JP6707964B2 - 位置決め装置及び回転機構 - Google Patents

Description

本発明は、位置決め装置及び回転機構に関する。

搬送装置、工作機械又は半導体製造装置には、真空雰囲気や特殊ガス雰囲気のプロセス室内でステージを回転させる回転機構や、ステージをスライド移動させる位置決め装置が用いられる。下記特許文献１には、真空室を囲み、開口が設けられた壁と、この開口をシールする摺動シールプレートとを有するリソグラフィ装置（位置決め装置）が記載されている。特許文献１では、壁と摺動シールプレートとの隙間に高圧の気体を供給して、隙間部分に高圧領域を発生させることで、壁と摺動シールプレートとの間が非接触でシールされる。

特開２０００−３３１９３０号公報

しかし、特許文献１では、供給された気体が一部真空室に漏れ出す可能性があり、真空室内の気流の状態が乱される場合がある。また、真空室への気体の流入を抑制するために壁に複数の排気通路を設ける場合、構成が煩雑になる可能性がある。

本発明は、簡便な構成で、ワークの位置決めや検査を行う空間への気体の流入を抑制することが可能な位置決め装置及び回転機構を提供することを目的とする。

本発明の一態様に係る位置決め装置は、筐体に囲まれた第１空間と、前記第１空間と異なる第２空間とを区切る板状部材と、前記板状部材に設けられた孔部を覆うとともに、前記板状部材の一方の面と隙間を有して対向する可動部と、前記板状部材の前記孔部に挿通され、前記可動部と連結される連結軸と、前記板状部材の前記孔部よりも外側において前記隙間に開口し、前記隙間へ気体を供給することにより、前記第１空間の気体を、前記隙間を通って前記第２空間側に流入させる給気部と、を有する。

この構成によれば、板状部材と可動部との隙間に、給気部から気体が供給されることにより、第１空間がシールされる。この給気部からの気体の供給により、第１空間の気体が隙間を通って第２空間側に流入する負圧が発生する。また、隙間の気体を排出するための配管や通路等を設ける必要がない。このため、簡便な構成で、ワークの位置決めや検査を行うための第１空間に気体が流入することを抑制できる。

本発明の一態様に係る位置決め装置において、前記給気部は、前記孔部の周りにスリット状に設けられている。この構成によれば、第１空間の気体が隙間を通って第２空間側に流入する負圧が、孔部の周方向に沿って全周に発生するため、確実に第１空間への気体の流入を抑制することができる。

本発明の一態様に係る位置決め装置において、前記隙間は、前記給気部よりも前記第１空間側の第１隙間と、前記給気部よりも前記第２空間側の第２隙間とを含み、前記第２隙間の間隔は、前記第１隙間の間隔よりも大きい。これによれば、いわゆるエゼクタ効果により、第１隙間において第１空間側から、第２空間側に向かう気体の流れが発生するため、第１空間へ気体が流入することを抑制できる。

本発明の一態様に係る位置決め装置において、前記板状部材は、前記可動部側に突出する突出部が設けられている。これによれば、板状部材と可動部との隙間の調整が容易である。また、板状部材の強度が向上するため、隙間の間隔の変動を抑制できる。

本発明の一態様に係る位置決め装置において、前記突出部は、前記板状部材の前記孔部の周囲に環状に設けられる。これによれば、第１空間の気体が隙間を通って第２空間側に流入する負圧が、孔部の周方向に沿って全周に発生するため、確実に第１空間への気体の流入を抑制することができる。

本発明の一態様に係る位置決め装置において、前記突出部の径方向外側の面と第３隙間を有して対向するシール部材が設けられ、前記給気部は、前記第３隙間を含む。これによれば、気体は第３隙間を通って第１隙間及び第２隙間に供給される。そして、シール部材と板状部材との間に隙間が形成され、この隙間を通って第１空間の気体が第２空間側に流入する。また、シール部材を設けることにより、可動部とシール部材との隙間の大きさの調整が容易であり、気体を供給するための第３隙間の調整も容易である。

本発明の一態様に係る位置決め装置において、前記第３隙間の間隔は、前記第１隙間の間隔よりも小さく、かつ、前記第２隙間の間隔よりも小さい。これによれば、第３隙間を通る気体の流速が大きくなるので、確実に第１空間の気体が第１隙間及び第２隙間を通って第２空間側に流入する負圧を発生させることができる。

本発明の一態様に係る位置決め装置において、前記シール部材は、前記板状部材の前記一方の面と第４隙間を有して対向し、前記給気部は、前記第４隙間を含む。これによれば、シール部材と板状部材との第４隙間により給気部が構成されるため、シール部材と突出部との間の第３隙間を第４隙間よりも大きくすることができ、第３隙間及び第４隙間の寸法精度の管理が容易である。

本発明の一態様に係る位置決め装置において、前記第４隙間の間隔は、前記第１隙間、前記第２隙間、及び前記第３隙間の間隔よりも小さい。これによれば、第４隙間を通る気体の流速が大きくなるので、確実に第１空間の気体が第１隙間及び第２隙間を通って第２空間側に流入する負圧を発生させることができる。

本発明の一態様に係る位置決め装置において、前記シール部材と前記可動部との間に前記第１隙間が設けられ、前記突出部と前記可動部との間に前記第２隙間が設けられる。すなわち、シール部材が第１空間側に配置され、突出部がシール部材よりも第２空間側に配置される構成であっても、簡便な構成で、第１空間へ気体が流入することを抑制できる。

本発明の一態様に係る位置決め装置において、前記突出部と前記可動部との間に前記第１隙間が設けられ、前記シール部材と前記可動部との間に前記第２隙間が設けられる。すなわち、突出部が第１空間側に配置され、シール部材が突出部よりも第２空間側に配置される構成であっても、簡便な構成で、第１空間へ気体が流入することを抑制できる。

本発明の一態様に係る位置決め装置において、前記可動部は、前記第１空間に配置され、前記板状部材の前記第１空間側の面と隙間を有して対向する。これによれば、隙間を形成する各部材が第１空間側に配置されるので、隙間の確認及び調整を容易に行うことができる。

本発明の一態様に係る位置決め装置は、前記第１空間に設けられ、ワークを移動させるためのステージを有し、前記可動部は、前記第２空間に配置され、前記連結軸を介して前記ステージと連結されており、前記板状部材の前記第２空間側の面と対向して配置される。これによれば、ステージの交換等の作業を行う場合であっても、シールを構成する各隙間の構成の変更がないため、メンテナンス等の作業を容易に行うことができる。

