JPH08252733A - テーブルの縦横移動機構 - Google Patents
テーブルの縦横移動機構Info
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- JPH08252733A JPH08252733A JP33784693A JP33784693A JPH08252733A JP H08252733 A JPH08252733 A JP H08252733A JP 33784693 A JP33784693 A JP 33784693A JP 33784693 A JP33784693 A JP 33784693A JP H08252733 A JPH08252733 A JP H08252733A
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- support base
- guide rails
- guide
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- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 精密作業に適用可能なテーブルの縦横移動機
構を提供する。 【構成】 支持台２とＸＹ移動テーブル３とを備え、支
持台２およびテーブル３の互いに対向する面に、案内レ
ール４、５を配設し、支持台２における案内レール４上
に、互いに直角状に交叉させると共に、案内レール４上
を直動案内軸受６ａ〜６ｄ、７ａ〜７ｄを介して移動自
在に第１、第２のブリッジ８、９を架け渡し、この第
１、第２ブリッジ８、９のテーブル３に対向する面に、
角度θ偏向させて直動案内軸受１０ａ〜１０ｄ、１１ａ
〜１１ｄを介し、テーブル３における案内レール５上を
移動自在に係止してテーブル３を支持し、テーブル３を
走行させるための直動駆動機構１２を設ける。 【効果】 機構の専有スペースが小さく、また部品点数
が少なく、組立て工数もかからず、組立精度の確保も容
易である。
構を提供する。 【構成】 支持台２とＸＹ移動テーブル３とを備え、支
持台２およびテーブル３の互いに対向する面に、案内レ
ール４、５を配設し、支持台２における案内レール４上
に、互いに直角状に交叉させると共に、案内レール４上
を直動案内軸受６ａ〜６ｄ、７ａ〜７ｄを介して移動自
在に第１、第２のブリッジ８、９を架け渡し、この第
１、第２ブリッジ８、９のテーブル３に対向する面に、
角度θ偏向させて直動案内軸受１０ａ〜１０ｄ、１１ａ
〜１１ｄを介し、テーブル３における案内レール５上を
移動自在に係止してテーブル３を支持し、テーブル３を
走行させるための直動駆動機構１２を設ける。 【効果】 機構の専有スペースが小さく、また部品点数
が少なく、組立て工数もかからず、組立精度の確保も容
易である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、精密測定器具、精密加
工機械、ＩＣ製造やバイオテクノロジー等における顕微
鏡下の作業等、精密作業に適用可能な縦横移動テーブ
ル、すなわち、ＸＹ移動テーブルにおけるテーブルの縦
横移動機構に関するものである。
工機械、ＩＣ製造やバイオテクノロジー等における顕微
鏡下の作業等、精密作業に適用可能な縦横移動テーブ
ル、すなわち、ＸＹ移動テーブルにおけるテーブルの縦
横移動機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のＸＹ移動テーブルにおいては、左
右の一対の直動案内軸と一つの送りねじ機構により一方
向に移動可能に構成した一軸移動機構の２組を、その移
動方向が直交するように、上下に重ねて組み合わせるこ
とによりテーブルを縦横に移動可能に構成している。か
かる構成では、支持台からテーブルまでの高さが高く
不安定、機構の専有スペースが大きい、部品点数が
多い、組立て工数がかかる、そして組立て精度を確
保するのが比較的難しい、という、種々の問題点があっ
た。
右の一対の直動案内軸と一つの送りねじ機構により一方
向に移動可能に構成した一軸移動機構の２組を、その移
動方向が直交するように、上下に重ねて組み合わせるこ
とによりテーブルを縦横に移動可能に構成している。か
かる構成では、支持台からテーブルまでの高さが高く
不安定、機構の専有スペースが大きい、部品点数が
多い、組立て工数がかかる、そして組立て精度を確
保するのが比較的難しい、という、種々の問題点があっ
た。
【０００３】そこで、本出願人は、かかる課題を改善す
べく、テーブルを案内方向が直交する２組の直動案内軸
受機構を介して支持台に支持すると共に、該支持台に、
前記テーブルを、一方の組の前記軸受機構を介して他方
の組の該軸受機構に沿って移動させる駆動機構を構成し
たものを既に提案している（特願昭６３−６７５５８号
公報）。
べく、テーブルを案内方向が直交する２組の直動案内軸
受機構を介して支持台に支持すると共に、該支持台に、
前記テーブルを、一方の組の前記軸受機構を介して他方
の組の該軸受機構に沿って移動させる駆動機構を構成し
たものを既に提案している（特願昭６３−６７５５８号
公報）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】かかる構成によれば、
従来の問題点である支持台からテーブルまでの高さを抑
えることができ、安定性が確保され、機構の専有スペー
スの抑制、部品点数を少なくすることができると共に、
工程数の軽減、組立精度の確保という本来の目的を達成
することができるというものであるが、本出願人は、さ
らに前述の効果をもたらすために、特願昭６３−６７５
５８号公報にかかるテーブルの縦横移動機構とは異なる
他の機構、構成を提案するに至ったのである。本発明は
以上のような背景から提案されたものである。
従来の問題点である支持台からテーブルまでの高さを抑
えることができ、安定性が確保され、機構の専有スペー
スの抑制、部品点数を少なくすることができると共に、
工程数の軽減、組立精度の確保という本来の目的を達成
することができるというものであるが、本出願人は、さ
らに前述の効果をもたらすために、特願昭６３−６７５
５８号公報にかかるテーブルの縦横移動機構とは異なる
他の機構、構成を提案するに至ったのである。本発明は
以上のような背景から提案されたものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記した課題を解決する
ために、本発明は、支持台と支持台上を縦横に移動可能
に構成したＸＹ移動テーブルにおいて、前記支持台およ
びテーブルの互いに対向する面に、方形状に案内レール
を配設し、支持台における案内レール上に、互いに直角
状に交叉させると共に、案内レール上を直動案内軸受を
介して移動自在に第１のブリッジ並びに第２のブリッジ
を架け渡し、これら第１ブリッジ並びに第２ブリッジの
テーブルまたは支持台に対向する面において直動案内軸
受を介してテーブルまたは支持台における案内レール上
を移動自在に支持するようにし、前記支持台上に、第１
ブリッジ並びに第２ブリッジを案内レール上において走
行動作を行わせるための直動駆動機構を設けたものであ
る。前述の構成において、直動駆動機構は、支持台に、
少なくとも互いに直交する２軸方向に指向するねじシャ
フトと、ねじシャフトを回動駆動する駆動源とを具備
し、これらねじシャフトを、めねじを介して第１ブリッ
ジ並びに第２ブリッジに、第１ブリッジ並びに第２ブリ
ッジを移動駆動するべく挿通構成したものである。ま
た、支持台およびテーブルにおける案内レールは、互い
に所定角度形成するように交叉させたものである。さら
に本発明は、支持台と支持台上を縦横に移動可能に構成
したＸＹ移動テーブルにおいて、前記支持台およびテー
ブルの互いに対向する面に方形状に案内レールを配設
し、これら案内レールのうち、互いに対向する一対の案
内レール上に直動案内軸受を介してコ型形状の第１のブ
リッジ並びに第２のブリッジの一対のアームをそれぞれ
移動自在に装着すると共にこれら第１ブリッジ並びに第
２ブリッジに互いに一対の案内レール上に沿って走行さ
せるための直動駆動機構を取り付け、前記第１ブリッジ
並びに第２ブリッジの一対のアームのテーブルに対向す
る面にアームの軸方向に対して所定角度なすように直動
案内軸受を一対ずつ連設してこれら直動案内軸受にテー
ブルをテーブルの案内レールを介して装着することを特
徴とするものである。また、前記支持台およびテーブル
の中央部に機材取り付けのための空間とテーブルの中央
