JPH08139160A - 半導体製造装置におけるウェーハの移載装置 - Google Patents
半導体製造装置におけるウェーハの移載装置Info
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- JPH08139160A JPH08139160A JP30263894A JP30263894A JPH08139160A JP H08139160 A JPH08139160 A JP H08139160A JP 30263894 A JP30263894 A JP 30263894A JP 30263894 A JP30263894 A JP 30263894A JP H08139160 A JPH08139160 A JP H08139160A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】キャリアステージにある複数枚のウェーハの内
に不良品が混在したり、ウェーハ収納用の溝や棚に空き
があってもウェーハの移載作業を効率良く行うようにす
る。 【構成】半導体製造装置におけるウェーハの移載を行う
固定型の１枚用移載ペンシル４ａと一体可動型の例えば
４枚用移載ペンシル４Ｂとを同一方向に揃えた状態では
両者が重なるように両者の基部を垂直方向に組み合わせ
て設置し、移載すべきウェーハの移載枚数が１枚の場合
には、４枚用移載ペンシル４Ｂを所定角度回転すること
により、ウェーハの移載に関しては１枚用移載ペンシル
４ａを有効、４枚用移載ペンシル４Ｂは無効とするよう
にし、また、移載すべきウェーハの移載枚数が５枚の場
合には、４枚用移載ペンシル４Ｂを基準位置に戻して５
枚用移載ペンシルを構成する。そのために、上記基準位
置にきたとき、４枚用移載ペンシル４Ｂに制動力を付与
すると共に、一対の磁石体１６ａ、１６ｂの吸引力によ
って４枚用移載ペンシル４ａを位置決めするのが望まし
い。
に不良品が混在したり、ウェーハ収納用の溝や棚に空き
があってもウェーハの移載作業を効率良く行うようにす
る。 【構成】半導体製造装置におけるウェーハの移載を行う
固定型の１枚用移載ペンシル４ａと一体可動型の例えば
４枚用移載ペンシル４Ｂとを同一方向に揃えた状態では
両者が重なるように両者の基部を垂直方向に組み合わせ
て設置し、移載すべきウェーハの移載枚数が１枚の場合
には、４枚用移載ペンシル４Ｂを所定角度回転すること
により、ウェーハの移載に関しては１枚用移載ペンシル
４ａを有効、４枚用移載ペンシル４Ｂは無効とするよう
にし、また、移載すべきウェーハの移載枚数が５枚の場
合には、４枚用移載ペンシル４Ｂを基準位置に戻して５
枚用移載ペンシルを構成する。そのために、上記基準位
置にきたとき、４枚用移載ペンシル４Ｂに制動力を付与
すると共に、一対の磁石体１６ａ、１６ｂの吸引力によ
って４枚用移載ペンシル４ａを位置決めするのが望まし
い。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造装置における
ウェーハの移載装置の改良に関する。
ウェーハの移載装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体の単結晶を材料ウェーハの
上に形成する半導体製造装置は、図２のような構成にな
っていた。同図において、１は半導体製造装置であって
無塵室を形成しており、２は移載装置であるロボット
で、このロボット２のアーム３の先端に設けられたフィ
ンガとも呼ばれるウェーハ移載用のペンシル４によっ
て、材料であるウェーハ５をキャリアステージ６からボ
ート７の内部の支柱に設けられるウェーハ収納用の溝又
は棚８に移載・装填し、ウェーハ５の装填を完了したボ
ート７は図示しない昇降手段によって上昇して、その材
料ウェーハ５を反応装置９に収納し所要の熱処理を行う
ようになっている。また、１０はこの半導体製造装置の
制御装置、１１はその操作盤で、これらは無塵室外に置
かれている。なお、図２に示すボート７の内部の支柱に
は複数個（通常１００〜１５０個）のウェーハ収納用の
溝又は棚８が設けられ、また、キャリアステージ６のカ
セット（ここでは図示せず）内にはウェーハ５が通常は
２５段に積層して収納される溝又は棚が形成されてい
る。従って、ウェーハ５をロボット２のアーム３の先端
に設けられたペンシル４により上記のように移載すると
きは、複数枚（この例では５枚）を一括して移載するよ
うにしていた。図３（Ａ）に示すように、従来のもので
は５個のペンシル４が一体固定型のものであって、スペ
ーサ１２を介してアーム３の先端部のペンシル保持部１
３に取り付けられていた。なお、同図（Ｂ）はペンシル
４の平面図を示すもので、１２ａはペンシル４を固定す
るペンシルホルダーである。
上に形成する半導体製造装置は、図２のような構成にな
っていた。同図において、１は半導体製造装置であって
無塵室を形成しており、２は移載装置であるロボット
で、このロボット２のアーム３の先端に設けられたフィ
ンガとも呼ばれるウェーハ移載用のペンシル４によっ
て、材料であるウェーハ５をキャリアステージ６からボ
ート７の内部の支柱に設けられるウェーハ収納用の溝又
は棚８に移載・装填し、ウェーハ５の装填を完了したボ
ート７は図示しない昇降手段によって上昇して、その材
料ウェーハ５を反応装置９に収納し所要の熱処理を行う
ようになっている。また、１０はこの半導体製造装置の
制御装置、１１はその操作盤で、これらは無塵室外に置
かれている。なお、図２に示すボート７の内部の支柱に
は複数個（通常１００〜１５０個）のウェーハ収納用の
溝又は棚８が設けられ、また、キャリアステージ６のカ
セット（ここでは図示せず）内にはウェーハ５が通常は
２５段に積層して収納される溝又は棚が形成されてい
る。従って、ウェーハ５をロボット２のアーム３の先端
に設けられたペンシル４により上記のように移載すると
きは、複数枚（この例では５枚）を一括して移載するよ
うにしていた。図３（Ａ）に示すように、従来のもので
は５個のペンシル４が一体固定型のものであって、スペ
ーサ１２を介してアーム３の先端部のペンシル保持部１
３に取り付けられていた。なお、同図（Ｂ）はペンシル
４の平面図を示すもので、１２ａはペンシル４を固定す
るペンシルホルダーである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体製造装置
におけるウェーハの移載装置では、前述のように５個の
各ペンシルの方向が固定された構成であったから、ペン
シルの個数分のウェーハをキャリアステージからボート
へ移載する場合には有効であるが、キャリアステージに
あるウェーハの枚数がペンシルの個数よりも少ない場
合、またウェーハ自体が不良だった場合などは、定数枚
しか収納できないボートの棚に空きを作ったり不良品を
収納したりしてしまうという事態が生じるため、効率の
良いウェーハの移載作業ができないという問題点があっ
た。本発明は従来のものの上記課題（問題点）を解決す
るようにした半導体製造装置におけるウェーハの移載装
置を提供することを目的とする。
におけるウェーハの移載装置では、前述のように５個の
各ペンシルの方向が固定された構成であったから、ペン
シルの個数分のウェーハをキャリアステージからボート
へ移載する場合には有効であるが、キャリアステージに
あるウェーハの枚数がペンシルの個数よりも少ない場
合、またウェーハ自体が不良だった場合などは、定数枚
しか収納できないボートの棚に空きを作ったり不良品を
収納したりしてしまうという事態が生じるため、効率の
良いウェーハの移載作業ができないという問題点があっ
た。本発明は従来のものの上記課題（問題点）を解決す
るようにした半導体製造装置におけるウェーハの移載装
置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体製造装置
におけるウェーハの移載装置では、上記課題を解決する
ために、半導体製造装置におけるウェーハの移載を行う
固定型の１枚用移載ペンシルと一体可動型のＮ枚用移載
ペンシルとを同一方向に揃えた状態では両者が重なるよ
うに両者の基部を垂直方向に組み合わせて設置し、移載
すべきウェーハの移載枚数が１枚の場合には、上記Ｎ枚
用移載ペンシルを上記１枚用移載ペンシルが設けられて
いる基準位置から所定角度回転することにより、ウェー
ハの移載に関しては１枚用移載ペンシルを有効、Ｎ枚用
移載ペンシルは無効とするようにし、また、移載すべき
ウェーハの移載枚数が（Ｎ＋１）枚の場合には、上記Ｎ
枚用移載ペンシルを基準位置に戻して上記１枚用移載ペ
ンシルに重ねることにより（Ｎ＋１）枚用移載ペンシル
を構成するようにした。この場合、上記（Ｎ＋１）枚用
移載ペンシルを構成するために、Ｎ枚用移載ペンシルが
上記基準位置にきたとき、これを検出する角度検出セン
サの検出出力によってＮ枚用移載ペンシルに制動力を付
与すると共に、上記基準位置にきたときに上下方向に対
向する位置にある上記Ｎ枚用移載ペンシルと１枚用移載
ペンシルの双方の所定位置に設けた一対の磁石体の吸引
力によって上記Ｎ枚用移載ペンシルを位置決めするのが
望ましい。なお、Ｎは正の整数とする。
におけるウェーハの移載装置では、上記課題を解決する
ために、半導体製造装置におけるウェーハの移載を行う
固定型の１枚用移載ペンシルと一体可動型のＮ枚用移載
ペンシルとを同一方向に揃えた状態では両者が重なるよ
うに両者の基部を垂直方向に組み合わせて設置し、移載
すべきウェーハの移載枚数が１枚の場合には、上記Ｎ枚
用移載ペンシルを上記１枚用移載ペンシルが設けられて
いる基準位置から所定角度回転することにより、ウェー
ハの移載に関しては１枚用移載ペンシルを有効、Ｎ枚用
移載ペンシルは無効とするようにし、また、移載すべき
ウェーハの移載枚数が（Ｎ＋１）枚の場合には、上記Ｎ
枚用移載ペンシルを基準位置に戻して上記１枚用移載ペ
ンシルに重ねることにより（Ｎ＋１）枚用移載ペンシル
を構成するようにした。この場合、上記（Ｎ＋１）枚用
移載ペンシルを構成するために、Ｎ枚用移載ペンシルが
上記基準位置にきたとき、これを検出する角度検出セン
サの検出出力によってＮ枚用移載ペンシルに制動力を付
与すると共に、上記基準位置にきたときに上下方向に対
向する位置にある上記Ｎ枚用移載ペンシルと１枚用移載
ペンシルの双方の所定位置に設けた一対の磁石体の吸引
力によって上記Ｎ枚用移載ペンシルを位置決めするのが
望ましい。なお、Ｎは正の整数とする。
【０００５】
【作用】本発明の半導体製造装置におけるウェーハの移
載装置では、１枚用移載ペンシルとＮ枚用移載ペンシル
とを組み合わせて、移載するウェーハが１枚か又は（Ｎ
＋１）枚かの数に応じて移載用ペンシルを１枚用と（Ｎ
＋１）枚用とに切り替えて使用することができるように
したので、ボートの棚には空きもできず、また不良のウ
ェーハも運ばれないので、効率の良い半導体の製造がで
きる。また、（Ｎ＋１）枚用移載ペンシルを構成するた
め、Ｎ枚用移載ペンシルを回動して１枚用移載ペンシル
が設けられている基準位置に重ねる場合には、制動力の
付与に加えてＮ枚用移載ペンシルと１枚用移載ペンシル
の双方に設けられた１対の磁石体の吸引力によって、そ
の基準位置での両者の位置決めが的確に行われる。
載装置では、１枚用移載ペンシルとＮ枚用移載ペンシル
とを組み合わせて、移載するウェーハが１枚か又は（Ｎ
＋１）枚かの数に応じて移載用ペンシルを１枚用と（Ｎ
＋１）枚用とに切り替えて使用することができるように
したので、ボートの棚には空きもできず、また不良のウ
ェーハも運ばれないので、効率の良い半導体の製造がで
きる。また、（Ｎ＋１）枚用移載ペンシルを構成するた
め、Ｎ枚用移載ペンシルを回動して１枚用移載ペンシル
が設けられている基準位置に重ねる場合には、制動力の
付与に加えてＮ枚用移載ペンシルと１枚用移載ペンシル
の双方に設けられた１対の磁石体の吸引力によって、そ
の基準位置での両者の位置決めが的確に行われる。
【０００６】
【実施例】以下図１に示す一実施例によって本発明を具
体的に説明する。図１（Ａ）は本発明の一実施例のロボ
ットアームのペンシル取付け部分を示した縦断正面図で
あり、同図（Ｂ）はその平面図である。図１（Ａ）、
（Ｂ）において、４ａは１枚用移載ペンシルで、その位
置は固定されている。４ｂ1〜４ｂ4は夫々一体的に回動
可能に支持された４枚用移載ペンシルである。なお、４
枚用移載ペンシル４ｂ1〜４ｂ4は一体的に回動するの
で、以下の説明では４Ｂとして表示する。図示するよう
に１枚用移載ペンシル４ａ及び４枚用移載ペンシル４Ｂ
をスペーサ１２を介してペンシルホルダー１２ａで固定
し、ロボットアーム１４の先端部のペンシル保持部１３
に取り付けてある。１５は角度検出センサで、これは４
枚用移載ペンシル４Ｂの回動角度を検出し、その角度が
１枚用移載ペンシル４ａを設置した基準位置の角度（０
°）になったことを検出したときは、この検出信号によ
り４枚用移載ペンシル４Ｂに別置するブレーキ手段で制
動力を付与するようにしている。１６ａ及び１６ｂは夫
々１対の磁石体で、これらの磁石体１６ａ及び１６ｂは
４枚用移載ペンシル４Ｂが１枚用移載ペンシル４ａと重
なる基準位置にあるとき、両移載ペンシル４ａ、４Ｂの
上下に対向する位置に対して夫々設置するものとする。
なお、磁石体１６ａは角度検出センサ１５を作動するス
トッパの役割も兼用しており、この位置に４枚用移載ペ
ンシル４Ｂが到達し、磁石体１６ａ、１６ｂ間に吸引力
が発生するときには、角度検出センサ１５を作動して４
枚用移載ペンシル４Ｂの回転用のモータを上記ブレーキ
手段を作動して制動力を付与するようにしている。上記
の構成において、例えばθ1の位置に回動されていた４
枚用移載ペンシル４Ｂを基準位置（０゜）に移動させる
とき、角度検出センサ１５により４枚用移載ペンシル４
Ｂの０°位置が検出され、モータに制動力を付与され
る。この場合、４枚用移載ペンシル４Ｂに制動力が付与
されるとき、さらに１対の磁石体１６ａ及び１６ｂの吸
引力も加わるので、４枚用移載ペンシル４Ｂは基準位置
（０°）にきたとき、この位置に確実に停止する。な
お、４枚用移載ペンシル４Ｂの回転機構にバックラッシ
ュが存在したり、１枚用移載ペンシル４ａ及び４枚用移
載ペンシル４Ｂの先に外力がかかった場合も、この磁石
体１６ａ及び１６ｂの磁力によって固定され動かない。
角度検出センサ１５による検出に伴う制動力より大きい
力を有するように磁力を選定すれば、角度検出センサ１
５のばね圧等によって、１枚用移載ペンシル４ａ及び４
枚用移載ペンシル４Ｂの先が戻されることもなく、信号
としても安定し、４枚用移載ペンシル４Ｂは基準位置に
確実に位置決めされることになる。また、この方法は図
１（Ｂ）の限界点θ2の位置にあった４枚用移載ペンシ
ル４Ｂを基準位置に復帰させる場合にも同様に行われ
る。モータの回転力は、磁力より十分大きく選定してお
けば本発明を実施することができる。上記実施例では、
ウェーハ収納用のカセットは通常２５枚のウェーハを収
納するようになっているので、最大５枚ずつのウェーハ
の移載を行えるように１枚用移載ペンシルと４枚用移載
ペンシルとの組合せで構成する場合で説明した。しか
し、ウェーハ収納用のカセットには、２６枚入りのもの
等２５枚以外の数の収納すべき必要も生じるので、上記
実施例の４枚用移載ペンシルは４枚には限定されず、１
又は２枚以上の正の整数枚用の移載ペンシルについて、
本発明が適用されるものであることを明記しておくもの
である。
体的に説明する。図１（Ａ）は本発明の一実施例のロボ
ットアームのペンシル取付け部分を示した縦断正面図で
あり、同図（Ｂ）はその平面図である。図１（Ａ）、
（Ｂ）において、４ａは１枚用移載ペンシルで、その位
置は固定されている。４ｂ1〜４ｂ4は夫々一体的に回動
可能に支持された４枚用移載ペンシルである。なお、４
枚用移載ペンシル４ｂ1〜４ｂ4は一体的に回動するの
で、以下の説明では４Ｂとして表示する。図示するよう
に１枚用移載ペンシル４ａ及び４枚用移載ペンシル４Ｂ
をスペーサ１２を介してペンシルホルダー１２ａで固定
し、ロボットアーム１４の先端部のペンシル保持部１３
に取り付けてある。１５は角度検出センサで、これは４
枚用移載ペンシル４Ｂの回動角度を検出し、その角度が
１枚用移載ペンシル４ａを設置した基準位置の角度（０
°）になったことを検出したときは、この検出信号によ
り４枚用移載ペンシル４Ｂに別置するブレーキ手段で制
動力を付与するようにしている。１６ａ及び１６ｂは夫
々１対の磁石体で、これらの磁石体１６ａ及び１６ｂは
４枚用移載ペンシル４Ｂが１枚用移載ペンシル４ａと重
なる基準位置にあるとき、両移載ペンシル４ａ、４Ｂの
上下に対向する位置に対して夫々設置するものとする。
なお、磁石体１６ａは角度検出センサ１５を作動するス
トッパの役割も兼用しており、この位置に４枚用移載ペ
ンシル４Ｂが到達し、磁石体１６ａ、１６ｂ間に吸引力
が発生するときには、角度検出センサ１５を作動して４
枚用移載ペンシル４Ｂの回転用のモータを上記ブレーキ
手段を作動して制動力を付与するようにしている。上記
の構成において、例えばθ1の位置に回動されていた４
枚用移載ペンシル４Ｂを基準位置（０゜）に移動させる
とき、角度検出センサ１５により４枚用移載ペンシル４
Ｂの０°位置が検出され、モータに制動力を付与され
る。この場合、４枚用移載ペンシル４Ｂに制動力が付与
されるとき、さらに１対の磁石体１６ａ及び１６ｂの吸
引力も加わるので、４枚用移載ペンシル４Ｂは基準位置
（０°）にきたとき、この位置に確実に停止する。な
お、４枚用移載ペンシル４Ｂの回転機構にバックラッシ
ュが存在したり、１枚用移載ペンシル４ａ及び４枚用移
載ペンシル４Ｂの先に外力がかかった場合も、この磁石
体１６ａ及び１６ｂの磁力によって固定され動かない。
角度検出センサ１５による検出に伴う制動力より大きい
力を有するように磁力を選定すれば、角度検出センサ１
５のばね圧等によって、１枚用移載ペンシル４ａ及び４
枚用移載ペンシル４Ｂの先が戻されることもなく、信号
としても安定し、４枚用移載ペンシル４Ｂは基準位置に
確実に位置決めされることになる。また、この方法は図
１（Ｂ）の限界点θ2の位置にあった４枚用移載ペンシ
ル４Ｂを基準位置に復帰させる場合にも同様に行われ
る。モータの回転力は、磁力より十分大きく選定してお
けば本発明を実施することができる。上記実施例では、
ウェーハ収納用のカセットは通常２５枚のウェーハを収
納するようになっているので、最大５枚ずつのウェーハ
の移載を行えるように１枚用移載ペンシルと４枚用移載
ペンシルとの組合せで構成する場合で説明した。しか
し、ウェーハ収納用のカセットには、２６枚入りのもの
等２５枚以外の数の収納すべき必要も生じるので、上記
実施例の４枚用移載ペンシルは４枚には限定されず、１
又は２枚以上の正の整数枚用の移載ペンシルについて、
本発明が適用されるものであることを明記しておくもの
である。
【０００７】
【発明の効果】本発明の半導体製造装置におけるウェー
ハの移載装置は、上記のように構成されるから、次のよ
うな優れた効果を有する。 （１）移載するウェーハの状況によって、１枚用移載ペ
ンシルと（Ｎ＋１）枚用移載ペンシルの構成の切替えを
行って使用することができるから、ボートの棚に空きス
ペースを作ることなく、連続的にウェーハの移載を行う
ことができ、ペンシルの移載作業の効率が大幅に向上で
きる。 （２）本発明では各移載ペンシルの双方に、１対の磁石
体を用いて制動力に加えて回動する側のＮ枚例えば４枚
用移載ペンシル４Ｂの位置決めを行うようにしたので、
その位置決めは確実に行うことができ、またセンサ、磁
力、モータの回転力のバランスを考えれば、負荷による
非逆回転減速機、バックラッシュブレーキモータ又はサ
ーボモータ等を必要としないので、安価に構成すること
ができる。 （３）また、磁石体の磁力をセンサの動作圧より大きく
しておけば、センサの動作を、さらに安定させることが
できる。
ハの移載装置は、上記のように構成されるから、次のよ
うな優れた効果を有する。 （１）移載するウェーハの状況によって、１枚用移載ペ
ンシルと（Ｎ＋１）枚用移載ペンシルの構成の切替えを
行って使用することができるから、ボートの棚に空きス
ペースを作ることなく、連続的にウェーハの移載を行う
ことができ、ペンシルの移載作業の効率が大幅に向上で
きる。 （２）本発明では各移載ペンシルの双方に、１対の磁石
体を用いて制動力に加えて回動する側のＮ枚例えば４枚
用移載ペンシル４Ｂの位置決めを行うようにしたので、
その位置決めは確実に行うことができ、またセンサ、磁
力、モータの回転力のバランスを考えれば、負荷による
非逆回転減速機、バックラッシュブレーキモータ又はサ
ーボモータ等を必要としないので、安価に構成すること
ができる。 （３）また、磁石体の磁力をセンサの動作圧より大きく
しておけば、センサの動作を、さらに安定させることが
できる。
【図１】同図（Ａ）は本発明の一実施例の要部を示した
縦断正面図、同図（Ｂ）はその平面図である。
縦断正面図、同図（Ｂ）はその平面図である。
【図２】本発明及び従来のものが適用される半導体製造
装置の全体構成の概要を示す正面図である。
装置の全体構成の概要を示す正面図である。
【図３】従来例の構成を示すもので、同図（Ａ）は要部
縦断正面図、同図（Ｂ）はその平面図である。
縦断正面図、同図（Ｂ）はその平面図である。
４ａ：１枚用移載ペンシル ４Ｂ：４枚用移載ペンシル １５：角度検出センサ １６ａ、１６ｂ：磁石体
Claims (2)
- 【請求項１】 半導体製造装置におけるウェーハの移載
を行う固定型の１枚用移載ペンシルと一体可動型のＮ枚
用移載ペンシルとを同一方向に揃えた状態では両者が重
なるように両者の基部を垂直方向に組み合わせて設置
し、移載すべきウェーハの移載枚数が１枚の場合には、
上記Ｎ枚用移載ペンシルを１枚用移載ペンシルが設けら
れている基準位置から所定角度回転することにより、ウ
ェーハの移載に関しては１枚用移載ペンシルを有効、Ｎ
枚用移載ペンシルは無効とするようにし、また、移載す
べきウェーハの移載枚数が（Ｎ＋１）枚の場合には、上
記Ｎ枚用移載ペンシルを上記基準位置に戻して上記１枚
用移載ペンシルに重ねることにより（Ｎ＋１）枚用移載
ペンシルを構成するようにしたことを特徴とする半導体
製造装置におけるウェーハの移載装置。但し、Ｎは正の
整数とする。 - 【請求項２】 上記（Ｎ＋１）枚用移載ペンシルを構成
するために、Ｎ枚用移載ペンシルが上記基準位置にきた
とき、これを検出する角度検出センサの検出出力によっ
てＮ枚用移載ペンシルに制動力を付与すると共に、上記
基準位置にきたときに上下方向に対向する位置にある上
記Ｎ枚用移載ペンシルと１枚用移載ペンシルの双方の所
定位置に設けた一対の磁石体の吸引力によって上記Ｎ枚
用移載ペンシルを位置決めするようにした請求項１記載
の半導体製造装置におけるウェーハの移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30263894A JPH08139160A (ja) | 1994-11-14 | 1994-11-14 | 半導体製造装置におけるウェーハの移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30263894A JPH08139160A (ja) | 1994-11-14 | 1994-11-14 | 半導体製造装置におけるウェーハの移載装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08139160A true JPH08139160A (ja) | 1996-05-31 |
Family
ID=17911399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30263894A Pending JPH08139160A (ja) | 1994-11-14 | 1994-11-14 | 半導体製造装置におけるウェーハの移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08139160A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001524260A (ja) * | 1996-09-20 | 2001-11-27 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 同軸駆動ローダアーム |
| US7260448B2 (en) | 2003-10-08 | 2007-08-21 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Substrate holding device |
| WO2015114850A1 (ja) * | 2014-01-28 | 2015-08-06 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送システムおよび方法 |
| JP2016154248A (ja) * | 1998-03-20 | 2016-08-25 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 異なる保持エンドエフェクタを有する基板搬送装置 |
| US11201073B2 (en) | 2013-08-26 | 2021-12-14 | Brooks Automation, Inc | Substrate transport apparatus |
-
1994
- 1994-11-14 JP JP30263894A patent/JPH08139160A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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