JPH11186361A - 試料搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 試料搬送アームの直進移動および回転移動の
制御を容易に行うこと。 【解決手段】 真空室１に回転可能に支持された搬送ア
ーム回転用貫通軸１６および搬送アーム直進用貫通軸１
８と、前記軸１８を回転駆動するアーム直進モータＭ2
と、前記軸１８および軸１６を同時に回転駆動するアー
ム回転モータＭ1と、前記軸１６回りに回転可能に支持
される第１アーム２３に回転可能に支持されて先端部に
搬送アーム支持軸３３が設けられた第２アーム２９と、
前記軸３３回りに回転可能に支持された搬送アーム４１
とから構成されて、前記アーム回転モータＭ1を回転さ
せずに、アーム直進モータＭ2のみを回転させたとき前
記搬送アーム４１を直進移動させ、アーム直進モータＭ
2を回転させずに、アーム回転モータＭ1のみを回転させ
たとき、前記各アーム２３，２９，４１の相対的位置関
係は保持された状態で前記搬送アーム４１の方向を変化
させる試料搬送装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、表面に半導体集積
回路を形成するためのウエハー、または表面に半導体集
積回路が形成されたウエハーを検査、測長等のために外
部から真空試料室に搬入したり、検査、測長済のウエハ
ーを真空試料室の外部に搬出したりする際に使用する試
料搬送装置に関し、特に、基端部が回転軸周りに回転可
能に支持された第１アームと、前記第１アームの先端部
に設けた第２アーム支持軸周りに基端部が回転可能に支
持された第２アームと、前記第２アームの先端部に設け
た搬送アーム支持軸周りに基端部が回転可能に支持され
た試料搬送アームとを有する、３個の関節を備えた試料
搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】前記試料搬送装置としては、従来、下記
（Ｊ01）に示す技術が知られている。 （Ｊ01）図１１に示す技術 図１１は、３個の関節を備えた試料搬送装置の従来例の
平面図である。なお、以後の説明の理解を容易にするた
めに、図面において、前後方向をＸ軸方向、左右方向を
Ｙ軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、矢印Ｘ，−Ｘ，
Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向または示す側をそれぞ
れ、前方、後方、左方、右方、上方、下方、または、前
側、後側、左側、右側、上側、下側とする。また、図
中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏か
ら表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載
されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するも
のとする。図１１において、ウエハー（試料）の検査、
測長等を行う際の作業に使用される真空試料室（真空作
業室）０１には、移動可能な試料ステージＳが配置され
る。前記真空試料室０１には内部仕切弁０２を介して試
料交換室（予備排気室）０３が接続されている。また、
試料交換室０３は外部仕切弁０４を介して大気に接続可
能に構成されている。試料交換室０３には、試料搬送装
置０６が配置されている。試料搬送装置０６は、回転軸
０７周りに回転可能な第１アーム０８と、前記第１アー
ム先端部に設けた第１連通軸０８a周りに回転可能な第
２アーム０９と、前記第２アーム０９先端部に設けた第
２連通軸周りに回転可能な試料搬送アーム０１０とを備
えている。前記外部仕切弁０４から搬入されたウエハー
（試料）Ｗは、前記試料搬送アーム０１０の先端部に載
置され、前記内部仕切弁０２から真空試料室０１内に搬
入されるように構成されている。この場合、試料搬送ア
ーム０１０は直進運動のみが行われる。

【０００３】図１２は前記図１１に示す従来の試料搬送
装置を使用した場合の試料搬送手順を示す図である。図
１２の試料搬送手順は次のとおりである。 （１）真空試料室０１から試料交換室０３に搬送アーム
０１０を後退させる。 （２）内部仕切弁０２を閉じる。 （３）試料交換室０３を大気圧にする。 （４）外部仕切弁０４を開ける。 （５）試料交換室０３に試料を搬入する。 （６）外部仕切弁０４を閉じる。 （７）試料交換室０３を真空排気する。 （８）搬送アーム０１０上に試料を受け取る。 （９）内部仕切弁０２を開ける。 （１０）搬送アーム０１０を前進させる。 （１１）試料ステージＳ上に試料を受け渡す。 なお、前記試料交換室０３内での試料Ｗの受取り、およ
び、試料ステージＳに対する試料Ｗの受渡し等の技術は
従来公知である。

【０００４】前記試料搬送装置０６は、試料交換室０３
に配置されており、試料Ｗの交換の度に大気にリークさ
れる環境にさらされている。前記大気にリークされたと
きに塵埃が試料搬送装置０６に付着するため、試料搬送
装置０６は真空試料室０１内の塵埃発生源となってい
る。前記塵埃等の発生を減少させるためには、前記外部
仕切弁０４の開閉を少なくすること、および、前記試料
搬送装置０６を常時、真空環境に配置することが好まし
い。試料搬送装置０６を真空試料室０１内に配置した場
合には、試料搬送アーム０１０の先端を試料交換室０３
に移動させて試料Ｗを受け取った後、試料搬送アーム先
端を真空試料室０１に移動させてから所定の位置（例え
ば、試料テーブル）に試料を搬送する必要がある。その
場合、試料搬送アームは、直進のみではなく回転させる
ことが必要となる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前記真空試料室内にお
いて、搬送アームを直進および回転させるためには、真
空試料室の外部から内部に直進用駆動力および回転用駆
動力を伝達する必要がある。前記直進用回転軸および回
転用回転軸の２軸の回転軸を用いて試料搬送アームの直
進移動および回転移動を行う場合、前記両方の移動は同
じ部材の回転制御により行っているので、試料搬送アー
ムの直進移動制御および回転移動制御を独立に行うこと
が困難であり、制御が複雑となる。また、同軸構造とし
た直進用回転軸および回転用回転軸の２軸の回転軸を用
いることが考えられるが、その場合真空シール部の構造
が複雑となる。そして、真空シール部の構造の信頼性を
確保するためには磁性流体シールを採用することが考え
られるが、磁性流体シールは高価であり、製造コストが
高くなるという問題点がある。

【０００６】本発明は、前述の事情に鑑み、前記３個の
関節を備えた試料搬送装置において、下記の記載内容を
課題とする。 （Ｏ01）試料搬送アームの直進移動および回転移動の制
御を容易に行えるようにすること。

【０００７】

【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決す
るために案出した本発明を説明するが、本発明の要素に
は、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実
施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。ま
た、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する
理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明
の範囲を実施例に限定するためではない。

【０００８】（本発明）前記課題を解決するために、本
出願の本発明の試料搬送装置は、次の要件（Ａ01）〜
（Ａ011）を備えたことを特徴とする、（Ａ01）真空室
（１）を形成する底壁（１１）を鉛直に貫通するととも
に、真空室（１）内が外部に対して気密となるように且
つ回転可能に支持された搬送アーム回転用貫通軸（１
６）および搬送アーム直進用貫通軸（１８）、（Ａ02）
前記搬送アーム直進用貫通軸（１８）を回転駆動する前
記真空室（１）外部に配置されたアーム直進モータ（Ｍ
2）、（Ａ03）前記搬送アーム直進用貫通軸（１８）お
よび搬送アーム回転用貫通軸（１６）を同時に回転駆動
する前記真空室（１）外部に配置されたアーム回転モー
タ（Ｍ1）、（Ａ04）前記真空室（１）内に配置され、
前記搬送アーム回転用貫通軸（１６）回りに回転可能に
支持される第１アーム基端部と、第２アーム支持軸が設
けられた第１アーム先端部とを有する第１アーム（２
３）、（Ａ05）前記真空室（１）内に配置され、第２ア
ーム支持軸（２７）回りに回転可能に支持される第２ア
ーム基端部と、搬送アーム支持軸（３３）が設けられた
第２アーム先端部とを有する第２アーム（２９）、（Ａ
06）前記搬送アーム支持軸（３３）回りに回転可能に支
持された搬送アーム基端部と、試料載置部（４１a，４
１a）が設けられた搬送アーム先端部とを有する搬送ア
ーム（４１）、（Ａ07）前記搬送アーム直進用貫通軸
（１８）が回転したときに前記第１アーム（２３）を前
記搬送アーム回転用貫通軸（１６）回りに回転させる第
１アーム回転力伝達手段（２２，２４，３６）、（Ａ0
8）前記第１アーム（２３）または搬送アーム回転用貫
通軸（１６）が回転したときに前記第２アーム（２９）
を前記第２アーム支持軸（２７）回りに回転させる第２
アーム回転力伝達手段（２１，３１，３７）、（Ａ09）
前記第２アーム（２９）が前記第２アーム支持軸（２
７）回りに回転したとき前記搬送アーム（４１）を前記
搬送アーム支持軸（３３）回りに回転させる搬送アーム
回転力伝達手段（２８，３４，３８）、（Ａ010）前記
搬送アーム回転用貫通軸（１６）の軸心位置をＡ1、前
記第２アーム支持軸（２７）の軸心位置をＡ2、前記搬
送アーム支持軸（３３）の軸心位置をＡ3、前記軸心位
置Ａ1およびＡ2間の長さをＡ1Ａ2、前記軸心位置Ａ2お
よびＡ3間の長さをＡ2Ａ3、一定長さをＬとした場合
に、Ａ1Ａ2＝Ａ2Ａ3＝Ｌに設定された前記搬送アーム回
転用貫通軸（１６）、前記第２アーム支持軸（２７）お
よび前記搬送アーム支持軸（３３）の配置構造、（Ａ01
1）前記搬送アーム回転用貫通軸（１６）回りの第１ア
ーム（２３）の回転角度をθ1、前記第２アーム支持軸
（２７）回りの第２アーム（２９）の回転角度をθ2、
前記搬送アーム支持軸（３３）回りの搬送アーム（４
１）の回転角度をθ3とした場合に、前記搬送アーム回
転用貫通軸（１６）が回転しない状態で前記搬送アーム
直進用貫通軸（１８）を回転させたときθ2＝−２θ1、
θ3＝θ1となるように構成され、前記搬送アーム回転用
貫通軸（１６）および前記搬送アーム直進用貫通軸（１
８）を同時に回転角θ1回転させたときθ2＝θ3＝０と
なるように構成された、前記第１アーム回転力伝達手段
（２２，２４，３６）、第２アーム回転力伝達手段（２
１，３１，３７）、および搬送アーム回転力伝達手段
（２８，３４，３８）。

【０００９】（本発明の作用）前記構成を備えた本出願
の本発明の試料搬送装置では、真空室（１）を形成する
底壁（１１）を鉛直に貫通する搬送アーム回転用貫通軸
（１６）および搬送アーム直進用貫通軸（１８）は、真
空室（１）内が外部に対して気密となるように且つ回転
可能に支持される。前記真空室（１）外部に配置された
アーム直進モータ（Ｍ2）は、前記搬送アーム直進用貫
通軸（１８）を回転駆動する。前記真空室（１）外部に
配置されたアーム回転モータ（Ｍ1）は、前記搬送アー
ム直進用貫通軸（１８）および搬送アーム回転用貫通軸
（１６）を同時に回転駆動する。前記真空室（１）内に
配置された第１アーム基端部および第１アーム先端部を
有する第１アーム（２３）は、前記搬送アーム回転用貫
通軸（１６）回りに回転可能に支持される。前記真空室
（１）内に配置された第２アーム（２９）の基端部は、
前記第１アーム先端部に設けられた第２アーム支持軸
（２７）周りに回転可能に支持される。前記第２アーム
先端部に設けられた搬送アーム支持軸（３３）により搬
送アーム（４１）の基端部が回転可能に支持される。前
記搬送アーム（４１）は、その先端部に試料（Ｗ）を支
持する試料載置部（４１a，４１a）を有する。

【００１０】第１アーム回転力伝達手段（２２，２４，
３６）は、前記搬送アーム直進用貫通軸（１８）が回転
したときに前記第１アーム（２３）を前記搬送アーム回
転用貫通軸（１６）回りに回転させる。第２アーム回転
力伝達手段（２１，３１，３７）は、前記第１アーム
（２３）または前記搬送アーム回転用貫通軸（１６）が
回転したときに前記第２アーム（２９）を前記第２アー
ム支持軸（２７）回りに回転させる。搬送アーム回転力
伝達手段（２８，３４，３８）は、前記第２アーム（２
９）が前記第２アーム支持軸（２７）回りに回転したと
き前記搬送アーム（４１）を前記搬送アーム支持軸（３
３）回りに回転させる。前記搬送アーム回転用貫通軸
（１６）、前記第２アーム支持軸（２７）および前記搬
送アーム支持軸（３３）の配置構造は、前記搬送アーム
回転用貫通軸（１６）の軸心位置をＡ1、前記第２アー
ム支持軸（２７）の軸心位置をＡ2、前記搬送アーム支
持軸（３３）の軸心位置をＡ3、前記軸心位置Ａ1および
Ａ2間の長さをＡ1Ａ2、前記軸心位置Ａ2およびＡ3間の
長さをＡ2Ａ3、一定長さをＬとした場合に、Ａ1Ａ2＝Ａ
2Ａ3＝Ｌに設定される。

【００１１】前記第１アーム回転力伝達手段（２２，２
４，３６）、第２アーム回転力伝達手段（２１，３１，
３７）、および搬送アーム回転力伝達手段（２８，３
４，３８）は、前記搬送アーム回転用貫通軸（１６）回
りの第１アーム（２３）の回転角度をθ1、前記第２ア
ーム支持軸（２７）回りの第２アーム（２９）の回転角
度をθ2、前記搬送アーム支持軸（３３）回りの搬送ア
ーム（４１）の回転角度をθ3とした場合に、前記搬送
アーム回転用貫通軸（１６）が回転しない状態で前記搬
送アーム直進用貫通軸（１８）を回転させたときθ2＝
−２θ1、θ3＝θ1とし、前記搬送アーム回転用貫通軸
（１６）および前記搬送アーム直進用貫通軸（１８）を
同時に回転角θ1回転させたときθ2＝θ3＝０とする。

【００１２】したがって、アーム回転モータ（Ｍ1）を
回転させずに、アーム直進モータ（Ｍ2）のみを回転さ
せた場合、前記搬送アーム直進用貫通軸（１８）のみが
回転し、θ2＝−２θ1となりまた、搬送アーム（４１）
の搬送アーム支持軸（３３）周りの回転角はθ3＝θ1と
なる。なおこのとき、前記第２アーム（２９）自体が−
θ1回転しこのとき第２アーム（２９）に支持された搬
送アーム支持軸（３３）が−θ1回転する。すなわち、
搬送アーム支持軸（３３）が−θ1回転し且つ搬送アー
ム（４１）が前記搬送アーム支持軸（３３）周りにθ１
回転するため、搬送アーム（４１）の向きは変化しな
い。この場合には搬送アーム（４１）は前記軸心位置Ａ
1周りに回転することなく直進移動する。

【００１３】また、アーム直進モータ（Ｍ2）を回転さ
せずに、アーム回転モータ（Ｍ1）のみを回転させた場
合、前記搬送アーム直進用貫通軸（１８）およびアーム
回転用貫通軸の両方が回転し、θ2＝θ3＝０となる。こ
の場合には、第１アーム（２３）、第２アーム（２９）
および搬送アーム（４１）の相対的位置関係は一定に保
持された状態でそれらは、前記軸心位置Ａ1周りに一体
的に回転する。このとき、搬送アーム（４１）の方向が
変化する。

【００１４】

【発明の実施の形態】（実施の形態１）本発明の試料搬
送装置の実施の形態１は、前記本発明の試料搬送装置に
おいて、次の要件（Ａ012）〜（Ａ014）を備えたことを
特徴とする。（Ａ012）前記搬送アーム直進用貫通軸
（１８）に固着されたプーリ（２２）、前記第１アーム
基端部に設けられたプーリ（２４）、および前記両プー
リに掛けられたタイミングベルト（３６）により構成さ
れた前記第１アーム回転力伝達手段（２２，２４，３
６）、（Ａ013）前記搬送アーム回転用貫通軸（１６）
に固着されたプーリ（２１）、前記第２アーム（２９）
基端部に設けられたプーリ（３１）、および前記両プー
リに掛けられたタイミングベルト（３７）により構成さ
れた前記第２アーム回転力伝達手段（２１，３１，３
７）、（Ａ014）前記第２アーム支持軸（２７）に固着
されたプーリ（２８）、前記搬送アーム基端部に設けら
れたプーリ（３４）、および前記両プーリに掛けられた
タイミングベルト（３８）により構成された前記搬送ア
ーム回転力伝達手段（２８，３４，３８）。

【００１５】（実施の形態１の作用）本発明の試料搬送
装置の実施の形態１では、前記第１アーム回転力伝達手
段（２２，２４，３６）は、前記搬送アーム直進用貫通
軸（１８）に固着されたプーリ（２２）、前記第１アー
ム基端部に設けられたプーリ（２４）、および前記両プ
ーリに掛けられたタイミングベルト（３６）により構成
される。前記第２アーム回転力伝達手段（２１，３１，
３７）は、前記搬送アーム回転用貫通軸（１６）に固着
されたプーリ（２１）、前記第２アーム基端部に設けら
れたプーリ（３１）、および前記両プーリに掛けられた
タイミングベルト（３７）により構成される。前記搬送
アーム回転力伝達手段（２８，３４，３８）は前記第２
アーム支持軸（２７）に固着されたプーリ（２８）、前
記搬送アーム基端部に設けられたプーリ（３４）、およ
び前記両プーリに掛けられたタイミングベルト（３８）
により構成される。

【００１６】前記搬送アーム直進用貫通軸（１８）が回
転したときに前記搬送アーム直進用貫通軸（１８）に固
着された第１アーム回転力伝達手段（２２，２４，３
６）のプーリ（２２）も回転して、前記搬送アーム直進
用貫通軸（１８）のプーリ（２２）に掛けられたタイミ
ングベルト（３６）を介して前記第１アーム基端部に設
けられたプーリ（２４）が回転する。前記第１アーム基
端部のプーリ（２４）の回転により前記第１アーム（２
３）が前記搬送アーム回転用貫通軸（１６）回りに回転
する。前記搬送アーム回転用貫通軸（１６）が回転した
ときに前記搬送アーム回転用貫通軸（１６）に固着され
た第２アーム回転力伝達手段（２１，３１，３７）のプ
ーリ（２１）も回転し、タイミングベルト（３７）を介
して前記第２アーム基端部に設けられたプーリ（３１）
も回転して前記第２アーム（２９）が前記第２アーム支
持軸（２７）回りに回転する。前記第２アーム支持軸
（２７）に固着された搬送アーム回転力伝達手段（２
８，３４，３８）のプーリ（２８）も回転するとタイミ
ングベルト（３８）を介して前記搬送アーム基端部に設
けられたプーリ（３４）が回転して前記搬送アーム（４
１）を前記搬送アーム支持軸（３３）回りに回転させ
る。

【００１７】前記アーム回転モータ（Ｍ1）を回転させ
ずに、前記アーム直進モータ（Ｍ2）のみを回転させた
場合、前記搬送アーム直進用貫通軸（１８）のみが回転
し、θ2＝−２θ1となり、また、搬送アーム（４１）の
搬送アーム支持軸（３３）周りの回転角はθ3＝θ1とな
る。このとき、前記第２アーム自体が−θ1回転し第２
アームに支持された搬送アーム支持軸（３３）が−θ1
回転する。したがって、搬送アーム支持軸（３３）が−
θ1回転し且つ搬送アーム（４１）が前記搬送アーム支
持軸（３３）周りにθ１回転するため、搬送アーム（４
１）の向きは変化しない。この場合には搬送アーム（４
１）は前記軸心位置Ａ1周りに回転することなく直進移
動する。

【００１８】また、前記アーム直進モータ（Ｍ2）を回
転させずに、前記アーム回転モータ（Ｍ1）のみを回転
させた場合、前記搬送アーム直進用貫通軸（１８）およ
びアーム回転用貫通軸（１６）の両方が回転し、θ2＝
θ3＝０となる。この場合には、第１アーム（２３）、
第２アームおよび搬送アーム（４１）の相対的位置関係
は一定に保持された状態でそれらは、前記軸心位置Ａ1
周りに一体的に回転する。このとき、搬送アーム（４
１）の方向が変化する。

【００１９】（実施の形態２）本発明の試料搬送装置の
実施の形態２は、前記本発明または実施の形態１の試料
搬送装置において、次の要件（Ａ015）〜（Ａ016）を備
えたことを特徴とする。（Ａ015）前記アーム直進モー
タ（Ｍ2）を支持し且つ前記アーム直進モータ（Ｍ2）の
回転出力軸と同軸のテーブル回転軸周りに回転する回転
テーブル（Ｔ1）、（Ａ016）前記回転テーブル（Ｔ1）
を回転駆動する前記アーム回転モータ（Ｍ1）。

【００２０】（実施の形態２の作用）本発明の試料搬送
装置の実施の形態２では、回転テーブル（Ｔ1）は、前
記アーム直進モータ（Ｍ2）を支持し且つ前記アーム直
進モータ（Ｍ2）の回転出力軸と同軸のテーブル回転軸
周りに回転する。前記アーム回転モータ（Ｍ1）は前記
回転テーブル（Ｔ1）を回転駆動する。このため、前記
アーム直進モータ（Ｍ2）およびアーム回転モータ（Ｍ
1）を一箇所に配置することができる。

【００２１】（実施の形態３）本発明の試料搬送装置の
実施の形態３は、前記本発明または本発明の実施の形態
１もしくは２の試料搬送装置において、次の要件（Ａ01
7）を備えたことを特徴とする。（Ａ017）前記搬送アー
ム（４１）を昇降させる搬送アーム昇降装置（４６）。 （実施の形態３の作用）本発明の試料搬送装置の実施の
形態３では、搬送アーム昇降装置（４６）は、前記搬送
アーム（４１）を昇降させる。このため、複数の試料
（Ｗ）が上下方向に多段に配置されていた場合でも前記
搬送アーム（４１）の先端部の試料載置部（４１a，４
１a）は前記複数の試料（Ｗ）の各試料（Ｗ）を支持す
ることができる。

【００２２】（実施の形態４）本発明の試料搬送装置の
実施の形態４は、前記本発明または本発明の実施の形態
１ないし３のいずれかの試料搬送装置において、次の要
件（Ａ018）を備えたことを特徴とする。（Ａ018）前記
搬送アーム（４１）、第１アーム（２３）、第２アー
ム、前記搬送アーム直進用貫通軸（１８）、搬送アーム
回転用直進軸、アーム直進モータ（Ｍ2）を支持する前
記回転テーブル（Ｔ1）およびアーム回転モータ（Ｍ1）
を同時に昇降させる前記搬送アーム昇降装置（１６a，
１８a，４６，５１，５２）。 （実施の形態４の作用）本発明の試料搬送装置の実施の
形態４では、搬送アーム昇降装置（１６a，１８a，４
６，５１，５２）は、前記搬送アーム（４１）、第１ア
ーム（２３）、第２アーム（２９）、前記搬送アーム直
進用貫通軸（１８）、搬送アーム回転用直進軸、アーム
直進モータ（Ｍ2）を支持する前記回転テーブル（Ｔ1）
およびアーム回転モータ（Ｍ1）を同時に昇降させる。
このため、複数の試料（Ｗ）が上下方向に多段に配置さ
れた場合でも前記搬送アーム（４１）の先端部の試料載
置部（４１a，４１a）は各試料（Ｗ）を支持し、前記支
持された試料（Ｗ）を前記軸心位置Ａ1周りに回転する
ことなく直進移動させたり、前記軸心位置Ａ1周りに回
転させることができる。

【００２３】

【実施例】次に図面を参照しながら、本発明の試料搬送
装置の実施の態様の例（実施例）を説明するが、本発明
は以下の実施例に限定されるものではない。 （実施例１）図１は試料搬送装置の実施例１が配置され
た真空試料室の平面概略図で、図１Ａは試料搬送アーム
が左方の試料交換室に延びた状態を示す図、図１Ｂは試
料搬送アームが真空試料室内に配置された状態を示す図
である。図２は前記試料搬送装置の実施例１の縦断面図
である。図３は同実施例１の試料搬送アームを直進移動
させる場合の動作説明図である。図４は同実施例１の試
料搬送アームを回転移動させる場合の動作説明図であ
る。

【００２４】図１において、電子顕微鏡、電子ビーム描
画装置等の電子線装置によりシリコンウエハー等の試料
に対する観察、検査、測長または描画等を真空中で行う
真空試料室（真空室）１内部には試料ステージＳが設置
されている。前記真空試料室１の左側面（Ｙ側の側面）
に隣接して試料交換室（予備排気室）２が設けられてい
る。前記真空試料室１および試料交換室２の間には開口
１a（図２参照）が形成されており、前記開口１aは上下
にスライド可能な内部仕切弁３（図１、図２参照）によ
り開閉されるようになっている。前記内部仕切弁３によ
り真空試料室１および試料交換室２は連通したり、また
は気密に遮断される。前記真空試料室１および試料交換
室２はそれぞれ真空ポンプ（図示せず）により真空にさ
れるようになっている。前記試料交換室２の側面には外
部仕切り弁４または５からウエハー等の試料Ｗが搬入さ
れるようになっている。前記試料交換室２の側壁には前
記外部仕切弁４，５に対応して開口２a，２bが設けられ
ており、前記外部仕切弁４，５は、上下にスライド移動
して開閉されるように構成されている。図２において、
試料交換室２内には試料Ｗを昇降可能に支持する昇降テ
ーブル６が配置されている。昇降テーブル６は試料交換
室２の下部壁の下側に配置されたエアシリンダ７により
昇降するように構成されている。

【００２５】前記真空試料室１の下部壁（底壁）１１の
下方には、上壁Ｃ1および中間壁Ｃ2を有するモータ支持
ケースＣが配置されている。モータ支持ケースＣの内部
にはアーム回転モータＭ1が支持されておりアーム回転
モータＭ1の出力軸はモータ支持ケースＣの上壁Ｃ1を貫
通してその上端に回転テーブルＴ1が連結されている。
回転テーブルＴ1は前記モータ支持ケースＣの中間壁Ｃ2
の上面に回転可能に支持されている。前記アーム回転モ
ータＭ1の出力軸にはその中間部に大径の第１プーリ１
２が固着されている。前記第１プーリ１２の側方には同
一直径を有する大径の第２プーリ１３が配置されてお
り、前記同一直径を有する大径の各プーリ１２および１
３間にはタイミングベルト１４が掛けられている。

【００２６】以下、本明細書において「大径」のプーリ
は全て同一直径のプーリを意味し、「小径」のプーリは
前記「大径」のプーリの１／２の直径を有するプーリを
意味するものとする。前記第２プーリ１３は搬送アーム
回転用貫通軸１６の下端に固着されている。搬送アーム
回転用貫通軸１６は、前記モータ支持ケースＣの中間壁
Ｃ2および前記真空試料室１の下部壁１１を貫通して上
端部は前記真空試料室１内に配置されている。

【００２７】前記回転テーブルＴ1上面にはアーム直進
モータＭ2が支持されている。アーム直進モータＭ2の出
力軸はカップリング１７を介して搬送アーム直進用貫通
軸１８に連結されている。搬送アーム直進用貫通軸１８
は前記真空試料室１の下部壁１１を貫通してその上端部
は前記真空試料室１内に配置されている。したがって、
前記アーム直進モータＭ2を停止した状態で前記アーム
回転モータＭ1を回転駆動すると、プーリ１２，１３お
よび回転テーブルＴ1が回転するので、前記搬送アーム
回転用貫通軸１６および搬送アーム直進用貫通軸１８が
同一回転速度で回転するように構成されている。

【００２８】真空試料室１内には前記搬送アーム回転用
貫通軸１６を回転自在に支持する貫通軸支持用固定部材
１９が固定されている。前記搬送アーム回転用貫通軸１
６の上端には第３プーリ２１が固着されており、第２プ
ーリ１３、搬送アーム回転用貫通軸１６、および第３プ
ーリ２１は一体的に回転するように構成されている。

【００２９】前記搬送アーム直進用貫通軸１８の上端に
は大径の第４プーリ２２が固着されている。前記第４プ
ーリ２２の側方において、前記貫通軸支持用固定部材１
９には、前記第３プーリ２１の下方に第１アーム２３が
回転自在に支持されている。第１アーム２３は、その下
端部に設けた大径の第５プーリ２４と、前記第５プーリ
２４の上方で水平に延びる水平アーム部２６と、この水
平アーム部２６の先端部の第２アーム支持軸２７の上端
に固定された小径の第６プーリ２８とを有している。

【００３０】前記第２アーム支持軸２７には、第２アー
ム２９が回転自在に支持されている。第２アーム２９
は、その下端部に設けた小径の第７プーリ３１と、前記
第７プーリ３１の上方で水平に延びる水平アーム部３２
と、この水平アーム部３２の先端部の搬送アーム支持軸
３３に回転自在に設けた大径の第８プーリ３４とを有し
ている。前記アーム直進用モータＭ2により回転される
第４プーリ２２と前記第５プーリ２４との間にはベルト
３６が掛けられている。また、第３プーリ２１と第７プ
ーリ３１との間、および、第６プーリ２８と第８プーリ
３４との間にもそれぞれベルト３７，３８が掛けられて
いる。前記第４プーリ２２、第５プーリ２４およびベル
ト３６とから第１アーム回転力伝達手段（２２，２４，
３６）が構成されている。第３プーリ２１、第７プーリ
３１およびベルト３７とから第２アーム回転力伝達手段
（２１，３１，３７）が構成されている。前記第６プー
リ２８、第８プーリ３４およびベルト３８とから搬送ア
ーム回転力伝達手段（２８，３４，３８）が構成されて
いる。

【００３１】前記プーリ１２，１３，２１，２２，２
４，３４は大径プーリで各プーリの径は同一であり、プ
ーリ２８，３１は小径プーリでその径は同一である。そ
して、大径プーリの径は小径プーリの２倍である。図３
Ａにおいて、前記プーリ２１，２４の軸心位置Ａ1、プ
ーリ２８，３１の軸心位置Ａ2、プーリ３４の軸心位置
をＡ3とし、軸心位置Ａ1およびＡ2間の距離をＬ1、軸心
位置Ａ2およびＡ3間の距離をＬ2とするとＬ1＝Ｌ2＝Ｌ
に設定されている。また、前記第８プーリ３４には搬送
アーム４１が一体的に結合されている。搬送アーム４１
の先端部には二股のウエハー載置部（試料載置部）４１
a，４１aが設けられている。

【００３２】前記符号１２〜３８，Ｍ1，Ｍ2，Ｔ1等で
示す要素により前記搬送アーム４１を移動させる搬送ア
ーム移動装置（１２〜３８，Ｍ1，Ｍ2，Ｔ1）が構成さ
れている。また、搬送アーム移動装置（１２〜３８，Ｍ
1，Ｍ2，Ｔ1）および符号４１で示す要素により本発明
の試料搬送装置Ｈが構成されている。また、図２におい
て、前記モータ支持ケースＣの上壁Ｃ1および前記真空
試料室１の下部壁１１の間には前記搬送アーム回転用貫
通軸１６および搬送アーム直進用貫通軸１８をそれぞれ
囲むようにベローズ４２，４３が設けられている。前記
ベローズ４２，４３により真空試料室１の気密性を向上
させることができる。

【００３３】前記図２に示す搬送アーム移動装置（１２
〜３８，Ｍ1，Ｍ2，Ｔ1）は、前記搬送アーム４１を図
２および図３Ａに示す状態から図３Ｂに示すように直進
移動させる際は、前記アーム回転モータＭ1を停止した
状態でアーム直進モータＭ2のみを回転させる。すなわ
ち、搬送アーム４１が図３Ａの状態で、アーム直進用モ
ータＭ2（図２参照）を回転駆動して、前記第５プーリ
２４を図３Ｂに示す角度θだけ時計方向に回転駆動する
と、前記第１アーム２３も時計方向に角度θだけ回転す
る。このとき第６プーリ２８および第７プーリ３１の軸
心位置Ａ2は図３Ｂに示す位置へ移動する。このとき、
第３プーリ２１に掛けられたベルト３７は第３プーリ２
１周りに角度θだけ旋回する（向きを変える）ので、第
７プーリ３１は反時計方向に角度２θだけ回転して、図
３Ｂの位置に移動する。この第７プーリ３１の角度２θ
の旋回に対応して第８プーリ３４はθ回転する。

【００３４】この場合、第８プーリ３４を支持する搬送
アーム支持軸３３は第２アーム２９とともに−θ回転し
て、回転角度の合計が０°となり、右方（−Ｙ方向）に
距離Ｄだけ平行移動し、前記搬送アーム４１が距離Ｄだ
け右方（−Ｙ方向）へ後退する（図３Ｂ参照）。前述し
たように、軸心位置Ａ1およびＡ2間の距離Ｌ1と軸心位
置Ａ2およびＡ3間の距離Ｌ2とはＬ1＝Ｌ2＝Ｌに設定さ
れているので、前記移動距離Ｄは次式で表される。 Ｄ＝２Ｌ（１−cosθ） したがって、θ＝１８０°のときＤ＝４Ｌとなり、図４
Ａに示す状態となる。

【００３５】ところで、前記図３Ｂの状態において、第
７プーリ３１および第２アーム２９を時計方向に２θ回
転させた場合、軸心位置Ａ3は、前記軸心位置Ａ1および
Ａ2を結ぶ線上に移動する。このとき、第８プーリ３４
は軸心位置Ａ3周りに−θ回転する。すなわちこの場合
は、第１アーム２３、第２アーム２９および搬送アーム
４１は、図３Ａに示す関係を保持したまま（すなわち、
軸心位置Ａ1，Ａ2，Ａ3が一直線上に配置されたま
ま）、軸心位置Ａ1を中心にしてθだけ回転することに
なる。したがって、図４Ａに示す状態で、図２に示す前
記アーム直進用モータＭ2を停止させた状態で前記アー
ム回転モータＭ1のみを回転させると、前記第１アーム
２３は軸心位置Ａ1周りにθ回転し、第２アーム２９は
軸心位置Ａ2周りに−２θ回転する。このとき、第１ア
ーム２３、第２アーム２９および搬送アーム４１は、図
４Ａに示す関係を保持したまま（すなわち、軸心位置Ａ
1，Ａ2，Ａ3が一直線上に配置されたまま）、軸心位置
Ａ1を中心にしてθだけ回転して図４Ｂの状態となる。

【００３６】したがって、前記アーム直進用モータＭ2
を停止させた状態で前記アーム回転モータＭ1のみを回
転させると、第１アーム２３、第２アーム２９および搬
送アーム４１は、図４Ａに示す関係を保持したまま（す
なわち、軸心位置Ａ1，Ａ2，Ａ3が一直線上に配置され
たまま）、軸心位置Ａ1を中心に回転するので、搬送ア
ーム４１の向きを変えることができる。そして、前記向
きを変えた搬送アームは、前記アーム回転モータＭ1を
停止した状態でアーム直進モータＭ2のみを回転させる
ことにより直進移動させることができる。

【００３７】（実施例１の作用）図５は同実施例１の試
料搬送アームを試料交換室から後退させた状態を示す図
である。図６は同実施例１の試料搬送アームを真空試料
室内の試料テーブルの方向に延ばす場合の状態を示す図
である。図７は同実施例１の試料搬送手順を示す図であ
る。図５Ａは搬送アーム４１が試料交換室２側に延びた
状態である。この状態で前記図２に示すアーム回転モー
タＭ1を停止してアーム直進モータＭ2のみを回転させる
ことにより、前記搬送アーム４１を順次図５Ｂ、図５
Ｃ、図５Ｄの位置に移動させることができる。

【００３８】図６Ａは前記図５Ｄと同じ状態を示す図で
ある。この図６Ａに示す状態において、前記アーム直進
用モータＭ2を停止させた状態で前記アーム回転モータ
Ｍ1のみを回転させると、第１アーム２３、第２アーム
２９および搬送アーム４１は、図６Ａに示す位置関係を
保持したまま（すなわち、軸心位置Ａ1，Ａ2，Ａ3が一
直線上に配置されたまま）、軸心位置Ａ1を中心に回転
して図６Ｂの状態とすることができる。この図６Ｂの状
態では搬送アーム４１の向きは試料ステージＳに向いて
いる。この図６Ｂの状態において、前記図２に示すアー
ム回転モータＭ1を停止した状態でアーム直進モータＭ2
のみを回転させることにより、前記搬送アーム４１を順
次図６Ｃ、図６Ｄ、図６Ｅの位置に直進移動させること
ができるので、試料ステージＳに対して試料Ｗの搬送を
行うことができる。

【００３９】図７において、本実施例１の試料の搬送手
順は次のとおりである。 （１）内部仕切弁３を開ける。 （２）搬送アーム４１を試料交換室２に前進させる。 （３）搬送アーム４１上に試料を受け取る。 （４）搬送アーム４１を後退させる。 （５）搬送アーム４１を旋回させる。 （６）搬送アーム４１を試料ステージＳ側に前進させ
る。 （７）試料ステージＳ上に試料を受け渡す。 （８）搬送アーム４１を後退させる。 なお、前記試料交換室２内での試料Ｗの受取り、およ
び、試料ステージＳに対する試料Ｗの受渡し等の技術は
従来公知の種々の技術を使用することができる。

【００４０】前記本実施例１によれば、アーム回転モー
タＭ1またはアーム直進モータＭ2のいずれか一方を停止
して他方駆動することにより、搬送アームの旋回動作と
直進動作をそれぞれ独立に行うことができる。また、本
実施例１の試料搬送装置は前記搬送アーム回転用貫通軸
１６と搬送アーム直進用貫通軸１８とを別々のモータで
回転駆動させないので、前記搬送アーム４１の方向を変
えるとき各軸１６，１８の回転がθ2＝θ3＝０となるよ
うに各モータを制御する必要がない。

【００４１】（実施例２）図８は試料搬送装置の実施例
２の縦断面図で、前記実施例１の図２に対応する図であ
る。図９は同実施例２の試料搬送手順を示す図で、前記
実施例１の図７に対応する図である。なお、この実施例
２の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する
構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省
略する。図８において、モータ支持ケースＣは昇降テー
ブル（搬送アーム昇降装置）４６上に支持されており、
昇降テーブル４６と共に昇降可能である。また、前記実
施例１の真空試料室１内に固定された貫通軸支持用固定
部材１９の代わりに、貫通軸装着スペーサ１９′が設け
られている。貫通軸装着スペーサ１９′は前記搬送アー
ム回転用貫通軸１６外周に、搬送アーム回転用貫通軸１
６と一体的に昇降可能に装着されている。したがって、
前記昇降テーブル４６によりモータ支持ケースＣが昇降
した場合には、前記搬送アーム４１も昇降する。

【００４２】試料交換室２内には試料（ウエハー）Ｗを
多段に収納した試料カセット４７が配置されており、前
記搬送アーム４１を上昇または下降させることにより、
試料カセット４７に対する試料（ウエハー）Ｗの取出、
収納を行えるようになっている。また、前記モータ支持
ケースＣが昇降する際、前記モータ支持ケースＣの上壁
Ｃ1および前記真空試料室１の下部壁１１の間に配置し
た前記搬送アーム回転用貫通軸１６および搬送アーム直
進用貫通軸１８をそれぞれ囲むベローズ４２，４３が伸
縮するが、前記ベローズ４２，４３による真空試料室１
の気密性は低下しない。

【００４３】図９において、本実施例２の試料の搬送手
順は次のとおりである。 （１）内部仕切弁３を開ける。 （２）搬送アーム４１を試料交換室２に前進させる。 （３）搬送アーム４１の昇降動作により搬送アーム４１
上に試料Ｗを受け取る。 （４）搬送アーム４１を後退させる。 （５）搬送アーム４１を旋回させる。 （６）搬送アーム４１を試料ステージＳ側に前進させ
る。 （７）試料ステージＳ上に試料Ｗを受け渡す。 （８）搬送アーム４１を４１後退させる。

【００４４】本実施例２によれば、試料交換室２内を大
気から遮断した状態で、試料交換室２内の試料カセット
４７内の全ての試料Ｗの検査、観察連続して行うことが
できる。

【００４５】（実施例３）図１０は試料搬送装置の実施
例３の縦断面図で、前記実施例２の図８に対応する図で
ある。なお、この実施例３の説明において、前記実施例
２の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付し
て、その詳細な説明を省略する。昇降テーブル４６によ
り昇降されるモータ支持ケースＣ内にはアーム回転モー
タＭ1のみが配置されている。また、前記ベローズ４
２，４３は省略されている。前記搬送アーム回転用貫通
軸１６および搬送アーム直進用貫通軸１８の下端部には
それぞれ内側磁石１６a，１８aが装着されている。前記
搬送アーム回転用貫通軸１６および前記搬送アーム直進
用貫通軸１８の前記下部壁１１より下方部分（真空試料
室１の外側部分）はそれぞれ、前記下部壁１１に支持さ
れた非磁性材料性の円筒部材４８および４９の内側に配
置されている。

【００４６】前記円筒部材４８，４９の外側にはスライ
ダ５１，５２が軸方向にスライド可能に装着されてい
る。スライダ５１，５２には前記内側磁石１６a，１８a
を吸着する磁極配列を有する磁石（図示せず）が装着さ
れており、スライダ５１，５２の回転に伴い前記内側磁
石１６a，１８aも回転し、且つ、スライダ５１，５２の
昇降動作に伴い前記内側磁石１６a，１８aも昇降するよ
うに構成されている。前記磁石１８aおよび１８aの回
転、昇降に応じて前記搬送アーム回転用貫通軸１６およ
び搬送アーム直進用貫通軸１８も回転、昇降するように
なっている。前記スライダ５１および５２にはそれぞれ
大径の第２プーリ１３′および第９プーリ５３が装着さ
れている。なお、前記内側磁石１６a，１８aと昇降テー
ブル４６とスライダ５１，５２とから本実施例３の搬送
アーム昇降装置（１６a，１８a，４６，５１，５２）が
構成される

【００４７】前記アーム直進モータＭ2のケースには大
径の第１プーリ１２′が固着され、前記アーム直進モー
タＭ2の出力軸には第１０プーリ５４が固着されてい
る。前記第１プーリ１２′および第２プーリ１３′間に
はタイミングベルト１４′が掛けられている。また、前
記第１０プーリ５４および第９プーリ５３間にはタイミ
ングプーリ５５が掛けられている。

【００４８】（実施例３の作用）前記アーム回転モータ
Ｍ1を停止した状態でアーム直進モータＭ2のみを回転さ
せると、その回転力は順次、第１０プーリ５４、タイミ
ングベルト５５、第９プーリ５３、スライダ５２の磁石
（図示せず）、内側磁石１８a、搬送アーム直進用貫通
軸１８を介して前記第４プーリ２２に伝達される。この
とき、前記搬送アーム４１を直進移動させることができ
る。

【００４９】また、前記アーム直進モータＭ2のケース
に装着された第１プーリ１２′が回転すると、その回転
力は順次、前記タイミングベルト１４′、第２プーリ１
３′、スライダ５１の磁石（図示せず）、内側磁石１６
a，搬送アーム回転用貫通軸１６、および第３プーリ２
１に伝達される。したがって、前記アーム直進用モータ
Ｍ2を停止させた状態で前記アーム回転モータＭ1のみを
回転させると、その回転力は前記回転テーブルＴ1を介
してアーム直進モータＭ2のケースおよび軸に伝達され
るので、前記第１プーリ１２′および第１０プーリ５４
が回転する。このとき、前記第３プーリ２１および第４
プーリ２２が同時に回転する。このとき、第１アーム２
３、第２アーム２９および搬送アーム４１の位置関係は
保持したまま搬送アームの向きを変えることができる。
例えば、図６Ａに示す位置関係を保持したまま（すなわ
ち、軸心位置Ａ1，Ａ2，Ａ3が一直線上に配置されたま
ま）、軸心位置Ａ1を中心に回転して図６Ｂの状態とす
ることができる。

【００５０】また、前記昇降テーブル４６を昇降させる
と、第１および第１０プーリも昇降しそれらに掛けられ
たタイミングベルト１４′および５５が昇降する。この
タイミングベルト１４′，５５の昇降により第３、第９
プーリ１３′，５３およびスライダ５１，５２が昇降す
る。このとき、前記スライダ５１，５２に装着された磁
石（図示せず）により前記内側１６a，１８aとともに搬
送アーム回転用貫通軸１６、搬送アーム直進用貫通軸１
８aが昇降するので、前記搬送アーム４１も昇降する。
したがって、前記昇降テーブル４６によりモータ支持ケ
ースＣが昇降した場合には、前記搬送アーム４１が昇降
し、前記試料交換室２内に配置した試料カセット４７に
対する試料（ウエハー）Ｗの取出、収納を行うことがで
きる。また、本実施例３では前記円筒部材４８，４９の
内部は外部に対して完全に遮断されるので、真空試料室
１内を高真空に保持することができる。本実施例３の試
料の搬送手順は、前記実施例２と同様であり、図９に示
すとおりである。

【００５１】（変更例）以上、本発明の実施例を詳述し
たが、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内
で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更
実施例を下記に例示する。 （Ｈ01）本発明の試料搬送装置は真空試料室に配置する
代わりに、前記真空試料室および試料保管用の他の１個
以上の真空室に接続され試料交換室に配置して、前記試
料保管用の真空室および前記真空試料室の間で試料を搬
送する際にも使用することができる。 （Ｈ02）前記第１アーム回転力伝達手段、第２アーム回
転力伝達手段、または前記搬送アーム回転力伝達手段と
して、プーリを使用する代わりにギヤ列、リンク機構等
を単独または組み合わせて使用することが可能である。

【００５２】

【発明の効果】前述の本発明の試料搬送装置は、下記の
効果を奏することができる。 （Ｅ01）試料搬送アームの直進移動および回転移動の制
御を容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は試料搬送装置の実施例１が配置された
真空試料室の平面概略図で、図１Ａは試料搬送アームが
左方の試料交換室に延びた状態を示す図、図１Ｂは試料
搬送アームが真空試料室内に配置された状態を示す図で
ある。

【図２】 図２は前記試料搬送装置の実施例１の縦断面
図である。

【図３】 図３は同実施例１の試料搬送アームを直進移
動させる場合の動作説明図である。

【図４】 図４は同実施例１の試料搬送アームを回転移
動させる場合の動作説明図である。

【図５】 図５は同実施例１の試料搬送アームを試料交
換室から後退させた状態を示す図で、図５Ａは試料搬送
アームが試料交換室に延びた状態を示す図、図５Ｂは試
料搬送アームが試料交換室から後退し始めた状態を示す
図、図５Ｃは前記図５Ｂよりさらに試料搬送アームが試
料交換室から後退した状態を示す図、図５Ｄは試料搬送
アームが真空作業室まで後退した状態を示す図である。

【図６】 図６は同実施例１の試料搬送アームを真空試
料室内の試料テーブルの方向に延ばす場合の状態を示す
図で、図６Ａは試料搬送アームを真空試料室内の試料テ
ーブルの方向に延ばす前の状態を示す図、図６Ｂは試料
搬送アームの先端を試料テーブルの方向に回転させた状
態を示す図、図６Ｃは試料搬送アームを真空試料室内の
試料テーブルの方向に延ばす状態を示す図、図６Ｄは前
記図６Ｃよりさらに試料搬送アームの先端が試料テーブ
ルの方向に延びた状態を示す図、図６Ｅは試料搬送アー
ムが試料テーブルまで延びた状態を示す図である。

【図７】 図７は同実施例１の試料搬送手順を示す図で
ある。

【図８】 図８は試料搬送装置の実施例２の縦断面図
で、前記実施例１の図２に対応する図である。

【図９】 図９は同実施例２の試料搬送手順を示す図
で、前記実施例１の図７に対応する図である。

【図１０】 図１０は試料搬送装置の実施例３の縦断面
図で、前記実施例２の図８に対応する図である。

【図１１】 図１１は、３個の関節を備えた試料搬送装
置の従来例の平面図である。

【図１２】 図１２は前記図１１に示す従来の試料搬送
装置を使用した場合の試料搬送手順を示す図である。

【符号の説明】

Ｈ…試料搬送装置、Ｍ1…アーム回転モータ、Ｍ2…アー
ム直進モータ、Ｔ1…回転テーブル、１…真空室、１１
…底壁、１６…搬送アーム回転用貫通軸、１８…搬送ア
ーム直進用貫通軸、２１，２２，２４，２８，３１，３
４…プーリ、２１，３１，３７…第２アーム回転力伝達
手段、２２，２４，３６…第１アーム回転力伝達手段、
２３…第１アーム、２７…２アーム支持軸、２８，３
４，３８…搬送アーム回転力伝達手段、２９…第２アー
ム、３３…搬送アーム支持軸、３６，３７，３８…タイ
ミングベルト、４１a，４１a…試料載置部、４１…搬送
アーム、４６…搬送アーム昇降装置、

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 次の要件（Ａ01）〜（Ａ011）を備えた
   ことを特徴とする試料搬送装置、（Ａ01）真空室を形成
   する底壁を鉛直に貫通するとともに、真空室内が外部に
   対して気密となるように且つ回転可能に支持された搬送
   アーム回転用貫通軸および搬送アーム直進用貫通軸、
   （Ａ02）前記搬送アーム直進用貫通軸を回転駆動する前
   記真空室外部に配置されたアーム直進モータ、（Ａ03）
   前記搬送アーム直進用貫通軸および搬送アーム回転用貫
   通軸を同時に回転駆動する前記真空室外部に配置された
   アーム回転モータ、（Ａ04）前記真空室内に配置され、
   前記搬送アーム回転用貫通軸回りに回転可能に支持され
   る第１アーム基端部と、第２アーム支持軸が設けられた
   第１アーム先端部とを有する第１アーム、（Ａ05）前記
   真空室内に配置され、第２アーム支持軸回りに回転可能
   に支持される第２アーム基端部と、搬送アーム支持軸が
   設けられた第２アーム先端部とを有する第２アーム、
   （Ａ06）前記搬送アーム支持軸回りに回転可能に支持さ
   れた搬送アーム基端部と、試料載置部が設けられた搬送
   アーム先端部とを有する搬送アーム、（Ａ07）前記搬送
   アーム直進用貫通軸が回転したときに前記第１アームを
   前記搬送アーム回転用貫通軸回りに回転させる第１アー
   ム回転力伝達手段、（Ａ08）前記第１アームまたは搬送
   アーム回転用貫通軸が回転したときに前記第２アームを
   前記第２アーム支持軸回りに回転させる第２アーム回転
   力伝達手段、（Ａ09）前記第２アームが前記第２アーム
   支持軸回りに回転したとき前記搬送アームを前記搬送ア
   ーム支持軸回りに回転させる搬送アーム回転力伝達手
   段、（Ａ010）前記搬送アーム回転用貫通軸の軸心位置
   をＡ1、前記第２アーム支持軸の軸心位置をＡ2、前記搬
   送アーム支持軸の軸心位置をＡ3、前記軸心位置Ａ1およ
   びＡ2間の長さをＡ1Ａ2、前記軸心位置Ａ2およびＡ3間
   の長さをＡ2Ａ3、一定長さをＬとした場合に、Ａ1Ａ2＝
   Ａ2Ａ3＝Ｌに設定された前記搬送アーム回転用貫通軸、
   前記第２アーム支持軸および前記搬送アーム支持軸の配
   置構造、（Ａ011）前記搬送アーム回転用貫通軸回りの
   第１アームの回転角度をθ1、前記第２アーム支持軸回
   りの第２アームの回転角度をθ2、前記搬送アーム支持
   軸回りの搬送アームの回転角度をθ3とした場合に、前
   記搬送アーム回転用貫通軸が回転しない状態で前記搬送
   アーム直進用貫通軸を回転させたときθ2＝−２θ1、θ
   3＝θ1となるように構成され、前記搬送アーム回転用貫
   通軸および前記搬送アーム直進用貫通軸を同時に回転角
   θ1回転させたときθ2＝θ3＝０となるように構成され
   た、前記第１アーム回転力伝達手段、第２アーム回転力
   伝達手段、および搬送アーム回転力伝達手段。