JPH0612603Y2 - イオン源の電極駆動装置 - Google Patents
イオン源の電極駆動装置Info
- Publication number
- JPH0612603Y2 JPH0612603Y2 JP2965388U JP2965388U JPH0612603Y2 JP H0612603 Y2 JPH0612603 Y2 JP H0612603Y2 JP 2965388 U JP2965388 U JP 2965388U JP 2965388 U JP2965388 U JP 2965388U JP H0612603 Y2 JPH0612603 Y2 JP H0612603Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gear
- inner ring
- electrode
- outer ring
- ion source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、イオン源の引出し電極のような電極を駆動
する電極駆動装置に関する。
する電極駆動装置に関する。
この種の電極駆動装置の改良例が、同一出願人によって
別途提案されている（実願昭６１−１４８０５１号）。
別途提案されている（実願昭６１−１４８０５１号）。
それを簡単に説明すると、第３図に示すように、真空容
器２０内にプラズマ生成用のアークチャンバー４および
それからイオンビーム８を引き出すための引出し電極６
を有するイオン源２が収納されており、電極駆動装置
は、この引出し電極６を支持する電極軸１２と、それが
距離Ｌ（第４図（Ａ）参照）だけ偏心して気密にかつ回
転自在に挿通された内輪１４と、それを同じ距離Ｌだけ
偏心して気密にかつ回転自在に支持する外輪１６と、真
空容器２０に取り付けられていてこの外輪１６を気密に
かつ回転自在に支持する固定ハウジング１８と、電極軸
１２をイオン源２の中心軸１０に沿う方向に移動可能な
ようにガイドする軸ガイド２８等から成る。
器２０内にプラズマ生成用のアークチャンバー４および
それからイオンビーム８を引き出すための引出し電極６
を有するイオン源２が収納されており、電極駆動装置
は、この引出し電極６を支持する電極軸１２と、それが
距離Ｌ（第４図（Ａ）参照）だけ偏心して気密にかつ回
転自在に挿通された内輪１４と、それを同じ距離Ｌだけ
偏心して気密にかつ回転自在に支持する外輪１６と、真
空容器２０に取り付けられていてこの外輪１６を気密に
かつ回転自在に支持する固定ハウジング１８と、電極軸
１２をイオン源２の中心軸１０に沿う方向に移動可能な
ようにガイドする軸ガイド２８等から成る。
電極軸１２と内輪１４間、内輪１４と外輪１６間および
外輪１６と固定ハウジング１８間には、気密封止（真空
シール）用のＯリング２２〜２４および図示しないベア
リングがそれぞれ設けられている。また外輪１６は、例
えばそれに取り付けられたスプロケット３０およびチェ
ーン３２を介して、図示しないモータによって回転駆動
される。２６はローラである。
外輪１６と固定ハウジング１８間には、気密封止（真空
シール）用のＯリング２２〜２４および図示しないベア
リングがそれぞれ設けられている。また外輪１６は、例
えばそれに取り付けられたスプロケット３０およびチェ
ーン３２を介して、図示しないモータによって回転駆動
される。２６はローラである。
この電極駆動装置の動作例を第４図を参照して説明す
る。同図中の１２ａ、１４ａおよび１６ａは、それぞ
れ、電極軸１２、内輪１４および外輪１６の回転中心を
示す。
る。同図中の１２ａ、１４ａおよび１６ａは、それぞ
れ、電極軸１２、内輪１４および外輪１６の回転中心を
示す。
同図（Ａ）は、電極軸１２即ち引出し電極６がアークチ
ャンバー４に最接近した位置Ｏ（第３図参照）にある状
態を示し、この状態から外輪１６を矢印Ａ方向に回転さ
せると、同図（Ｂ）に示すように、内輪１４は、矢印Ａ
方向へ公転すると共に、電極軸１２の上下が軸ガイド２
８によってガイドされているため、外輪１６とは反対の
矢印Ｂ方向に自転し、それによって電極軸１２はイオン
源２の中心軸１０に沿って矢印Ｃ方向に直線移動する。
ャンバー４に最接近した位置Ｏ（第３図参照）にある状
態を示し、この状態から外輪１６を矢印Ａ方向に回転さ
せると、同図（Ｂ）に示すように、内輪１４は、矢印Ａ
方向へ公転すると共に、電極軸１２の上下が軸ガイド２
８によってガイドされているため、外輪１６とは反対の
矢印Ｂ方向に自転し、それによって電極軸１２はイオン
源２の中心軸１０に沿って矢印Ｃ方向に直線移動する。
それから外輪１６を矢印Ａ方向に更に回転させると、同
図（Ｃ）に示す状態になって電極軸１２は第３図中の中
間位置Ｐに来て、外輪１６をなおも回転させると、電極
軸１２は第３図中の位置Ｑに来て位置Ｏとは最大距離４
Ｌだけ離れる。
図（Ｃ）に示す状態になって電極軸１２は第３図中の中
間位置Ｐに来て、外輪１６をなおも回転させると、電極
軸１２は第３図中の位置Ｑに来て位置Ｏとは最大距離４
Ｌだけ離れる。
外輪１６を更に回転させるか矢印Ａとは逆方向に回転さ
せると、今度は電極軸１２即ち引出し電極６は矢印Ｃと
は逆方向に移動してアークチャンバー４に接近する。以
上のようにして、アークチャンバー４と引出し電極６間
の間隔を調整することができる。
せると、今度は電極軸１２即ち引出し電極６は矢印Ｃと
は逆方向に移動してアークチャンバー４に接近する。以
上のようにして、アークチャンバー４と引出し電極６間
の間隔を調整することができる。
このような電極駆動装置によれば、引出し電極６の直線
移動を外輪１６の回転のみで行うことができるため、従
来のものに比べて構造が簡単で安価になると共に、真空
シールを従来の摺動シールと違って回転シールによって
いるため長寿命になるという利点がある。
移動を外輪１６の回転のみで行うことができるため、従
来のものに比べて構造が簡単で安価になると共に、真空
シールを従来の摺動シールと違って回転シールによって
いるため長寿命になるという利点がある。
尚、電極軸１２をその軸方向に移動させたり回転させた
りする場合もあるが、ここではその説明は省略する。
りする場合もあるが、ここではその説明は省略する。
このような電極駆動装置においては、前述したように外
輪１６の回転と共に内輪１４がそれとは反対方向に自転
する必要があるが、両者の間には真空シール用のＯリン
グ２３が介在しておりこれによる摩擦が増大したりする
と、両輪１４、１６間のスムースな相対回転が得られな
くなって内輪１４が外輪１６と同一方向に自転する場合
があり、そうなると電極軸１２が第４図（Ｃ）のような
位置付近で止まってしまって電極軸１２の所定の移動量
が得られなくなると共に、駆動用のモータに対しても過
負荷がかかるという点になお改善の余地がある。
輪１６の回転と共に内輪１４がそれとは反対方向に自転
する必要があるが、両者の間には真空シール用のＯリン
グ２３が介在しておりこれによる摩擦が増大したりする
と、両輪１４、１６間のスムースな相対回転が得られな
くなって内輪１４が外輪１６と同一方向に自転する場合
があり、そうなると電極軸１２が第４図（Ｃ）のような
位置付近で止まってしまって電極軸１２の所定の移動量
が得られなくなると共に、駆動用のモータに対しても過
負荷がかかるという点になお改善の余地がある。
そこでこの考案は、このような点を更に改善したイオン
源の電極駆動装置を提供することを目的とする。
源の電極駆動装置を提供することを目的とする。
この考案の電極駆動装置は、前記内輪にそれと同軸状に
内輪歯車を取り付け、前記固定ハウジングに前記外輪と
同軸状に固定歯車を取り付け、前記外輪にキャリヤを取
り付け、このキャリヤに第１および第２の遊星歯車であ
って互いに同じ軸に連結されたものを回転自在に取り付
けると共に、前者は前記固定歯車と後者は前記内輪歯車
とそれぞれ噛み合うようにし、そして前記各歯車の歯数
を、前記外輪が１回転するときに前記内輪がそれと反対
方向に２回転する関係に選定していることを特徴とす
る。
内輪歯車を取り付け、前記固定ハウジングに前記外輪と
同軸状に固定歯車を取り付け、前記外輪にキャリヤを取
り付け、このキャリヤに第１および第２の遊星歯車であ
って互いに同じ軸に連結されたものを回転自在に取り付
けると共に、前者は前記固定歯車と後者は前記内輪歯車
とそれぞれ噛み合うようにし、そして前記各歯車の歯数
を、前記外輪が１回転するときに前記内輪がそれと反対
方向に２回転する関係に選定していることを特徴とす
る。
また、前記固定歯車として内歯車のものを用いてそれと
前記第１の遊星歯車とが噛み合うようにし、かつ前記第
２の遊星歯車と前記内輪歯車との間に両者に噛み合う中
間歯車を設けても良い。
前記第１の遊星歯車とが噛み合うようにし、かつ前記第
２の遊星歯車と前記内輪歯車との間に両者に噛み合う中
間歯車を設けても良い。
上記構成によれば、各歯車の働きによって、内輪が外輪
と反対方向に確実に回転（自転）するようになる。
と反対方向に確実に回転（自転）するようになる。
第１図は、この考案の一実施例に係る電極駆動装置を示
す概念図である。第３図および第４図の例と同一または
相当する部分には同一符号を付し、以下においては前述
した先行例との相違点を主に説明する。
す概念図である。第３図および第４図の例と同一または
相当する部分には同一符号を付し、以下においては前述
した先行例との相違点を主に説明する。
この実施例においては、前述したような内輪１４にそれ
と同軸状に内輪歯車３４を取り付け、かつ固定ハウジン
グ１８に外輪１６と同軸状に固定歯車３８を取り付けて
いる。
と同軸状に内輪歯車３４を取り付け、かつ固定ハウジン
グ１８に外輪１６と同軸状に固定歯車３８を取り付けて
いる。
また、外輪１６にキャリヤ４４を取り付け、このキャリ
ヤ４４に第１の遊星歯車４１および第２の遊星歯車４２
であって互いに同じ軸に連結されたものを回転自在に取
り付けると共に、遊星歯車４１は固定歯車３８と、遊星
歯車４２は内輪歯車３４とそれぞれ噛み合うようにして
いる。
ヤ４４に第１の遊星歯車４１および第２の遊星歯車４２
であって互いに同じ軸に連結されたものを回転自在に取
り付けると共に、遊星歯車４１は固定歯車３８と、遊星
歯車４２は内輪歯車３４とそれぞれ噛み合うようにして
いる。
外輪１６が前記と同様にして例えば矢印Ａのように時計
方向に回転させられると、キャリヤ４４によってそれに
取り付けられた遊星歯車４１は、矢印Ｄのように時計方
向に遊星運動すると同時に、固定歯車３８との噛み合い
によって、矢印Ｅのように時計方向に自転する。
方向に回転させられると、キャリヤ４４によってそれに
取り付けられた遊星歯車４１は、矢印Ｄのように時計方
向に遊星運動すると同時に、固定歯車３８との噛み合い
によって、矢印Ｅのように時計方向に自転する。
それと共に、各歯車３４、３８、４１および４２の歯数
をそれぞれＺ３４、Ｚ３８、Ｚ４１およびＺ４２とする
と、遊星歯車４２は、上記遊星歯車４１と同軸であるか
らＺ３８／Ｚ４１の歯数比で矢印Ｆのように時計方向に
回転し、それに応じて内輪歯車３４は、（Ｚ３８／Ｚ
４１）×（Ｚ４２／Ｚ３４）の回転比で矢印Ｂのように
反時計方向に回転する。
をそれぞれＺ３４、Ｚ３８、Ｚ４１およびＺ４２とする
と、遊星歯車４２は、上記遊星歯車４１と同軸であるか
らＺ３８／Ｚ４１の歯数比で矢印Ｆのように時計方向に
回転し、それに応じて内輪歯車３４は、（Ｚ３８／Ｚ
４１）×（Ｚ４２／Ｚ３４）の回転比で矢印Ｂのように
反時計方向に回転する。
その場合、前記電極軸１２が矢印Ｃのように横方向に移
動するのを可能ならしめるためには、外輪１６が時計方
向へ１回転（＋１）すると同時に内輪１４は反時計方向
へ２回転（−２）しなければならず、この関係は、各歯
車３４、３８、４１、４２の各歯数を、Ｚ３４＝９６
ｎ、Ｚ３８＝１２０ｎ、Ｚ４１＝２０ｎ、Ｚ４２＝３２
ｎ（ｎは１、２、３・・・の整数）に選定することによ
って実現することができ、この実施例ではそのようにし
ている。
動するのを可能ならしめるためには、外輪１６が時計方
向へ１回転（＋１）すると同時に内輪１４は反時計方向
へ２回転（−２）しなければならず、この関係は、各歯
車３４、３８、４１、４２の各歯数を、Ｚ３４＝９６
ｎ、Ｚ３８＝１２０ｎ、Ｚ４１＝２０ｎ、Ｚ４２＝３２
ｎ（ｎは１、２、３・・・の整数）に選定することによ
って実現することができ、この実施例ではそのようにし
ている。
この実施例によれば、各歯車３４、３８、４１、４２の
働きによって、仮に内輪１４と外輪１６間の摩擦がＯリ
ング２３（第３図参照）の存在等によって大きいような
場合でも、内輪１４が外輪１６と反対方向に確実に回転
（自転）するようになる。
働きによって、仮に内輪１４と外輪１６間の摩擦がＯリ
ング２３（第３図参照）の存在等によって大きいような
場合でも、内輪１４が外輪１６と反対方向に確実に回転
（自転）するようになる。
その結果、電極軸１２即ち引出し電極１６の所定の移動
量を正確に得ることができるようになると共に、外輪１
６の駆動用のモータに過負荷がかかるようなことも起こ
らなくなる。
量を正確に得ることができるようになると共に、外輪１
６の駆動用のモータに過負荷がかかるようなことも起こ
らなくなる。
第２図は、この考案の他の実施例に係る電極駆動装置を
示す概念図である。
示す概念図である。
第１図の実施例との相違点を説明すると、この実施例に
おいては、前述したような外歯車の固定歯車３８の代わ
りに内歯車の固定歯車３８′を用いてこれと遊星歯車４
１とが噛み合うようにしている。そのようにすると、遊
星歯車４１、４２は、矢印Ｅ′、Ｆ′のように前記とは
逆回転するので、遊星歯車４２と内歯車３４との間に両
者に噛み合う中間歯車４６を設けて、この実施例の場合
も内輪１４が外輪１６と反対方向に回転するのを確保し
ている。
おいては、前述したような外歯車の固定歯車３８の代わ
りに内歯車の固定歯車３８′を用いてこれと遊星歯車４
１とが噛み合うようにしている。そのようにすると、遊
星歯車４１、４２は、矢印Ｅ′、Ｆ′のように前記とは
逆回転するので、遊星歯車４２と内歯車３４との間に両
者に噛み合う中間歯車４６を設けて、この実施例の場合
も内輪１４が外輪１６と反対方向に回転するのを確保し
ている。
その場合、中間歯車４６の歯数は遊星歯車４２と内輪歯
車３４との回転比に影響を与えないので、中間歯車４６
の歯数が幾つであっても、それ以外の歯車の、外輪１６
と内輪１４との前述した回転比（＋１：−２）を得るの
に必要な前記歯数の関係は変わらない。
車３４との回転比に影響を与えないので、中間歯車４６
の歯数が幾つであっても、それ以外の歯車の、外輪１６
と内輪１４との前述した回転比（＋１：−２）を得るの
に必要な前記歯数の関係は変わらない。
以上のようにこの考案によれば、各歯車の働きによって
内輪が外輪と反対方向に確実に回転（自転）するように
なるので、電極軸ひいてはそれに支持されるイオン源の
電極の所定の移動量を正確に得ることができるようにな
る。また、外輪の回転駆動用のモータ等に過負荷がかか
るようなことが起こるのを防止することもできる。
内輪が外輪と反対方向に確実に回転（自転）するように
なるので、電極軸ひいてはそれに支持されるイオン源の
電極の所定の移動量を正確に得ることができるようにな
る。また、外輪の回転駆動用のモータ等に過負荷がかか
るようなことが起こるのを防止することもできる。
第１図および第２図は、それぞれ、実施例に係る電極駆
動装置を示す概念図である。第３図は、背景となる電極
駆動装置を示す横断面図である。第４図は、第３図の装
