CN107251377A - 马达、驱动器、半导体制造装置以及平板显示器制造装置 - Google Patents

Abstract

提供一种能够更可靠地防止在内部产生的灰尘流出到外部的马达。马达(1)具有：定子(21)；转子(22)；转子外壳(42)，其与转子(22)一起旋转；定子外壳(41)，定子(21)固定于该定子外壳(41)，并且在该定子外壳(41)与转子外壳(42)之间设有空间(100A、100B)，该定子外壳(41)在整个周向上隔开第1间隙(6A、6B)与转子外壳(42)重叠；圆环构件(10、18)，其在空间(100A、100B)内，在整个周向上隔开第2间隙(8A、8B)与定子外壳(41)重叠；排气孔(13A、13B)，其用于经由第2间隙(8A、8B)抽吸并排出空间(100A、100B)的内部的空气；以及排气槽(12A、12B)，其介于第2间隙(8A、8B)与排气孔(13A、13B)之间，沿着第2间隙(8A、8B)设于定子外壳(41)的整个周向上。

Description

马达、驱动器、半导体制造装置以及平板显示器制造装置

技术领域

本发明涉及马达、驱动器、半导体制造装置以及平板显示器制造装置。

背景技术

应用于半导体制造装置、平板显示器制造装置的马达、使用了该马达的驱动器要求有较高的可靠性。另外，在半导体、平板显示器等的制造中，为了避免灰尘混入制造物，需要清洁环境下的制造工序。在这样的清洁环境下使用的马达、驱动器为了确保较高的可靠性，需要防止在马达、驱动器的内部产生的灰尘流出到外部。

例如，在专利文献1中记载有这样一种密封装置：通过自两个凸缘部之间的空气室抽吸空气，从而自凸缘部与工作轴之间的间隙抽吸空气，防止来自非清洁环境的垃圾侵入清洁环境内。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平09-29682号公报

发明内容

发明要解决的问题

专利文献1所述的密封装置自清洁环境侧的凸缘部与工作轴之间的间隙、以及非清洁环境侧的凸缘部与工作轴之间的间隙这两者抽吸空气，而认为会在空气室内产生压力分布。另外，在清洁环境侧和非清洁环境侧之间存在压力差的情况下，空气自非清洁环境侧漏出到清洁环境侧，而可能污染清洁环境。

本发明即是鉴于上述情况而做成的，其目的在于提供一种能够更可靠地防止在内部产生的灰尘流出到外部的马达。

用于解决问题的方案

为了解决上述课题并达成目的，本发明提供一种马达，该马达具有：定子，其包括线圈和定子芯；转子，其配置于所述定子的径向外侧，能相对于所述定子相对旋转；转子外壳，其与所述转子一起旋转；定子外壳，所述定子固定于该定子外壳，并且在该定子外壳与所述转子外壳之间设有空间，该定子外壳在整个周向上隔开第1间隙与所述转子外壳重叠；轴承，其相对于所述定子外壳以旋转自如的方式支承所述转子外壳；圆环构件，其在所述空间内，在整个周向上隔开第2间隙与所述定子外壳重叠；排气孔，其用于经由所述第2间隙抽吸并排出所述空间的内部的空气；以及排气槽，其介于所述第2间隙与所述排气孔之间，沿着所述第2间隙设于所述定子外壳的整个周向上。

根据上述结构，通过在形成于定子外壳的排气孔连接抽吸排气装置并使抽吸排气装置工作，从而自节气部均匀地吸出马达的内部的空气。由此，能够可靠地防止在马达的内部产生的灰尘流出到外部。

另外，作为期望的方式，优选的是，所述定子外壳包括：第1定子外壳，其由在以所述转子的旋转中心为轴心的轴线方向夹持所述轴承的内圈的至少两个构件形成；第2定子外壳，其设于所述第1定子外壳的所述轴线方向上的一端侧，在该第2定子外壳与所述第1定子外壳之间设有第1所述排气槽，并且固定有第1所述圆环构件，在该第2定子外壳与第1所述圆环构件之间设有所述第1间隙；以及第3定子外壳，其设于所述第1定子外壳的所述轴线方向上的另一端侧，在该第3定子外壳与所述第1定子外壳之间设有第2所述排气槽，并且固定有第2所述圆环构件，在该第3定子外壳与第2所述圆环构件之间设有所述第1间隙，所述转子外壳由在所述轴线方向上夹持所述轴承的外圈的至少两个构件形成，在所述转子外壳与所述第2定子外壳之间设有所述第1间隙，并且所述转子外壳与所述第1定子外壳、所述第2定子外壳以及所述轴承一起划分出第1所述空间，在所述转子外壳与所述第3定子外壳之间设有所述第1间隙，并且所述转子外壳与所述第2定子外壳、所述第3定子外壳、所述轴承一起划分出第2所述空间。

根据上述结构，通过在第1排气孔连接抽吸排气装置并使抽吸排气装置工作，从而自第1排气孔均匀地吸出由第1定子外壳、第2定子外壳、转子外壳以及轴承包围起来的马达的内部的第1空间的空气，并自第1密封部向第1空间均匀地吸入空气。由此，能够可靠地防止在第1空间产生的灰尘流出到外部。另外，通过在第2排气孔连接抽吸排气装置并使抽吸排气装置工作，从而自第2排气孔均匀地吸出由第1定子外壳、第3定子外壳、转子外壳以及轴承包围起来的马达的内部的第2空间的空气，并自第2密封部向第2空间均匀地吸入空气。由此，能够可靠地防止在第2空间产生的灰尘流出到外部。另外，能够减少用于管理形成第1节气部的第2间隙的精度和形成第2节气部的第2间隙的精度的管理项，其结果，能够提高马达的制造时的成品率。

另外，也可以是，第1所述圆环构件在与所述第2定子外壳相对的面设有用于在其与所述第2定子外壳之间形成所述第2间隙的台阶。

另外，也可以是，所述第2定子外壳在与第1所述圆环构件相对的面设有用于在其与所述第2定子外壳之间形成所述第2间隙的台阶。

另外，也可以是，该马达包括间隔构件，该间隔构件介于第1所述圆环构件与所述第2定子外壳之间，用于在第1所述圆环构件与所述第2定子外壳之间设置所述第2间隙。

另外，也可以是，第2所述圆环构件在与所述第3定子外壳相对的面设有用于在其与所述第3定子外壳之间形成所述第2间隙的台阶。

另外，也可以是，所述第3定子外壳在与第2所述圆环构件相对的面设有用于在其第2所述圆环构件之间形成所述第2间隙的台阶。

另外，也可以是，该马达包括间隔构件，该间隔构件介于第2所述圆环构件与所述第3定子外壳之间，用于在第2所述圆环构件与所述第3定子外壳之间设置所述第2间隙。

另外，作为期望的方式，优选的是，所述第2定子外壳在与所述第1定子外壳在径向上重叠的嵌合面设有槽部，在该槽部设有O形密封圈。

根据上述结构，能够确保第1定子外壳和第2定子外壳在径向上重叠的嵌合面的气密性。另外，能够降低第1定子外壳与第2定子外壳之间的嵌合面的加工精度，能够扩大容许范围。其结果，成品率提高。

另外，也可以是，在所述第2定子外壳设有第1所述排气孔，在所述第3定子外壳设有第2所述排气孔。

另外，作为期望的方式，优选的是，第1所述排气孔以将所述第2定子外壳、所述第1定子外壳以及所述第3定子外壳连通的方式设置，第2所述排气孔设于所述第3定子外壳。

根据上述结构，能够扩大在第2定子外壳的轴线方向上端部开口的中空直径。

另外，也可以是，第1所述排气孔在所述第3定子外壳的所述轴线方向上的另一端设有开口部，第2所述排气孔在所述第3定子外壳的周向表面设有开口部。

另外，作为期望的方式，优选的是，所述排气孔以将所述第2定子外壳、所述第1定子外壳以及所述第3定子外壳连通、并连结第1所述排气槽和第2所述排气槽的方式设置。

根据上述结构，通过在排气孔连接一个抽吸排气装置并使抽吸排气装置工作，从而自排气孔均匀地吸出第1空间和第2空间的空气，并自第1密封部向第1空间均匀地吸入空气以及自第2密封部向第2空间均匀地吸入空气。由此，能够可靠地防止在第1空间和第2空间产生的灰尘流出到外部。

