선형 액추에이터
JP3123014U (ja) リフトアクチュエータ

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090513

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090518

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090717

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090810

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090908

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120918

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120918

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130918

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees