JPH0215993A - 試料搬送装置 - Google Patents
試料搬送装置Info
- Publication number
- JPH0215993A JPH0215993A JP16843488A JP16843488A JPH0215993A JP H0215993 A JPH0215993 A JP H0215993A JP 16843488 A JP16843488 A JP 16843488A JP 16843488 A JP16843488 A JP 16843488A JP H0215993 A JPH0215993 A JP H0215993A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnet
- side magnet
- vacuum
- holder
- atmosphere
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 16
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 abstract description 30
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 2
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J21/00—Chambers provided with manipulation devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
〔産業上の利用分野］
本発明は、真空機器のチャンバー内に装設される試料搬
送装置に関するものである。
送装置に関するものである。
本発明は、真空機器のチャンバー内で試料を所定の平面
内の任意の点から任意の点へ移動させる試料搬送装置に
おいて、所定の平面と平行な一隔壁を挾んで対向する一
対の磁石を設け、大気側磁石の運動に真空側磁石を追動
させる動力導入手段をとることによって、真空側の運動
変換機構を除去した簡略な構造の試料搬送装置を提供す
るものである。
内の任意の点から任意の点へ移動させる試料搬送装置に
おいて、所定の平面と平行な一隔壁を挾んで対向する一
対の磁石を設け、大気側磁石の運動に真空側磁石を追動
させる動力導入手段をとることによって、真空側の運動
変換機構を除去した簡略な構造の試料搬送装置を提供す
るものである。
真空機器のチャンバー内で試料を所定の平面内の任意の
点から任意の点へ移動させる試料搬送装置において、従
来、２個の動力導入機構を使用してチャンバー外の動力
源が発生する。２つの運動を１つずつチャンバー内に導
入し、チャンバ内でギア、カム、リンクなどを使用した
運動変換機構によって必要とする運動に合成することに
より、試料の移動を行なっていた。 〔発明が解決しようとする課題］ 上記のような試料搬送装置では、動力導入機構を２個使
用しているので構造が複雑になり、大きなスペースや高
いコストを必要としていた。またチャンバー内に運動変
換機構が存在するため発塵が問題となっていた。 〔課題を解決するための手段〕 上記のような課題を解決するために、試料の移動する平
面と平行な隔壁をはさんで向かい合った一対の磁石を設
け、大気側磁石の運動に真空側磁石を追動させる動力導
入手段をとることによって、チャンバー外の動力源が発
生する２つの運動を一つの運動に合成してからチャンバ
ー内に導入することにした。 〔作用〕 本発明では、上記のような手段を取ることにより、構造
の簡略化が図られ、チャンバー内の運動変換機構を除去
することができる。 〔実施例〕 以下に、本発明の実施例を図に基づいて説明する。 第１図は、本発明による実施例を示す断面図である。こ
こでは、ホルダー移動機構１７は回転運動軸受２と回動
軸３と直線運動軸受４と直動軸５とから、磁石移動機構
１６はロータリーアクチュ工−り−１０とロータリーア
クチュエータ出力軸１１とリニアアクチエエータ−１２
とリニアアクチュエーター出力軸１３とから構成されて
いる。 隔壁ｌの真空側に回転運動軸受２が固定されている０回
動軸３は軸心が隔壁ｌと直角になる状態で回転運動軸受
２に回転可能に保持されている。 直線運動軸受４は回動軸３に固定されている。直動軸５
は軸心が隔壁１に平行になる状態で直線運動軸受４に軸
心方向に移動可能に保持されている。試料６を保持して
いるホルダー７は直動軸５に固定されている。真空側磁
石９は真空側ステー８を介して直動軸５に固定されてい
る。 ロータリーアクチュエーター１０は、ロータリーアクチ
ュエーター出力軸１１の軸心が回動軸３の細心と一致す
る状態で隔壁ｌの大気側に固定されている。リニアアク
チュエーター１２は、リニアアクチュエーター出力軸１
３の軸心が隔壁１と平行になる状態でロータリーアクチ
エエータ−出力軸１１に固定されている。大気側磁石１
５は大気側ステー１４を介してリニアアクチュエーター
出力軸１３に固定されている。 次にその動作を説明する。 ホルダー７の位置および真空側磁石９の位置は、回動軸
３の回転角と直動軸５の張り出し長さとによって決まる
。同様に、大気側磁石１５の位置は、ロータリーアクチ