部に貫通穴を形成することができる。
ために、本発明は、支持台と支持台上を縦横に移動可能
に構成したＸＹ移動テーブルにおいて、前記支持台およ
びテーブルの互いに対向する面に、方形状に案内レール
を配設し、支持台における案内レール上に、互いに直角
状に交叉させると共に、案内レール上を直動案内軸受を
介して移動自在に第１のブリッジ並びに第２のブリッジ
を架け渡し、これら第１ブリッジ並びに第２ブリッジの
テーブルまたは支持台に対向する面において直動案内軸
受を介してテーブルまたは支持台における案内レール上
を移動自在に支持するようにし、前記支持台上に、第１
ブリッジ並びに第２ブリッジを案内レール上において走
行動作を行わせるための直動駆動機構を設けたものであ
る。前述の構成において、直動駆動機構は、支持台に、
少なくとも互いに直交する２軸方向に指向するねじシャ
フトと、ねじシャフトを回動駆動する駆動源とを具備
し、これらねじシャフトを、めねじを介して第１ブリッ
ジ並びに第２ブリッジに、第１ブリッジ並びに第２ブリ
ッジを移動駆動するべく挿通構成したものである。ま
た、支持台およびテーブルにおける案内レールは、互い
に所定角度形成するように交叉させたものである。さら
に本発明は、支持台と支持台上を縦横に移動可能に構成
したＸＹ移動テーブルにおいて、前記支持台およびテー
ブルの互いに対向する面に方形状に案内レールを配設
し、これら案内レールのうち、互いに対向する一対の案
内レール上に直動案内軸受を介してコ型形状の第１のブ
リッジ並びに第２のブリッジの一対のアームをそれぞれ
移動自在に装着すると共にこれら第１ブリッジ並びに第
２ブリッジに互いに一対の案内レール上に沿って走行さ
せるための直動駆動機構を取り付け、前記第１ブリッジ
並びに第２ブリッジの一対のアームのテーブルに対向す
る面にアームの軸方向に対して所定角度なすように直動
案内軸受を一対ずつ連設してこれら直動案内軸受にテー
ブルをテーブルの案内レールを介して装着することを特
徴とするものである。また、前記支持台およびテーブル
の中央部に機材取り付けのための空間とテーブルの中央
部に貫通穴を形成することができる。
【０００６】
【作用】一つの直動駆動機構を起動して支持台又はテー
ブルの案内レール上を、例えば第１ブリッジを移動させ
ると、第１ブリッジにおけるテーブルを支持している直
動案内軸受が、追随移動し、これによってテーブルは前
記直動案内軸受から力を受けるので、テーブルは案内レ
ールに沿っていずれかの方向に移動する。この際、支持
台およびテーブルにおける案内レールが角度θで交叉し
ており、第１ブリッジの移動距離がＡであるとすると、
テーブルの移動距離Ｘは、 Ｘ＝Ａｓｉｎθ ということになる。また、第２ブリッジの移動距離がＢ
であるとすると、テーブルの移動距離Ｙは、 Ｙ＝Ｂｓｉｎθ ということになる。そして、第１ブリッジおよび第２ブ
リッジを同時に動かすこともできる。このように、テー
ブルは、支持台およびテーブルにおける案内レールの交
叉角度θ、並びに第１ブリッジの移動距離Ａと第２ブリ
ッジの移動距離がＢとによって、テーブルの位置決めが
自在に設定することができる。さらに、前記第１ブリッ
ジおよび第２ブリッジをコ型形状とすると、支持台およ
びテーブルの中央部に空間ができ、テーブル中央に機
材、例えばカメラ等を取り付けることができる。
ブルの案内レール上を、例えば第１ブリッジを移動させ
ると、第１ブリッジにおけるテーブルを支持している直
動案内軸受が、追随移動し、これによってテーブルは前
記直動案内軸受から力を受けるので、テーブルは案内レ
ールに沿っていずれかの方向に移動する。この際、支持
台およびテーブルにおける案内レールが角度θで交叉し
ており、第１ブリッジの移動距離がＡであるとすると、
テーブルの移動距離Ｘは、 Ｘ＝Ａｓｉｎθ ということになる。また、第２ブリッジの移動距離がＢ
であるとすると、テーブルの移動距離Ｙは、 Ｙ＝Ｂｓｉｎθ ということになる。そして、第１ブリッジおよび第２ブ
リッジを同時に動かすこともできる。このように、テー
ブルは、支持台およびテーブルにおける案内レールの交
叉角度θ、並びに第１ブリッジの移動距離Ａと第２ブリ
ッジの移動距離がＢとによって、テーブルの位置決めが
自在に設定することができる。さらに、前記第１ブリッ
ジおよび第２ブリッジをコ型形状とすると、支持台およ
びテーブルの中央部に空間ができ、テーブル中央に機
材、例えばカメラ等を取り付けることができる。
【０００７】
【実施例】次に、本発明にかかるテーブルの縦横移動機
構の一実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら説明す
る。図１にテーブルの縦横移動機構１を示し、このテー
ブルの縦横移動機構１は、支持台２と支持台２上を縦横
に移動可能に構成したＸＹ移動テーブル３を有する。前
記支持台２およびテーブル３の互いに対向する面には、
方形状に案内レール４、５が配設され、支持台２におけ
る案内レール４上に、互いに直角状に交叉させると共
に、案内レール４上を直動案内軸受６ａ、６ｂ、６ｃ、
６ｄ、７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄを介して移動自在に第１
のブリッジ８並びに第２のブリッジ９を架け渡してい
る。これら第１ブリッジ８並びに第２ブリッジ９のテー
ブル３に対向する面には、図２に示すように、前述の支
持台２に対向する面に設けた直動案内軸受６ａ、６ｂ、
直動案内軸受６ｃ、６ｄ、直動案内軸受７ａ、７ｂ、直
動案内軸受７ｃ、７ｄに対してそれぞれ角度θ偏向させ
て直動案内軸受１０ａ、１０ｂ、直動案内軸受１０ｃ、
１０ｄ、直動案内軸受１１ａ、１１ｂ、直動案内軸受１
１ｃ、１１ｄが載置され、これら直動案内軸受１０ａ〜
１０ｄ、直動案内軸受１１ａ〜１１ｄがテーブル３にお
ける案内レール５上を移動自在に係止してテーブル３を
支持するようにしている。また、前記支持台２上に、第
１ブリッジ８並びに第２ブリッジ９を案内レール４上に
おいて走行動作を行わせるための直動駆動機構１２が設
けられている。
構の一実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら説明す
る。図１にテーブルの縦横移動機構１を示し、このテー
ブルの縦横移動機構１は、支持台２と支持台２上を縦横
に移動可能に構成したＸＹ移動テーブル３を有する。前
記支持台２およびテーブル３の互いに対向する面には、
方形状に案内レール４、５が配設され、支持台２におけ
る案内レール４上に、互いに直角状に交叉させると共
に、案内レール４上を直動案内軸受６ａ、６ｂ、６ｃ、
６ｄ、７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄを介して移動自在に第１
のブリッジ８並びに第２のブリッジ９を架け渡してい
る。これら第１ブリッジ８並びに第２ブリッジ９のテー
ブル３に対向する面には、図２に示すように、前述の支
持台２に対向する面に設けた直動案内軸受６ａ、６ｂ、
直動案内軸受６ｃ、６ｄ、直動案内軸受７ａ、７ｂ、直
動案内軸受７ｃ、７ｄに対してそれぞれ角度θ偏向させ
て直動案内軸受１０ａ、１０ｂ、直動案内軸受１０ｃ、
１０ｄ、直動案内軸受１１ａ、１１ｂ、直動案内軸受１
１ｃ、１１ｄが載置され、これら直動案内軸受１０ａ〜
１０ｄ、直動案内軸受１１ａ〜１１ｄがテーブル３にお
ける案内レール５上を移動自在に係止してテーブル３を
支持するようにしている。また、前記支持台２上に、第
１ブリッジ８並びに第２ブリッジ９を案内レール４上に
おいて走行動作を行わせるための直動駆動機構１２が設
けられている。
【０００８】前記第１ブリッジ８並びに第２ブリッジ９
は、テーブル３に対向する面側の直動案内軸受１０ａ〜
１０ｄ、直動案内軸受１１ａ〜１１ｄが支持台２に対向
する直動案内軸受６ａ〜６ｄ、直動案内軸受７ａ〜７ｄ
に対して角度θ傾けて装着させるために一部が時計廻り
方向外側に突出した突出部１３ａ、１３ｂおよび突出部
１４ａ、１４ｂを有する。そして、これら第１ブリッジ
８並びに第２ブリッジ９の一端部近傍には、後述する直
動駆動機構１２を構成するねじシャフトが螺入されてい
る。
は、テーブル３に対向する面側の直動案内軸受１０ａ〜
１０ｄ、直動案内軸受１１ａ〜１１ｄが支持台２に対向
する直動案内軸受６ａ〜６ｄ、直動案内軸受７ａ〜７ｄ
に対して角度θ傾けて装着させるために一部が時計廻り
方向外側に突出した突出部１３ａ、１３ｂおよび突出部
１４ａ、１４ｂを有する。そして、これら第１ブリッジ
８並びに第２ブリッジ９の一端部近傍には、後述する直
動駆動機構１２を構成するねじシャフトが螺入されてい
る。
【０００９】次に、直動駆動機構１２について説明す
る。前記直動駆動機構１２は、支持台２に、少なくとも
互いに直交する２軸方向に指向するねじシャフト１５
と、ねじシャフト１５を回動駆動するモータ１６とを有
する。これらねじシャフト１５は、前述のように、第１
ブリッジ８並びに第２ブリッジ９の一端部近傍に、第１
ブリッジ８並びに第２ブリッジ９内に設けられためねじ
（図示省略）を介して、第１ブリッジ８並びに第２ブリ
ッジ９を移動駆動するべく螺入貫通している。
る。前記直動駆動機構１２は、支持台２に、少なくとも
互いに直交する２軸方向に指向するねじシャフト１５
と、ねじシャフト１５を回動駆動するモータ１６とを有
する。これらねじシャフト１５は、前述のように、第１
ブリッジ８並びに第２ブリッジ９の一端部近傍に、第１
ブリッジ８並びに第２ブリッジ９内に設けられためねじ
（図示省略）を介して、第１ブリッジ８並びに第２ブリ
ッジ９を移動駆動するべく螺入貫通している。
【００１０】本発明におけるテーブル３の縦横移動機構
１は以上のように構成されているので、支持台２又はテ
ーブル３の案内レール４、５が互いに角度θ偏向するよ
うにテーブル３が支持された状態となる（図２参照）。
いま、一つの直動駆動機構１２を起動してモータ１６を
始動し、ねじシャフト１５を所望回転方向に回転させ、
支持台２の案内レール４上を、例えば第１ブリッジ８を
移動させると（図３参照）、第１ブリッジ８におけるテ
ーブル３を支持している直動案内軸受１０ａ〜１０ｄが
テーブル３の案内レール５に沿って追随移動し、これに
よってテーブル３は前記直動案内軸受１０ａ〜１０ｄか
ら案内レール５を介して力を受けるので、テーブル３は
案内レール５に沿っていずれかの方向に移動する。この
際、支持台２およびテーブル３における案内レール４、
５が角度θで交叉し、第１ブリッジ８の移動距離がＡで
あるとすると、テーブル３の移動距離Ｘは、 Ｘ＝Ａｓｉｎθ ということになる（図４参照）。また、第２ブリッジ９
の移動距離がＢであるとすると、テーブル３の移動距離
Ｙは、 Ｙ＝Ｂｓｉｎθ ということになる（図５、図６参照）。そして、第１ブ
リッジ８および第２ブリッジ９を同時に動かすこともで
きる（図７、図８参照）。従って、以上のことから支持
台２およびテーブル３における案内レール４、５の交叉
角度θを調整すれば、位置決めが自在に設定することが
できる。
１は以上のように構成されているので、支持台２又はテ
ーブル３の案内レール４、５が互いに角度θ偏向するよ
うにテーブル３が支持された状態となる（図２参照）。
いま、一つの直動駆動機構１２を起動してモータ１６を
始動し、ねじシャフト１５を所望回転方向に回転させ、
支持台２の案内レール４上を、例えば第１ブリッジ８を
移動させると（図３参照）、第１ブリッジ８におけるテ
ーブル３を支持している直動案内軸受１０ａ〜１０ｄが
テーブル３の案内レール５に沿って追随移動し、これに
よってテーブル３は前記直動案内軸受１０ａ〜１０ｄか
ら案内レール５を介して力を受けるので、テーブル３は
案内レール５に沿っていずれかの方向に移動する。この
際、支持台２およびテーブル３における案内レール４、
５が角度θで交叉し、第１ブリッジ８の移動距離がＡで
あるとすると、テーブル３の移動距離Ｘは、 Ｘ＝Ａｓｉｎθ ということになる（図４参照）。また、第２ブリッジ９
の移動距離がＢであるとすると、テーブル３の移動距離
Ｙは、 Ｙ＝Ｂｓｉｎθ ということになる（図５、図６参照）。そして、第１ブ
リッジ８および第２ブリッジ９を同時に動かすこともで
きる（図７、図８参照）。従って、以上のことから支持
台２およびテーブル３における案内レール４、５の交叉
角度θを調整すれば、位置決めが自在に設定することが
できる。
【００１１】以上のようなテーブルの縦横移動機構の構
成の他に、本発明は、図９に示すような構成によっても
実施することができる。なお、かかる実施例において、
前述の実施例における構成要素と実質的に同様のものに
対しては同符号を付し、その説明を省略する。図９に示
すテーブルの縦横移動機構２０では、カメラ等の機材を
セットできるように支持台２中央に空間と、テーブル３
の中央部に取り付け用穴２１を形成している。このため
に、テーブル３を移動自在に支持するのに、コ型形状の
第１、第２ブリッジ２２、２３の一対のアーム（２２
ａ、２２ｂ）、（２３ａ、２３ｂ）をそれぞれ直交状に
交叉させている。そして、これら第１、第２ブリッジ２
２、２３の一対のアーム（２２ａ、２２ｂ）、（２３
ａ、２３ｂ）の上下面にそれぞれ直動案内軸受１０ａ〜
１０ｄを設けてテーブル３を案内レール４、５上に移動
自在に支持している。また、直動駆動機構１２のモータ
１６を、第１、第２ブリッジ２２、２３の動作方向外
側、すなわちテーブル３中央から遠ざかる方に支持台２
に装着している。
成の他に、本発明は、図９に示すような構成によっても
実施することができる。なお、かかる実施例において、
前述の実施例における構成要素と実質的に同様のものに
対しては同符号を付し、その説明を省略する。図９に示
すテーブルの縦横移動機構２０では、カメラ等の機材を
セットできるように支持台２中央に空間と、テーブル３
の中央部に取り付け用穴２１を形成している。このため
に、テーブル３を移動自在に支持するのに、コ型形状の
第１、第２ブリッジ２２、２３の一対のアーム（２２
ａ、２２ｂ）、（２３ａ、２３ｂ）をそれぞれ直交状に
交叉させている。そして、これら第１、第２ブリッジ２
２、２３の一対のアーム（２２ａ、２２ｂ）、（２３
ａ、２３ｂ）の上下面にそれぞれ直動案内軸受１０ａ〜
１０ｄを設けてテーブル３を案内レール４、５上に移動
自在に支持している。また、直動駆動機構１２のモータ
１６を、第１、第２ブリッジ２２、２３の動作方向外
側、すなわちテーブル３中央から遠ざかる方に支持台２
に装着している。
【００１２】以上のように、本発明におけるテーブルの
縦横移動機構について、２例を挙げ、説明したが、直動
駆動機構として、手動でねじシャフトを決まった回転数
にて駆動することのできる機構、例えば、目盛の付して
あるマイクロメータヘッドを適用することができる。こ
の他、微動駆動することができる機構ならいずれの機構
でもよい。
縦横移動機構について、２例を挙げ、説明したが、直動
駆動機構として、手動でねじシャフトを決まった回転数
にて駆動することのできる機構、例えば、目盛の付して
あるマイクロメータヘッドを適用することができる。こ
の他、微動駆動することができる機構ならいずれの機構
でもよい。
【００１３】
【発明の効果】本発明は以上の通り、支持台およびテー
ブルの互いに対向する面に、方形状に案内レールを配設
し、支持台またはテーブルにおける案内レール上に、互
いに直角状に交叉させると共に、案内レール上を直動案
内軸受を介して移動自在に第１のブリッジ並びに第２の
ブリッジを架け渡し、これら第１ブリッジ並びに第２ブ
リッジのテーブルまたは支持台に対向する面において直
動案内軸受を介してテーブルまたは支持台における案内
レール上を移動自在に支持するようにし、前記支持台上
に、第１ブリッジ並びに第２ブリッジを案内レール上に
おいて走行動作を行わせるための直動駆動機構を設けた
構成としたので、支持台からテーブルまでの高さを低く
することができ、テーブルを安定して縦横に移動させる
ことができると共に、機構の専有スペースが小さく、ま
た部品点数が少なく、組立て工数もかからず、組立精度
の確保も容易であるという数々の効果がある。さらに、
前記第１ブリッジおよび第２ブリッジをコ型形状とする
と、支持台およびテーブルの中央部に空間ができ、テー
ブル中央に機材、例えばカメラ等を取り付けることがで
き、一層応用範囲が拡大する。
ブルの互いに対向する面に、方形状に案内レールを配設
し、支持台またはテーブルにおける案内レール上に、互
いに直角状に交叉させると共に、案内レール上を直動案
内軸受を介して移動自在に第１のブリッジ並びに第２の
ブリッジを架け渡し、これら第１ブリッジ並びに第２ブ
リッジのテーブルまたは支持台に対向する面において直
動案内軸受を介してテーブルまたは支持台における案内
レール上を移動自在に支持するようにし、前記支持台上
に、第１ブリッジ並びに第２ブリッジを案内レール上に
おいて走行動作を行わせるための直動駆動機構を設けた
構成としたので、支持台からテーブルまでの高さを低く
することができ、テーブルを安定して縦横に移動させる
ことができると共に、機構の専有スペースが小さく、ま
た部品点数が少なく、組立て工数もかからず、組立精度
の確保も容易であるという数々の効果がある。さらに、
前記第１ブリッジおよび第２ブリッジをコ型形状とする
と、支持台およびテーブルの中央部に空間ができ、テー
ブル中央に機材、例えばカメラ等を取り付けることがで
き、一層応用範囲が拡大する。
【００１４】
【図１】本発明にかかるテーブルの縦横移動機構の構成
の一例を示す模式的な平面説明図である。
の一例を示す模式的な平面説明図である。
【図２】図１に示すテーブルの縦横移動機構の配置構成
を説明するための透視的な構成平面図である。
を説明するための透視的な構成平面図である。
【図３】図１に示すテーブルの縦横移動機構において、
第１ブリッジを移動させたときの平面説明図である。
第１ブリッジを移動させたときの平面説明図である。
【図４】図３に示すテーブルの縦横移動機構の配置構成
を説明するための透視的な構成平面図である。
を説明するための透視的な構成平面図である。
【図５】図１に示すテーブルの縦横移動機構において、
第２ブリッジを移動させたときの平面説明図である。
第２ブリッジを移動させたときの平面説明図である。
【図６】図５に示すテーブルの縦横移動機構の配置構成
を説明するための透視的な構成平面図である。
を説明するための透視的な構成平面図である。
【図７】図１に示すテーブルの縦横移動機構において、
第１および第２ブリッジを移動させたときの平面説明図
である。
第１および第２ブリッジを移動させたときの平面説明図
である。
【図８】図７に示すテーブルの縦横移動機構の配置構成
を説明するための透視的な構成平面図である。
を説明するための透視的な構成平面図である。
【図９】本発明にかかるテーブルの縦横移動機構の構成
の別例を示す模式的な平面説明図である。
の別例を示す模式的な平面説明図である。
１、２０ 縦横移動機構 ２ 支持台 ３ テーブル ４、５ 案内レール ６ａ〜６ｄ、７ａ〜７ｄ 直動案内軸受 ８ 第１ブリッジ ９ 第２ブリッジ １０ａ〜１０ｄ、１１ａ〜１１ｄ 直動案内軸受 １２ 直動駆動機構 １３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂ 突出部 １５ ねじシャフト １６ モータ ２１ 取り付け用穴 ２２ 第１ブリッジ ２３ 第２ブリッジ ２２ａ、２２ｂ、２３ａ、２３ｂ アーム
Claims (5)
- 【請求項１】 支持台と支持台上を縦横に移動可能に
構成したＸＹ移動テーブルにおいて、前記支持台および
テーブルの互いに対向する面に、方形状に案内レールを
配設し、支持台における案内レール上に、互いに直角状
に交叉させると共に、案内レール上を直動案内軸受を介
して移動自在に第１のブリッジ並びに第２のブリッジを
架け渡し、これら第１ブリッジ並びに第２ブリッジのテ
ーブルまたは支持台に対向する面において直動案内軸受
を介してテーブルまたは支持台における案内レール上を
移動自在に支持するようにし、前記支持台上に、第１ブ
リッジ並びに第２ブリッジを案内レール上において走行
動作を行わせるための直動駆動機構を設けたことを特徴
とするテーブルの縦横移動機構。 - 【請求項２】 直動駆動機構は、支持台に、少なくと
も互いに直交する２軸方向に指向するねじシャフトと、
ねじシャフトを回動駆動する駆動源とを具備し、これら
ねじシャフトを、めねじを介して第１ブリッジ並びに第
２ブリッジに、第１ブリッジ並びに第２ブリッジを移動
駆動するべく挿通構成した請求項１記載のテーブルの縦
横移動機構。 - 【請求項３】 支持台およびテーブルにおける案内レ
ールは、互いに所定角度形成するように交叉させた請求
項１記載のテーブルの縦横移動機構。 - 【請求項４】 支持台と支持台上を縦横に移動可能に
構成したＸＹ移動テーブルにおいて、前記支持台および
テーブルの互いに対向する面に方形状に案内レールを配
設し、これら案内レールのうち、互いに対向する一対の
案内レール上に直動案内軸受を介してコ型形状の第１の
ブリッジ並びに第２のブリッジの一対のアームをそれぞ
れ移動自在に装着すると共にこれら第１ブリッジ並びに
第２ブリッジに互いに一対の案内レール上に沿って走行
させるための直動駆動機構を取り付け、前記第１ブリッ
ジ並びに第２ブリッジの一対のアームのテーブルに対向
する面にアームの軸方向に対して所定角度なすように直
動案内軸受を一対ずつ連設してこれら直動案内軸受にテ
ーブルをテーブルの案内レールを介して装着することを
特徴とするテーブルの縦横移動機構。 - 【請求項５】 前記支持台およびテーブルの中央部に
機材取り付けのための空間とテーブルの中央部に貫通穴
を形成したことを特徴とする請求項４記載のテーブルの
縦横移動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33784693A JP2913535B2 (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | テーブルの縦横移動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33784693A JP2913535B2 (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | テーブルの縦横移動機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08252733A true JPH08252733A (ja) | 1996-10-01 |
| JP2913535B2 JP2913535B2 (ja) | 1999-06-28 |
Family
ID=18312530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33784693A Expired - Fee Related JP2913535B2 (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | テーブルの縦横移動機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2913535B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6196138B1 (en) | 1998-04-15 | 2001-03-06 | Thk Co., Ltd | Movable table unit |
| KR20220012197A (ko) | 2020-07-22 | 2022-02-03 | 히하이스트 세이코 가부시키가이샤 | 위치 결정 유닛 및 위치 결정 테이블 |
| CN114487088A (zh) * | 2021-12-16 | 2022-05-13 | 中国特种设备检测研究院 | 漏磁检测装置、管道缺陷识别方法和验证方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61230829A (ja) * | 1985-04-04 | 1986-10-15 | Toshiba Mach Co Ltd | ステ−ジ装置 |
| JPH045327U (ja) * | 1990-04-27 | 1992-01-17 |
-
1993
- 1993-12-28 JP JP33784693A patent/JP2913535B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61230829A (ja) * | 1985-04-04 | 1986-10-15 | Toshiba Mach Co Ltd | ステ−ジ装置 |
| JPH045327U (ja) * | 1990-04-27 | 1992-01-17 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2022021726A (ja) * | 2020-07-22 | 2022-02-03 | ヒーハイスト株式会社 | 位置決めユニット及び位置決めテーブル |
| CN114487088A (zh) * | 2021-12-16 | 2022-05-13 | 中国特种设备检测研究院 | 漏磁检测装置、管道缺陷识别方法和验证方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2913535B2 (ja) | 1999-06-28 |
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