KR100906072B1 - 자성 유체 밀봉 부재 및 이를 포함하는 진공 장치의 밀봉 장치 - Google Patents

자성 유체 밀봉 부재 및 이를 포함하는 진공 장치의 밀봉 장치 Download PDF

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Abstract

진공 장치의 밀봉 장치가 개시된다. 상기 진공 장치의 밀봉 장치는 샤프트, 벨로우즈 밀봉 부재 및 자성 유체 밀봉 부재를 포함한다. 상기 자성 유체 밀봉 부재는 상기 샤프트의 외주면을 따라 상기 샤프트의 회전 운동 부위에 배치된다. 상기 자성 유체 밀봉 부재는 상기 사프트의 외주면을 따라 배치된 자성 유체 밀봉 슬리브(Sleeve), 상기 샤프트의 외주면 및 상기 자성 유체 밀봉 슬리브와 각각 접촉하면서 상기 샤프트 및 상기 자성 유체 밀봉 슬리브 사이에 개재되는 부싱 부재, 상기 샤프트의 길이 방향으로 일단측에 N극 및 타단측에 S극을 갖도록 상기 자성 유체 밀봉 슬리브 상에 배치되는 일체형 자석인 자력발생부재, 상기 자성 유체 밀봉 슬리브 상에서, 상기 자력발생부재를 사이에 두고 양 단측에 배치되는 한쌍의 극편(Pole piece) 및 상기 한쌍의 극편과 상기 자성 유체 밀봉 슬리브 사이에 개재되는 자성 유체를 포함한다. 상기 자성 유체 밀봉 슬리브는 말단부에 베어링을 구비하는 핀을 포함한다. 상기 샤프트는, 상기 샤프트의 길이 방향과 평행하게 자른 단면에 대해 평형한 면과 수직인 면을 갖도록, 외주면이 함몰되어 형성되는 공기 방출구를 상기 샤프트의 길이 방향을 따라 포함한다.

Description

자성 유체 밀봉 부재 및 이를 포함하는 진공 장치의 밀봉 장치{Magnetic fluid sealing member and vacuum sealing device including the same}
본 발명은 자성 유체 밀봉 부재 및 이를 포함하는 진공 장치의 밀봉 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 샤프트의 운동에 대해 개선된 밀봉 능력을 갖는 자성 유체 밀봉 부재 및 이를 포함하는 진공 장치의 밀봉 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 진공 장치의 밀봉 시스템은 고압 영역 및 저압 영역과 대면하고 이들 사이에서 회전 및 왕복 운동을 하는 샤프트의 외주면에 구비되어, 고압영역과 저압영역이 서로 밀봉되도록 하는 것이다.
밀봉하는 방법으로 종래에 알려져 있는 것은 먼저, 기계적인 밀봉 방법으로서 금속제의 벨로우즈를 사용하는 방법이 있다. 금속제의 벨로우즈는 밀봉특성과 신축 및 굽힘 특성을 갖고 있기 때문에 진공계통, 고온 고압 조건하에서 부식성이 높은 유체나 방사선 유체, 휘발성이 있는 독극물 유체, 폭발성 유체 등의 계통의 밀봉 요소로서 폭넓게 사용되며 아울러 기계장치의 운동부 요소에 활용되고 있다.
다음으로, 비접촉식 밀봉 방법으로 자성 유체 밀봉법이 알려져 있다. 자성 유체 밀봉법은 자성 유체를 이용하는 밀봉법이다. 먼저 자성유체란 액체 속에 자성 분말을 콜로이드(Colloid) 모양으로 안정, 분산시킨 다음 침전이나 응집이 생기지 않도록 계면활성제(Surfactant)를 첨가한 유체이다. 자성 분말은 0.01~0.02㎛의 초미립자 분말로 브라운 운동을 하며 자기장, 중력, 원심력이 가해져도 유체속의 자성 입자의 농도는 일정하게 유지된다. 자성 유체 밀봉은 정지되어 있는 자석과 회전축 사이에 자력형성을 유도하여 자성유체 주입시 자성유체가 극편(Pole Piece)과 샤프트 사이에 오링(O-ring)과 같은 막을 형성하여 밀봉하는 장치이다.
종래의 방법 중 자성 유체 밀봉 방법은 미끄럼 저항의 문제나 미끄럼에 의한 마모의 문제가 감소하는 장점이 있다. 하지만, 상대적으로 왕복 운동을 하는 샤프트과 하우징 사이의 환형상 틈을 밀봉하기 위한 용도로 사용하는 경우, 샤프트가 왕복운동을 할 때, 자성 유체가 유출되어 밀봉성이 없어져 버리는 문제가 있다.
이러한 문제점을 해결하기 위해, 샤프트의 왕복운동의 경우 벨로우즈를 이용하는 기계적인 밀봉 방법을 적용하고, 샤프트의 회전운동의 경우 자성 유체를 이용하는 비접촉식 밀봉 방법을 적용하는 방법이 제시되었으며, 이러한 종래의 기술은 본 발명의 일 구성요소를 이룬다.
하지만, 샤프트가 왕복운동 또는 회전운동 시에, 각각 서로 다른 밀봉 방법이 적용되기 때문에, 샤프트가 이동 할때 샤프트와 하우징 사이에 발생하는 기계적인 마찰 문제, 샤프트의 떨림 현상 및 하우징 내 잔류하는 공기로 인한 샤프트의 이동에 대한 저항 등 구조적인 문제점이 발생한다. 이러한 문제점은 밀봉 시스템의 신뢰성 및 내구성과 직접 관련되어 있으므로, 해결해야 할 필요성이 대두된다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 샤프트가 왕복운동 또는 회전운동 시에, 샤프트와 하우징 사이에 발생하는 기계적인 마찰 문제 및 하우징 내 잔류하는 공기로 인한 샤프트의 이동에 대한 저항 문제를 해결할 수 있는 진공 장치의 밀봉 시스템을 제공한다.
상기의 기술적 과제를 이루기 위한 본 발명의 일 측면은 진공 장치의 밀봉 시스템을 제공한다. 상기 진공 장치의 밀봉 시스템은 샤프트, 벨로우즈 밀봉 부재 및 자성 유체 밀봉 부재를 포함한다. 상기 벨로우즈 밀봉 부재는 상기 샤프트의 외주면을 따라 상기 샤프트의 왕복 운동 부위에 배치된다. 상기 자성 유체 밀봉 부재는 상기 샤프트의 외주면을 따라 상기 샤프트의 회전 운동 부위에 배치된다. 또, 상기 자성 유체 밀봉 부재는 상기 사프트의 외주면을 따라 배치된 자성 유체 밀봉 슬리브(Sleeve), 상기 샤프트의 외주면 및 상기 자성 유체 밀봉 슬리브와 각각 접촉하면서 상기 샤프트 및 상기 자성 유체 밀봉 슬리브 사이에 개재되는 부싱 부재, 상기 샤프트의 길이 방향으로 일단측에 N극 및 타단측에 S극을 갖도록 상기 자성 유체 밀봉 슬리브 상에 배치되는 자력발생부재, 상기 자성 유체 밀봉 슬리브 상에서, 상기 자력발생부재를 사이에 두고 양 단측에 배치되는 한쌍의 극편(Pole piece) 및 상기 한쌍의 극편과 상기 자성 유체 밀봉 슬리브 사이에 개재되는 자성 유체를 포함한다. 상기 자성 유체 밀봉 슬리브는, 상기 자성 유체 밀봉 슬리브를 관통하여 고정되며 상기 샤프트의 길이 방향을 따라 상기 샤프트의 외주면에 형성된 홈과 접촉하는, 핀-상기 핀은 말단부에 베어링을 구비함-을 포함한다. 상기 샤프트는, 상기 샤프트의 길이 방향과 평행하게 자른 단면에 대해 평형한 면과 수직인 면을 갖도록, 외주면이 함몰되어 형성되는 공기 방출구를 상기 샤프트의 길이 방향을 따라 포함한다. 상기 자력발생부재는 일체형 자석이다.
상기의 기술적 과제를 이루기 위한 본 발명의 다른 측면은 진공 장치의 밀봉 시스템을 제공한다. 상기 진공 장치의 밀봉 시스템은 샤프트, 벨로우즈 밀봉 부재 및 자성 유체 밀봉 부재를 포함한다. 상기 벨로우즈 밀봉 부재는 상기 샤프트의 외주면을 따라 상기 샤프트의 왕복 운동 부위를 밀봉한다. 상기 자성 유체 밀봉 부재는 상기 샤프트의 외주면을 따라 상기 샤프트의 회전 운동 부위를 밀봉한다. 또, 상기 자성 유체 밀봉 부재는 상기 샤프트의 외주면을 감싸는 자성 유체 밀봉 슬리브(Sleeve), 상기 샤프트의 외주면 및 상기 자성 유체 밀봉 슬리브 사이에 개재되며 상기 샤프트의 외주면 및 상기 자성 유체 밀봉 슬리브 사이의 마찰을 감소시키는 부싱 부재, 상기 자성 유체 밀봉 슬리브 상에서 상기 샤프트의 길이 방향으로 자력을 발생시키는 자력발생부재, 상기 자력발생부재의 양 단측에 배치되는 한쌍의 극편(Pole piece) 및 상기 한쌍의 극편과 상기 자성 유체 밀봉 슬리브 사이의 공간을 밀봉시키는 자성 유체를 포함한다. 상기 자성 유체 밀봉 슬리브는, 상기 자성 유체 밀봉 슬리브를 관통하여 고정되고 상기 샤프트의 외주면에 형성된 홈을 따라 이동하며 상기 샤프트의 왕복운동을 조절하는, 핀을 포함한다. 상기 핀은 말단부에 베어링을 구비하여 상기 샤프트의 왕복 운동시 상기 핀과 상기 샤프트의 외주면에 형성된 홈과의 마찰을 감소시킨다. 상기 샤프트는, 상기 샤프트의 길이 방향과 평행하게 자른 단면에 대해 평형한 면과 수직인 면을 갖도록 상기 외주면이 함몰됨으로써 형성되는 공기 방출구를 상기 샤프트의 길이방향을 따라 구비하여, 상기 샤프트의 왕복 운동시 하우징 내에 발생하는 공기의 압축을 방지한다. 상기 자력발생부재는 균일한 자력을 제공하는 일체형 자석이다.
본 발명은 샤프트가 왕복운동 또는 회전운동 시에, 샤프트와 하우징 사이에 발생하는 기계적인 마찰 문제 및 하우징 내 잔류하는 공기로 인한 샤프트의 이동에 대한 저항 문제를 해결할 수 있으므로, 밀봉시스템의 신뢰성 과 내구성을 향상시킬 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시례들을 상세하게 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시례에 따른 진공 장치의 밀봉 시스템(10)을 나타낸 단면도이다.
도 1을 참조하면, 진공 장치의 밀봉 시스템(10)은 샤프트(100), 벨로우즈 밀봉 부재(12) 및 자성 유체 밀봉 부재(14)를 포함한다.
샤프트(10)는 자신의 구동 중심축을 따라 왕복 운동 및 회전 운동을 하는 진공 장치의 일 구성요소이다. 진공 장치의 밀봉 시스템(10)은 샤프트(100)의 왕복 운동 및 회전 운동에도 불구하고 진공 장치 내부가 일정한 진공을 유지하도록 구성된다.
벨로우즈 밀봉 부재(12)가 샤프트(100)의 외주면(101)을 따라 샤프트(100)의 왕복 운동 부위에 배치된다. 벨로우즈(102)가 샤프트(100)의 외주면(101)을 감싸도록 배치된다. 벨로우즈는 유연성과 기밀성을 갖도록 얇은 금속 박판을 특정 형상으로 성형 가공, 용접하여 제작된다. 벨로우즈(102)는 샤프트(100)가 왕복 운동을 할때, 외부와의 밀봉을 담당하도록 작용한다.
자성 유체 밀봉 부재(14)는 샤프트(100)의 외주면(101)을 따라 샤프트(100)의 회전 운동 부위에 배치된다. 자성 유체 밀봉 부재(14)는 샤프트(100)가 회전 운동을 할 때, 외부와의 밀봉을 담당하도록 작용한다.
자성 유체 밀봉 부재(14)는 자성 유체 밀봉 슬리브(104), 부싱 부재(106), 자력 발생 부재(108), 한쌍의 극편(110,111) 및 자성 유체(112)를 포함한다.
자성 유체 밀봉 슬리브(104)는 샤프트(100)의 외주면(101)을 따라 배치되어, 샤프트(100)의 외주면(101)을 감싼다. 자성 유체 밀봉 슬리브(104) 외주면 상에는 자력 발생 부재(108), 극편(111), 자성 유체(112)가 배치된다. 자성 유체 밀봉 슬리브(104)는 말단부에 베어링을 구비하는 핀(114)를 포함한다.
부싱 부재(106)는 샤프트(100)의 외주면(101) 및 자성 유체 밀봉 슬리브(104)와 각각 접촉하면서 샤프트(100) 및 자성 유체 밀봉 슬리브(104) 사이에 개재된다. 부싱 부재(106)는 샤프트(100)의 왕복 운동 또는 회전 운동 시에 샤프트(100) 및 자성 유제 밀봉 슬리브(104) 사이에서 발생하는 마찰을 감소시킨다. 도 시한 바와 같이, 부싱 부재(106)는 샤프트(100) 전체를 감쌀 필요는 없고, 샤프트(100)의 일부 외주면(101)을 감쌀 수 있다.
자력발생부재(108)은 샤프트(100)의 길이 방향으로 일단측에 N극 및 타단측에 S극을 갖도록 자성 유체 밀봉 슬리브(104)상에 배치된다. 자력발생부재(108)는 샤프트(100)의 길이 방향으로 자력을 발생시킨다. 이러한 자력에 의해 후술할 자성 유체(112)가 상기 자력에 의해 밀집됨으로써 진공 장치의 밀봉 작용을 할 수 있게 된다. 자력발생부재(108)은 일체형 자석일 수 있다.
한쌍의 극편(Pole piece)(110, 111)이 자력발생부재(108)를 사이에 두고 양 단측에 배치된다.
자성 유체(112)는 한쌍의 극편(110, 111)과 자성 유체 밀봉 슬리브(104) 사이에 개재된다. 자성 유체(112)는 자력발생부재(108)가 발생시키는 자력에 묶여 밀집됨으로써, 극편(110, 111)과 자성 유체 밀봉 슬리브(104)사이를 밀봉한다.
핀(114)는 자성 유체 밀봉 슬리브(104)를 관통하여 자성 유체 밀봉 슬리브(104)에 고정되어 배치된다. 말단부에 베어링(도 2a의 202 참조)를 구비하는 핀(114)은 샤프트(100)의 길이 방향을 따라 샤프트(100)의 외주면에 형성된 홈(116)과 접촉한다.
샤프트(100)의 외주면(101)은 샤프트(100)의 길이 방향을 따라 공기 방출구(도 4a의 402 참조)를 포함한다. 상기 공기 방출구는 샤프트(100)의 왕복 운동시 하우징 내에 발생하는 공기의 압축을 방지하는 역할을 한다.
도 2a는 본 발명의 일 실시례에 따른 자성 유체 밀봉 슬리브에 고정된 핀의 단면도이다. 도 2b는 종래의 운동하는 샤프트의 외주면에 형성된 홈과 접촉하는 핀의 단면도이다.
도 2a를 참조하면, 핀(114)은 자성 유체 밀봉 슬리브(104)를 관통하여 고정되고, 말단부에 베어링(202)를 포함한다. 도 2b에 도시한 바와 같이, 종래의 핀(114a)의 말단에는 베어링이 존재하지 않는다.
핀(114, 114a)은 왕복 운동하는 샤프트의 외주면에 형성된 홈을 따라 활주하고, 샤프트의 운동의 상한과 하한을 제어한다.
본 발명의 실시례에 의하면, 핀(114)의 말단부에는 베어링(202)이 존재한다.
도 3a는 본 발명의 일 실시례에 따른 자력발생부재 및 극편의 사시도이다.
도 3b는 종래의 자력발생부재 및 극편의 사시도이다.
도 3a를 참조하면, 양 극편(110, 111) 사이에 개재된 자력발생부재(108)는 일체형의 고리 형태이다. 자력발생부재(108)는 원형의 고리 형태로 샤프트(100)를 에워쌀 수 있다. 도 3b를 참조하면, 종래의 자력발생부재(108a)은 원기둥 형상의 분할 자석들이 결합하여 샤프트의 외주면을 에워싸고 있다. 즉, 분할 자석들이 결합한 형태로 양 극편(110a, 111a)사이에 자력을 생성한다.
자력발생부재(108 108a)는 양 극편(110, 111, 110a, 111a)을 N극 또는 S극의 자력선상에 놓이게 하고, 극편(110, 111, 110a, 111a)과 자성 유체 밀봉 슬리브( 104)사이에 자성유체(112)를 개재시켜 밀봉을 이루게 한다.
이때 양 극편(110, 111, 110a, 111a)을 보다 강력한 자력선 상에 놓이게 하는 것이 자성유체(112)를 보다 강하게 극편(110, 111, 110a, 111a)과 자성 유체 밀봉 슬리브(104) 사이에 유지하게 할 수 있다. 본 발명의 실시례는 자력발생부재(108)를 일체형의 고리 형태로 형성함으로써, 양 극편(110, 111)을 보다 강력한 자력선 상에 놓을 수 있게 한다. 이로써, 양 극편(110,111)과 자성 유체 밀봉 슬리브(104) 사이의 밀봉력도 증가시킬 수 있다.
도 4a는 본 발명의 일 실시례에 따른 샤프트의 단면도를 나타낸다. 도 4b는 종래의 샤프트의 단면도를 나타낸다.
도 4a 및 4b를 참조하면, 샤프트(100)는 공기 방출구(402 402a)를 포함한다. 공기 방출구(402 402a)는 샤프트(100)의 운동시에 공기의 압축 또는 팽창이 발생하지 않도록 공기를 방출하는 통로이다. 특히, 샤프트(100)가 왕복 운동을 할 때, 샤프트(100)와 자성 밀봉 슬리브 사이의 공간에서 공기가 압축 또는 팽창이 밀폐된 상태로 이루어진다면, 이는 오히려 샤프트(100)의 왕복 운동을 방해하는 마찰요소로 작용한다. 따라서, 이러한 마찰 요소를 줄이기에 충분히 큰 공기 방출구(402, 402a)를 확보할 필요가 있다.
도 4b를 참조하면, 종래의 경우 샤프트(100a)의 외주면(101a)을 샤프트의 외주면의 끝단을 단순히 잘라냄으로써 공기 방출구(402a)를 구비하였다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 본 발명의 일실시례에서는 샤프트(100)의 중심축을 지나는 면에 대비하여, 평형한 면과 수직인 면을 갖도록 샤프트의 외주면(101)을 함몰시킨다. 이로써, 샤프트(100)은 공기 방출구(402)를 구비한다. 공기 방출구(402)는 종래의 공기 방출구(402a)보다 깊이(d)가 더 깊고, 너비(w)가 더 좁은 형태를 갖춘다. 너비(w)가 더 좁을수록 부싱 부재(106, 106a)와 샤프트(100, 100a)의 접촉 면적이 커져서 샤프트(100, 100a)와 자성 유체 밀봉 슬리브(104, 104a)사이의 마찰을 보다 효율적으로 감소시킬 수 있다. 또 종래의 경우보다 깊이(d)를 더 깊게 함으로써, 충분히 큰 공기 방출구(402)의 크기를 확보할 수 있다. 본 발명의 실시례는 종래보다 충분히 큰 공기 방출구(402)를 확보함과 동시에, 샤프트(100)와 부싱 부재(106)와의 증가된 접촉 면적을 확보할 수 있는 장점이 있다. 상기한 장점을 확보할 수 있는 한도 내에서 공기 방출구(402)의 형상은 당업자의 통상의 창작 능력의 발휘로 충분히 변경 또는 변형이 가능할 것이다.
상술한 바와 같이 본 발명의 실시례에 따르면, 자력발생부재는 일체형의 고리 형태로 형성됨으로써, 양 극편을 보다 강력한 자력선 상에 놓을 수 있다. 이로써, 양 극편과 자성 유체 밀봉 슬리브 사이의 밀봉력을 증가시킬 수 있다. 또, 본 발명의 실시례에 따르면, 종래보다 충분히 큰 공기 방출구를 확보함과 동시에, 샤프트와 부싱 부재와의 사이에서 증가된 접촉 면적을 확보할 수 있는 장점이 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시례에 따른 진공 장치의 밀봉 장치를 나타낸 단면도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시례에 따른 자성 유체 밀봉 슬리브에 고정된 핀의 단면도이다.
도 2b는 종래의 운동하는 샤프트의 외주면에 형성된 홈과 접촉하는 핀의 단면도이다.
도 3a는 본 발명의 일 실시례에 따른 자력발생부재 및 극편의 사시도이다.
도 3b는 종래의 자력발생부재 및 극편의 사시도이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시례에 따른 샤프트의 단면도를 나타낸다.
도 4b는 종래의 샤프트의 단면도를 나타낸다.

