JP2009153253A - 真空搬送装置 - Google Patents
真空搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009153253A JP2009153253A JP2007326918A JP2007326918A JP2009153253A JP 2009153253 A JP2009153253 A JP 2009153253A JP 2007326918 A JP2007326918 A JP 2007326918A JP 2007326918 A JP2007326918 A JP 2007326918A JP 2009153253 A JP2009153253 A JP 2009153253A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drive shaft
- vacuum
- partition wall
- drive motor
- seal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】仕切り壁10より上方の真空空間内においてワークを搬送させる搬送機構2と、この搬送機構2を駆動するために鉛直軸周りに回転可能であり、仕切り壁10を貫通して延びる駆動軸11〜13とを備えた真空搬送装置Aであって、駆動軸11〜13は、仕切り壁10より下方に配置されたダイレクトドライブモータ部14〜16によって回転駆動させられるようになっており、仕切り壁10と駆動軸11との間には、真空シール31が設けられている。
【選択図】 図2
Description
2 リンクアーム機構(搬送機構)
10 開口カバー(仕切り壁)
11 第1駆動軸
12 第2駆動軸
13 第3駆動軸
14 第1のダイレクトドライブモータ部(第1のDDM)
14A 永久磁石
14B 電磁ステータ
15 第2のダイレクトドライブモータ部(第2のDDM)
16 第3のダイレクトドライブモータ部(第3のDDM)
17 第1の回転位置検出手段
18 第2の回転位置検出手段
19 第3の回転位置検出手段
31〜33 磁性流体シール(真空シール)
Claims (7)
- 仕切り壁より上方の真空空間内においてワークを搬送させる搬送機構と、この搬送機構を駆動するために鉛直軸周りに回転可能であり、上記仕切り壁を貫通して延びる駆動軸と、を備えた真空搬送装置であって、
上記駆動軸は、上記仕切り壁より下方に配置されたダイレクトドライブモータ部によって回転駆動させられるようになっており、
上記仕切り壁と上記駆動軸との間には、真空シールが設けられていることを特徴とする、真空搬送装置。 - 上記搬送機構は、ワークを水平方向に移動させるリンクアーム機構であり、
上記駆動軸は、上記リンクアーム機構を全体的に旋回させるためる中空状の第1駆動軸と、この第1駆動軸の内部を貫通するように配置され、上記リンクアーム機構の一部を変形駆動するための第2駆動軸とを含んでいるとともに、上記第1駆動軸は、第1のダイレクトドライブモータ部によって、上記第2駆動軸は、上記第1のダイレクトドライブモータ部の下方に積層状に配置された第2のダイレクトドライブモータ部によって、それぞれ回転駆動させられるようになっており、
上記仕切り壁と上記第1駆動軸との間には、第1の真空シールが設けられているとともに、上記第1駆動軸の内周と上記第2駆動軸の外周との間には、第2の真空シールが設けられている、請求項1に記載の真空搬送装置。 - 上記駆動軸は、中空状とした上記第2駆動軸の内部を貫通するように配置され、上記リンクアーム機構の一部を変形駆動するための第3駆動軸をさらに含んでいるとともに、この第3駆動軸は、上記第2のダイレクトドライブモータ部の下方に積層状に配置された第3のダイレクトドライブモータ部によって回転駆動させられるようになっており、
上記第2駆動軸の内周と上記第3駆動軸の外周との間には、第3の真空シールが設けられている、請求項2に記載の真空搬送装置。 - 上記ダイレクトドライブモータ部は、上記駆動軸の外周に設けられた複数の磁石と、これらの磁石と対向するように環状に配置された複数の電磁ステータとによって構成されている、請求項1ないし3のいずれかに記載の真空搬送装置。
- 上記ダイレクトドライブモータ部の配置箇所近傍には、上記駆動軸の回転位置を検出するための回転位置検出手段が設けられている、請求項1ないし4のいずれかに記載の真空搬送装置。
- 上記真空シールは、磁性流体シールである、請求項1ないし5のいずれかに記載の真空搬送装置。
- 上記リンクアーム機構は、平行四辺形リンク機構を組み合わせたものである、請求項2ないし6のいずれかに記載の真空搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007326918A JP5189833B2 (ja) | 2007-12-19 | 2007-12-19 | 真空搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007326918A JP5189833B2 (ja) | 2007-12-19 | 2007-12-19 | 真空搬送装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009153253A true JP2009153253A (ja) | 2009-07-09 |
JP2009153253A5 JP2009153253A5 (ja) | 2010-11-25 |
JP5189833B2 JP5189833B2 (ja) | 2013-04-24 |
Family
ID=40921701
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007326918A Expired - Fee Related JP5189833B2 (ja) | 2007-12-19 | 2007-12-19 | 真空搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5189833B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012177617A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Nsk Ltd | レゾルバ装置及びモータ回転角度検出装置 |
JP2015201930A (ja) * | 2014-04-04 | 2015-11-12 | 日本精工株式会社 | モータ、搬送装置及び半導体製造装置 |
