JPS61230829A - ステ−ジ装置 - Google Patents
ステ−ジ装置Info
- Publication number
- JPS61230829A JPS61230829A JP7001185A JP7001185A JPS61230829A JP S61230829 A JPS61230829 A JP S61230829A JP 7001185 A JP7001185 A JP 7001185A JP 7001185 A JP7001185 A JP 7001185A JP S61230829 A JPS61230829 A JP S61230829A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- power transmission
- transmission means
- motor
- cam
- Prior art date
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- Pending
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
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- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
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- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/58—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
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- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/183—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions conveying only reciprocating motion, e.g. wedges
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はたとえば荷電粒子ビーム描画装置に備えられ被
描画材を載置させるステージ装置に関する。
描画材を載置させるステージ装置に関する。
従来におけるステージ装置としてはたとえば第４図に示
すようなものが知られている。すなわち、図中１は真空
容器で、この真空容器！内には、Ｙステージ２がスライ
ド自在に設けられ、とのＹステージ２の上面部にはＹス
テージ２のスライド方向と直交する方向にスライド自在
にＸステージ３が設けられている。また、上記Ｙステー
ジ２の一側部には接続管４を介してゾールナツト５が接
続され、このゾールナツト５にはＹモータ６の出力シャ
フト７が螺挿されている。
すようなものが知られている。すなわち、図中１は真空
容器で、この真空容器！内には、Ｙステージ２がスライ
ド自在に設けられ、とのＹステージ２の上面部にはＹス
テージ２のスライド方向と直交する方向にスライド自在
にＸステージ３が設けられている。また、上記Ｙステー
ジ２の一側部には接続管４を介してゾールナツト５が接
続され、このゾールナツト５にはＹモータ６の出力シャ
フト７が螺挿されている。
また、上記Ｘステー−）３には接続管８を介してメール
ナツト９が接続され、このメールナツト９にはＸモータ
１０の出力シャ７ト１１が螺挿されている。上記接続管
８とＸステージ３の接続部には一対のローラｚ２．１３
が装着され、これらローラ１２，１３によυＸステージ
３の側板１４が挾持されており、Ｘステー−）３のＹ方
向の動きを束縛することのないようになっている。
ナツト９が接続され、このメールナツト９にはＸモータ
１０の出力シャ７ト１１が螺挿されている。上記接続管
８とＸステージ３の接続部には一対のローラｚ２．１３
が装着され、これらローラ１２，１３によυＸステージ
３の側板１４が挾持されており、Ｘステー−）３のＹ方
向の動きを束縛することのないようになっている。
まだ、上記接続管４．８を挿通させる容器Ｉの側面の開
口部Ｉ５．１６はそれぞれベローズＩ７．１８によって
閉塞され、これらベローズ１７、Ｉ８は接続管４．８の
移動に伴って伸縮するようになっている。
口部Ｉ５．１６はそれぞれベローズＩ７．１８によって
閉塞され、これらベローズ１７、Ｉ８は接続管４．８の
移動に伴って伸縮するようになっている。
しかして、Ｙステー−）２を移動させる場合には、Ｙモ
ータ６が作動されてその出力シャフト７が正、逆回転さ
れ、これにより、接続管４を介してＹステージ２が矢印
Ｙ方向に移動される。
ータ６が作動されてその出力シャフト７が正、逆回転さ
れ、これにより、接続管４を介してＹステージ２が矢印
Ｙ方向に移動される。
また、Ｘステージ３を移動させる場合には、Ｘモータ！
０が作動されてその出力シャフトＩＩが正、逆回転され
、これにより、接続管８を介してＸステージ３が矢印Ｘ
方向に移動される。
０が作動されてその出力シャフトＩＩが正、逆回転され
、これにより、接続管８を介してＸステージ３が矢印Ｘ
方向に移動される。
このＸＳＹステージ３．２の移動によシＸステージ３上
に載置された被描画材に対し荷電粒子ビームが走査され
所望する・リーンが描画されることになる。
に載置された被描画材に対し荷電粒子ビームが走査され
所望する・リーンが描画されることになる。
しかしながら、従来においては、Ｘ、Ｙステージ３．２
の駆動手段をＸ、Ｙ方向にそれぞれ配置するため、配置
スペースが広く必要となり、装置が大形化してしまう不
都合があった。
の駆動手段をＸ、Ｙ方向にそれぞれ配置するため、配置
スペースが広く必要となり、装置が大形化してしまう不
都合があった。
本発明は上記事情に着目してなされたもので、その目的
とするところは、第１および第２の駆動源およびその動
力伝達手段の配置スペースを小とするステージ装置を提
供しようとするものである。
とするところは、第１および第２の駆動源およびその動
力伝達手段の配置スペースを小とするステージ装置を提
供しようとするものである。
本発明は上記目的を達成するため、第２のステージに動
力を伝達する第２の動力伝達手段に動力伝達方向を第１
のステージの移動方向と直交する方向に変換する変換機
構を設けることによシ、第１および第２の駆動源および
その動力伝達手段を同一方向に配置できるようにしたも
のである。
力を伝達する第２の動力伝達手段に動力伝達方向を第１
のステージの移動方向と直交する方向に変換する変換機
構を設けることによシ、第１および第２の駆動源および
その動力伝達手段を同一方向に配置できるようにしたも
のである。
以下、本発明を第１図および第２図に示す一実施例を参
照して説明する。図中２１は真空容器で、この真空容器
２１内には基台２２が設けられている。この基台２２の
上面にはレール２３．２３が設けられ、このレール２３
．２３上に第１のステージとしてのＹステージ２４が矢
印Ｙ方向に移動自在に設けられている。また、上記Ｙス
テー２２４の上面部にはベアリング２５を介して第２の
ステージとしてのＸステージ２６がＹステー−）２４の
移動方向と直交する方向にスライド自在に設けられてい
る。また、上記Ｙステージ２４の一側面部には第２の動
力伝達手段Ａを構成する接続管２７の一端部が接続され
、この接続管２７の他端側は上記容器２Ｉの側面部に穿
設された開口部２８から外部へ突出されて支持板２９に
連結されている。前記支持板２９には第２の駆動源とし
てのＸモータ３０が支持され、とのＸモータ３０の出力
シャフト３１にはメールねじ３２が形成されている。こ
のｙｌ？ −ルねじ３２は上記接続管２７内に挿通され
るとともに上記Ｙステージ２４の両側板２４ａ。
照して説明する。図中２１は真空容器で、この真空容器
２１内には基台２２が設けられている。この基台２２の
上面にはレール２３．２３が設けられ、このレール２３
．２３上に第１のステージとしてのＹステージ２４が矢
印Ｙ方向に移動自在に設けられている。また、上記Ｙス
テー２２４の上面部にはベアリング２５を介して第２の
ステージとしてのＸステージ２６がＹステー−）２４の
移動方向と直交する方向にスライド自在に設けられてい
る。また、上記Ｙステージ２４の一側面部には第２の動
力伝達手段Ａを構成する接続管２７の一端部が接続され
、この接続管２７の他端側は上記容器２Ｉの側面部に穿
設された開口部２８から外部へ突出されて支持板２９に
連結されている。前記支持板２９には第２の駆動源とし
てのＸモータ３０が支持され、とのＸモータ３０の出力
シャフト３１にはメールねじ３２が形成されている。こ
のｙｌ？ −ルねじ３２は上記接続管２７内に挿通され
るとともに上記Ｙステージ２４の両側板２４ａ。
２４１間に架設された状態になりている。
また、上記メールねじ３２には第２図にも示すように、
変換機構Ｂを構成するカム受け３３が螺着され、このカ
ム受け３３は上記メールねじ３２の回転によＩＹ方向に
移動するようになっている。そして、このカム受け３３
の上面部には複数個のローラ３４・・・が配設されこれ
らローラ３４・・・間に上記♂−ルねじ３２に対し略４
５゜傾斜した状態で、カム板３５が挾持されている。
変換機構Ｂを構成するカム受け３３が螺着され、このカ
ム受け３３は上記メールねじ３２の回転によＩＹ方向に
移動するようになっている。そして、このカム受け３３
の上面部には複数個のローラ３４・・・が配設されこれ
らローラ３４・・・間に上記♂−ルねじ３２に対し略４
５゜傾斜した状態で、カム板３５が挾持されている。
このカム板３５は上記Ｘステージ２６の裏面部に一体的
に設けられている。
に設けられている。
一方、上記Ｘモータ３０の支持板２９の下面部にはぎ一
ルナット３６が取着され、このメールナツト３６には第
１の駆動源としてのＹモータ３７によって回転される第
１の動力伝達手段Ｃを構成するゾールねじ３８が螺挿さ
れている。
ルナット３６が取着され、このメールナツト３６には第
１の駆動源としてのＹモータ３７によって回転される第
１の動力伝達手段Ｃを構成するゾールねじ３８が螺挿さ
れている。
しかして、Ｙステージ２４を移動させる場合には、Ｘモ
ータ３７を作動させてそのぜ−ルねじ３８を正、逆回転
させる。これにより、支持板２９が移動され、接続管２
７を介してＹステージ２４がＹ方向に移動される。
ータ３７を作動させてそのぜ−ルねじ３８を正、逆回転
させる。これにより、支持板２９が移動され、接続管２
７を介してＹステージ２４がＹ方向に移動される。
また、Ｘステージ２６を移動させる場合には、Ｘモータ
３０を作動させてそのゾールねじ３２を正、逆回転させ
る。これにより、カム受け３３が移動され、そのローラ
３４・・・によりカム板３５が押圧される。この押圧力
はカム板３５によシＹ方向と直交する方向すなわちＸ方
向に変換されてＸステー・２２６に伝達され、Ｘステー
ジ２６がＸ方向に移動されることになる。
３０を作動させてそのゾールねじ３２を正、逆回転させ
る。これにより、カム受け３３が移動され、そのローラ
３４・・・によりカム板３５が押圧される。この押圧力
はカム板３５によシＹ方向と直交する方向すなわちＸ方
向に変換されてＸステー・２２６に伝達され、Ｘステー
ジ２６がＸ方向に移動されることになる。
上述したように、この実施例によれば、Ｘモータ３０か
ら供給される動力をカム板３５によりＹ方向と直交する
方向（Ｘ方向）に変換してＸテーブル２６に伝達させる
ため、Ｘモータ３０をＸモータ３７と同一の方向（Ｙ方
向）に配置でき、従来のようにＸ、Ｙモータをそれぞれ
Ｘ。
ら供給される動力をカム板３５によりＹ方向と直交する
方向（Ｘ方向）に変換してＸテーブル２６に伝達させる
ため、Ｘモータ３０をＸモータ３７と同一の方向（Ｙ方
向）に配置でき、従来のようにＸ、Ｙモータをそれぞれ
Ｘ。
Ｙ方向に配置する場合と比較し、著しく配置スペースを
低減できる。
低減できる。
また、ベローズ２７の数も一個でよく、部品点数を低減
でき、構造的に簡略化する。
でき、構造的に簡略化する。
なお、上記一実施例においてはカム板３５として直線カ
ムが用いられ、Ｘモータ３０の回転角に比例したＸ方向
の運動を得ることができる。
ムが用いられ、Ｘモータ３０の回転角に比例したＸ方向
の運動を得ることができる。
また、このカム板３５をローラ３４・・・で挾持する際
に、プリロードを加えておくと、？−ルねじ３２の通常
のグリロード方法と合せてパックラッシェのない伝達系
を構成することができる。
に、プリロードを加えておくと、？−ルねじ３２の通常
のグリロード方法と合せてパックラッシェのない伝達系
を構成することができる。
なお、本発明は上記一実施例に限られるものではなく、
第３図に示すように、構成してもよい。すなわち、Ｘモ
ータ４１に隣接してＸモータ４２を設け、このＸモータ
４２によシスプラインまたはすべりキーなどの軸方向に
は自由で回転のみを伝達する軸４３を回転させ、Ｙステ
ージ２４ｔｌＣ回転自在に取付けられ前記軸４ｓｔｃ対
してＹ方向に摺動しつつ回転する歯車４４を介してＹス
テージ２４に設けられたＸが一部ねじ４５を回転させる
。これによってゾールナツトに取付けられたカム受け３
３をＹ方向に移動させる（ぜ−ルナットは図示していな
い所で回転止めされている）。これにより、カム板３５
が押圧されＸステー−）２６がＸ方向に移動されること