Claims (10)

  1. 진공 장치의 밀봉 장치에 있어서,
    구동 중심축을 따라 왕복 운동 및 회전 운동을 하는 샤프트;
    상기 샤프트의 외주면을 따라 상기 샤프트의 왕복 운동 부위를 밀봉하는 벨로우즈 밀봉 부재; 및
    상기 샤프트의 외주면을 따라 상기 샤프트의 회전 운동 부위를 밀봉하는 자성 유체 밀봉 부재를 포함하되,
    상기 자성 유체 밀봉 부재는
    상기 샤프트의 외주면을 감싸는 자성 유체 밀봉 슬리브(Sleeve);
    상기 샤프트의 외주면 및 상기 자성 유체 밀봉 슬리브 사이에 개재되며, 상기 샤프트의 외주면 및 상기 자성 유체 밀봉 슬리브 사이의 마찰을 감소시키는 부싱 부재;
    상기 자성 유체 밀봉 슬리브 상에서, 상기 샤프트의 길이 방향으로 자력을 발생시키는 자력발생부재;
    상기 자력발생부재의 양 단측에 배치되는 한쌍의 극편(Pole piece); 및
    상기 한쌍의 극편과 상기 자성 유체 밀봉 슬리브 사이의 공간을 밀봉시키는 자성 유체를 포함하고,
    상기 자성 유체 밀봉 슬리브는, 말단부에 베어링을 구비하며 상기 샤프트의 외주면에 형성된 홈과 접촉하는, 핀을 포함하고,
    상기 핀은 상기 자성 유체 밀봉 슬리브를 관통하여 고정되며, 상기 샤프트의 외주면에 형성된 홈을 활주하며,
    상기 샤프트는 상기 외주면이 함몰됨으로써 형성되는 공기 방출구를 상기 샤프트의 길이방향을 따라 구비하여 상기 샤프트의 왕복 운동시 밀봉 장치 내에서 발생하는 공기의 압축 및 팽창을 방지하고, 상기 자력발생부재는 균일한 자력을 제공하는 일체형 자석인 것을 특징으로 하는 진공 장치의 밀봉 장치.
  2. 삭제
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 공기 방출구는 샤프트의 길이 방향과 평행하게 자른 단면에 대해 평형한 면과 수직인 면을 갖는 진공 장치의 밀봉 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 자력발생부재는 환형의 고리 형태인 영구자석인 것인 진공 장치의 밀봉 장치.
  5. 진공 장치의 밀봉 장치에 있어서,
    구동 중심축을 따라 왕복 운동 및 회전 운동을 하는 샤프트;
    상기 샤프트의 외주면을 따라 배치되는 벨로우즈 밀봉 부재; 및
    상기 샤프트의 외주면을 따라 배치되는 자성 유체 밀봉 부재를 포함하되,
    상기 자성 유체 밀봉 부재는
    상기 샤프트의 외주면을 따라 배치된 자성 유체 밀봉 슬리브(Sleeve);
    상기 샤프트의 외주면 및 상기 자성 유체 밀봉 슬리브와 각각 접촉하면서 상기 샤프트 및 상기 자성 유체 밀봉 슬리브 사이에 개재되는 부싱 부재;
    상기 샤프트의 길이 방향으로 일단측에 N극 및 타단측에 S극을 갖도록 상기 자성 유체 밀봉 슬리브 상에 배치되는 자력발생부재;
    상기 자성 유체 밀봉 슬리브 상에서, 상기 자력발생부재를 사이에 두고 양 단측에 배치되는 한쌍의 극편(Pole piece); 및
    상기 한쌍의 극편과 상기 자성 유체 밀봉 슬리브 사이에 개재되는 자성 유체를 포함하고,
    상기 자성 유체 밀봉 슬리브는, 말단부에 베어링을 구비하며 상기 샤프트의 외주면에 형성된 홈과 접촉하는, 핀을 포함하고,
    상기 핀은 상기 자성 유체 밀봉 슬리브를 관통하여 고정되며 상기 샤프트의 길이 방향을 따라 상기 샤프트의 외주면에 형성된 홈과 접촉하며,
    상기 샤프트는 외주면이 함몰되어 형성되는 공기 방출구를 상기 샤프트의 길이 방향을 따라 포함하며,
    상기 자력발생부재는 일체형 자석인 것을 특징으로 하는 진공 장치의 밀봉 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 벨로우즈 밀봉 부재는 상기 샤프트의 왕복 운동 부위에 배치되고, 상기 자성 유체 밀봉 부재는 상기 샤프트의 회전 운동 부위에 배치되는 진공 장치의 밀봉 장치.
  7. 삭제
  8. 제5 항에 있어서,
    상기 핀은 상기 샤프트의 외주면에 형성된 홈을 활주하며, 상기 샤프트의 왕복운동량을 조절하는 진공 장치의 밀봉 장치.
  9. 제5 항에 있어서,
    상기 공기 방출구는 샤프트의 길이 방향과 평행하게 자른 단면에 대해 평형한 면과 수직인 면을 갖는 진공 장치의 밀봉 장치.
  10. 제5 항에 있어서,
    상기 자력발생부재는 환형의 고리 형태인 영구자석인 것인 진공 장치의 밀봉
    장치.
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