US9259841B2 (en) | 2010-11-08 | 2016-02-16 | Daihen Corporation | Carrier device |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02145990U (ja) * | 1989-05-16 | 1990-12-11 | ||
JPH0425392A (ja) * | 1990-05-16 | 1992-01-29 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 同軸型真空用多重回転軸機構 |
JP2001112223A (ja) * | 1999-10-06 | 2001-04-20 | Tokyo Electron Ltd | 真空モータ及び搬送装置 |
-
2007
- 2007-12-19 JP JP2007326918A patent/JP5189833B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02145990U (ja) * | 1989-05-16 | 1990-12-11 | ||
JPH0425392A (ja) * | 1990-05-16 | 1992-01-29 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 同軸型真空用多重回転軸機構 |
JP2001112223A (ja) * | 1999-10-06 | 2001-04-20 | Tokyo Electron Ltd | 真空モータ及び搬送装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9259841B2 (en) | 2010-11-08 | 2016-02-16 | Daihen Corporation | Carrier device |
US9566713B2 (en) | 2010-11-08 | 2017-02-14 | Daihen Corporation | Carrier device |
US9868206B2 (en) | 2010-11-08 | 2018-01-16 | Daihen Corporation | Carrier device |
JP2012177617A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Nsk Ltd | レゾルバ装置及びモータ回転角度検出装置 |
JP2015201930A (ja) * | 2014-04-04 | 2015-11-12 | 日本精工株式会社 | モータ、搬送装置及び半導体製造装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5189833B2 (ja) | 2013-04-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5215387B2 (ja) | 磁気カップリング装置 | |
JP2007321879A (ja) | 回転位置センサ付き減速機ユニット | |
TW200603965A (en) | Transportation device, its control method, and vacuum processing apparatus | |
US11002355B2 (en) | Actuator with sensor on output flange | |
JP6832335B2 (ja) | 駆動装置 | |
JP5189833B2 (ja) | 真空搬送装置 | |
JP2006288159A5 (ja) | ||
CN102710049A (zh) | 电动机及旋转驱动装置 | |
KR20190018508A (ko) | 산업용 로봇 | |
DE502006005594D1 (de) | Teleskopmontierung | |
JP2009160721A (ja) | 電動回転継手 | |
TWI577904B (zh) | 驅動裝置 | |
TWI555310B (zh) | 驅動裝置 | |
JP3655895B2 (ja) | 二つの回転体を利用した直線駆動装置 | |
JP4541383B2 (ja) | 搬送装置 | |
KR930016667A (ko) | 유체회전장치 | |
JP2006283874A (ja) | 回転伝動装置 | |
JPH1164043A (ja) | 多回転式アブソリュートエンコーダ | |
JP2016146720A (ja) | モータ、アクチュエータ、半導体製造装置、及びフラットディスプレイ製造装置 | |
JP2012016215A (ja) | アクチュエータ及び基板搬送ロボット | |
KR20120004136A (ko) | 이종영역에서의 마그네트를 이용한 비접촉 회전시스템 | |
JP2007321852A (ja) | フローティング軸受装置およびそれを用いた回転電機 | |
JP6507964B2 (ja) | ローラ | |
JP5337085B2 (ja) | ワーク回転装置 | |
JP2001258217A (ja) | モータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101012 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101012 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120606 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120626 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120824 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130122 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130125 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160201 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5189833 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |