JP2016146720A - モータ、アクチュエータ、半導体製造装置、及びフラットディスプレイ製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】内部で発生する発塵が外部に流出するのをより確実に防ぐことができるモータを提供すること。
【解決手段】モータ１は、ステータ２１と、ロータ２２と、ロータ２２と共に回転するロータハウジング４２と、ステータ２１を固定すると共に、ロータハウジング４２との間に空間１００Ａ，１００Ｂを形成し、周方向の全周に亘り第１の間隙６Ａ，６Ｂを隔ててロータハウジング４２に重なるステータハウジング４１と、空間１００Ａ，１００Ｂ内において、周方向の全周に亘り第２の間隙８Ａ，８Ｂを隔ててステータハウジング４１に重なる円環部材１０，１８と、第２の間隙８Ａ，８Ｂを介して、空間１００Ａ，１００Ｂの内部の空気を吸引排気するための排気穴１３Ａ，１３Ｂと、第２の間隙８Ａ，８Ｂと排気穴１３Ａ，１３Ｂとの間に介在し、第２の間隙８Ａ，８Ｂに沿って周方向の全周に亘りステータハウジング４１に形成された排気溝１２Ａ，１２Ｂと、を有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、モータ、アクチュエータ、半導体製造装置、及びフラットディスプレイ製造装置に関する。

半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ製造装置に用いられるモータや、このモータを用いたアクチュエータは、高い信頼性が要求される。また、半導体やフラットパネルディスプレイ等の製造においては、製造物へのダスト混入を避けるため、クリーン環境下における製造工程が必要となる。このようなクリーン環境下で用いられるモータやアクチュエータは、高い信頼性を確保するためにモータやアクチュエータの内部で発生する発塵が外部に流出するのを防ぐ必要がある。

例えば、特許文献１には、２つのフランジ部の間の空気室から空気を吸引することにより、フランジ部と動作軸との間の隙間から空気が吸引されクリーン環境内に非クリーン環境からのゴミが侵入することを防止するシール装置が記載されている。

特開平０９−２９６８２号公報

特許文献１に記載のシール装置は、クリーン環境側のフランジ部と動作軸との間の隙間と、非クリーン環境側のフランジ部と動作軸との間の隙間との双方から空気を吸引するものであり、空気室内に圧力分布が生じることが考えられる。また、クリーン環境側と非クリーン環境側とで圧力差がある場合には、非クリーン環境側からクリーン環境側に空気が漏れ出し、クリーン環境を汚染する可能性がある。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、内部で発生する発塵が外部に流出するのをより確実に防ぐことができるモータを提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、モータは、コイル及びステータコアを備えるステータと、前記ステータの径方向外側に配置され、前記ステータに対して相対回転するロータと、前記ロータと共に回転するロータハウジングと、前記ステータを固定すると共に、前記ロータハウジングとの間に空間を形成し、周方向の全周に亘り第１の間隙を隔てて前記ロータハウジングに重なるステータハウジングと、前記ステータハウジングに対し前記ロータハウジングを回転自在に支持する軸受と、前記空間内において、周方向の全周に亘り第２の間隙を隔てて前記ステータハウジングに重なる円環部材と、前記第２の間隙を介して、前記空間の内部の空気を吸引排気するための排気穴と、前記第２の間隙と前記排気穴との間に介在し、前記第２の間隙に沿って周方向の全周に亘り前記ステータハウジングに形成された排気溝と、を有する。

上記構成により、ステータハウジングに形成された排気穴に吸引排気装置を接続して吸引排気装置を作動させることにより、絞り部からモータの内部の空気が均一に吸い出される。これにより、モータの内部で発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。

また、望ましい態様として、前記ステータハウジングは、前記ロータの回転中心を軸心とする軸方向に前記軸受の内輪を挟持する少なくとも２つの部材からなる第１ステータハウジングと、前記第１ステータハウジングの前記軸方向の一方端側に設けられ、第１の前記排気溝が形成されると共に、第１の前記円環部材が固定され、第１の前記円環部材との間に前記第１の間隙を形成する第２ステータハウジングと、前記第１ステータハウジングの前記軸方向の他方端側に設けられ、第２の前記排気溝が形成されると共に、第２の前記円環部材が固定され、第２の前記円環部材との間に前記第１の間隙を形成する第３ステータハウジングと、を備え、前記ロータハウジングは、前記軸方向に前記軸受の外輪を挟持する少なくとも２つの部材からなり、前記第２ステータハウジングとの間に前記第１の間隙を形成すると共に、前記第１ステータハウジングと前記第２ステータハウジングと前記軸受と共に第１の前記空間を形成し、前記第３ステータハウジングとの間に前記第１の間隙を形成すると共に、前記第２ステータハウジングと前記第３ステータハウジングと前記軸受と共に第２の前記空間を形成するように構成されているのが好ましい。

上記構成により、第１の排気穴に吸引排気装置を接続して吸引排気装置を作動させることにより、第１の排気穴から第１ステータハウジングと第２ステータハウジングとロータハウジングと軸受とで囲われたモータの内部の第１の空間の空気が均一に吸い出され、第１のシール部から第１の空間に均一に空気が吸い込まれる。これにより、第１の空間で発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。また、第２の排気穴に吸引排気装置を接続して吸引排気装置を作動させることにより、第２の排気穴から第１ステータハウジングと第３ステータハウジングとロータハウジングと軸受とで囲われたモータの内部の第２の空間の空気が均一に吸い出され、第２のシール部から第２の空間に均一に空気が吸い込まれる。これにより、第２の空間で発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。また、第１の絞り部を形成する第２の間隙及び第２の絞り部を形成する第２の間隙の精度を管理するための管理項目が少なくて済み、その結果、モータの製造の際の歩留まりを向上することができる。

また、第１の前記円環部材は、前記第２ステータハウジングに対向する面に、前記第２ステータハウジングとの間に前記第２の間隙を形成する段差が設けられていても良い。

また、前記第２ステータハウジングは、第１の前記円環部材に対向する面に、前記第２ステータハウジングとの間に前記第２の間隙を形成する段差が設けられていても良い。

また、第１の前記円環部材と前記第２ステータハウジングとの間に介在し、前記第２の間隙を形成するためのスペーサ部材を備えていても良い。

また、第２の前記円環部材は、前記第３ステータハウジングに対向する面に、前記第３ステータハウジングとの間に前記第２の間隙を形成する段差が設けられていても良い。

また、前記第３ステータハウジングは、第２の前記円環部材に対向する面に、第２の前記円環部材との間に前記第２の間隙を形成する段差が設けられていても良い。

また、第２の前記円環部材と前記第３ステータハウジングとの間に介在し、前記第２の間隙を形成するためのスペーサ部材を備えていても良い。

また、望ましい態様として、前記第２ステータハウジングは、前記第１ステータハウジングと径方向に重なる嵌合面に溝部が形成され、該溝部にＯリングが設けられているのが好ましい。

上記構成により、第１ステータハウジングと第２ステータハウジングとが径方向に重なる嵌合面の気密性が保たれる。また、第１ステータハウジングと第２ステータハウジングとの嵌合面の加工精度を粗くでき、許容範囲を広くできる。その結果、歩留りが向上する。

また、前記第２ステータハウジングに第１の前記排気穴が形成され、前記第３ステータハウジングに第２の前記排気穴が形成されていても良い。

また、望ましい態様として、前記第２ステータハウジング、前記第１ステータハウジング、及び前記第３ステータハウジングを連通して第１の前記排気穴が形成され、前記第３ステータハウジングに第２の前記排気穴が形成されているのが好ましい。

上記構成により、第２ステータハウジングの軸方向上端部に開口する中空径を大きくすることができる。

また、前記第３ステータハウジングの前記軸方向の他方端に第１の前記排気穴の開口部が設けられ、前記第３ステータハウジングの周方向面に第２の前記排気穴の開口部が設けられていても良い。

また、望ましい態様として、前記排気穴は、第１の前記排気溝と第２の前記排気溝とを連結すると共に、前記第２ステータハウジング、前記第１ステータハウジング、及び前記第３ステータハウジングを連通して形成されているのが好ましい。