本発明の一態様に係る回転機構は、筐体に囲まれた第１空間と、前記第１空間と異なる第２空間とを区切る板状部材と、前記板状部材に設けられた孔部を覆うとともに、前記板状部材の前記第１空間側の面と隙間を有して対向する回転部材と、前記板状部材の前記孔部に挿通され、前記回転部材と連結される連結軸と、前記第２空間に設置されて前記連結軸を回転可能に支持する軸受と、前記板状部材の前記孔部の外側において前記隙間に開口し、前記隙間へ気体を供給することにより、前記第１空間の気体を、前記隙間を通って前記第２空間側に流入させる給気部と、を有する。

この構成によれば、板状部材と回転部材との隙間に、給気部から気体が供給されることにより、第１空間と、第２空間とがシールされる。この給気部の気体の供給により、第１空間の気体が隙間を通って第２空間側に流入する負圧が発生する。また、隙間の気体を排出するための配管や通路等を設ける必要がない。このため、簡便な構成で、ワークの位置決めや検査を行うための第１空間へ気体が流入することを抑制できる。

本発明によれば、簡便な構成で、ワークの位置決めや検査を行う空間への気体の流入を抑制することが可能な位置決め装置及び回転機構を提供することができる。

図１は、第１の実施形態に係る位置決め装置を模式的に示す断面図である。 図２は、第１の実施形態に係る位置決め装置のシール構造を示す断面図である。 図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ’線に沿う断面図である。 図４は、第２の実施形態に係る位置決め装置のシール構造を示す断面図である。 図５は、第３の実施形態に係る回転機構を模式的に示す断面図である。 図６は、第３の実施形態に係る回転機構のシール構造を示す断面図である。 図７は、第４の実施形態に係る位置決め装置を模式的に示す断面図である。 図８は、第４の実施形態に係る位置決め装置のシール構造を示す断面図である。

発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。なお、図面は、実施形態の説明のため、実際の寸法、形状と適宜変更して示している。

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る位置決め装置を模式的に示す断面図である。図２は、第１の実施形態に係る位置決め装置のシール構造を示す断面図である。図１は、連結軸３２の中心軸を含み、かつ中心軸と平行な平面で位置決め装置１０を切った断面を示している。位置決め装置１０は、密閉空間内に配置されたワークを直線移動、又は回転移動させるための装置であり、工作機械、搬送装置、半導体製造装置、又は、減圧空間内でモールド加工を行うナノインプリント装置などに適用可能である。図１では、説明を分かりやすくするために、左右方向の１軸移動可能な例を示しているものの、これに限定されない。例えば、左右方向の移動に加え、図１の前後方向に移動可能な２軸移動や、回転移動が可能な構成であってもよい。

図１に示すように、本実施形態の位置決め装置１０は、筐体２０と、支持部２８と、板状部材２０ａと、ステージ３０と、駆動ステージ３４と、連結軸３２とを備える。筐体２０に囲まれた第１空間Ｐは、特定の環境を維持し、ワークの位置決めや、加工、検査等を行うための密閉空間である。なお、密閉空間とは、外部から完全に密閉されている場合に限定されず、作業に適した特定の環境を維持できる空間であればよい。第１空間Ｐは、真空、減圧、ガス置換（減圧又は陽圧）、温度の異なる空間、クリーン環境、異物環境等の様々な環境に適用可能である。

支持部２８は、定盤５５の上に配置されて、筐体２０を支持する。支持部２８に囲まれた第２空間Ｒは、ステージ３０を移動させるための駆動機構等が設けられる。第２空間Ｒは、第１空間Ｐと区分けされ、第１空間Ｐと異なる環境となっている。支持部２８は、筐体２０を支持することが可能な枠状であってもよく、若しくは、駆動機構等を内部に収納可能な底部を備えてもよい。

板状部材２０ａは、筐体２０の側面に対して垂直な方向に延出する板状の部材であり、筐体２０と一体に設けられる。第１空間Ｐと第２空間Ｒとは板状部材２０ａによって区切られている。また、板状部材２０ａは、上下方向に貫通する孔部２０ｃが設けられている。この孔部２０ｃを通って連結軸３２が上下方向に延在している。なお、板状部材２０ａは、筐体２０と一体に設けられる場合に限定されず、筐体２０と別体に設けられた部材であってもよく、支持部２８と一体に設けられていてもよい。

本実施形態において、第１空間Ｐは、板状部材２０ａを含む筐体２０とステージ３０とで囲まれた空間である。第２空間Ｒは、支持部２８と、板状部材２０ａと、ステージ３０と、定盤５５とで囲まれた空間である。

ステージ３０は、第１空間Ｐに配置される。ステージ３０は、板状部材２０ａの孔部２０ｃを覆うとともに、板状部材２０ａの上面と隙間２４を有して対向する。ステージ３０は、第１面３０ａと、第１面３０ａの反対側の第２面３０ｂとを有する板状の部材である。ステージ３０は、上面から見たときに、円形状であってもよく、長円状、正方形状、矩形状等、他の形状であってもよい。ステージ３０は、第１面３０ａに連結軸３２の一方の端部が接続されており、連結軸３２の移動に伴って、図１の左右方向に１軸移動可能となっている。なお、上述のように、ステージ３０は、図１の前後方向にも移動可能な２軸移動可能であってもよく、回転移動可能であってもよい。ステージ３０の第２面３０ｂにワーク等が載置又は固定され、ワーク等の位置決め等が行われる。本発明の「可動部」は、本実施形態におけるステージ３０に対応する。

駆動ステージ３４は、第２空間Ｒに配置される。駆動ステージ３４は、板状部材２０ａよりも下方に配置され、連結軸３２の他方の端部と接続される。駆動ステージ３４は、図示しない外部の駆動部から駆動力が伝達され、図１の左右方向に移動可能となっている。駆動部は、例えば、リニアモータが用いられる。また、駆動部は、駆動モータとボールねじとを組み合わせた機構であってもよい。この場合、駆動モータが回転駆動力を発生し、ボールねじがこの回転駆動力を１軸方向の駆動力に変換して駆動ステージ３４に伝達する。図１に示すように、連結軸３２は、少なくとも図１の左右方向において、板状部材２０ａと間隔を有して配置される。つまり、孔部２０ｃの径は、連結軸３２の移動を許容するように、連結軸３２の径よりも大きくなっている。これにより、駆動ステージ３４の移動に伴って、連結軸３２を介して、ステージ３０が面内方向に移動可能となっている。

リニアベアリング３５、３５は、駆動ステージ３４の下面に配置され、駆動ステージ３４の移動とともに一体に移動する。リニアベアリング３５、３５は、駆動ステージ３４の左右方向の中心位置に対して、右側の領域と、左側の領域とにそれぞれ配置される。定盤５５の上にベース部材３７が固定され、ベース部材３７の上にガイド部材３６が設けられる。２つのリニアベアリング３５、３５は、ガイド部材３６に連結されて、ガイド部材３６の延在方向に沿って円滑に移動可能になっている。このような構成により、駆動ステージ３４は、リニアモータ等の駆動部から駆動力を受けたときに、１軸方向に円滑に移動可能になっている。図１では省略して示すが、駆動ステージ３４は上面から見たときに、略矩形状である。ガイド部材３６及びリニアベアリング３５、３５は、駆動ステージ３４の１辺に沿って配置され、かつ、対向する２辺にそれぞれ配置される。

次に、第１空間Ｐのシール構造について説明する。図１及び図２に示すように、本実施形態の位置決め装置１０において、板状部材２０ａとステージ３０との間に隙間２４が設けられる。隙間２４に給気ポンプ５０から気体が供給されることで、板状部材２０ａとステージ３０との間が封止（シール）される。

隙間２４は、第１隙間２４Ａと第２隙間２４Ｂとを含む。板状部材２０ａは、ステージ３０に向かい突出する突出部２０ｂが設けられている。突出部２０ｂは、板状部材２０ａと一体に形成されている。これに限られず、突出部２０ｂは、板状部材２０ａと別部材で設けてもよい。また、板状部材２０ａの上面において、突出部２０ｂよりも径方向外側にシール部材２２が配置される。シール部材２２の上面２２ｃと、ステージ３０の第１面３０ａとが第１隙間２４Ａを有して対向する。後述するように、突出部２０ｂ及びシール部材２２は、孔部２０ｃを囲む環状の部材である。

突出部２０ｂは、板状部材２０ａの上面に設けられ、板状部材２０ａの孔部２０ｃ側の端部に設けられる。突出部２０ｂの側面２０ｄは、板状部材２０ａの端面と連続している。これに限られず、突出部２０ｂはステージ３０の第１面３０ａと対向する位置に配置されていればよく、突出部２０ｂの側面２０ｄが、板状部材２０ａの端面よりも径方向外側に位置してもよい。突出部２０ｂの上面２０ｅと、ステージ３０の第１面３０ａとが第２隙間２４Ｂを有して対向する。このように、突出部２０ｂとシール部材２２とを設けているため、第１隙間２４Ａ及び第２隙間２４Ｂの寸法の管理を容易に行うことができる。本実施形態では、第２隙間２４Ｂの間隔ｔ２は、第１隙間２４Ａの間隔ｔ１よりも大きくなっている。第１隙間２４Ａの間隔ｔ１は、例えば、数十μｍ以上、１．０ｍｍ以下程度である。第２隙間２４Ｂの間隔ｔ２は、例えば、数百μｍ以上、数ｍｍ以下程度である。また、板状部材２０ａは、突出部２０ｂが設けられているので、強度が向上する。したがって、板状部材２０ａの変形が抑制され、第１隙間２４Ａ及び第２隙間２４Ｂの寸法の変動を抑制することができる。

図２に示すように、シール部材２２は、第１側面２２ｄと第２側面２２ｅとを有している。第１側面２２ｄ及び第２側面２２ｅは、突出部２０ｂの外側面２０ｆと隙間を有して対向する。第１側面２２ｄは板状部材２０ａ側に配置され、第２側面２２ｅはステージ３０側に配置される。第１側面２２ｄは、第２側面２２ｅよりも突出部２０ｂから離れた位置に設けられ、第１側面２２ｄと第２側面２２ｅとで段差が形成される。

シール部材２２の第１側面２２ｄと、突出部２０ｂの外側面２０ｆとで、給気溝２２ａが構成される。シール部材２２の第２側面２２ｅと、突出部２０ｂの外側面２０ｆとの隙間によりスリット状の給気部２２ｂ（第３隙間）が構成される。給気部２２ｂは、給気溝２２ａと連続して、給気溝２２ａからステージ３０に向かう方向に延びて、隙間２４に開口する。第１隙間２４Ａは、給気部２２ｂよりも第１空間Ｐ側に配置される。第２隙間２４Ｂは、給気部２２ｂよりも第２空間Ｒ側に配置される。

給気部２２ｂは、第２側面２２ｅと外側面２０ｆとの間の第３隙間の間隔ｔ３が小さい絞り部であり、第３隙間の間隔ｔ３は、給気溝２２ａの幅（第１側面２２ｄと外側面２０ｆとの間隔）よりも小さくなっている。給気部２２ｂの第３隙間の間隔ｔ３は、例えば、数μｍ以上、数十μｍ以下程度である。給気部２２ｂは、突出部２０ｂとシール部材２２との２つの部材を対向させて設けられるため、一つの部材に絞り部を形成する場合に比べて、第３隙間の間隔ｔ３の管理が比較的容易である。また、シール部材２２に段差を形成することで給気溝２２ａが形成されるため、給気部２２ｂ及び給気溝２２ａを容易に形成することができる。

図１に示すように、給気ポンプ５０から給気溝２２ａに気体が供給される。気体は、給気溝２２ａから給気部２２ｂを通って隙間２４に供給される。給気部２２ｂの第３隙間の間隔ｔ３は、第１隙間２４Ａの間隔ｔ１よりも小さく、かつ、第２隙間２４Ｂの間隔ｔ２よりも小さくなっている。

ここで、給気部２２ｂの第３隙間の間隔ｔ３は、シール部材２２の第２側面２２ｅと垂直な方向における、シール部材２２の第２側面２２ｅと突出部２０ｂの外側面２０ｆとの距離である。また、第１隙間２４Ａの間隔ｔ１は、シール部材２２の上面２２ｃと垂直な方向における、シール部材２２の上面２２ｃと、ステージ３０の第１面３０ａとの距離である。また、第２隙間２４Ｂの間隔ｔ２は、突出部２０ｂの上面２０ｅと垂直な方向における、突出部２０ｂの上面２０ｅと、ステージ３０の第１面３０ａとの距離である。

給気部２２ｂの隙間が小さくなっているので、給気ポンプ５０から供給された気体は、給気部２２ｂを通過する際に流速が大きくなる。このため、エゼクタ効果により、給気部２２ｂの近傍の第１隙間２４Ａ及び第２隙間２４Ｂで、第１空間Ｐから給気部２２ｂに向かう負圧が発生する。この負圧により、図２に示すように、第１隙間２４Ａにおいて、第１空間Ｐの気体が矢印Ｆ１に示す方向に流れる。

上述のように、第２隙間２４Ｂの間隔ｔ２は、第１隙間２４Ａの間隔ｔ１よりも大きくなっている。このため、第２隙間２４Ｂを通る気体の抵抗が、第１隙間２４Ａを通る気体の抵抗よりも小さくなる。したがって、給気部２２ｂから供給された気体は、抵抗が小さい第２隙間２４Ｂを通って矢印Ｆ２に示す方向に流れる。

以上のように、給気部２２ｂから供給された気体は、第２隙間２４Ｂを通って第２空間Ｒに流入する。また、エゼクタ効果により発生した負圧により、第１空間Ｐの気体が第１隙間２４Ａ及び第２隙間２４Ｂを通って第２空間Ｒに流入する。これにより、本実施形態の位置決め装置１０によれば、ワークの位置決めや検査を行う第１空間Ｐへの気体の流入が抑制される。したがって、第１空間Ｐにおける気流の乱れが抑制され、第１空間Ｐ内の圧力分布の発生や温度分布の発生を抑制することができる。

また、本実施形態の位置決め装置１０は、ステージ３０、突出部２０ｂ及びシール部材２２により、第１隙間２４Ａ、第２隙間２４Ｂ及び給気部２２ｂを設け、給気部２２ｂに陽圧の気体を供給することで第１空間Ｐのシール構造が実現できる。このため、第１空間Ｐが減圧空間等の環境であっても、排気式シールや、磁気シールなどを設けることなく、給気部２２ｂに気体を供給するのみで第１空間Ｐのシールが可能である。すなわち、位置決め装置１０の小型化を図ることが可能である。

さらに、第１隙間２４Ａ、第２隙間２４Ｂ及び給気部２２ｂを設け、給気部２２ｂに陽圧の気体を供給することで、第１空間Ｐの気体を、第１隙間２４Ａ、第２隙間２４Ｂを通って第２空間Ｒ側に流入させる負圧を発生させることができる。つまり、第１隙間２４Ａ、第２隙間２４Ｂ及び給気部２２ｂが負圧発生機構として機能するので、負圧を発生させるポンプや、第１空間Ｐの気体を吸気するための配管や溝部を設ける必要がない。したがって、簡便な構成で負圧発生機構を実現することができる。

図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ’線に沿う断面図である。図３に示すように、突出部２０ｂ及びシール部材２２は、連結軸３２の中心軸Ｚｒを中心とした環状の部材である。本実施形態において、突出部２０ｂ及びシール部材２２は、平面視において、略矩形状である。ただし、これに限定されず、突出部２０ｂ及びシール部材２２は、円形、正方形等、他の形状であってもよい。シール部材２２は、突出部２０ｂよりも径方向の外側に配置される。上述したように、シール部材２２の第２側面２２ｅと、突出部２０ｂの外側面２０ｆとの隙間により給気部２２ｂが構成される。給気部２２ｂは、スリット状であり、突出部２０ｂ及びシール部材２２の周方向に沿って、環状に連続して設けられる。

なお、図３では図示を省略するが、図１及び図２に示す、給気溝２２ａ、第１隙間２４Ａ及び第２隙間２４Ｂも、突出部２０ｂ及びシール部材２２の周方向に沿って、連続して設けられる。

このような構成により、給気部２２ｂに気体が供給されることで、第１空間Ｐの気体を第２空間Ｒ側に流入させる負圧が、給気部２２ｂの周方向に沿って全周に発生する。第１隙間２４Ａ及び第２隙間２４Ｂを通って第２空間Ｒに流入する気体の流れは、給気部２２ｂから径方向の内側に、連結軸３２の中心軸Ｚｒに向かう方向に発生する。給気部２２ｂの第３隙間の間隔ｔ３（図２参照）を周方向に沿って等しい大きさとなるようにすることで、給気部２２ｂの周方向に沿って均等に負圧が発生する。したがって、第１空間Ｐの気体は、周方向に沿った第１隙間２４Ａの周方向の全体に流入する。

したがって、ワークの位置決めや検査を行う第１空間Ｐへの気体の流入が確実に抑制される。また、周方向の一部に負圧発生機構を構成した場合に比べて、第１空間Ｐにおける気流の乱れが抑制される。

また、給気溝２２ａは給気部２２ｂに沿って全周に設けられている。上述したように、給気溝２２ａの隙間の間隔、すなわち、図２に示すシール部材２２の第１側面２２ｄと、突出部２０ｂの外側面２０ｆとの間隔は、給気部２２ｂの第３隙間の間隔ｔ３よりも大きくなっている。給気溝２２ａを通る気体の抵抗が小さくなっているため、給気部２２ｂの周方向に沿って均等に気体が供給される。したがって、給気ポンプ５０からの気体は、給気溝２２ａの１か所、又は複数箇所に供給されればよく、筐体２０に設けられる気体供給用の通路の数を少なくして、構成を簡便にすることができる。

以上説明したように、本実施形態の位置決め装置１０は、筐体２０に囲まれた第１空間Ｐと、第１空間Ｐと異なる第２空間Ｒとを区切る板状部材２０ａと、板状部材２０ａに設けられた孔部２０ｃを覆うとともに、板状部材２０ａの一方の面と隙間２４を有して対向するステージ３０と、板状部材２０ａの孔部２０ｃに挿通され、ステージ３０と連結される連結軸３２と、板状部材２０ａの孔部２０ｃよりも外側において隙間２４に開口し、隙間２４へ気体を供給することより、第１空間Ｐの気体を、隙間２４を通って第２空間Ｒ側に流入させる給気部２２ｂと、を有する。

この構成によれば、板状部材２０ａとステージ３０との隙間２４に、給気部２２ｂから気体が供給されることにより、第１空間Ｐがシールされる。この給気部２２ｂからの気体の供給により、第１空間Ｐの気体が隙間２４を通って第２空間Ｒ側に流入する負圧が発生する。また、隙間２４の気体を排出するための配管や通路等を設ける必要がない。このため、簡便な構成で、ワークの位置決めや検査を行うための第１空間Ｐに気体が流入することを抑制できる。

なお、本実施形態において、第２隙間２４Ｂの間隔ｔ２が、第１隙間２４Ａの間隔ｔ１よりも大きくなっている。これに限られず、第２隙間２４Ｂの間隔ｔ２が、第１隙間２４Ａの間隔ｔ１と等しい、又は第１隙間２４Ａの間隔ｔ１よりも小さい場合であってもよい。この場合、第１隙間２４Ａの径方向の長さを第２隙間２４Ｂの径方向の長さよりも長くすることで、第１隙間２４Ａを通る気体の抵抗を大きくすることができる。

（第２の実施形態）
図４は、第２の実施形態に係る位置決め装置のシール構造を示す断面図である。なお、上述した実施形態と同様の構成については、同じ符号を付して説明を省略する場合がある。本実施形態の位置決め装置１０Ａは、給気溝２２ｈ及び給気部２２ｉがシール部材２２と板状部材２０ａとの間に設けられている点が異なる。

本実施形態において、シール部材２２は、下面２２ｆと、下面２２ｆよりも上方に凹む凹部２２ｇとを有する。下面２２ｆは、板状部材２０ａの上面２０ｇと第４隙間を有して対向しており、シール部材２２の下面２２ｆと、板状部材２０ａの上面２０ｇとの間に給気部２２ｉが構成される。また、シール部材２２の凹部２２ｇと、板状部材２０ａの上面２０ｇとの間に給気溝２２ｈが構成される。給気部２２ｉは、給気溝２２ｈと連続して設けられており、給気溝２２ｈに対して、径方向の内側に向かって延びている。給気部２２ｉは、給気溝２２ｈよりも、板状部材２０ａの上面２０ｇとの隙間が小さい絞り部となっている。

給気部２２ｉの第４隙間の間隔ｔ４は、シール部材２２の第２側面２２ｅと突出部２０ｂの外側面２０ｆとの間に形成される第３隙間の間隔ｔ３よりも小さくなっている。すなわち、シール部材２２と突出部２０ｂとの間の第３隙間の間隔ｔ３は、第４隙間の間隔ｔ４よりも大きくすることができ、第３隙間の間隔ｔ３の寸法管理が容易である。したがって、本実施形態の位置決め装置１０Ａは、容易に製造することができる。本実施形態では、第１隙間２４Ａの間隔ｔ１は、例えば、数十μｍ以上、１．０ｍｍ以下程度である。第２隙間２４Ｂの間隔ｔ２は、例えば、数百μｍ以上、数ｍｍ以下程度である。第３隙間の間隔ｔ３は、例えば、数百μｍ以上、１．０ｍｍ以下程度である。第４隙間の間隔ｔ４は、例えば、数μｍ以上、数十μｍ以下程度である。

給気溝２２ｈは、給気ポンプ５０（図１参照）からの気体が供給される。給気部２２ｉの隙間が小さくなっているので、給気ポンプ５０から供給された気体は、給気部２２ｉを通過する際に流速が大きくなる。給気部２２ｉを通過した気体は、シール部材２２と突出部２０ｂとの間の第３隙間を通って、隙間２４に供給される。本実施形態においても、エゼクタ効果により負圧が発生し、第１空間Ｐの気体が第１隙間２４Ａ及び第２隙間２４Ｂを通って第２空間Ｒに流入する。また、第２隙間２４Ｂの間隔ｔ２は、第１隙間２４Ａの間隔ｔ１よりも大きくなっている。このため、給気部２２ｉから供給された気体は、第２隙間２４Ｂを通って第２空間Ｒに流入する。これにより、本実施形態の位置決め装置１０Ａにおいても、ワークの位置決めや検査を行う第１空間Ｐへの気体の流入が抑制される。

（第３の実施形態）
図５は、第３の実施形態に係る回転機構を模式的に示す断面図である。図６は、第３の実施形態に係る回転機構のシール構造を示す断面図である。回転機構１は、回転を伝達する機械要素であり、例えば、工作機械、真空チャンバ等の特殊環境下で使用される搬送装置、半導体製造装置又はフラットパネルディスプレイ製造装置等に適用される。ここでは、一例として、回転機構１が、スピンドルを回転軸として備えるスピンドルユニットである場合を説明するが、回転機構１の適用対象はこれに限定されるものではない。

回転機構１は、ハウジング２と、シャフト４と、軸受６Ａ、６Ｂと、回転体としての回転部材５と、筐体２０Ａと、を含む。ハウジング２は、軸受６Ａ、６Ｂ及び電動機３等を収容する部材である。本実施形態において、ハウジング２は、第１部材２Ａと、第２部材２Ｂとを有する。第１部材２Ａは筒状の部材であり、第１部材２Ａの一端部に筐体２０Ａの板状部材２０Ａａが設けられ、他端部に第２部材２Ｂが設けられる。第１部材２Ａ及び第２部材２Ｂは、ハウジング２の一部である。本実施形態において、第１部材２Ａは円筒形状の部材であり、一端部から他端部、すなわち筐体２０Ａから第２部材２Ｂに向かう貫通孔２Ｉを有している。貫通孔２Ｉは、板状部材２０Ａａの孔部２０Ａｃと連続して設けられる。

第２部材２Ｂは、平面視において円形の板状の部材であり、第１部材２Ａの開口を覆って設けられている。なお、第２部材２Ｂの形状は、円形に限定されない。本実施形態において、筐体２０Ａで囲まれる空間、すなわち、板状部材２０Ａａを含む筐体２０Ａと回転部材５とで囲まれる空間が第１空間Ｐである。また、ハウジング２の内部、すなわち第１部材２Ａと第２部材２Ｂと回転部材５とで囲まれる空間が第２空間Ｒである。第２部材２Ｂに設けられた貫通孔に給電ケーブル３Ｃが挿通される。給電ケーブル３Ｃは、ハウジング２の内部の第２空間Ｒに設けられる電動機３に電力を供給する。

シャフト４は、回転機構１の出力軸であり、板状部材２０Ａａの孔部２０Ａｃに挿入されて、ハウジング２の貫通孔２Ｉに挿通される。シャフト４は、第１空間Ｐの気体を第２空間Ｒに排気するための排気孔８が設けられている。排気溝８Ａがシャフト４の端部４ＴＡ側の外周面に開口している。排気孔８は、排気溝８Ａに接続され、シャフト４の内部を軸方向に沿って延びて、シャフト４の他端側の面に開口する。また、シャフト４の端部４ＴＡ側に環状のスペーサ９が設けられている。排気溝８Ａは、スペーサ９に設けられた貫通孔９Ａと対向する位置に設けられる。

軸受６Ａ、６Ｂは、ハウジング２の内部に設置されてシャフト４を回転可能に支持する。本実施形態において、シャフト４は、２個の軸受６Ａ、６Ｂによってハウジング２に支持されるが、軸受の数は２個に限定されない。