置の動作説明のための概念図である。 ２……イオン源、６……引出し電極、１２……電極軸、
１４……内輪、１６……外輪、１８……固定ハウジン
グ、２８……軸ガイド、３４……内輪歯車、３８，３
８′……固定歯車、４１，４２……遊星歯車、４４……
キャリヤ、４６……中間歯車。
動装置を示す概念図である。第３図は、背景となる電極
駆動装置を示す横断面図である。第４図は、第３図の装
置の動作説明のための概念図である。 ２……イオン源、６……引出し電極、１２……電極軸、
１４……内輪、１６……外輪、１８……固定ハウジン
グ、２８……軸ガイド、３４……内輪歯車、３８，３
８′……固定歯車、４１，４２……遊星歯車、４４……
キャリヤ、４６……中間歯車。
Claims (2)
- 【請求項１】イオン源の電極を支持する電極軸と、この
電極軸が偏心して気密にかつ回転自在に挿通された内輪
と、この内輪をそれにおける前記電極軸の偏心と同じ距
離だけ偏心して気密にかつ回転自在に支持すると共に外
部から回転駆動される外輪と、この外輪を気密にかつ回
転自在に支持する固定ハウジングと、前記電極軸をイオ
ン源の中心軸に沿う方向に移動可能なようにガイドする
軸ガイドとを備える装置において、前記内輪にそれと同
軸状に内輪歯車を取り付け、前記固定ハウジングに前記
外輪と同軸状に固定歯車を取り付け、前記外輪にキャリ
ヤを取り付け、このキャリヤに第１および第２の遊星歯
車であって互いに同じ軸に連結されたものを回転自在に
取り付けると共に、前者は前記固定歯車と後者は前記内
輪歯車とそれぞれ噛み合うようにし、そして前記各歯車
の歯数を、前記外輪が１回転するときに前記内輪がそれ
と反対方向に２回転する関係に選定していることを特徴
とするイオン源の電極駆動装置。 - 【請求項２】前記固定歯車として内歯車のものを用いて
それと前記第１の遊星歯車とが噛み合うようにし、かつ
前記第２の遊星歯車と前記内輪歯車との間に両者に噛み
合う中間歯車を設けた、請求項１記載のイオン源の電極
駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2965388U JPH0612603Y2 (ja) | 1988-03-05 | 1988-03-05 | イオン源の電極駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2965388U JPH0612603Y2 (ja) | 1988-03-05 | 1988-03-05 | イオン源の電極駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01134351U JPH01134351U (ja) | 1989-09-13 |
| JPH0612603Y2 true JPH0612603Y2 (ja) | 1994-03-30 |
Family
ID=31254048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2965388U Expired - Lifetime JPH0612603Y2 (ja) | 1988-03-05 | 1988-03-05 | イオン源の電極駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0612603Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-03-05 JP JP2965388U patent/JPH0612603Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01134351U (ja) | 1989-09-13 |
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