になる。
第３図に示すように、構成してもよい。すなわち、Ｘモ
ータ４１に隣接してＸモータ４２を設け、このＸモータ
４２によシスプラインまたはすべりキーなどの軸方向に
は自由で回転のみを伝達する軸４３を回転させ、Ｙステ
ージ２４ｔｌＣ回転自在に取付けられ前記軸４ｓｔｃ対
してＹ方向に摺動しつつ回転する歯車４４を介してＹス
テージ２４に設けられたＸが一部ねじ４５を回転させる
。これによってゾールナツトに取付けられたカム受け３
３をＹ方向に移動させる（ぜ−ルナットは図示していな
い所で回転止めされている）。これにより、カム板３５
が押圧されＸステー−）２６がＸ方向に移動されること
になる。
なお、図中４７は真空シールである。
前述した実施例は、変換機構Ｂとしてカム板３５を用い
た例を示したが、カムに限らず種々のものを用いること
ができる。また、前述した実施例は、Ｘステージ２６に
動力を伝達するだめの？−ルネゾ３２．４５をＹステー
ジ２４と一体的に移動可能に設けた例を示したが、変換
機構Ｂとして本実施例のようにカムを用いた場合には、
？−ルネノ３２．４５を真空容器２１側に取付け、Ｙス
テージ２４の移動に同期して該ゾールネジ３２．４５を
駆動することによりＸステージ２６をＹステージ２４と
一体的に移動させるようにしてもよい。
た例を示したが、カムに限らず種々のものを用いること
ができる。また、前述した実施例は、Ｘステージ２６に
動力を伝達するだめの？−ルネゾ３２．４５をＹステー
ジ２４と一体的に移動可能に設けた例を示したが、変換
機構Ｂとして本実施例のようにカムを用いた場合には、
？−ルネノ３２．４５を真空容器２１側に取付け、Ｙス
テージ２４の移動に同期して該ゾールネジ３２．４５を
駆動することによりＸステージ２６をＹステージ２４と
一体的に移動させるようにしてもよい。
本発明はその他要旨の範囲内で種々変形実施可能なこと
は勿論である。
は勿論である。
本発明は以上説明したように、第２のステージに動力を
伝達する第２の動力伝達手段に動力伝達方向を第１のス
テージの移動方向と直交する方向に変換する変換機構を
設けたから、第１および第２の駆動源およびその動力伝
達手段を同一方向に配置でき、その配置ス（−スを低減
して小形化できるという効果を奏する。
伝達する第２の動力伝達手段に動力伝達方向を第１のス
テージの移動方向と直交する方向に変換する変換機構を
設けたから、第１および第２の駆動源およびその動力伝
達手段を同一方向に配置でき、その配置ス（−スを低減
して小形化できるという効果を奏する。
第１図は本発明の一実施例であるステージ装置を示す概
略的構成図、第２図はその一部を破断して示す平面図、
第３図は本発明の他の実施例を示す概略的構成図、第４
図は従来のステージ装置を示す概略的構成図である。 ２４・・・Ｙステージ（第１のステージ）、２６・・・
Ｘステージ（第２のステージ）、Ｃ・・・第１の動力伝
達手段、３２・・・Ｙモータ（第１の駆動源）、Ａ・・
・第２の動力伝達手段、３０・・・Ｘモー°夕（第２の
駆動源）、Ｂ・・・変換機構。
略的構成図、第２図はその一部を破断して示す平面図、
第３図は本発明の他の実施例を示す概略的構成図、第４
図は従来のステージ装置を示す概略的構成図である。 ２４・・・Ｙステージ（第１のステージ）、２６・・・
Ｘステージ（第２のステージ）、Ｃ・・・第１の動力伝
達手段、３２・・・Ｙモータ（第１の駆動源）、Ａ・・
・第２の動力伝達手段、３０・・・Ｘモー°夕（第２の
駆動源）、Ｂ・・・変換機構。
Claims (3)
- （１）一方向に移動自在な第１のステージと、この第１
のステージ上に設けられその移動方向と直交する方向に
移動自在な第２のステージと、上記第１のステージに第
１の動力伝達手段を介して動力を供給する第１の駆動源
と、上記第２のステージに第２の動力伝達手段を介して
動力を供給する第２の駆動源を備え、前記第２の動力伝
達手段にその動力伝達方向を上記第１のステージの移動
方向からこれと直交する方向に変換する変換機構を設け
たことを特徴とするステージ装置。 - （２）変換機構はカムによって構成されたことを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載のステージ装置。 - （３）第２の動力伝達手段の第１のステージの移動方向
に伸びる動力伝達部材が第１のステージと一体的に移動
可能に設けられたことを特徴とする特許請求の範囲第１