ュエーター出力軸１１の回転角とリニアアクチュエータ
ー出力軸１３の張り出し長さとによって決まる。 今、真空側磁石９と大気側磁石１５が対向する位置にあ
るとする。リニアアクチュエーター１２を駆動しリニア
アクチュエーター出力軸１３の張り出し長さに変位を与
えると、大気側磁石１５が移動する。この大気側磁石１
５の動きに真空側磁石９が追動するため、直動軸５の張
り出し長さに変位が生じる。よってホルダー７が移動す
る。同様に、ロータリーアクチュエーターｌＯを駆動す
ると、ホルダー７が移動する。もちろん、リニアアクチ
ュエーター１２とロータリーアクチュエーター１１を同
時に駆動することができる。 この様に、大気側に配置された磁石移動機構１６により
、隔壁を挾んで配置された一対の磁石を介して、真空側
に配置されたホルダー移動機構１７に動力導入を図るこ
とができ、真空側の試料を所定の位置に移動することが
できる。 ここで、真空側磁石９と大気側磁石１５は、永久磁石の
対、磁性吸着体と永久磁石、あるいは。 磁性吸着体もしくは永久磁石と電磁石等の組み合わせを
用いることができるものである。
点から任意の点へ移動させる試料搬送装置において、従
来、２個の動力導入機構を使用してチャンバー外の動力
源が発生する。２つの運動を１つずつチャンバー内に導
入し、チャンバ内でギア、カム、リンクなどを使用した
運動変換機構によって必要とする運動に合成することに
より、試料の移動を行なっていた。 〔発明が解決しようとする課題］ 上記のような試料搬送装置では、動力導入機構を２個使
用しているので構造が複雑になり、大きなスペースや高
いコストを必要としていた。またチャンバー内に運動変
換機構が存在するため発塵が問題となっていた。 〔課題を解決するための手段〕 上記のような課題を解決するために、試料の移動する平
面と平行な隔壁をはさんで向かい合った一対の磁石を設
け、大気側磁石の運動に真空側磁石を追動させる動力導
入手段をとることによって、チャンバー外の動力源が発
生する２つの運動を一つの運動に合成してからチャンバ
ー内に導入することにした。 〔作用〕 本発明では、上記のような手段を取ることにより、構造
の簡略化が図られ、チャンバー内の運動変換機構を除去
することができる。 〔実施例〕 以下に、本発明の実施例を図に基づいて説明する。 第１図は、本発明による実施例を示す断面図である。こ
こでは、ホルダー移動機構１７は回転運動軸受２と回動
軸３と直線運動軸受４と直動軸５とから、磁石移動機構
１６はロータリーアクチュ工−り−１０とロータリーア
クチュエータ出力軸１１とリニアアクチエエータ−１２
とリニアアクチュエーター出力軸１３とから構成されて
いる。 隔壁ｌの真空側に回転運動軸受２が固定されている０回
動軸３は軸心が隔壁ｌと直角になる状態で回転運動軸受
２に回転可能に保持されている。 直線運動軸受４は回動軸３に固定されている。直動軸５
は軸心が隔壁１に平行になる状態で直線運動軸受４に軸
心方向に移動可能に保持されている。試料６を保持して
いるホルダー７は直動軸５に固定されている。真空側磁
石９は真空側ステー８を介して直動軸５に固定されてい
る。 ロータリーアクチュエーター１０は、ロータリーアクチ
ュエーター出力軸１１の軸心が回動軸３の細心と一致す
る状態で隔壁ｌの大気側に固定されている。リニアアク
チュエーター１２は、リニアアクチュエーター出力軸１
３の軸心が隔壁１と平行になる状態でロータリーアクチ
エエータ−出力軸１１に固定されている。大気側磁石１
５は大気側ステー１４を介してリニアアクチュエーター
出力軸１３に固定されている。 次にその動作を説明する。 ホルダー７の位置および真空側磁石９の位置は、回動軸
３の回転角と直動軸５の張り出し長さとによって決まる
。同様に、大気側磁石１５の位置は、ロータリーアクチ
ュエーター出力軸１１の回転角とリニアアクチュエータ
ー出力軸１３の張り出し長さとによって決まる。 今、真空側磁石９と大気側磁石１５が対向する位置にあ
るとする。リニアアクチュエーター１２を駆動しリニア
アクチュエーター出力軸１３の張り出し長さに変位を与
えると、大気側磁石１５が移動する。この大気側磁石１
５の動きに真空側磁石９が追動するため、直動軸５の張
り出し長さに変位が生じる。よってホルダー７が移動す
る。同様に、ロータリーアクチュエーターｌＯを駆動す
ると、ホルダー７が移動する。もちろん、リニアアクチ
ュエーター１２とロータリーアクチュエーター１１を同
時に駆動することができる。 この様に、大気側に配置された磁石移動機構１６により
、隔壁を挾んで配置された一対の磁石を介して、真空側
に配置されたホルダー移動機構１７に動力導入を図るこ
とができ、真空側の試料を所定の位置に移動することが
できる。 ここで、真空側磁石９と大気側磁石１５は、永久磁石の
対、磁性吸着体と永久磁石、あるいは。 磁性吸着体もしくは永久磁石と電磁石等の組み合わせを
用いることができるものである。
本発明は、以上説明したように、コンパクトで低コスト
、低発しんの試料搬送装置を提供する効果がある。
、低発しんの試料搬送装置を提供する効果がある。
第１図は本発明による実施例を示す断面図である。
１ ・ ・
２ ・ ・
３ ・ ・
４ ・ ・
５ ・ ・
６ ・ ・
７ ・ ・
８ ・ ・
９ ・ ・
１０ ・ ・
ｌ １ ・ ・
１２ ・ ・
ｌ ３ ・ ・
１４ ・ ・
ｌ ５ ・ ・
・隔壁
・回転運動軸受
・回動軸
・直線運動軸受
・直動軸
・試料
・ホルダー
・真空側ステー
・真空側磁石
・ロータリーアクチュエーター
・ロータリーアクチュエーター出力軸
・リニアアクチュエーター
・リニアアクチュエーター出力軸
・大気側ステー
・大気側磁石
以上
Claims (1)
- 真空と大気とを仕切る隔壁と、前記真空側に配置された
ホルダーと、前記真空側に配置され前記隔壁と平行な平
面内で前記ホルダーを運動させるホルダー移動機構と、
前記大気側に配置された動力と、前記動力を前記ホルダ
ー移動機構に伝える動力導入手段とから成る試料搬送装
置において、前記動力導入手段を、前記ホルダー移動機
構に保持された真空側磁石と、前記真空側磁石と前記隔
壁を挟んで対向する位置に配置され、前記真空側磁石と
の間に引力が発生する状態にある大気側磁石と、前記大
気側に配置され前記隔壁と平行な平面内で前記大気側磁
石を運動させる磁石移動機構とから構成したことを特徴
とする試料搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16843488A JPH0215993A (ja) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | 試料搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16843488A JPH0215993A (ja) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | 試料搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0215993A true JPH0215993A (ja) | 1990-01-19 |
Family
ID=15868046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16843488A Pending JPH0215993A (ja) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | 試料搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0215993A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04267355A (ja) * | 1991-02-22 | 1992-09-22 | Ebara Corp | ウエハ移送ロボット |
| JPH052410U (ja) * | 1991-06-25 | 1993-01-14 | 株式会社ダイヘン | 可動短絡板付きマイクロ波回路素子 |
| WO2002036849A1 (de) * | 2000-10-31 | 2002-05-10 | Asys Automatic Systems Gmbh & Co. Kg | Arbeitstisch mit einer tischplatte |
| WO2021069034A1 (de) * | 2019-10-10 | 2021-04-15 | Atec Pharmatechnik Gmbh | Behälter und verfahren zum transport von sterilem gut und zur entnahme in einem isolator, sowie kombination aus isolator und angedocktem behälter |
-
1988
- 1988-07-05 JP JP16843488A patent/JPH0215993A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04267355A (ja) * | 1991-02-22 | 1992-09-22 | Ebara Corp | ウエハ移送ロボット |
| JPH052410U (ja) * | 1991-06-25 | 1993-01-14 | 株式会社ダイヘン | 可動短絡板付きマイクロ波回路素子 |
| WO2002036849A1 (de) * | 2000-10-31 | 2002-05-10 | Asys Automatic Systems Gmbh & Co. Kg | Arbeitstisch mit einer tischplatte |
| WO2021069034A1 (de) * | 2019-10-10 | 2021-04-15 | Atec Pharmatechnik Gmbh | Behälter und verfahren zum transport von sterilem gut und zur entnahme in einem isolator, sowie kombination aus isolator und angedocktem behälter |
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