JPH01224572A - 回転直線導入機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は真空チャンバ内での作業を外部操作により行う
回転直線導入機に関する。

〔従来の技術〕

従来、真空チャンバ内での作業を外部操作により行う機
器は第３図に示すように、真空チャンバ２９の内外に亘
って延設されたシャフト２４がハウジング３０内に装備
され、上部と下部のベアリング２５と２６とにより回転
可能に軸支され、ハウジング３０及びシールリング３１
により気密シールされ、シャフト２４に装着・した内部
マグネット２７と、ハウジング外に設けた外部マグネッ
ト２８との磁力を利用してシャフト２４を回転させ、真
空チャンバ２９の外部からマグネット２８によりシャフ
ト２４の回転操作を行い真空チャンバ２９内部での作業
が行われる構造になっていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の機器は外部マグネット２８を動かすこと
により、内部マグネット２７を動かし動作をシャフト２
４に伝達する機構となっているので、シャフトを直接駆
動することができず、マグネット相互間のずれ等により
シャフト２４を確実にコントロールすることができない
ばかりでなく、シャフトを直線変位させることができず
、真空チャンバ内での複雑な作業には不向きであった。

本発明の目的は前記課題を解決した回転直線導六機を提
供することにある。

〔発明の従来技術に対する相違点〕

上述した従来の機器に対し１本発明は駆動シャフトの回
転及び直線操作を該シャフトを直接操作することにより
行うという相違、ζを有する。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するため、本発明の回転直線導入機にお
いては、真空チャンバの内外に亘って延設したシャフト
と、前記シャフトを真空チャンバの内外方向に直線変位
可能に支持する直線駆動部と、前記シャフトを回・転可
能に支持する回転駆動部と、前記直線駆動部での真空チ
ャンバの内外を気密にシールするベーロズと、前記回転
駆動部での真空チャンバの内外を磁性流体を用いて気密
にシールする磁気シールとを有するものである。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

（実施例１） 第１図は本発明の実施例１の縦断面図である。

真空チャンバ１３の内外に亘って延設したシャフト１は
内部ハウジング２に上部ベアリング３及び下部ベアリン
グ４で位置決めし、かつ回転可能に軸支しである。ここ
に、内部ハウジング２．上部ベアリング３、下部ベアリ
ング４等によりシャフト１の回転駆動部が構成される。

内部ハウジング２の内部にはポールピース５、永久磁石
６にて磁性流体７をシャフト１との間に封入して、回転
直線導入機の内部と外部を隔離している。また、ベロー
ズ８の両端は内部ハウジング２とフランジ９に溶接され
、フランジ９は下部Ｏリング１０を介して外部ハウジン
グ１１に固定されている。この外部ハウジング１１は上
部０リング１２を介して、真空チャンバ１３に固定され
ている。内部ハウジング２と外部ハウジング１１の間に
、上部ブツシュ１４と下部ブツシュ１５を有し、内部ハ
ウジング２を位置決めし、かつ真空チャンバ１３の内外
方向に変位可能に支持している。ここに、内部ハウジン
グ２、ブツシュ１４．１５、フランジ９等によりシャフ
ト１の直線駆動部が構成される。

シャフト１の回転運動時の真空チャンバ１３の内外の気
密シールは磁性流体７でシールを行い、シャフト１の直
線運動時の真空チャンバの内外の気密シールはベローズ
８でシールを行う構造となっている。したがって、本発
明ではシャフト１を直接操作することが可能となり、し
かもシャフト１を真空チャンバ１３の内外方向に直接変
位させるとともに回転動作を行うことが可能となる。

（実施例２） 第２図は本発明の実施例２の縦断面図である。

シャフト１６はスプライン軸を使用し、内部ハウジング
１７内にあるベローズフランジ１８に溶接してあり、位
置決めは上部スプライン軸受け１９．下部スプライン軸
受け２０にて行っている。ベローズ２１の両端は内部ハ
ウジング１７とベローズフランジ１８に溶接してあり、
また内部ハウジング１７と外部ハウジング２２間には磁
性流体２３が封入されている。

この実施例では、ベローズ２１が内部ハウジング１７内
にあり、シャフト１６に対しては上部スプライン軸受け
１９、下部スプライン軸受け２ｏにより固定される機構
であるため、シャフト１６が回転した場合ベローズ２１
に回転力がかからないという利点がある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は直線駆動部シールはベロー
ズで１回転駆動部シールは磁性流体にて行うことにより
、目的とする真空側の駆動シャフトの運動の伝達を大気
側のシャフトを操作することで行うことができ、運動の
伝達の信頼性が向上する効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例１の縦断面図、第２図は実施例
２の縦断面図、第３図は従来例の縦断面図である。 １．１６・・・シャフト　　　　２，１７・・・内部ハ
ウジング３・・・上部ベアリング　　４・・・下部ベア
リング５・・・ポールピース　　　　６・・・永久磁石
７．２３・・・磁性流体　　　　８，２１・・・ベロー
ズ９・・・フランジ　　　　　１ｏ・・・下部Ｏリング
１１．２２・・・外部ハウジング　１２・・・上部Ｏリ
ング１３・・・真空チャンバ　　　１４・・・上部プッ
シュ１５・・・下部ブツシュ　　　１８・・・ベローズ
フランジ１９・・・上部スプライン軸受け　２０・・・
下部スプライン軸受は特許出願人　　山口日本電気株式
会社 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、真空チャンバの内外に亘って延設したシャフトと、
   前記シャフトを真空チャンバの内外方向に直線変位可能
   に支持する直線駆動部と、前記シャフトを回転可能に支
   持する回転駆動部と、前記直線駆動部での真空チャンバ
   の内外を気密にシールするベーロズと、前記回転駆動部
   での真空チャンバの内外を磁性流体を用いて気密にシー
   ルする磁気シールとを有することを特徴とする回転直線
   導入機。