または２項記載のステージ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7001185A JPS61230829A (ja) | 1985-04-04 | 1985-04-04 | ステ−ジ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7001185A JPS61230829A (ja) | 1985-04-04 | 1985-04-04 | ステ−ジ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61230829A true JPS61230829A (ja) | 1986-10-15 |
Family
ID=13419231
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7001185A Pending JPS61230829A (ja) | 1985-04-04 | 1985-04-04 | ステ−ジ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61230829A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2655284A1 (fr) * | 1989-12-01 | 1991-06-07 | Vincenzi Henri De | Table a deux deplacements orthogonaux a commande informatisee notamment pour microscope. |
| JPH08252733A (ja) * | 1993-12-28 | 1996-10-01 | Hiihaisuto Seiko Kk | テーブルの縦横移動機構 |
| EP0972608A1 (fr) * | 1998-07-14 | 2000-01-19 | Kummer Frères SA, Fabrique de machines | Dispositif d'entraínement d'une plateforme en déplacement dans un plan |
| US7823516B2 (en) | 2005-11-29 | 2010-11-02 | Nippon Bearing Co., Ltd. | Table apparatus |
-
1985
- 1985-04-04 JP JP7001185A patent/JPS61230829A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2655284A1 (fr) * | 1989-12-01 | 1991-06-07 | Vincenzi Henri De | Table a deux deplacements orthogonaux a commande informatisee notamment pour microscope. |
| WO1991008083A1 (fr) * | 1989-12-01 | 1991-06-13 | Microcel | Table pour le deplacement d'un objet suivant deux directions |
| JPH08252733A (ja) * | 1993-12-28 | 1996-10-01 | Hiihaisuto Seiko Kk | テーブルの縦横移動機構 |
| EP0972608A1 (fr) * | 1998-07-14 | 2000-01-19 | Kummer Frères SA, Fabrique de machines | Dispositif d'entraínement d'une plateforme en déplacement dans un plan |
| US6186024B1 (en) * | 1998-07-14 | 2001-02-13 | Kummer Freres S.A. /Fabrique De Machines | Driving device for displacing a platform in a plane |
| US7823516B2 (en) | 2005-11-29 | 2010-11-02 | Nippon Bearing Co., Ltd. | Table apparatus |
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