上記構成により、排気穴に１つの吸引排気装置を接続して吸引排気装置を作動させることにより、排気穴から第１の空間及び第２の空間の空気が均一に吸い出され、第１のシール部及び第２のシール部から第１の空間及び第２の空間に均一に空気が吸い込まれる。これにより、第１の空間及び第２の空間で発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。

また、前記排気穴は、前記第３ステータハウジングの径方向外側の周方向面に開口部が設けられていても良い。

また、前記排気穴は、前記第３ステータハウジングの前記軸方向の他方端に開口部が設けられていても良い。

また、望ましい態様として、前記排気穴は、前記第３ステータハウジングの径方向外側の周方向面、及び、前記第３ステータハウジングの前記軸方向の他方端に開口部が設けられ、いずれか一方の開口部が封止されているのが好ましい。

上記構成により、吸引排気装置を接続する排気穴の開口部を、第３ステータハウジングの軸方向下端部に設けられた開口部と第３ステータハウジングの径方向外側の周方向面に設けられた開口部とで選択可能となり、より汎用性の高いモータを得ることができる。

また、前記第２ステータハウジングは、第１の前記円環部材を介して前記第１ステータハウジングに固定されていても良い。

また、第１の前記円環部材は、前記第１ステータハウジングと一体化して形成されていても良い。

また、前記第３ステータハウジングは、第２の前記円環部材を介して前記第１ステータハウジングに固定されていても良い。

また、第２の前記円環部材は、前記第１ステータハウジングと一体化して形成されていても良い。

また、望ましい態様として、前記第１ステータハウジングは、モータ駆動用あるいは位置検出用のケーブルを挿通させるための第１ケーブル挿通孔が前記軸方向に形成され、前記第３ステータハウジングは、前記第１ケーブル挿入孔に連通して前記ケーブルを挿通させるための第２ケーブル挿通孔が前記軸方向に形成され、前記第１ステータハウジングと前記第３ステータハウジングとが前記軸方向に嵌合したとき、前記第１ケーブル挿通孔と前記第２ケーブル挿通孔とが前記軸方向に重なる開口面積が前記ケーブルの断面積と略一致するように、前記第１ケーブル挿通孔の径方向中心位置と前記第２ケーブル挿通孔の径方向中心位置とが異なっているのが好ましい。

上記構成により、第１ケーブル挿通孔と第２ケーブル挿通孔とが軸方向に重なる開口部の気密性が保たれる。

また、前記軸受は、転がり軸受あるいはすべり軸受であるのが好ましい。

上記構成により、軸受を駆動するための外部動力源が不要となる。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、アクチュエータは、前述のモータと、前記モータの被駆動物と、含み構成されている。これにより、クリーン環境下での使用に適したアクチュエータを得ることができる。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、半導体製造装置は、前述のモータ、あるいは、アクチュエータを備える。これにより、クリーン環境下での使用に適した半導体製造装置を得ることができる。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、フラットディスプレイ製造装置は、前述のモータ、あるいは、アクチュエータを備える。これにより、クリーン環境下での使用に適したフラットディスプレイ製造装置を得ることができる。

本発明によれば、内部で発生する発塵が外部に流出するのをより確実に防ぐことができるモータを提供することができる。

図１は、実施形態１に係るモータの一例を示す断面図である。 図２は、実施形態１における第１の円環部材の一例を示す図である。 図３は、実施形態１における第１の円環部材の図２とは異なる一例を示す図である。 図４は、実施形態１における第２の円環部材の一例を示す図である。 図５は、実施形態１における第３ステータハウジングの一例を示す図である。 図６は、実施形態２に係るモータの一例を示す断面図である。 図７は、実施形態２における第１の円環部材の一例を示す図である。 図８は、実施形態２における第１の円環部材の図７とは異なる一例を示す図である。 図９は、実施形態３に係るモータの一例を示す断面図である。 図１０は、実施形態３に係るモータの図９とは異なる一例を示す断面図である。 図１１は、実施形態３の変形例に係るモータの一例を示す断面図である。 図１２は、実施形態３の変形例に係るモータの図１１とは異なる一例を示す断面図である。 図１３は、実施形態４に係るモータの一例を示す断面図である。 図１４は、本実施形態に係るモータの適用例を示す図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。

（実施形態１）
図１は、実施形態１に係るモータの一例を示す断面図である。図１に示す例において、モータ１は、減速機構を介さずに、発生した動力を対象物にダイレクトに伝達するダイレクトドライブモータである。図１に示すように、モータ１は、対象物を回転させるための動力を発生するモータ部２と、モータ部２の回転を検出する回転検出器３と、モータ部２及び回転検出器３を保持するハウジング４と、モータ部２と接続されるケーブル２００Ａと、回転検出器３と接続されるケーブル２００Ｂとを備えている。ケーブル２００Ａ，２００Ｂは、モータ１を制御するための図示せぬ制御装置に接続される。

モータ部２は、ステータ２１と、ステータ２１に対して回転可能なロータ２２とを有する。ロータ２２は、回転軸ＡＸを中心に回転する。

本実施形態において、モータ１は、アウターロータ型である。ロータ２２は、ステータ２１の周囲に配置される。回転軸ＡＸに対して、ロータ２２は、ステータ２１の外側に配置される。

ステータ２１は、ステータコア２１Ａと、ステータコア２１Ａに支持されるコイル２１Ｂとを有する。ステータコア２１Ａは、回転軸ＡＸの周囲において、等間隔で複数配置されるティースを有する。コイル２１Ｂは、複数設けられる。コイル２１Ｂは、ステータコア２１Ａの複数のティースのそれぞれに支持される。

ロータ２２は、回転軸ＡＸの周囲において、等間隔で複数配置された永久磁石を含む。ステータ２１とロータ２２とは、間隙を介して対向する。

回転検出器３は、モータ部２の回転を検出する。回転検出器３は、レゾルバを含み、モータ部２のロータ２２の回転速度、回転方向、及び回転角度の少なくとも一つを検出する。本実施形態において、回転検出器３は、アブソリュートレゾルバ及びインクリメンタルレゾルバの２種類のレゾルバを含む。

ハウジング４は、ステータハウジング４１と、回転軸ＡＸに対してステータハウジング４１の外側に配置されるロータハウジング４２とを含む。ステータハウジング４１は、環状の部材である。ロータハウジング４２は、環状の部材である。本実施形態において、ステータハウジング４１及びロータハウジング４２はそれぞれ、円筒状の部材である。ステータハウジング４１の中心軸と、ロータハウジング４２の中心軸と、回転軸ＡＸとは、一致する。以下、回転軸ＡＸと平行な方向を「軸方向」ともいう。

本実施形態において、ステータハウジング４１は、軸方向に並び配置された円筒状の第１ステータハウジング４１Ａ、第２ステータハウジング４１Ｂ、及び第３ステータハウジング４１Ｃを含む。第１ステータハウジング４１Ａは、少なくとも２つの部材４１ＡＡ，４１ＡＢを含む。ステータハウジング４１を構成する第１ステータハウジング４１Ａの部材４１ＡＡ、第１ステータハウジング４１Ａの部材４１ＡＢ、第２ステータハウジング４１Ｂ、及び第３ステータハウジング４１Ｃは、軸方向の図１に示す上端側から下端側に向けて、第２ステータハウジング４１Ｂ、第１ステータハウジング４１Ａの部材４１ＡＡ、第１ステータハウジング４１Ａの部材４１ＡＢ、第３ステータハウジング４１Ｃの順に並び配置され、第２ステータハウジング４１Ｂ及び第１ステータハウジング４１Ａの部材４１ＡＡ、第１ステータハウジング４１Ａの部材４１ＡＡ及び第１ステータハウジング４１Ａの部材４１ＡＢ、第１ステータハウジング４１Ａの部材４１ＡＢ及び第３ステータハウジング４１Ｃは、例えば、それぞれ複数本のビス等の締結部材で締結されている。また、第２ステータハウジング４１Ｂには、モータ１を用いた半導体製造装置やフラットディスプレイ製造装置で製造される被製造物への電源ケーブルや信号ケーブルを挿通するための中空穴２３が設けられている。

ロータハウジング４２は、軸方向に並び配置された少なくとも２つ（ここでは、３つ）の円筒状の部材４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃを含む。ロータハウジング４２を構成する部材４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃは、軸方向の図１に示す上端側から下端側に向けて、部材４２Ｃ、部材４２Ａ、部材４２Ｂの順に並び配置され、部材４２Ｃ及び部材４２Ａ、部材４２Ａ及び部材４２Ｂは、例えば、それぞれ複数本のビス等の締結部材で締結されている。

なお、ステータハウジング４１及びロータハウジング４２は、上述した構成に限るものではない。ステータハウジング４１は、例えば、１つの円筒状の部材であってもよいし、２つ以上の円筒状の部材で構成されていてもよい。また、ロータハウジング４２は、例えば、１つの円筒状の部材であってもよいし、２つ以上の円筒状の部材で構成されていてもよい。

ステータ２１及びロータ２２を含むモータ部２は、ステータハウジング４１とロータハウジング４２との間に配置される。ステータ２１は、ステータハウジング４１と接続される。ステータ２１は、ステータハウジング４１の外周面に固定される。ロータ２２は、ロータハウジング４２と接続される。ロータ２２は、ロータハウジング４２の内周面に固定される。

ステータハウジング４１とロータハウジング４２との間に軸受５が配置される。軸受５は、内輪５Ａと、外輪５Ｂと、内輪５Ａと外輪５Ｂとの間に配置される転動体５Ｃとを有する。内輪５Ａは、第１ステータハウジング４１Ａの部材４１ＡＡと４１ＡＢとで軸方向に挟持される。外輪５Ｂは、ロータハウジング４２の部材４２Ａと４２Ｂとで軸方向に挟持される。軸受５により、ロータハウジング４２は、ステータハウジング４１に対して、回転軸ＡＸを中心に回転可能に支持される。

本実施形態において、モータ部２、軸受５、及び回転検出器３は、軸方向に並び配置される。これにより、回転軸ＡＸに対する放射方向に関するモータ１の寸法の増大が抑制され、ハウジング４の設置面積(フットプリント)の増大が抑制される。

ステータ２１に対してロータ２２が回転することにより、ステータハウジング４１に対してロータハウジング４２が回転軸ＡＸを中心に回転する。

また、本実施形態において、モータ部２、軸受５、及び回転検出器３は、軸方向の図１に示す上端側から下端側に向けて、回転検出器３、軸受５、モータ部２の順に並び配置される。上述した構成により、第１ステータハウジング４１Ａの部材４１ＡＡと第２ステータハウジング４１Ｂとロータハウジング４２の部材４２Ａと軸受５とで囲われた第１の空間１００Ａと、第１ステータハウジング４１Ａの部材４１ＡＢと第３ステータハウジング４１Ｃとロータハウジング４２の部材４２Ｂと軸受５とで囲われた第２の空間１００Ｂとが形成される。

第２ステータハウジング４１Ｂと、ロータハウジング４２の部材４２Ｃとは、周方向の全周に亘り、軸方向に例えば０．１ｍｍ乃至０．５ｍｍ程度の間隙（以下、「第１の間隙」という）６Ａを隔てて重なる第１のシール部７Ａを形成する。本実施形態では、図１に示すように、第２ステータハウジング４１Ｂの外径ｒ１は、ロータハウジング４２の部材４２Ｃの内径ｒ２よりも大きい。従って、第２ステータハウジング４１Ｂとロータハウジング４２の部材４２Ｃとが軸方向に第１の間隙６Ａを隔てて重なるＷ１の範囲が第１のシール部７Ａとなる。また、第１ステータハウジング４１Ａの部材４１ＡＡと、第２ステータハウジング４１ステータハウジング４１Ｂとは、軸方向に例えば数μｍ乃至数十μｍ程度の間隙（以下、「第２の間隙」という）８Ａを形成する第１の円環部材１０を介して固定されている。

図２は、実施形態１における第１の円環部材の一例を示す図である。図２（ａ）は、第１の円環部材１０を図１のＡ矢視方向に見た平面図である。図２（ｂ）は、第１の円環部材１０の図２（ａ）のＢ−Ｂ矢視断面図である。図３は、実施形態１における第１の円環部材の図２とは異なる一例を示す図である。図３（ａ）は、第１の円環部材１０を図１のＡ矢視方向に見た平面図である。図３（ｂ）は、第１の円環部材１０の図３（ａ）のＢ’−Ｂ’矢視断面図である。なお、図２及び図３に示す例では、第１ステータハウジング４１Ａと第２ステータハウジング４１Ｂとで第１の円環部材１０を挟み固定するためのビス穴を６つ設けているが、ビス穴の数はこれに限るものではない。

図２に示す例では、図１に示すように、第２ステータハウジング４１Ｂの第１の円環部材１０に対向する面は平坦であり、第１の円環部材１０の第２ステータハウジング４１Ｂに対向する面に、第２ステータハウジング４１Ｂとの間に第２の間隙８Ａを形成する段差が設けられている。具体的には、第１の円環部材１０に設けたビス穴周辺の軸方向の厚みを、他の箇所よりも第２の間隙８Ａに相当する分だけ厚くしている。これにより、第２ステータハウジング４１Ｂと第１の円環部材１０とを組み合わせた際に、周方向の全周に亘り、第１の円環部材１０と第２ステータハウジング４１Ｂとが第２の間隙８Ａを隔てて第１の円環部材１０の外径ｒ３と内径ｒ４との径方向幅Ｗ２の範囲で重なる第１の絞り部９Ａを形成する。

なお、上述した例とは異なり、第１の円環部材１０の第２ステータハウジング４１Ｂに対向する面に、第２ステータハウジング４１Ｂとの間に第２の間隙８Ａを形成する段差を設けず、第２ステータハウジング４１Ｂの第１の円環部材１０に対向する面に、第１の円環部材１０との間に第２の間隙８Ａを形成する段差を設けるようにしてもよい。

図３に示す例では、第１の円環部材１０と第２ステータハウジング４１Ｂとの間に、第２の間隙８Ａを形成するスペーサ部材１１が設けられている。具体的には、第１の円環部材１０と第２ステータハウジング４１Ｂとの間に、軸方向に第２の間隙８Ａに相当する厚みを有する平座金形状のスペーサ部材１１を介在させる。

上述した構成により、第２ステータハウジング４１Ｂの第１の円環部材１０に対向する面の平面度、第１の円環部材１０の第２ステータハウジング４１Ｂに対向する面の平面度、及び、第１の円環部材１０と第２ステータハウジング４１Ｂとの間の第２の間隙８Ａを形成する段差を管理項目として設けていれば良く、部品精度の管理項目が少なくなるという利点がある。その結果、歩留りが向上する。

また、本実施形態において、第２ステータハウジング４１Ｂの内径ｒ６は、第１ステータハウジング４１Ａの内径ｒ５よりも小さく、第２ステータハウジング４１Ｂは、第１ステータハウジング４１Ａの径方向内側に面して嵌合する嵌合部を有している。この嵌合部には、第１の絞り部９Ａの第２の間隙８Ａを介して、第１の空間１００Ａの内部の空気を吸引排気するための第１の排気溝１２Ａが周方向の全周に亘り形成されている。また、第２ステータハウジング４１Ｂには、第１ステータハウジング４１Ａの内径（つまり、嵌合部の径）ｒ５と第２ステータハウジング４１Ｂの内径（つまり、中空穴２３の径）ｒ６との径方向幅Ｗ３の範囲で軸方向下端部に開口し、継手１４Ａを介して、例えば真空ポンプ等である吸引排気装置Ｐ１の排気用チューブ１５Ａが接続される第１の排気穴１３Ａが第１の排気溝１２Ａに連通して設けられている。そして、第２ステータハウジング４１Ｂには、第１ステータハウジング４１Ａの部材４１ＡＡと径方向に重なる嵌合面に溝部１６が形成され、この溝部１６にＯリング１７が設けられている。このＯリング１７が第２ステータハウジング４１Ｂと第１ステータハウジング４１Ａの部材４１ＡＡとの間に介在することで、第１ステータハウジング４１Ａの部材４１ＡＡと第２ステータハウジング４１Ｂとが径方向に重なる嵌合面の気密性が保たれる。なお、第１ステータハウジング４１Ａの部材４１ＡＡと第２ステータハウジング４１Ｂとが高精度に嵌合する場合には、第２ステータハウジング４１Ｂの溝部１６の加工とＯリング１７とを省略可能であるが、これら溝部１６及びＯリング１７を設けることで、第１ステータハウジング４１Ａの部材４１ＡＡと第２ステータハウジング４１Ｂとの嵌合面の加工精度を粗くでき、許容範囲を広くできる。その結果、歩留りが向上する。

第３ステータハウジング４１Ｃと、ロータハウジング４２の部材４２Ｂとは、周方向の全周に亘り、径方向に例えば０．１ｍｍ乃至０．５ｍｍ程度の間隙（以下、「第１の間隙」という）６Ｂを隔てて重なる第２のシール部７Ｂを形成する。本実施形態では、図１に示すように、第３ステータハウジング４１Ｃとロータハウジング４２の部材４２Ｂとが径方向に第１の間隙６Ｂを隔てて重なるＬ１の範囲が第２のシール部７Ｂとなる。また、第３ステータハウジング４１Ｃには、軸方向に例えば数μｍ乃至数十μｍ程度の間隙（以下、「第２の間隙」という）８Ｂを形成する第２の円環部材１８が固定されている。

図４は、実施形態１における第２の円環部材の一例を示す図である。図４に示す例では、第２の円環部材１８を図１のＡ矢視方向に見た平面図を示している。図５は、実施形態１における第３ステータハウジングの一例を示す図である。図５に示す例では、第３ステータハウジング４１Ｃを図１のＡ矢視方向に見た平面図を示している。なお、図４及び図５に示す例では、第３ステータハウジング４１Ｃに第２の円環部材１８を固定するためのビス穴を６つ設けているが、ビス穴の数はこれに限るものではない。

図４及び図５に示す例では、図１に示すように、第２の円環部材１８の第３ステータハウジング４１Ｃに対向する面は平坦であり、第３ステータハウジング４１Ｃの第２の円環部材１８に対向する面４１Ｃ１と面４１Ｃ２とで第２の円環部材１８との間に第２の間隙８Ｂを形成する段差が設けられている。これにより、第３ステータハウジング４１Ｃと第２の円環部材１８とを組み合わせた際に、周方向の全周に亘り、第２の円環部材１８と第３ステータハウジング４１Ｃとが第２の間隙８Ｂを隔てて重なる第２の絞り部９Ｂを形成する。

なお、上述した例とは異なり、第３ステータハウジング４１Ｃの第２の円環部材１８に対向する面４１Ｃ１と面４１Ｃ２とで段差を設けず、第２の円環部材１８の第３ステータハウジング４１Ｃに対向する面に、第３ステータハウジング４１Ｃとの間に第２の間隙８Ｂを形成する段差を設けるようにしてもよい。また、図１に示す例では、第３ステータハウジング４１Ｃと第２の円環部材１８とが重なる径方向外側の領域に第２の絞り部９Ｂを形成する例を示したが、第３ステータハウジング４１Ｃと第２の円環部材１８とが重なる径方向内側の領域に第２の絞り部９Ｂが形成されるように、第３ステータハウジング４１Ｃの第２の円環部材１８に対向する面に段差を設けてもよいし、第２の円環部材１８の第３ステータハウジング４１Ｃに対向する面に段差を設けてもよい。さらには、第３ステータハウジング４１Ｃと第２の円環部材１８とが重なる径方向両側に第２の絞り部９Ｂが形成されるように、ビス穴周辺のみで第３ステータハウジング４１Ｃと第２の円環部材１８とが接するようにしてもよい。

また、第３ステータハウジング４１Ｃと第２の円環部材１８との間に、第２の間隙８Ｂを形成するスペーサ部材を設けるようにしてもよい。さらには、第３ステータハウジング４１Ｃと第２の円環部材１８とが重なる径方向両側に第２の絞り部９Ｂが形成されるように、スペーサ部材を軸方向に第２の間隙８Ａに相当する厚みを有する平座金形状の部材としてもよい。

上述した構成により、第３ステータハウジング４１Ｃの第２の円環部材１８に対向する面の平面度、第２の円環部材１８の第３ステータハウジング４１Ｃに対向する面の平面度、及び、第２の円環部材１８と第３ステータハウジング４１Ｃとの間の第２の間隙８Ｂを形成する段差を管理項目として設けていれば良く、部品精度の管理項目が少なくなるという利点がある。その結果、歩留りが向上する。

また、図１及び図５に示すように、本実施形態において、第３ステータハウジング４１Ｃには、第２の絞り部９Ｂの第２の間隙８Ｂを介して、第２の空間１００Ｂの内部の空気を吸引排気するための第２の排気溝１２Ｂが周方向の全周に亘り形成されている。本実施形態では、図１に示すように、第２の円環部材１８の外径ｒ７は、第３ステータハウジング４１Ｃに形成された第２の排気溝１２Ｂの外径ｒ８よりも大きい。従って、第２の円環部材１８と第３ステータハウジング４１Ｃとが軸方向に第２の間隙８Ｂを隔てて重なるＷ４の範囲が第２の絞り部９Ｂとなる。また、第３ステータハウジング４１Ｃには、径方向外側の周方向面に開口し、継手１４Ｂを介して、例えば真空ポンプ等である吸引排気装置Ｐ２の排気用チューブ１５Ｂが接続される第２の排気穴１３Ｂが第２の排気溝１２Ｂに連通して設けられている。

また、図１に示すように、本実施形態において、第１ステータハウジング４１Ａには、ケーブル２００Ａ，２００Ｂを挿通させるための第１ケーブル挿通孔１９が軸方向に形成され、第３ステータハウジング４１Ｃには、第１ケーブル挿入孔１９に連通してケーブル２００Ａ，２００Ｂを挿通させるための第２ケーブル挿通孔２０が軸方向に形成されている。なお、図１に示す例では、ケーブル２００Ａ用の第１ケーブル挿入孔１９及び第２ケーブル挿通孔２０を省略している。

図１及び図５に示すように、第１ケーブル挿通孔１９と第２ケーブル挿通孔２０とは、軸方向に重なる位置が互いにずれて形成されている。具体的には、第１ステータハウジング４１Ａと第３ステータハウジング４１Ｃとが軸方向に嵌合したとき、第１ケーブル挿通孔１９と第２ケーブル挿通孔２０とが軸方向に重なる開口面積がケーブル２００Ａ，２００Ｂの断面積と略一致するように、第１ケーブル挿通孔１９の径方向中心位置Ｘ１と第２ケーブル挿通孔２０の径方向中心位置Ｘ２とが異なっている。これにより、第１ケーブル挿通孔１９と第２ケーブル挿通孔２０とが軸方向に重なる開口部の気密性が保たれる。

半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ製造装置に用いられることが想定されるモータや、このモータを用いて構成されたアクチュエータには、高い信頼性が要求される。また、半導体素子やフラットパネルディスプレイ等の製造においては、製造物へのダスト混入を避けるため、クリーン環境下における製造工程が必要となる。このようなクリーン環境下で用いられるモータやアクチュエータは、高い信頼性を確保するためにモータやアクチュエータの内部で発生する発塵が外部に流出するのを防ぐ必要がある。

モータやアクチュエータの内部で発生する発塵としては、軸受等で用いられる潤滑グリースの発塵が考えられる。潤滑グリースから発生する発塵粒子は、半導体素子やフラットパネルディスプレイのクリーン環境下での製造工程における汚染源となり、製品価値を失うような欠陥を生じる要因となる。このため、半導体素子やフラットパネルディスプレイ等の製造工程で用いられるモータやアクチュエータでは、軸受等に使用する潤滑グリースとして、発塵性が低い低発塵グリースが用いられるのが一般的である。

本実施形態では、上述した構成において、第２ステータハウジング４１Ｂに設けられた第１の排気穴１３Ａに、吸引排気装置Ｐ１を接続する。また、第３ステータハウジング４１Ｃに設けられた第２の排気穴１３Ｂに、吸引排気装置Ｐ２を接続する。そして、吸引排気装置Ｐ１，Ｐ２を作動させると、第１の排気穴１３Ａ、第１の排気溝１２Ａ、第１の絞り部９Ａの第２の間隙８Ａを介して、モータ１の内部に形成される第１の空間１００Ａの空気が吸い出され、第２の排気穴１３Ｂ、第２の排気溝１２Ｂ、第２の絞り部９Ｂの第２の間隙８Ｂを介して、モータ１の内部に形成される第２の空間１００Ｂの空気が吸い出される。

実施形態１に係るモータ１では、第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂが周方向の全周に亘り形成されており、この第１の絞り部９Ａの第２の間隙８Ａ及び第２の絞り部９Ｂの第２の間隙８Ｂが数μｍ乃至数十μｍ程度と極めて小さいので、吸引排気装置Ｐ１，Ｐ２の空気の吸引力が小さく、排気量が少なくても、排気溝１２Ａ，１２Ｂ内の空気の圧力が平滑化される。このため、第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂの周方向の全周に亘り、第１の空間１００Ａ及び第２の空間１００Ｂの内部の空気が均一に吸い出される。これにより、第１の空間１００Ａ及び第２の空間１００Ｂの内部の周方向の圧力差が抑制される。

また、上述したように、実施形態１に係るモータ１では、第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂの第１の間隙６Ａ，６Ｂが例えば０．１ｍｍ乃至０．５ｍｍ程度であり、第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂの第２の間隙８Ａ，８Ｂよりも大きいが、上述した第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂにより第１の空間１００Ａ及び第２の空間１００Ｂの周方向の圧力差が抑制されるので、第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂの第１の間隙６Ａ，６Ｂが例えば０．１ｍｍ乃至０．５ｍｍ程度と比較的大きくても、第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂの周方向の全周に亘り、第１の空間１００Ａ及び第２の空間１００Ｂに均一に空気が吸い込まれる。すなわち、実施形態１に係るモータ１では、第１の空間１００Ａ及び第２の空間１００Ｂに、それぞれ第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂの周方向の全周に亘って均一に空気が流入することで、第１の絞り部９Ａ及び第２の絞り部９Ｂにより第１の空間１００Ａ及び第２の空間１００Ｂの周方向の圧力差が抑制されるので、第１の空間１００Ａ及び第２の空間１００Ｂで発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。

このように、実施形態１に係るモータ１は、少ない排気量で効果的に第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂを機能させることができ、モータ１の内部に形成される第１の空間１００Ａ及び第２の空間１００Ｂで発生する発塵が外部に流出するのをより確実に防ぐことができる。

また、モータ１の内部で発生する発塵が第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂから外部に流出するのを防ぐことができるので、実施形態１に係るモータ１においては、軸受５として、例えば転がり軸受や滑り軸受等のように、電源や圧縮空気のような外部動力源を必要としない機械式の軸受を用いることができる。

また、軸受５等の可動部を潤滑する潤滑グリースとして、発塵性が低い低発塵グリースを用いる必要がなく、駆動条件に応じて最適な潤滑グリースを使用することが可能である。

また、本実施形態に係るモータ１の構成において、第１の絞り部９Ａを形成する第２の間隙８Ａの精度を管理するためには、第２ステータハウジング４１Ｂの第１の円環部材１０に対向する面の平面度、第１の円環部材１０の第２ステータハウジング４１Ｂに対向する面の平面度、及び、第１の円環部材１０と第２ステータハウジング４１Ｂとの間の第２の間隙８Ａを形成する段差を管理項目として設けていれば良い。また、第２の絞り部９Ｂを形成する第２の間隙８Ｂの精度を管理するためには、第３ステータハウジング４１Ｃの第２の円環部材１８に対向する面の平面度、第２の円環部材１８の第３ステータハウジング４１Ｃに対向する面の平面度、及び、第２の円環部材１８と第３ステータハウジング４１Ｃとの間の第２の間隙８Ｂを形成する段差を管理項目として設けていれば良い。このため、部品精度の管理項目が少なくなり、その結果として、モータ１の歩留りを向上することができる。

以上説明したように、実施形態１に係るモータ１は、コイル２１Ｂ及びステータコア２１Ａを備えるステータ２１と、ステータ２１の径方向外側に配置され、ステータ２１に対して相対回転するロータ２２と、ロータ２２と共に回転するロータハウジング４２と、ステータ２１を固定するステータハウジング４１と、ステータハウジング４１に対しロータハウジング４２を回転自在に支持する軸受５と、を含む。ステータハウジング４１は、第１ステータハウジング４１Ａと、第２ステータハウジング４１Ｂと、第３ステータハウジング４１Ｃと、を含む。第２ステータハウジング４１Ｂは、第１ステータハウジング４１Ａとロータハウジング４２と軸受５と共に第１の空間１００Ａを形成し、周方向の全周に亘り第１の間隙６Ａを隔ててロータハウジング４２に重なっている。第３ステータハウジング４１Ｃは、第１ステータハウジング４１Ａとロータハウジング４２と軸受５と共に第２の空間１００Ｂを形成し、周方向の全周に亘り第１の間隙６Ｂを隔ててロータハウジング４２に重なっている。また、モータ１は、第１の空間１００Ａ内において、周方向の全周に亘り第２の間隙８Ａを隔てて第２ステータハウジング４１Ｂに重なる第１の円環部材１０と、第２の間隙８Ａを介して、第１の空間１００Ａの内部の空気を吸引排気するための第１の排気穴１３Ａと、第２の間隙８Ａと第１の排気穴１３Ａとの間に介在し、第２の間隙８Ａに沿って周方向の全周に亘り第２ステータハウジング４１Ｂに形成された第１の排気溝１２Ａと、第２の空間１００Ｂ内において、周方向の全周に亘り第２の間隙８Ｂを隔てて第３ステータハウジング４１Ｃに重なる第２の円環部材１８と、第２の間隙８Ｂを介して、第２の空間１００Ｂの内部の空気を吸引排気するための第２の排気穴１３Ｂと、第２の間隙８Ｂと第２の排気穴１３Ｂとの間に介在し、第２の間隙８Ｂに沿って周方向の全周に亘り第３ステータハウジング４１Ｃに形成された第２の排気溝１２Ｂと、を有している。

この構造において、第１の排気穴１３Ａに吸引排気装置Ｐ１を接続して吸引排気装置Ｐ１を作動させることにより、第１の排気穴１３Ａから第１の空間１００Ａの空気が均一に吸い出され、第１のシール部７Ａから第１の空間１００Ａに均一に空気が吸い込まれる。これにより、第１の空間１００Ａで発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。

また、第２の排気穴１３Ｂに吸引排気装置Ｐ２を接続して吸引排気装置Ｐ２を作動させることにより、第２の排気穴１３Ｂから第２の空間１００Ｂの空気が均一に吸い出され、第２のシール部７Ｂから第２の空間１００Ｂに均一に空気が吸い込まれる。これにより、第２の空間１００Ｂで発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。

また、モータ１は、第１の絞り部９Ａを形成する第２の間隙８Ａ及び第２の絞り部９Ｂを形成する第２の間隙８Ｂの精度を管理するための管理項目が少なくて済み、その結果、モータ１の製造の際の歩留まりを向上することができる。

また、モータ１は、転がり軸受や滑り軸受等のように、電源や圧縮空気のような外部動力源を必要としない機械式の軸受を用いることができる。

また、モータ１は、可動部を潤滑する潤滑グリースとして、発塵性が低い低発塵グリースを用いる必要がなく、駆動条件に応じて最適な潤滑グリースを使用することが可能である。

（実施形態２）
図６は、実施形態２に係るモータの一例を示す断面図である。なお、上述した実施形態１と同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図６に示すように、実施形態２に係るモータ１ａにおいて、第２ステータハウジング４１Ｂａは、第１の円環部材１０ａとの嵌合面に、第１の絞り部９Ａの第２の間隙８Ａを介して、第１の空間１００Ａの内部の空気を吸引排気するための第１の排気溝１２Ａが周方向の全周に亘り形成されている。また、第２ステータハウジング４１Ｂａは、第１ステータハウジング４１Ａａの径方向内側に面して嵌合する嵌合部を有しておらず、第１の排気溝１２Ａに連通して設けられる第１の排気穴１３Ａは、軸方向に並ぶ第２ステータハウジング４１Ｂａ、第１の円環部材１０ａ、第１ステータハウジング４１Ａａ、第３ステータハウジング４１Ｃａを連通して第３ステータハウジング４１Ｃａの軸方向下端部に開口している。これにより、第２ステータハウジング４１Ｂの内径（つまり、中空穴２３ａの径）ｒ６’を第１ステータハウジング４１Ａの内径ｒ５’まで拡大することができる。よって、第２ステータハウジング４１Ｂａの軸方向上端部に開口する中空穴２３ａの径を実施形態１よりも大きくすることができる。

図７は、実施形態２における第１の円環部材の一例を示す図である。図７（ａ）は、第１の円環部材１０ａを図６のＡ矢視方向に見た平面図である。図７（ｂ）は、第１の円環部材１０ａの図７（ａ）のＣ−Ｃ矢視断面図である。図８は、実施形態２における第１の円環部材の図７とは異なる一例を示す図である。図８（ａ）は、第１の円環部材１０ａを図６のＡ矢視方向に見た平面図である。図８（ｂ）は、第１の円環部材１０ａの図８（ａ）のＣ’−Ｃ’矢視断面図である。なお、図７及び図８に示す例では、第１ステータハウジング４１Ａａと第２ステータハウジング４１Ｂａとで第１の円環部材１０ａを挟み固定するためのビス穴を６つ設けているが、ビス穴の数はこれに限るものではない。

図７に示す例では、図６に示すように、第２ステータハウジング４１Ｂａの第１の円環部材１０ａに対向する面は平坦であり、第１の円環部材１０ａの第２ステータハウジング４１Ｂａに対向する面に、第２ステータハウジング４１Ｂａとの間に第２の間隙８Ａを形成する段差が設けられている。これにより、第２ステータハウジング４１Ｂａと第１の円環部材１０ａとを組み合わせた際に、周方向の全周に亘り、第１の円環部材１０ａと第２ステータハウジング４１Ｂａとが第２の間隙８Ａを隔てて重なる第１の絞り部９Ａを形成する。本実施形態では、図６に示すように、第１の円環部材１０ａの外径ｒ３’は、第２ステータハウジング４１Ｂに形成された第１の排気溝１２Ａの外径ｒ９よりも大きい。従って、第１の円環部材１０ａと第２ステータハウジング４１Ｂとが軸方向に第２の間隙８Ａを隔てて重なるＷ５の範囲が第２の絞り部９Ｂとなる。

なお、上述した例とは異なり、第１の円環部材１０ａの第２ステータハウジング４１Ｂａに対向する面に段差を設けず、第２ステータハウジング４１Ｂａの第１の円環部材１０ａに対向する面に、第１の円環部材１０ａとの間に第２の間隙８Ａを形成する段差を設けるようにしてもよい。

また、図８に示すように、第１の円環部材１０ａと第２ステータハウジング４１Ｂａとの間に、第２の間隙８Ａを形成する円環状のスペーサ部材１１ａを設けるようにしてもよい。

上述した構成により、第２ステータハウジング４１Ｂａの第１の円環部材１０ａに対向する面の平面度、第１の円環部材１０ａの第２ステータハウジング４１Ｂａに対向する面の平面度、及び、第１の円環部材１０ａと第２ステータハウジング４１Ｂａとの間の第２の間隙８Ａを形成する段差を管理項目として設けていれば良く、部品精度の管理項目が少なくなるという利点がある。その結果、歩留りが向上する。

本実施形態においても、上述した実施形態１と同様の効果を得ることができる。すなわち、実施形態２に係るモータ１ａは、第１の排気穴１３Ａ及び第２の排気穴１３Ｂにそれぞれ吸引排気装置Ｐ１，Ｐ２を接続して吸引排気装置Ｐ１，Ｐ２を作動させることにより、第１の排気穴１３Ａ及び第２の排気穴１３Ｂから第１の空間１００Ａ及び第２の空間１００Ｂの空気が均一に吸い出され、第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂから第１の空間１００Ａ及び第２の空間１００Ｂに均一に空気が吸い込まれる。これにより、第１の空間１００Ａ及び第２の空間１００Ｂで発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。

また、モータ１ａは、第１の絞り部９Ａを形成する第２の間隙８Ａ及び第２の絞り部９Ｂを形成する第２の間隙８Ｂの精度を管理するための管理項目が少なくて済み、その結果、モータ１ａの製造の際の歩留まりを向上することができる。

また、モータ１ａは、転がり軸受や滑り軸受等のように、電源や圧縮空気のような外部動力源を必要としない機械式の軸受を用いることができる。

また、モータ１ａは、可動部を潤滑する潤滑グリースとして、発塵性が低い低発塵グリースを用いる必要がなく、駆動条件に応じて最適な潤滑グリースを使用することが可能である。

（実施形態３）
図９は、実施形態３に係るモータの一例を示す断面図である。図１０は、実施形態３に係るモータの図９とは異なる一例を示す断面図である。なお、上述した実施形態１または実施形態２と同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図９に示すように、実施形態３に係るモータ１ｂでは、第２ステータハウジング４１Ｂａに形成された第１の排気溝１２Ａと、第３ステータハウジング４１Ｃｂに形成された第２の排気溝１２Ｂとが、排気穴１３を介して連通している。図９に示す例において、排気穴１３は、第３ステータハウジング４１Ｃｂの径方向外側の周方向面に開口し、継手１４を介して、例えば真空ポンプ等である吸引排気装置Ｐの排気用チューブ１５が接続されている。

また、図１０に示すように、実施形態３に係るモータ１ｃでは、第２ステータハウジング４１Ｂａに形成された第１の排気溝１２Ａと、第３ステータハウジング４１Ｃｃに形成された第２の排気溝１２Ｂとが、排気穴１３を介して連通している。図１０に示す例において、排気穴１３は、第３ステータハウジング４１Ｃｃの軸方向下端部に開口し、例えば真空ポンプ等である吸引排気装置Ｐに継手１４を介して排気用チューブ１５が接続されている。

実施形態３に係るモータ１ｂ，１ｃでは、排気穴１３に１つの吸引排気装置Ｐを接続することで、上述した実施形態１，２と同様の効果を得ることができる。すなわち、実施形態３に係るモータ１ｂ，１ｃは、排気穴１３に吸引排気装置Ｐを接続して吸引排気装置Ｐを作動させることにより、排気穴１３から第１の空間１００Ａ及び第２の空間１００Ｂの空気が均一に吸い出され、第１のシール部７Ａ及び第２のシール部７Ｂから第１の空間１００Ａ及び第２の空間１００Ｂに均一に空気が吸い込まれる。これにより、第１の空間１００Ａ及び第２の空間１００Ｂで発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。

また、モータ１ｂ，１ｃは、第１の絞り部９Ａを形成する第２の間隙８Ａ及び第２の絞り部９Ｂを形成する第２の間隙８Ｂの精度を管理するための管理項目が少なくて済み、その結果、モータ１ｂ，１ｃの製造の際の歩留まりを向上することができる。

また、モータ１ｂ，１ｃは、転がり軸受や滑り軸受等のように、電源や圧縮空気のような外部動力源を必要としない機械式の軸受を用いることができる。

また、モータ１ｂ，１ｃは、可動部を潤滑する潤滑グリースとして、発塵性が低い低発塵グリースを用いる必要がなく、駆動条件に応じて最適な潤滑グリースを使用することが可能である。

（変形例）
図１１は、実施形態３の変形例に係るモータの一例を示す断面図である。図１２は、実施形態３の変形例に係るモータの図１１とは異なる一例を示す断面図である。なお、上述した実施形態３と同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図１１及び図１２に示すように、実施形態３の変形例に係るモータ１ｄにおいて、排気穴１３は、第３ステータハウジング４１Ｃｄの軸方向下端部と径方向外側の周方向面との双方に開口している。

図１１に示す例では、第３ステータハウジング４１Ｃｄの軸方向下端部に設けられた排気穴１３の開口部が封止部材３００で封止されており、第３ステータハウジング４１Ｃｄの径方向外側の周方向面に設けられた排気穴１３の開口部に、継手１４を介して、例えば真空ポンプ等である吸引排気装置Ｐの排気用チューブ１５が接続される。

図１２に示す例では、第３ステータハウジング４１Ｃｄの径方向外側の周方向面に設けられた排気穴１３の開口部が封止部材３００で封止されており、第３ステータハウジング４１Ｃｄの軸方向下端部に設けられた排気穴１３の開口部に、継手１４を介して、例えば真空ポンプ等である吸引排気装置Ｐの排気用チューブ１５が接続される。

なお、封止部材３００としては、第３ステータハウジング４１Ｃｄの軸方向下端部に設けられた開口部と第３ステータハウジング４１Ｃｄの径方向外側の周方向面に設けられた開口部とのいずれか一方を確実に封止可能な部材であれば何でもよく、例えば、ビスやネジ、あるいはピン等の部材を用いることができる。

実施形態３の変形例に係るモータ１ｄでは、排気穴１３の開口部を第３ステータハウジング４１Ｃｄの軸方向下端部と径方向外側の周方向面との双方に設け、排気穴１３の２つの開口部のうちの一方を封止部材３００で封止し、他方に吸引排気装置Ｐを接続することで、上述した実施形態３と同様の効果が得られることは言うまでもない。また、吸引排気装置Ｐを接続する排気穴１３の開口部を、第３ステータハウジング４１Ｃｄの軸方向下端部に設けられた開口部と第３ステータハウジング４１Ｃｄの径方向外側の周方向面に設けられた開口部とで選択可能であるので、より汎用性の高いモータ１ｄを得ることができる。

（実施形態４）
図１３は、実施形態４に係るモータの一例を示す断面図である。なお、上述した実施形態１と同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図１３に示すように、実施形態４に係るモータ１ｅにおいて、ロータハウジング４１の部材４２Ｃａは円板状の部材であり、第１の空間１００Ａと外部（クリーン環境）との間で空気の流通が発生しない構造である。すなわち、実施形態４に係るモータ１ｅでは、第１の空間１００Ａからクリーン環境への発塵流出を考慮する必要がない。

実施形態４に係るモータ１は、コイル２１Ｂ及びステータコア２１Ａを備えるステータ２１と、ステータ２１の径方向外側に配置され、ステータ２１に対して相対回転するロータ２２と、ロータ２２と共に回転するロータハウジング４２と、ステータ２１を固定するステータハウジング４１と、ステータハウジング４１に対しロータハウジング４２を回転自在に支持する軸受５と、を含む。ステータハウジング４１は、第１ステータハウジング４１Ａと、第３ステータハウジング４１Ｃと、を含む。第３ステータハウジング４１Ｃは、第１ステータハウジング４１Ａとロータハウジング４２と軸受５と共に第２の空間１００Ｂを形成し、周方向の全周に亘り第１の間隙６を隔ててロータハウジング４２に重なっている。また、モータ１は、第２の空間１００Ｂ内において、周方向の全周に亘り第２の間隙８を隔てて第３ステータハウジング４１Ｃに重なる円環部材１８と、第２の間隙８を介して、第２の空間１００Ｂの内部の空気を吸引排気するための排気穴１３と、第２の間隙８と排気穴１３との間に介在し、第２の間隙８に沿って周方向の全周に亘り第３ステータハウジング４１Ｃに形成された排気溝１２と、を有している。

この構造において、排気穴１３に吸引排気装置Ｐを接続して吸引排気装置Ｐを作動させることにより、排気穴１３から第２の空間１００Ｂの空気が均一に吸い出され、シール部７から第２の空間１００Ｂに均一に空気が吸い込まれる。これにより、第２の空間１００Ｂで発生する発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができる。

また、モータ１ｅは、絞り部９を形成する第２の間隙８の精度を管理するための管理項目が少なくて済み、その結果、モータ１ｅの製造の際の歩留まりを向上することができる。

また、モータ１ｅは、転がり軸受や滑り軸受等のように、電源や圧縮空気のような外部動力源を必要としない機械式の軸受を用いることができる。

また、モータ１ｅは、可動部を潤滑する潤滑グリースとして、発塵性が低い低発塵グリースを用いる必要がなく、駆動条件に応じて最適な潤滑グリースを使用することが可能である。

なお、上述した実施形態では、第２ステータハウジング４１Ｂ，４１Ｂａが第１の円環部材１０，１０ａを介して第１ステータハウジング４１Ａ，４１Ａａに固定された例を示したが、第１の円環部材１０，１０ａは、第１ステータハウジング４１Ａ，４１Ａａと一体化して形成されていても良い。このようにすれば、モータ１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅを構成する部品点数を削減することができる。また、部品精度の管理項目が少なくなるという利点がある。その結果、歩留りが向上する。

また、第３ステータハウジング４１Ｃ，４１Ｃａ，４１Ｃｂ，４１Ｃｃ，４１Ｃｄについても、第２ステータハウジング４１Ｂ，４１Ｂａと同様に、第３ステータハウジング４１Ｃ，４１Ｃａ，４１Ｃｂ，４１Ｃｃ，４１Ｃｄが第２の円環部材１８を介して第１ステータハウジング４１Ａ，４１Ａａに固定された構成としてもよいことは言うまでもない。

さらには、第２の円環部材１８は、第１ステータハウジング４１Ａ，４１Ａａと一体化して形成されていても良い。このようにすれば、モータ１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅを構成する部品点数を削減することができる。また、部品精度の管理項目が少なくなるという利点がある。その結果、歩留りが向上する。

図１４は、本実施形態に係るモータの適用例を示す図である。本実施形態に係るモータ１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅは、例えば、クリーン環境４００のもとで半導体製造装置４０１やフラットディスプレイ製造装置４０２で用いられる。モータ１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅは、ハウジング（筐体）の一部（ステータハウジング）が締結部材で基台５００に支持されている。なお、締結部材はネジ、ボルト、ピン等である。これにより、モータ１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅは、基台５００に固定される。

モータ１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅは、モータ１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅにより駆動される被駆動物６００と共に、アクチュエータ７００を構成する。被駆動物６００は、モータ１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅのハウジング（筐体）の一部（ステータハウジング）に締結部材で支持されている。なお、締結部材はネジ、ボルト、ピン等である。これにより、被駆動物６００は、モータ１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅに固定される。

被駆動物６００の上部には、被製造物８００が配置される。基台５００には、中空穴５０１が設けられ、被駆動物６００には、中空穴６０１が設けられている。

被製造物８００に電源や信号を供給するケーブル９００は、基台５００の中空穴５０１、モータ１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅの中空穴２３，２３ａ、被駆動物６００の中空穴６０１に挿通され、被製造物８００に接続される。

上述したように、本実施形態に係るモータ１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅは、内部で発生した発塵が外部に流出するのを確実に防ぐことができるので、この実施形態に係るモータ１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅや、この実施形態に係るモータ１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅを用いて構成したアクチュエータ７００は、例えば、図１４に示すようなクリーン環境４００もとで半導体製造装置４０１やフラットディスプレイ製造装置４０２に用いるのに適している。

１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅ モータ
２ モータ部
３ 回転検出器
４ ハウジング
５ 軸受
５Ａ 内輪
５Ｂ 外輪
５Ｃ 転動輪
６，６Ａ，６Ｂ 第１の間隙
７ シール部
７Ａ 第１のシール部
７Ｂ 第２のシール部
８，８Ａ，８Ｂ 第２の間隙
９ 絞り部
９Ａ 第１の絞り部
９Ｂ 第２の絞り部
１０，１０ａ 第１の円環部材
１１，１１ａ スペーサ部材
１２ 排気溝
１２Ａ 第１の排気溝
１２Ｂ 第２の排気溝
１３ 排気穴
１３Ａ 第１の排気穴
１３Ｂ 第２の排気穴
１４，１４Ａ，１４Ｂ 継手
１５，１５Ａ，１５Ｂ 排気用チューブ
１６ 溝部
１７ Ｏリング
１８ （第２の）円環部材
１９ 第１ケーブル挿通孔
２０ 第２ケーブル挿通孔
２１ ステータ
２１Ａ ステータコア
２１Ｂ コイル
２２ ロータ
２３，２３ａ 中空穴
４１ ステータハウジング
４１Ａ，４１Ａａ 第１ステータハウジング
４１ＡＡ，４１ＡＡａ，４１ＡＢ，４１ＡＢａ 部材（第１ステータハウジング）
４１Ｂ，４１Ｂａ 第２ステータハウジング
４１Ｃ，４１Ｃａ，４１Ｃｂ，４１Ｃｃ，４１Ｃｄ 第３ステータハウジング
４２ ロータハウジング
４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ 部材（ロータハウジング）
１００Ａ 第１の空間
１００Ｂ 第２の空間
２００Ａ，２００Ｂ ケーブル
３００ 封止部材
４００ クリーン環境
４０１ 半導体製造装置
４０２ フラットディスプレイ製造装置
５００ 基台
５０１ 中空穴（基台）
６００ 被駆動物
６０１ 中空穴（被駆動物）
７００ アクチュエータ
８００ 被製造物
９００ ケーブル（被製造物）
ＡＸ 回転軸
Ｐ，Ｐ１，Ｐ２ 吸引排気装置

Claims (25)

1. コイル及びステータコアを備えるステータと、
   前記ステータの径方向外側に配置され、前記ステータに対して相対回転するロータと、
   前記ロータと共に回転するロータハウジングと、
   前記ステータを固定すると共に、前記ロータハウジングとの間に空間を形成し、周方向の全周に亘り第１の間隙を隔てて前記ロータハウジングに重なるステータハウジングと、
   前記ステータハウジングに対し前記ロータハウジングを回転自在に支持する軸受と、
   前記空間内において、周方向の全周に亘り第２の間隙を隔てて前記ステータハウジングに重なる円環部材と、
   前記第２の間隙を介して、前記空間の内部の空気を吸引排気するための排気穴と、
   前記第２の間隙と前記排気穴との間に介在し、前記第２の間隙に沿って周方向の全周に亘り前記ステータハウジングに形成された排気溝と、
   を有する、モータ。
2. 前記ステータハウジングは、
   前記ロータの回転中心を軸心とする軸方向に前記軸受の内輪を挟持する少なくとも２つの部材からなる第１ステータハウジングと、
   前記第１ステータハウジングの前記軸方向の一方端側に設けられ、第１の前記排気溝が形成されると共に、第１の前記円環部材が固定され、第１の前記円環部材との間に前記第１の間隙を形成する第２ステータハウジングと、
   前記第１ステータハウジングの前記軸方向の他方端側に設けられ、第２の前記排気溝が形成されると共に、第２の前記円環部材が固定され、第２の前記円環部材との間に前記第１の間隙を形成する第３ステータハウジングと、
   を備え、
   前記ロータハウジングは、
   前記軸方向に前記軸受の外輪を挟持する少なくとも２つの部材からなり、
   前記第２ステータハウジングとの間に前記第１の間隙を形成すると共に、前記第１ステータハウジングと前記第２ステータハウジングと前記軸受と共に第１の前記空間を形成し、
   前記第３ステータハウジングとの間に前記第１の間隙を形成すると共に、前記第２ステータハウジングと前記第３ステータハウジングと前記軸受と共に第２の前記空間を形成する、
   請求項１に記載のモータ。
3. 第１の前記円環部材は、前記第２ステータハウジングに対向する面に、前記第２ステータハウジングとの間に前記第２の間隙を形成する段差が設けられた、請求項２に記載のモータ。
4. 前記第２ステータハウジングは、第１の前記円環部材に対向する面に、前記第２ステータハウジングとの間に前記第２の間隙を形成する段差が設けられた、請求項２に記載のモータ。
5. 第１の前記円環部材と前記第２ステータハウジングとの間に介在し、前記第２の間隙を形成するためのスペーサ部材を備えた、請求項２に記載のモータ。
6. 第２の前記円環部材は、前記第３ステータハウジングに対向する面に、前記第３ステータハウジングとの間に前記第２の間隙を形成する段差が設けられた、請求項２から請求項５のいずれか一項に記載のモータ。
7. 前記第３ステータハウジングは、第２の前記円環部材に対向する面に、第２の前記円環部材との間に前記第２の間隙を形成する段差が設けられた、請求項２から請求項５のいずれか一項に記載のモータ。
8. 第２の前記円環部材と前記第３ステータハウジングとの間に介在し、前記第２の間隙を形成するためのスペーサ部材を備えた、請求項２から請求項５のいずれか一項に記載のモータ。
9. 前記第２ステータハウジングは、前記第１ステータハウジングと径方向に重なる嵌合面に溝部が形成され、該溝部にＯリングが設けられた、請求項２から請求項８のいずれか一項に記載のモータ。
10. 前記第２ステータハウジングに第１の前記排気穴が形成され、前記第３ステータハウジングに第２の前記排気穴が形成された、請求項２から請求項９のいずれか一項に記載のモータ。
11. 前記第２ステータハウジング、前記第１ステータハウジング、及び前記第３ステータハウジングを連通して第１の前記排気穴が形成され、前記第３ステータハウジングに第２の前記排気穴が形成された、請求項２から請求項９のいずれか一項に記載のモータ。
12. 前記第２ステータハウジングの前記軸方向の他方端に第１の前記排気穴の開口部が設けられ、前記第３ステータハウジングの周方向面に第２の前記排気穴の開口部が設けられた、請求項１０に記載のモータ。
13. 前記排気穴は、第１の前記排気溝と第２の前記排気溝とを連結すると共に、前記第２ステータハウジング、前記第１ステータハウジング、及び前記第３ステータハウジングを連通して形成された、請求項２から請求項９のいずれか一項に記載のモータ。
14. 前記排気穴は、前記第３ステータハウジングの径方向外側の周方向面に開口部が設けられた、請求項１３に記載のモータ。
15. 前記排気穴は、前記第３ステータハウジングの前記軸方向の他方端に開口部が設けられた、請求項１３に記載のモータ。
16. 前記排気穴は、前記第３ステータハウジングの径方向外側の周方向面、及び、前記第３ステータハウジングの前記軸方向の他方端に開口部が設けられ、いずれか一方の開口部が封止された、請求項１３に記載のモータ。
17. 前記第２ステータハウジングは、第１の前記円環部材を介して前記第１ステータハウジングに固定された、請求項２から請求項１６のいずれか一項に記載のモータ。
18. 第１の前記円環部材は、前記第１ステータハウジングと一体化して形成された、請求項２から請求項１６のいずれか一項に記載のモータ。
19. 前記第３ステータハウジングは、第２の前記円環部材を介して前記第１ステータハウジングに固定された、請求項２から請求項１８のいずれか一項に記載のモータ。
20. 第２の前記円環部材は、前記第１ステータハウジングと一体化して形成された、請求項２から請求項１８のいずれか一項に記載のモータ。
21. 前記第１ステータハウジングは、モータ駆動用あるいは位置検出用のケーブルを挿通させるための第１ケーブル挿通孔が前記軸方向に形成され、
    前記第３ステータハウジングは、前記第１ケーブル挿入孔に連通して前記ケーブルを挿通させるための第２ケーブル挿通孔が前記軸方向に形成され、
    前記第１ステータハウジングと前記第３ステータハウジングとが前記軸方向に嵌合したとき、前記第１ケーブル挿通孔と前記第２ケーブル挿通孔とが前記軸方向に重なる開口面積が前記ケーブルの断面積と略一致するように、前記第１ケーブル挿通孔の径方向中心位置と前記第２ケーブル挿通孔の径方向中心位置とが異なっている、
    請求項１から請求項２０のいずれか一項に記載のモータ。
22. 前記軸受は、転がり軸受あるいはすべり軸受である、請求項１から請求項２１のいずれか一項に記載のモータ。
23. 請求項１から請求項２２のいずれか一項に記載のモータと、
    前記モータにより駆動される被駆動物と、
    を含み構成された、アクチュエータ。
24. 請求項１から請求項２２のいずれか一項に記載のモータ、あるいは、請求項２３に記載のアクチュエータを備えた、半導体製造装置。
25. 請求項１から請求項２２のいずれか一項に記載のモータ、あるいは、請求項２３に記載のアクチュエータを備えた、フラットディスプレイ製造装置。

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