JP6665095B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
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Description
Claims (25)
- 基板処理装置であって、
連続的に接続されたアームリンクを有し、前記アームリンクの少なくとも1つが所定のアームリンクの高さを有する、搬送アームと、
少なくとも、第1プーリおよび第2プーリであって、前記第2プーリが前記連続的に接続されたアームリンクのうちの1つのアームリンクに固定されている、第1プーリおよび第2プーリと、
2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドを有する複数バンドのトルク伝達部材であって、前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドは、各トルク荷重伝達が、前記第1プーリおよび前記第2プーリの間で、前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドによって、トルク荷重の下で、前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの1つを通じて実質的に一定の一方向かつ一軸の緊張荷重を前記第1プーリから前記第2プーリへと延在する前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの1つの全長を通じて連続的に与えるように、前記第1プーリおよび前記第2プーリのそれぞれの間で長手方向に連続的に延在し、前記第1プーリおよび前記第2プーリのそれぞれに独立して連結される、トルク伝達部材と
を備え、
前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれが、前記所定のアームリンクの高さに対応する固定のバンドの高さと、前記対応する固定のバンドの高さに対して、横方向に増加した断面のセグメントを含むように、変化する横方向厚さとを有している、
基板処理装置。 - 前記連続的に接続されたアームリンクの伸長および収縮をもたらすために、前記第1プーリに駆動接続された駆動部をさらに備える、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記第1プーリが駆動プーリであり、前記第2プーリが従動プーリである、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記横方向に増加した断面のセグメントが、非湾曲バンドセグメントである、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記搬送アームが、
駆動部に連結される近位端部を有する、第1アームリンクと、
第2アームリンクであって、前記第2アームリンクの近位端部で、前記第1アームリンクの遠位端部に回転可能に連結された、第2アームリンクと、
前記第2アームリンクの遠位端部に接続された、基板支持部と、
を含む、
請求項1記載の基板処理装置。 - 前記搬送アームがスカラアームを備える、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれが、前記横方向に増加した断面と異なる第1の横方向の断面を有する、第1および第2プーリ接合部を含み、前記横方向に増加した断面のセグメントが、前記第1プーリ接合部を前記第2プーリ接合部につなぐ、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれが、第1および第2プーリ接合部を含み、前記横方向に増加した断面のセグメントが、前記第1プーリ接合部と前記第2プーリ接合部との間の、前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの1つの上に配置される、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記横方向に増加した断面のセグメントが、前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの1つに取り付けられる、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記横方向に増加した断面のセグメントが、前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの1つを備えた単一の一体構造を有する、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記横方向に増加した断面のセグメントが、前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの1つの1つまたは複数の側面から横方向に延在する、1つまたは複数のフランジを備える、請求項1記載の基板処理装置。
- 基板処理装置であって、
連続的に接続されたアームリンクを有し、前記アームリンクのそれぞれが所定のアームリンクの高さを有する、搬送アームと、
少なくとも、第1プーリおよび第2プーリであって、前記第2プーリが前記連続的に接続されたアームリンクのうち、駆動されるアームリンクに接続された、第1プーリおよび第2プーリと、
2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドを有する複数バンドのトルク伝達部材であって、前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドは、各トルク荷重伝達が、前記第1プーリおよび前記第2プーリの間で、前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドによって、トルク荷重の下で、前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの1つを通じて実質的に一定の一方向かつ一軸の緊張荷重を前記第1プーリから前記第2プーリへと延在する前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの1つの全長を通じて連続的に与えるように、前記第1プーリおよび前記第2プーリのそれぞれの間で長手方向に連続的に延在し、前記第1プーリおよび前記第2プーリのそれぞれに独立して連結される、トルク伝達部材と
を備え、
前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれが、横方向のバンド厚さと、所定のアームリンクの高さに関連する所定の固定の高さとを有し、前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの1つの少なくとも1つの側面にバンドセグメントが連結され、前記バンドセグメントは、前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの1つの所定の長さに亘って、前記所定の固定の高さと独立して、前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの1つの厚さを変えるために、重ね板部材を形成するように構成されている、
基板処理装置。 - 前記アームリンクの伸長および収縮をもたらすために、前記第1プーリに駆動接続された駆動部をさらに備える、請求項12記載の基板処理装置。
- 前記第1プーリが駆動プーリであり、前記第2プーリが従動プーリである、請求項12記載の基板処理装置。
- 前記バンドセグメントが、非湾曲バンドセグメントである、請求項12記載の基板処理装置。
- 前記搬送アームが、
駆動部に連結される近位端部を有する、第1アームリンクと、
第2アームリンクであって、前記第2アームリンクの近位端部で、前記第1アームリンクの遠位端部に回転可能に連結された、第2アームリンクと、
前記第2アームリンクの遠位端部に接続された、基板支持部と、
を含む、
請求項12記載の基板処理装置。 - 前記搬送アームがスカラアームを備える、請求項12記載の基板処理装置。
- 前記バンドセグメントが、前記少なくとも1つの側面に、機械的に固定される、または化学的に接着される、請求項12記載の基板処理装置。
- 前記バンドセグメントが、前記少なくとも1つの側面から横方向に延在する、1つまたは複数のフランジを備える、請求項12記載の基板処理装置。
- 前記バンドセグメントが、前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの1つの第1側面上に配置された第1バンドセグメント、および前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの1つの第2側面上に配置された第2バンドセグメントを備え、前記第2側面は前記第1側面の反対に位置する、請求項12記載の基板処理装置。
- 基板搬送装置であって、
駆動部と、
連続的に接続された3つ以上のアームリンクを有し、少なくとも1つのアームリンクが所定のアームリンクの
高さを有する、スカラアームと、
少なくとも、第1プーリおよび第2プーリであって、前記第2プーリが、前記連続的に接続された3つ以上のアームリンクのうちの1つのアームリンクに固定されている、第1プーリおよび第2プーリと、
2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドを有する複数バンドのトルク伝達部材であって、各トルク荷重伝達は、前記第1プーリおよび前記第2プーリの間で、前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドによって、トルク荷重の下で、前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの1つを通じて実質的に一定の一方向かつ一軸の緊張荷重を前記第1プーリから前記第2プーリへと延在する前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの1つの全長を通じて連続的に与えるように、2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれが、前記第1プーリおよび前記第2プーリのそれぞれの間で長手方向に連続的に延在し、前記第1プーリおよび前記第2プーリのそれぞれに独立して連結される、トルク伝達部材と
を備え、
前記2以上の独立した一方向トルク伝達バンドのそれぞれは、前記所定のアームリンクの高さに対応する固定のバンドの高さと、前記2以上の独立した一方向トルク伝達バンドのそれぞれが、前記対応する固定のバンドの高さに対して、横方向に増加した断面のセグメントを含むように、変化する横方向厚さとを有している、
基板搬送装置。 - 前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれが、前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの1つの少なくとも1つの側面上に配置された、バンドセグメントを含み、前記バンドセグメントが前記所定の高さに対して、前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの1つの所定の長さに亘って、前記バンドセグメントの前記断面を変えるように構成されている、請求項21記載の基板搬送装置。
- 前記バンドセグメントが、前記少なくとも1つの側面に、機械的に取り付けられる、または化学的に接着される、請求項22記載の基板搬送装置。
- 前記バンドセグメントが、前記少なくとも1つの側面から横方向に延在する、1つまたは複数のフランジを備える、請求項22記載の基板搬送装置。
- 基板処理装置であって、
連続的に接続されたアームリンクを有し、前記アームリンクの少なくとも1つが所定のアームリンクの高さを有する、搬送アームと、
少なくとも、第1プーリおよび第2プーリであって、前記第2プーリが前記連続的に接続されたアームリンクのうちの1つのアームリンクに接続された、第1プーリおよび第2プーリと、
2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドを有する複数バンドのトルク伝達部材であって、各トルク荷重伝達は、前記第1プーリおよび前記第2プーリの間で、前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドによって、トルク荷重の下で、前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの1つを通じて実質的に一定の一方向かつ一軸の緊張荷重を前記第1プーリから前記第2プーリへと延在する前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれの1つの全長を通じて連続的に与えるように、前記第1プーリおよび前記第2プーリのそれぞれの間で長手方向に連続的に延在し、前記第1プーリおよび前記第2プーリのそれぞれに独立して連結される、トルク伝達部材と
を備え、
前記2以上の独立した一方向のトルク伝達バンドのそれぞれが、前記所定のアームリンクの高さに対応する固定のバンドの高さを有し、前記第1および第2プーリの間に、第1バンド部分が長手方向に延在し、前記第1および第2プーリの間に、第2バンド部分が長手方向に延在し、前記第2バンド部分の厚さは、前記第1バンド部分の厚さよりも大きい、
基板処理装置。
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