軸受６Ａ、６Ｂは、それぞれ、外輪６ａと、転動体６ｂと、内輪６ｃとを含む。内輪６ｃは、外輪６ａの径方向内側に配置される。転動体６ｂは、外輪６ａと内輪６ｃとの間に配置される。軸受６Ａ、６Ｂは、ハウジング２の第１部材２Ａの内壁２Ｗに外輪６ａが接している。このような構造により、軸受６Ａ、６Ｂは、ハウジング２に取り付けられる。本実施形態において、軸受６Ａ、６Ｂは、いずれも転がり軸受である。両方の軸受６Ａ、６Ｂは、いずれも玉軸受であるが、転がり軸受としての軸受６Ａ、６Ｂの種類は玉軸受に限定されない。また、本実施形態において、軸受６Ａ、６Ｂは、滑り軸受であってもよい。

本実施形態において、軸受６Ａの内輪６ｃが、シャフト４の端部４ＴＡ側に設けられた環状のスペーサ９と接している。軸受６Ａは、外輪６ａがハウジング２の第１部材２Ａに接する。また、軸受６Ａの内輪６ｃと軸受６Ｂの内輪６ｃとが接する。軸受６Ｂの内輪６ｃに環状のスペーサ４Ｓが接触した状態で、スペーサ４Ｓ側からシャフト４にロックナット４Ｎがねじ込まれる。

ハウジング２の内部には、電動機３が設けられている。電動機３は軸受６Ａ、６Ｂよりもシャフト４の他端側、すなわち第２部材２Ｂ側に配置される。電動機３は、ローター３Ｒと、ローター３Ｒの径方向外側に設けられたステーター３Ｓとを含む。ステーター３Ｓは、第１部材２Ａの内壁２Ｗに取り付けられる。ローター３Ｒは、シャフト４の他端部に連結される。このような構造により、ローター３Ｒとシャフト４と回転部材５とは、一体となって回転中心軸Ｚｒの周りを回転する。本実施形態において、電動機３の形式は問わない。

回転部材５は、第１空間Ｐに配置される。回転部材５は、シャフト４の端部４ＴＡに設けられてシャフト４とともに回転する。回転部材５は、第１面５ａがシャフト４の端部４ＴＡに接続され、第１面５ａとは反対側の第２面５ｂにワーク等の物体が載置される。本実施形態において、回転部材５は、板状の部材であって平面視が円形である。回転部材５は、板状部材２０Ａａの孔部２０Ａｃよりも径方向外側まで張り出している。回転部材５の、孔部２０Ａｃの径方向外側まで張り出した部分は、板状部材２０Ａａと所定の隙間２５を有して対向している。回転部材５と板状部材２０Ａａとの隙間２５により、回転機構１のシール構造が構成される。

図６に示すように、板状部材２０Ａａは、回転部材５に向かい突出する突出部２０Ａｂを有する。突出部２０Ａｂの上面２０Ａｅと、回転部材５の第１面５ａとが第２隙間２５Ｂを有して対向する。また、板状部材２０Ａａの上面において、突出部２０Ａｂよりも径方向の外側にシール部材２２Ａが配置される。シール部材２２Ａの上面２２Ａｃと、回転部材５の第１面５ａとが第１隙間２５Ａを有して対向する。

シール部材２２Ａの第１側面２２Ａｄと、突出部２０Ａｂの外側面２０Ａｆとで、給気溝２２Ａａが構成される。シール部材２２Ａの第２側面２２Ａｅと、突出部２０Ａｂの外側面２０Ａｆとの隙間によりスリット状の給気部２２Ａｂ（第３隙間）が構成される。給気部２２Ａｂは、給気溝２２Ａａと連続して、給気溝２２Ａａから回転部材５に向かう方向に延びて、隙間２５に開口する。第１隙間２５Ａは、給気部２２Ａｂよりも第１空間Ｐ（図５参照）側に配置される。第２隙間２５Ｂは、給気部２２Ａｂよりも第２空間Ｒ（図５参照）側に配置される。

給気部２２Ａｂは、給気溝２２Ａａよりも突出部２０Ａｂとの隙間の間隔が小さい絞り部となっている。給気部２２Ａｂは、突出部２０Ａｂとシール部材２２Ａとの２つの部材を対向させて設けられるため、一つの部材に絞り部を形成する場合に比べて、第３隙間の間隔ｔａ３の管理が比較的容易である。また、シール部材２２Ａに段差を形成することで給気溝２２Ａａが形成されるため、給気部２２Ａｂ及び給気溝２２Ａａを容易に形成することができる。

本実施形態の回転機構１において、給気ポンプ５０（図５参照）から給気溝２２Ａａに気体が供給される。気体は、給気溝２２Ａａから給気部２２Ａｂを通って隙間２５に供給される。給気部２２Ａｂの第３隙間の間隔ｔａ３は、第１隙間２５Ａの間隔ｔａ１よりも小さく、かつ、第２隙間２５Ｂの間隔ｔａ２よりも小さくなっている。給気部２２Ａｂの第３隙間の間隔ｔａ３は、例えば、数μｍ以上、数十μｍ以下程度である。

給気部２２Ａｂの隙間が小さくなっているので、給気ポンプ５０から供給された気体は、給気部２２Ａｂを通過する際に流速が大きくなる。このため、エゼクタ効果により、給気部２２Ａｂの近傍の第１隙間２５Ａ及び第２隙間２５Ｂで、第１空間Ｐから給気部２２Ａｂに向かう負圧が発生する。この負圧により、図６に示すように、第１隙間２５Ａにおいて、第１空間Ｐの気体が矢印Ｆａ１に示す方向に流れる。

本実施形態においても、第２隙間２５Ｂの間隔ｔａ２は、第１隙間２５Ａの間隔ｔａ１よりも大きくなっている。このため、第２隙間２５Ｂを通る気体の抵抗が、第１隙間２５Ａを通る気体の抵抗よりも小さくなる。したがって、給気部２２Ａｂから供給された気体は、抵抗が小さい第２隙間２５Ｂを通って矢印Ｆａ２に示す方向に流れる。

以上のように、給気部２２Ａｂから供給された気体は、第２隙間２５Ｂを通ってシャフト４側に流入する。第２隙間２５Ｂを通過した気体は、上述したスペーサ９の貫通孔９Ａ、シャフト４に設けられた排気溝８Ａ、排気孔８（図５参照）を介して、第２空間Ｒに流入する。また、エゼクタ効果により発生した負圧により、第１空間Ｐの気体が第１隙間２５Ａ及び第２隙間２５Ｂを通って第２空間Ｒに流入する。これにより、本実施形態の回転機構１によれば、ワークの位置決めや検査を行う第１空間Ｐへの気体の流入が抑制される。したがって、第１空間Ｐにおける気流の乱れが抑制され、第１空間Ｐ内の圧力分布の発生や温度分布の発生を抑制することができる。

また、本実施形態の回転機構１は、回転部材５、突出部２０Ａｂ及びシール部材２２Ａにより、第１隙間２５Ａ、第２隙間２５Ｂ及び給気部２２Ａｂを設け、給気部２２Ａｂに陽圧の気体を供給することで第１空間Ｐのシール構造が実現できる。このため、第１空間Ｐが減圧空間等の環境であっても、排気式シールや、磁気シールなどを設けることなく、給気部２２Ａｂに気体を供給するのみで第１空間Ｐのシールが可能である。すなわち、回転機構１の小型化を図ることが可能である。

（第４の実施形態）
図７は、第４の実施形態に係る位置決め装置を模式的に示す断面図である。図８は、第４の実施形態に係る位置決め装置のシール構造を示す断面図である。本実施形態の位置決め装置１０Ｂは、第１の実施形態と同様に、１軸移動可能なステージ３０によりワークＷの位置決め等を行うことができる。板状部材２０Ｂａの孔部２０Ｂｃに連結軸３２が挿通されている。ステージ３０は連結軸３２を介して駆動ステージ３４に接続される。駆動ステージ３４は、上述したように図示しない外部の駆動部から駆動力が伝達される。駆動ステージ３４は、リニアベアリング３５、３５、ガイド部材３６、ベース部材３７等を含む駆動機構により１軸移動可能となっている。駆動ステージ３４の移動に伴って、ステージ３０が１軸移動可能となっている。

本実施形態の位置決め装置１０Ｂにおいて、駆動ステージ３４は、板状部材２０Ｂａとの間に所定の隙間２６を有して設けられる。図７及び図８に示すように、板状部材２０Ｂａは、駆動ステージ３４に向かい突出する突出部２０Ｂｂを有する。突出部２０Ｂｂの下面２０Ｂｅと、駆動ステージ３４の第１面３４ａとが第１隙間２６Ａを有して対向する。また、板状部材２０Ｂａの下面において、突出部２０Ｂｂよりも径方向の外側にシール部材２２Ｂが配置される。シール部材２２Ｂの下面２２Ｂｃと、駆動ステージ３４の第１面３４ａとが第２隙間２６Ｂを有して対向する。駆動ステージ３４の第２面３４ｂには、リニアベアリング３５、３５が連結されている。本発明の「可動部」は、本実施形態における駆動ステージ３４に対応する。

なお、本実施形態において、第１空間Ｐは、板状部材２０Ｂａ及び突出部２０Ｂｂを含む筐体２０Ｂと、駆動ステージ３４とで囲まれた空間である。また、第２空間Ｒは、定盤５５と、支持部２８と、板状部材２０Ｂａと駆動ステージ３４とで囲まれた空間である。ここで筐体２０Ｂは、板状部材２０Ｂａ及び突出部２０Ｂｂを含むとしたが、板状部材２０Ｂａ及び突出部２０Ｂｂは、筐体２０Ｂと別体で設けてもよい。本実施形態では、第１空間Ｐの内部に連結軸３２及びステージ３０が配置される。ステージ３０の第１面３０ａに連結軸３２が連結され、第２面３０ｂにワークＷ等が載置される。ステージ３０の第１面３０ａと板状部材２０Ｂａとの間には、シール部材２２Ｂ等の構造体は設けられていない。

シール部材２２Ｂの第１側面２２Ｂｄと、突出部２０Ｂｂの外側面２０Ｂｆとで、給気溝２２Ｂａが構成される。シール部材２２Ｂの第２側面２２Ｂｅと、突出部２０Ｂｂの外側面２０Ｂｆとの隙間によりスリット状の給気部２２Ｂｂ（第３隙間）が構成される。給気部２２Ｂｂは、給気溝２２Ｂａと連続して、給気溝２２Ｂａから駆動ステージ３４に向かう方向に延びて、隙間２６に開口する。第１隙間２６Ａは、給気部２２Ｂｂよりも第１空間Ｐ（図７参照）側に配置される。第２隙間２６Ｂは、給気部２２Ｂｂよりも第２空間Ｒ（図７参照）側に配置される。

上述したエゼクタ効果により、給気部２２Ｂｂの近傍の第１隙間２６Ａ及び第２隙間２６Ｂで、第１空間Ｐから給気部２２Ｂｂに向かう負圧が発生する。この負圧により、図８に示すように、第１隙間２６Ａにおいて、第１空間Ｐの気体が矢印Ｆｂ１に示す方向に流れる。

本実施形態においても、第２隙間２６Ｂの間隔ｔｂ２は、第１隙間２６Ａの間隔ｔｂ１よりも大きくなっている。このため、第２隙間２６Ｂを通る気体の抵抗が、第１隙間２６Ａを通る気体の抵抗よりも小さくなる。したがって、給気部２２Ｂｂから供給された気体は、抵抗が小さい第２隙間２６Ｂを通って矢印Ｆｂ２に示す方向に流れる。

以上のように、給気部２２Ｂｂから供給された気体は、第２隙間２６Ｂを通って第２空間Ｒに流入する。また、エゼクタ効果により発生した負圧により、第１空間Ｐの気体が第１隙間２６Ａ及び第２隙間２６Ｂを通って第２空間Ｒに流入する。これにより、本実施形態の位置決め装置１０Ｂによれば、ワークＷの位置決めや検査を行う第１空間Ｐへの気体の流入が抑制される。したがって、第１空間Ｐにおける気流の乱れが抑制され、第１空間Ｐ内の圧力分布の発生や温度分布の発生を抑制することができる。

また、本実施形態の位置決め装置１０Ｂは、駆動ステージ３４、突出部２０Ｂｂ及びシール部材２２Ｂにより、第１隙間２６Ａ、第２隙間２６Ｂ及び給気部２２Ｂｂを設け、給気部２２Ｂｂに陽圧の気体を供給することで第１空間Ｐのシール構造が実現できる。このように、ワークＷを載置し、位置決め等を行うためのステージ３０と異なる部材である駆動ステージ３４によりシール構造を設けてもよい。本実施形態においても、第１空間Ｐが減圧空間等の環境であっても、排気式シールや、磁気シールなどを設けることなく、給気部２２Ｂｂに気体を供給するのみで第１空間Ｐのシールが可能である。すなわち、位置決め装置１０Ｂの小型化を図ることが可能である。

本実施形態の位置決め装置１０Ｂにおいて、駆動ステージ３４は、第２空間Ｒに配置され、板状部材２０Ｂａの第２空間Ｒ側の面と隙間２６を有して対向する。板状部材２０Ｂａの第２空間Ｒ側に設けられた隙間２６によりシール構造が構成される。このため、ステージ３０の交換等の作業を行う場合であっても、シールを構成する突出部２０Ｂｂ、シール部材２２Ｂ、駆動ステージ３４の取り外し等が不要であるため、各隙間の間隔ｔｂ１、ｔｂ２、ｔｂ３が維持される。したがって、メンテナンス等の作業を容易に行うことができる。

以上、第１の実施形態から第４の実施形態を説明したが、前述した内容により第１の実施形態から第４の実施形態が限定されるものではない。また、前述した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。さらに、前述した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。さらに、第１の実施形態から第４の実施形態の要旨を逸脱しない範囲で構成要素の種々の省略、置換及び変更のうち少なくとも１つを行うことができる。

１ 回転機構
２ ハウジング
３ 電動機
４ シャフト
５ 回転部材
６Ａ、６Ｂ 軸受
１０、１０Ａ、１０Ｂ 位置決め装置
２０、２０Ａ、２０Ｂ 筐体
２０ａ、２０Ａａ、２０Ｂａ 板状部材
２０ｂ、２０Ａｂ、２０Ｂｂ 突出部
２０ｃ、２０Ａｃ、２０Ｂｃ 孔部
２２、２２Ａ、２２Ｂ シール部材
２２ａ、２２ｈ、２２Ａａ 給気溝
２２ｂ、２２ｉ、２２Ａｂ 給気部
２２ｇ 凹部
２４、２５、２６ 隙間
２４Ａ、２５Ａ、２６Ａ 第１隙間
２４Ｂ、２５Ｂ、２６Ｂ 第２隙間
２８ 支持部
３０ ステージ
３２ 連結軸
３４ 駆動ステージ
５０ 給気ポンプ
５５ 定盤
Ｐ 第１空間
Ｒ 第２空間

Claims (7)

1. 筐体に囲まれた第１空間と、前記第１空間と異なる第２空間とを区切る板状部材と、
   前記第１空間に配置され、前記板状部材に設けられた孔部を覆うとともに、前記板状部材の前記第１空間側の面と隙間を有して対向する可動部と、
   前記板状部材の前記孔部に挿通され、前記可動部と連結される連結軸と、
   前記板状部材の前記孔部よりも外側において前記隙間に開口し、前記隙間へ気体を供給することにより、前記第１空間の気体を、前記隙間を通って前記第２空間側に流入させる給気部と、を有し、
   前記隙間は、前記給気部よりも前記第１空間側の第１隙間と、前記給気部よりも前記第２空間側の第２隙間とを含み、
   前記板状部材は、前記可動部側に突出する突出部が設けられ、
   前記突出部の径方向外側の面と第３隙間を有して対向するシール部材が設けられ、
   前記シール部材と前記可動部との間に前記第１隙間が設けられ、前記突出部と前記可動部との間に前記第２隙間が設けられ、
   前記給気部は、前記第３隙間を含み、
   前記第２隙間の間隔は、前記第１隙間の間隔よりも大きく、
   前記第３隙間の間隔は、前記第１隙間の間隔よりも小さく、かつ、前記第２隙間の間隔よりも小さい位置決め装置。
2. 前記給気部は、前記孔部の周りにスリット状に設けられている請求項１に記載の位置決め装置。
3. 前記突出部は、前記板状部材の前記孔部の周囲に環状に設けられる請求項１又は請求項２に記載の位置決め装置。
4. 前記シール部材の一部は、前記板状部材の前記一方の面と第４隙間を有して対向し、
   前記第４隙間は、前記第１空間に開口しないで設けられ、
   前記給気部は、前記第４隙間を含む請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の位置決め装置。
5. 前記第４隙間の間隔は、前記第１隙間、前記第２隙間、及び前記第３隙間の間隔よりも小さい請求項４に記載の位置決め装置。
6. 筐体に囲まれた第１空間と、前記第１空間と異なる第２空間とを区切る板状部材と、
   前記第２空間に配置され、前記板状部材に設けられた孔部を覆うとともに、前記板状部材の前記第２空間側の面と隙間を有して対向する可動部と、
   前記板状部材の前記孔部に挿通され、前記可動部と連結される連結軸と、
   前記板状部材の前記孔部よりも外側において前記隙間に開口し、前記隙間へ気体を供給することにより、前記第１空間の気体を、前記隙間を通って前記第２空間側に流入させる給気部と、
   前記第１空間に設けられ、前記連結軸を介して前記可動部と連結されており、ワークを移動させるためのステージと、を有し、
   前記隙間は、前記給気部よりも前記第１空間側の第１隙間と、前記給気部よりも前記第２空間側の第２隙間とを含み、
   前記板状部材は、前記可動部側に突出する突出部が設けられ
   前記突出部の径方向外側の面と第３隙間を有して対向するシール部材が設けられ、
   前記突出部と前記可動部との間に前記第１隙間が設けられ、前記シール部材と前記可動部との間に前記第２隙間が設けられ、
   前記給気部は、前記第３隙間を含み、
   前記第２隙間の間隔は、前記第１隙間の間隔よりも大きく、
   前記第３隙間の間隔は、前記第１隙間の間隔よりも小さく、かつ、前記第２隙間の間隔よりも小さい位置決め装置。
7. 筐体に囲まれた第１空間と、前記第１空間と異なる第２空間とを区切る板状部材と、
   前記板状部材に設けられた孔部を覆うとともに、前記板状部材の前記第１空間側の面と隙間を有して対向する回転部材と、
   前記板状部材の前記孔部に挿通され、前記回転部材と連結される連結軸と、
   前記第２空間に設置されて前記連結軸を回転可能に支持する軸受と、
   前記板状部材の前記孔部よりも外側において前記隙間に開口し、前記隙間へ気体を供給することにより、前記第１空間の気体を、前記隙間を通って前記第２空間側に流入させる給気部と、を有し、
   前記隙間は、前記給気部よりも前記第１空間側の第１隙間と、前記給気部よりも前記第２空間側の第２隙間とを含み、
   前記板状部材は、前記可動部側に突出する突出部が設けられ
   前記突出部の径方向外側の面と第３隙間を有して対向するシール部材が設けられ、
   前記シール部材と前記可動部との間に前記第１隙間が設けられ、前記突出部と前記可動部との間に前記第２隙間が設けられ、
   前記給気部は、前記第３隙間を含み、
   前記第２隙間の間隔は、前記第１隙間の間隔よりも大きく、
   前記第３隙間の間隔は、前記第１隙間の間隔よりも小さく、かつ、前記第２隙間の間隔よりも小さい回転機構。

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