JPH0331115A - 駆動源固定式位置決めテーブル機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、同一平面上の任意の位置にテーブルを位置決
めするためのＸ−Ｙ位置決めテーブル機構に関し、さら
に詳しくは、テーブルをＸおよびＹ方向に移動させるた
めの駆動源として固定位置にある駆動源を採用すること
の可能となった駆動源固定式位置決めテーブル機構に関
するものである。

〔従来の技術］ 従来のｘ−ｙ位置決めテーブル機構の典型的な構造は第
５図に示すようになっている。ずなわち、Ｘ軸駆動用モ
ータ４１を有するＸ方向移動テーブル機構４２の上部に
、Ｙ軸駆動用モータ４３を有するＸ方向移動テーブル機
構４４が設置されている。これらの各移動テーブル機構
４２．４４には、台座、ボールネジ、ＬＭ（直線運動）
シャフトおよび位置移動テーブルがその基本構成要素と
して使用されており、双方のモータ４１．４３によって
、テーブルはＸ−Ｙ平面上の目標とする位置に位置決め
されるようになっている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、このような従来の位置決めテーブル機構
の問題点は、一方の駆動源であるＸ方向駆動モータは定
位置に固定できるが、他方の駆動源であるＹ方向駆動モ
ータは、Ｘ方向移動テーブル機構によって移動されるの
で、定まった位置に設置することはできないということ
である。このために、テーブル部分のみを双方の駆動源
から分離させて、真空中、高温度あるいは低温度雰囲気
中、または特定のガス雰囲気中などといった特定の環境
条件下に設置することが不可能である。

この問題点を解決するために、従来においては、Ｙ軸駆
動力をＸ軸と同一方向から伝達し、この駆動力を、スラ
イド・シャフトあるいはボール・スプライン等のスライ
ド移動軸と、駆動力伝達用の歯車とを組み合わせた伝達
機構を介してテーブルの側に伝達するようにしたものが
提案されている。

しかし、このような機構では、テーブル位置決めのため
に必要とされる精度が得られず、また駆動力伝達部材の
機械的磨耗が大きいといった問題があり、実用化には至
っていないのが現状である。

本発明の課題は、上記の点に鑑みて、ｘ、Ｙ双方の駆動
源をテーブル部分から分離して定まった位置に固定でき
、しかも必要とする位置決め精度が得られるようになっ
たＸ−Ｙ位置決めテーブル機構を実現することにある。

〔課題を解決するための手段〕

第１図を参照して、本発明の位置決めテーブル機構の構
成を説明する。図に示すように、本発明の機構は、テー
ブル１を固定支持するセンターブロック２を備えており
、このセンターブロック２は、同一平面上における一方
向Ｘへのみ直線移動可能な状態でＸ軸シャフト３によっ
て支持されている。このＸ軸シャフト３は、その両端位
置においてＸ軸シャフト支持部材である一対のガイドブ
ロック４Ａ、４Ｂによって支持されており、これらのガ
イドプロッタのそれぞれは、Ｘ方向とは直交するＹ方向
にのみ直線移動可能な状態で、補助支持部材であるＹ軸
補助シャフト５Ａ、５Ｂによって支持されている。これ
らの補助シャフトは、それぞれ両端が固定支持部材であ
る固定サポート６Ａ、６Ｂによってそれぞれ固定位置に
支持されている。上記の各ガイドブロック４Ａ、４Ｂは
、定まった位置にあるＹ軸駆動源７によって補助シャフ
ト５Ａ、５Ｂに沿ってＹ軸方向に直線往復移動されるよ
うになっている。

一方、上記のセンターブロック２は、Ｙ軸シャフト８に
よって、Ｙ方向へのみ直線移動可能な状態に支持されて
いる。このＹ軸シャフト８の両端は、Ｙ軸シャフト支持
部材であるセンタサポート９によって支持されている。

さらに、このサポート９は、定位置にあるＸ軸駆動源１
０によってＸ軸方向に直線往復移動されるようになって
いる。

〔作用〕

この構成の位置決めテーブル機構においては、Ｘ軸駆動
源１０によるＸ軸方向への駆動力は、センタサポート９
およびＹ軸シャフト８を介してセンタブロック２に支持
されたテーブル１に伝達される。この結果、センタブロ
ック２は、Ｘ軸シャフト３に案内されてＸ方向に直線往
復移動する。

一方、Ｙ軸駆動源７によるＸ方向への駆動力は、まずガ
イドブロック４Ａ、４Ｂに伝達され、これらのブロック
をＹ軸補助シャフト５Ａ、５Ｂに沿ってＹ軸方向に直線
移動させる。これら一対のブロックによってＸ軸シャフ
ト３が支持されているので、ガイドブロック４Ａ、４Ｂ
の移動は、Ｘ軸シャフト３を介してセンタブロック２に
伝達される。この結果、テーブル１を支持しているセン
タブロック２は、Ｙ軸シャフト８に案内されてＸ方向に
直線往復移動することになる。

このようにして、それぞれ定まった位置に固定配置した
ＸおよびＹ軸駆動源からの駆動力によって、センタブロ
ック２に支持されたテーブル１は、Ｘ−Ｙ平面上の目標
とする位置に位置決めされる。

〔実施例〕

以下に、図面を参照して本発明の詳細な説明する。

第２図ないし第４図には本例の位置決めテーブル機構を
示しである。これらの図において、Ｘ軸駆動モータ２１
の回転力は、Ｘ軸カップリング２２を介してリードスク
リュー２３に伝達され、Ｘ軸ナツト２４によりＸ方向直
進運動に変換される。

このＸ軸直進運動駆動力がセンタサポート９およびＹ軸
ＬＭ（直進運動）シャフト８を介してセンタブロック２
に伝達される。

また、Ｙ軸駆動モータ２６の回転力は、同様に、カップ
リング２７を介して、リードスクリュー２８に伝達され
、Ｙ軸ナツト２９により直進運動に変換され、Ｙ軸アー
ム３１を経由して、ガイドロック４Ａ、４Ｂに伝達され
、さらにＸＩＩｉｌＬＭ（直進運動）シャフト３を介し
て、センタブロック２に伝達される。

従って、このセンタブロック２上に固定されたセンタテ
ーブル１は、定位置に固定されているＸおよびＹ軸用の
駆動モータ２１．２６の駆動力により、Ｘ−Ｙ平面上に
おいて自由に位置決めされる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明の位置決めテーブル機構に
おいては、テーブルをセンタブロックによって固定支持
し、このセンタブロックを、直交するＸおよびＹ軸シャ
フトによって、それぞれの方向へのみ直線移動可能な状
態で支持し、さらにこれらのＸおよびＹ軸シャフトをそ
れぞれ直交するＹおよびＸ方向に移動可能としである。

従って、本発明によれば、定位置に固定したＸおよびＹ
軸駆動源によりそれぞれＹ軸シャフトおよびＸ軸シャフ
トをＸ方向およびＸ方向に移動させれば、センタブロッ
クに支持されているテーブルをＸ−Ｙ平面上の目標とす
る位置に位置決めすることができる。

よって、本発明の機構を採用すれば、移動するテーブル
部分と分離させてＸおよびＹ軸駆動源を配置することが
できるので、テーブル部分のみを真空室内などの特定の
環境条件下、あるいは駆動源を設置するには不適当な環
境に設置でき、位置決めテーブル機構の適用範囲が広範
囲となる。

また、本発明の機構によれば、センタブロックおよびガ
イドブロックを案内するシャフト部材を複数本とするこ
とにより、ＸおよびＸ方向の面角度および各方向への直
進運動の精度を向上させることができるという効果も得
られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の機構の原理を説明する概略構成図、第
２図は本発明の一実施例の機構の主要部を示す上面図、
第３図は第２図の機構を矢印■の側から見た側面図、第
４図は第２図の機構を矢印■の側から見た側面図、第５
図は従来の機構を示す概略構成図である。 符号の説明 １・・−テーブル ２−・センタブロック ３・・・Ｘ軸シャフト ４Ａ、４Ｂ・・・ガイドブロック ５Ａ、５Ｂ・−Ｙ軸補助シャフト ６Ａ、６Ｂ・・・固定サポート ７・・・Ｙ軸駆動源 ８・・・Ｙ軸シャフト ０ ９ センタサポート ０ Ｘ軸駆動源。 ■

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 同一平面上の目標とする位置にテーブルを位置決めする
   ためのＸ−Ｙ位置決めテーブル機構において、 前記テーブルを固定支持するセンターブロックと、 このセンターブロックを前記平面上における一方向Ｘへ
   のみ直線移動可能な状態に支持するＸ軸シャフト部材と
   、 このＸ軸シャフト部材の両端を支持するＸ軸シャフト支
   持部材と、 このＸ軸シャフト支持部材を前記Ｙ方向にのみ直線移動
   可能な状態に支持する補助支持部材と、 この補助支持部材を定位置に固定支持する固定支持部材
   と、 前記Ｘ軸シャフト支持部材を前記Ｙ軸方向に移動させる
   ための定位置にあるＹ軸駆動源と、前記センターブロッ
   クを前記Ｙ方向へのみ直線移動可能な状態に支持するＹ
   軸シャフト部材と、 このＹ軸シャフト部材の両端を支持し、前記Ｘ方向に直
   線移動可能なＹ軸シャフト支持部材と、 このＹ軸シャフト支持部材をＸ軸方向に移動させるため
   の定位置にあるＸ軸駆動源と、 を有することを特徴とする駆動源固定式位置決めテーブ
   ル機構。