JP5189833B2 - 真空搬送装置 - Google Patents
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Description
2 リンクアーム機構(搬送機構)
10 開口カバー(仕切り壁)
11 第1駆動軸
12 第2駆動軸
13 第3駆動軸
14 第1のダイレクトドライブモータ部(第1のDDM)
14A 永久磁石
14B 電磁ステータ
15 第2のダイレクトドライブモータ部(第2のDDM)
16 第3のダイレクトドライブモータ部(第3のDDM)
17 第1の回転位置検出手段
18 第2の回転位置検出手段
19 第3の回転位置検出手段
31〜33 磁性流体シール(真空シール)
Claims (5)
- 仕切り壁より上方の真空空間内においてワークを搬送させる搬送機構と、この搬送機構を駆動するために鉛直軸周りに回転可能であり、上記仕切り壁を貫通して延びる駆動軸と、を備え、上記駆動軸は、上記仕切り壁より下方に配置されたダイレクトドライブモータ部によって回転駆動させられるようになっている真空搬送装置であって、
上記搬送機構は、ワークを水平方向に移動させるリンクアーム機構であり、
上記駆動軸は、上記リンクアーム機構を全体的に旋回させるための中空状の第1駆動軸と、この第1駆動軸の内部を貫通するように配置され、上記リンクアーム機構の一部を変形駆動するための第2駆動軸とを含んでいるとともに、上記第1駆動軸は、第1のダイレクトドライブモータ部によって、上記第2駆動軸は、上記第1のダイレクトドライブモータ部の下方に積層状に配置された第2のダイレクトドライブモータ部によって、それぞれ回転駆動させられるようになっており、
上記第1のダイレクトドライブモータ部は、取り付けカバーと上記第1駆動軸との間に配置されて上記第1駆動軸を上記取り付けカバーに対して回転可能に支持する第1のベアリングを含んでおり、
上記第2のダイレクトドライブモータ部は、取り付けカバーと上記第2駆動軸との間に配置されて上記第2駆動軸を上記取り付けカバーに対して回転可能に支持する第2のベアリングを含んでおり、
上記仕切り壁と上記第1駆動軸との間であって、上記第1のベアリングよりも上記真空空間側には、第1の磁性流体シールが設けられているとともに、上記第1駆動軸の内周と上記第2駆動軸の外周との間であって、上記第2のベアリングよりも上記真空空間側には、第2の磁性流体シールが設けられていることを特徴とする、真空搬送装置。 - 上記駆動軸は、中空状とした上記第2駆動軸の内部を貫通するように配置され、上記リンクアーム機構の一部を変形駆動するための第3駆動軸をさらに含んでいるとともに、この第3駆動軸は、上記第2のダイレクトドライブモータ部の下方に積層状に配置された第3のダイレクトドライブモータ部によって回転駆動させられるようになっており、
上記第3のダイレクトドライブモータ部は、取り付けカバーと上記第3駆動軸との間に配置されて上記第3駆動軸を上記取り付けカバーに対して回転可能に支持する第3のベアリングを含んでおり、
上記第2駆動軸の内周と上記第3駆動軸の外周との間であって、上記第3のベアリングよりも上記真空空間側には、第3の磁性流体シールが設けられている、請求項1に記載の真空搬送装置。 - 上記各ダイレクトドライブモータ部は、それぞれ、上記各駆動軸の外周に設けられた複数の磁石と、これらの磁石と対向するように上記取り付けカバーに環状に配置された複数の電磁ステータとを含んで構成されている、請求項1または2に記載の真空搬送装置。
- 上記各ダイレクトドライブモータ部の配置箇所近傍には、上記各駆動軸の回転位置を検出するための回転位置検出手段が設けられている、請求項1ないし3のいずれかに記載の真空搬送装置。
- 上記リンクアーム機構は、平行四辺形リンク機構を組み合わせたものである、請求項1ないし4のいずれかに記載の真空搬送装置。
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