另外，也可以是，所述排气孔在所述第3定子外壳的径向外侧的周向表面设有开口部。

另外，也可以是，所述排气孔在所述第3定子外壳的所述轴线方向上的另一端设有开口部。

另外，作为期望的方式，优选的是，所述排气孔在所述第3定子外壳的径向外侧的周向表面、以及所述第3定子外壳的所述轴线方向上的另一端设有开口部，任一侧的开口部被密封。

根据上述结构，能够在设于第3定子外壳的轴线方向下端部的开口部和设于第3定子外壳的径向外侧的周向表面的开口部之间选择用于连接抽吸排气装置的排气孔的开口部，而能够获得通用性更高的马达。

另外，也可以是，所述第2定子外壳隔着第1所述圆环构件固定于所述第1定子外壳。

另外，也可以是，第1所述圆环构件与所述第1定子外壳一体化。

另外，也可以是，所述第3定子外壳隔着第2所述圆环构件固定于所述第1定子外壳。

另外，也可以是，第2所述圆环构件与所述第1定子外壳一体化。

另外，作为期望的方式，优选的是，所述第1定子外壳沿所述轴线方向设有第1线缆贯穿孔，该第1线缆贯穿孔用于供马达驱动用或位置检测用的线缆贯穿，所述第3定子外壳沿所述轴线方向设有第2线缆贯穿孔，该第2线缆贯穿孔与所述第1线缆插入孔连通并用于供所述线缆贯穿，以所述第1线缆贯穿孔和所述第2线缆贯穿孔在所述轴线方向上重叠的开口面积与所述线缆的截面积大致一致的方式，使所述第1线缆贯穿孔的径向中心位置与所述第2线缆贯穿孔的径向中心位置不同。

根据上述的结构，能够确保第1线缆贯穿孔和第2线缆贯穿孔在轴线方向上重叠的开口部的气密性。

另外，优选的是，所述轴承为滚动轴承或滑动轴承。

根据上述结构，不需要用于使轴承驱动的外部动力源。

为了解决上述课题并达成上述目的，提供一种驱动器，该驱动器构成为包括上述的马达、和所述马达的被驱动物。由此，能够获得适合在清洁环境下使用的驱动器。

为了解决上述课题并达成上述目的，提供一种半导体制造装置，该半导体制造装置包括上述的马达、或驱动器。由此，能够获得适合在清洁环境下使用的半导体制造装置。

为了解决上述课题并达成上述目的，提供一种平板显示器制造装置，该平板显示器制造装置包括上述的马达、或驱动器。由此，能够获得适合在清洁环境下使用的平板显示器制造装置。

发明的效果

采用本发明，可提供一种能够更可靠地防止在内部产生的灰尘流出到外部的马达。

附图说明

图1是表示实施方式1所涉及的马达的一例子的剖视图。

图2是表示实施方式1中的第1圆环构件的一例子的图。

图3是表示实施方式1中的第1圆环构件的与图2不同的一例子的图。

图4是表示实施方式1中的第2圆环构件的一例子的图。

图5是表示实施方式1中的第3定子外壳的一例子的图。

图6是表示实施方式2所涉及的马达的一例子的剖视图。

图7是表示实施方式2中的第1圆环构件的一例子的图。

图8是表示实施方式2中的第1圆环构件的与图7不同的一例子的图。

图9是表示实施方式3所涉及的马达的一例子的剖视图。

图10是表示实施方式3所涉及的马达的与图9不同的一例子的剖视图。

图11是表示实施方式3的变形例所涉及的马达的一例子的剖视图。

图12是表示实施方式3的变形例所涉及的马达的与图11不同的一例子的剖视图。

图13是表示实施方式4所涉及的马达的一例子的剖视图。

图14是表示本实施方式所涉及的马达的应用例的图。

具体实施方式

关于用于实施本发明的方式(实施方式)，一边参照附图一边详细进行说明。以下的实施方式所述的内容并不用于限定本发明。另外，以下所述的结构要素中包含本领域技术人员能够容易想到的要素、实质上与上述结构要素相同的要素。另外，以下所述的结构要素能够适当进行组合。

(实施方式1)

图1是表示实施方式1所涉及的马达的一例子的剖视图。在图1所示的例子中，马达1为不经由减速机构而将所产生的动力直接传递给对象物的直接驱动马达。如图1所示，马达1包括：马达部2，其产生用于使对象物旋转的动力；旋转检测器3，其检测马达部2的旋转；壳体4，其保持马达部2和旋转检测器3；线缆200A，其与马达部2连接；以及线缆200B，其与旋转检测器3连接。线缆200A、200B连接于用于控制马达1的未图示的控制装置。

马达部2具有定子21、相对于定子21能够旋转的转子22。转子22以旋转轴线AX为中心旋转。

在本实施方式中，马达1为外转子型。转子22配置于定子21的周围。转子22相对于旋转轴线AX配置于定子21的外侧。

定子21具有定子芯21A、支承于定子芯21A的线圈21B。定子芯21A具有多个在旋转轴线AX的周围以等间隔配置的齿部。线圈21B设有多个。线圈21B分别支承于定子芯21A的多个齿部。

转子22包括多个在旋转轴线AX的周围以等间隔配置的永磁体。定子21和转子22隔着间隙相对。

旋转检测器3检测马达部2的旋转。旋转检测器3包括旋转变压器，并检测马达部2的转子22的转速、旋转方向以及旋转角度中的至少一者。在本实施方式中，旋转检测器3包含绝对式旋转变压器(日文：アブソリュートレゾルバ)以及增量式旋转变压器(日文：インクリメンタルレゾルバ)这两种旋转变压器。

壳体4包括：定子外壳41；以及转子外壳42，其相对于旋转轴线AX配置于定子外壳41的外侧。定子外壳41为环状的构件。转子外壳42为环状的构件。在本实施方式中，定子外壳41和转子外壳42分别为圆筒状的构件。定子外壳41的中心轴线和转子外壳42的中心轴线与旋转轴线AX一致。以下，将与旋转轴线AX平行的方向也称作“轴线方向”。

在本实施方式中，定子外壳41包括沿轴线方向排列配置的圆筒状的第1定子外壳41A、第2定子外壳41B以及第3定子外壳41C。第1定子外壳41A至少包括两个构件41AA、41AB。构成定子外壳41的第1定子外壳41A的构件41AA、第1定子外壳41A的构件41AB、第2定子外壳41B以及第3定子外壳41C自轴线方向上的图1所示的上端侧朝向下端侧按照第2定子外壳41B、第1定子外壳41A的构件41AA、第1定子外壳41A的构件41AB、第3定子外壳41C的顺序排列配置，第2定子外壳41B和第1定子外壳41A的构件41AA、第1定子外壳41A的构件41AA和第1定子外壳41A的构件41AB、第1定子外壳41A的构件41AB和第3定子外壳41C例如分别利用多个小螺钉等紧固构件紧固在一起。另外，在第2定子外壳41B设有中空孔23，该中空孔23用于供通向利用使用了马达1的半导体制造装置、平板显示器制造装置制造的被制造物的电源线缆、信号线缆贯穿。

转子外壳42包括沿轴线方向排列配置的至少两个(在此为三个)圆筒状的构件42A、42B、42C。构成转子外壳42的构件42A、42B、42C自轴线方向上的图1所示的上端侧朝向下端侧按照构件42C、构件42A、构件42B的顺序排列配置，构件42C和构件42A、构件42A和构件42B例如分别利用多个小螺钉等紧固构件紧固在一起。

另外，定子外壳41和转子外壳42并不限定于上述的结构。定子外壳41例如既可以是一个圆筒状的构件，也可以由两个以上的圆筒状的构件构成。另外，转子外壳42例如既可以是一个圆筒状的构件，也可以由两个以上的圆筒状的构件构成。

包括定子21和转子22的马达部2配置于定子外壳41与转子外壳42之间。定子21与定子外壳41连接。定子21固定于定子外壳41的外周面。转子22与转子外壳42连接。转子22固定于转子外壳42的内周面。

在定子外壳41与转子外壳42之间配置有轴承5。轴承5具有内圈5A、外圈5B以及配置于内圈5A与外圈5B之间的滚动体5C。内圈5A在轴线方向上被第1定子外壳41A的构件41AA、41AB夹持。外圈5B在轴线方向上被转子外壳42的构件42A、42B夹持。利用轴承5，转子外壳42以相对于定子外壳41能够以旋转轴线AX为中心旋转的方式被支承。

在本实施方式中，马达部2、轴承5以及旋转检测器3沿轴线方向排列配置。由此，能够抑制马达1在相对于旋转轴线AX的放射方向上的尺寸增大，能够抑制壳体4的设置面积(占用面积)增大。

通过转子22相对于定子21旋转，转子外壳42相对于定子外壳41以旋转轴线AX为中心旋转。

另外，在本实施方式中，马达部2、轴承5以及旋转检测器3自轴线方向上的图1所示的上端侧朝向下端侧按照旋转检测器3、轴承5、马达部2的顺序排列配置。利用上述的结构，形成有由第1定子外壳41A的构件41AA、第2定子外壳41B、转子外壳42的构件42A以及轴承5包围起来的第1空间100A、由第1定子外壳41A的构件41AB、第3定子外壳41C、转子外壳42的构件42B以及轴承5包围起来的第2空间100B。

第2定子外壳41B和转子外壳42的构件42C在整个周向上形成沿轴线方向隔开例如0.1mm至0.5mm左右的间隙(以下称作“第1间隙”)6A并重叠的第1密封部7A。在本实施方式中，如图1所示，第2定子外壳41B的外径r1大于转子外壳42的构件42C的内径r2。因而，第2定子外壳41B和转子外壳42的构件42C在轴线方向上隔开第1间隙6A并重叠的W1的范围成为第1密封部7A。另外，第1定子外壳41A的构件41AA和第2定子外壳41的定子外壳41B隔着第1圆环构件10被固定在一起，该第1圆环构件10在轴线方向上形成例如几μm至几十μm左右的间隙(以下称作“第2间隙”)8A。

图2是表示实施方式1中的第1圆环构件的一例子的图。图2的(a)是沿图1的A向视方向观察到的第1圆环构件10的俯视图。图2的(b)是第1圆环构件10的图2的(a)的B-B向视剖视图。图3是表示实施方式1中的第1圆环构件的与图2不同的一例子的图。图3的(a)是沿图1的A向视方向观察到的第1圆环构件10的俯视图。图3的(b)是第1圆环构件10的图3的(a)的B’-B’向视剖视图。另外，在图2和图3所示的例子中，设有六个用于通过第1定子外壳41A和第2定子外壳41B夹持并固定第1圆环构件10的螺钉孔，但螺钉孔的数量并不限定于此。

在图2所示的例子中，如图1所示，第2定子外壳41B的与第1圆环构件10相对的面平坦，在第1圆环构件10的与第2定子外壳41B相对的面设有在第1圆环构件10与第2定子外壳41B之间形成第2间隙8A的台阶。具体而言，将设于第1圆环构件10的螺钉孔周边的轴线方向上的厚度设定为比其他的部位厚出与第2间隙8A相当的量。由此，在将第2定子外壳41B和第1圆环构件10组合在一起时，在整个周向上形成第1节气部9A，该第1节气部9A为第1圆环构件10和第2定子外壳41B隔开第2间隙8A并在第1圆环构件10的外径r3与内径r4之间的径向宽度W2的范围重叠而成。

另外，还可以与上述的例子不同，不在第1圆环构件10的与第2定子外壳41B相对的面设置在第1圆环构件10与第2定子外壳41B之间形成第2间隙8A的台阶，而是在第2定子外壳41B的与第1圆环构件10相对的面设置在第2定子外壳41B与第1圆环构件10之间形成第2间隙8A的台阶。

在图3所示的例子中，在第1圆环构件10与第2定子外壳41B之间设有用于形成第2间隙8A的间隔构件11。具体而言，在第1圆环构件10与第2定子外壳41B之间夹入在轴线方向上具有与第2间隙8A相当的厚度的平垫片形状的间隔构件11。

根据上述的结构，将第2定子外壳41B的与第1圆环构件10相对的面的平面度、第1圆环构件10的与第2定子外壳41B相对的面的平面度、以及形成第1圆环构件10与第2定子外壳41B之间的第2间隙8A的台阶设为管理项即可，而存在部件精度的管理项减少这样的优点。其结果，成品率提高。

另外，在本实施方式中，第2定子外壳41B的内径r6小于第1定子外壳41A的内径r5，第2定子外壳41B具有面向第1定子外壳41A的径向内侧并与第1定子外壳41A嵌合的嵌合部。在该嵌合部的整个周向上形成有第1排气槽12A，该第1排气槽12A用于经由第1节气部9A的第2间隙8A抽吸并排出第1空间100A的内部的空气。另外，在第2定子外壳41B上与第1排气槽12A连通设置有第1排气孔13A，该第1排气孔13A在第1定子外壳41A的内径(也就是嵌合部的直径)r5与第2定子外壳41B的内径(也就是中空孔23的直径)r6之间的径向宽度W3的范围内在轴线方向下端部开口，并经由接头14A连接例如真空泵等抽吸排气装置P1的排气用软管15A。而且，在第2定子外壳41B上，在与第1定子外壳41A的构件41AA在径向上重叠的嵌合面形成有槽部16，在该槽部16设有O形密封圈17。通过将该O形密封圈17夹在第2定子外壳41B与第1定子外壳41A的构件41AA之间，从而能够确保第1定子外壳41A的构件41AA和第2定子外壳41B在径向上重叠的嵌合面的气密性。另外，在第1定子外壳41A的构件41AA和第2定子外壳41B以高精度嵌合的情况下，能够省略第2定子外壳41B的槽部16的加工和O形密封圈17，但是，通过设置该槽部16和O形密封圈17，能够降低第1定子外壳41A的构件41AA与第2定子外壳41B之间的嵌合面的加工精度，能够使容许范围扩大。其结果，成品率提高。

第3定子外壳41C和转子外壳42的构件42B在整个周向上形成沿径向隔开例如0.1mm至0.5mm左右的间隙(以下称作“第1间隙”)6B重叠的第2密封部7B。在本实施方式中，如图1所示，第3定子外壳41C和转子外壳42的构件42B在径向上隔着第1间隙6B重叠的L1的范围成为第2密封部7B。另外，在第3定子外壳41C固定有第2圆环构件18，该第2圆环构件18用于在轴线方向上形成例如几μm至几十μm左右的间隙(以下称作“第2间隙”)8B。

图4是表示实施方式1中的第2圆环构件的一例子的图。在图4所示的例子中，示出了沿图1的A向视方向观察到的第2圆环构件18的俯视图。图5是表示实施方式1中的第3定子外壳的一例子的图。在图5所示的例子中，示出了沿图1的A向视方向观察到的第3定子外壳41C的俯视图。另外，在图4和图5所示的例子中，设有六个用于将第2圆环构件18固定于第3定子外壳41C的螺钉孔，但螺钉孔的数量并不限定于此。

在图4和图5所示的例子中，如图1所示，第2圆环构件18的与第3定子外壳41C相对的面平坦，在第3定子外壳41C的与第2圆环构件18相对的面41C1和面41C2上设有用于在第3定子外壳41C与第2圆环构件18之间形成第2间隙8B的台阶。由此，在将第3定子外壳41C和第2圆环构件18组合在一起时，在整个周向上形成第2圆环构件18和第3定子外壳41C隔开第2间隙8B并重叠的第2节气部9B。

另外，与上述的例子不同，还可以不在第3定子外壳41C的与第2圆环构件18相对的面41C1和面41C2上设置台阶，而在第2圆环构件18的与第3定子外壳41C相对的面上设置用于在第2圆环构件18与第3定子外壳41C之间形成第2间隙8B的台阶。另外，在图1所示的例子中，示出了在第3定子外壳41C和第2圆环构件18重叠的径向外侧的区域形成第2节气部9B的例子，但为了在第3定子外壳41C和第2圆环构件18重叠的径向内侧的区域形成第2节气部9B，既可以在第3定子外壳41C的与第2圆环构件18相对的面设置台阶，也可以在第2圆环构件18的与第3定子外壳41C相对的面设置台阶。而且，为了在第3定子外壳41C和第2圆环构件18重叠的径向两侧形成第2节气部9B，还可以使第3定子外壳41C和第2圆环构件18仅在螺钉孔周围接触。

另外，还可以在第3定子外壳41C与第2圆环构件18之间设置用于形成第2间隙8B的间隔构件。而且，为了在第3定子外壳41C和第2圆环构件18重叠的径向两侧形成第2节气部9B，还可以将间隔构件设为在轴线方向上具有与第2间隙8A相当的厚度的平垫片形状的构件。

根据上述的结构，将第3定子外壳41C的与第2圆环构件18相对的面的平面度、第2圆环构件18的与第3定子外壳41C相对的面的平面度、以及用于形成第2圆环构件18与第3定子外壳41C之间的第2间隙8B的台阶设为管理项即可，而具有部件精度的管理项减少这样的优点。其结果，成品率提高。

另外，如图1和图5所示，在本实施方式中，在第3定子外壳41C的整个周向上形成有第2排气槽12B，该第2排气槽12B用于经由第2节气部9B的第2间隙8B抽吸并排出第2空间100B的内部的空气。在本实施方式中，如图1所示，第2圆环构件18的外径r7大于形成于第3定子外壳41C的第2排气槽12B的外径r8。因而，第2圆环构件18和第3定子外壳41C在轴线方向上隔开第2间隙8B重叠的W4的范围成为第2节气部9B。另外，在第3定子外壳41C上与第2排气槽12B连通地设有第2排气孔13B，该第2排气孔13B在径向外侧的周向面开口，并经由接头14B连接例如真空泵等抽吸排气装置P2的排气用软管15B。

另外，如图1所示，在本实施方式中，在第1定子外壳41A沿轴线方向形成有用于供线缆200A、200B贯穿的第1线缆贯穿孔19，在第3定子外壳41C沿轴线方向形成有与第1线缆贯穿孔19连通并用于供线缆200A、200B贯穿的第2线缆贯穿孔20。另外，在图1所示的例子中，省略了线缆200A用的第1线缆插入孔19和第2线缆贯穿孔20。

如图1和图5所示，第1线缆贯穿孔19和第2线缆贯穿孔20的轴线方向上重叠的位置相互错开地形成。具体而言，在将第1定子外壳41A和第3定子外壳41C在轴线方向上嵌合时，以第1线缆贯穿孔19和第2线缆贯穿孔20在轴线方向上重叠的开口面积与线缆200A、200B的截面积大致一致的方式，使第1线缆贯穿孔19的径向中心位置X1与第2线缆贯穿孔20的径向中心位置X2不同。由此，能够确保第1线缆贯穿孔19和第2线缆贯穿孔20在轴线方向上重叠的开口部的气密性。

对于假定要应用于半导体制造装置、平板显示器制造装置的马达、使用该马达构成的驱动器要求有较高的可靠性。另外，在半导体元件、平板显示器等的制造中，为了避免灰尘混入制造物，需要清洁环境下的制造工序。在这样的清洁环境下使用的马达、驱动器为了确保较高的可靠性，需要防止在马达、驱动器的内部产生的灰尘流出到外部。

作为在马达、驱动器的内部产生的灰尘，考虑有轴承等中使用的润滑脂的灰尘。由润滑脂产生的灰尘粒子成为半导体元件、平板显示器的清洁环境下的制造工序中的污染源，而成为产生失去产品价值这样的缺陷的主要原因。因此，在半导体元件、平板显示器等的制造工序中使用的马达、驱动器中，作为轴承等所使用的润滑脂，通常使用生尘性较低的低尘润滑脂。

在本实施方式中，在上述的结构中，在设于第2定子外壳41B的第1排气孔13A连接抽吸排气装置P1。另外，在设于第3定子外壳41C的第2排气孔13B连接抽吸排气装置P2。于是，在使抽吸排气装置P1、P2工作时，经由第1排气孔13A、第1排气槽12A、第1节气部9A的第2间隙8A将形成于马达1的内部的第1空间100A的空气吸出，并经由第2排气孔13B、第2排气槽12B、第2节气部9B的第2间隙8B，将形成于马达1的内部的第2空间100B的空气吸出。

在实施方式1所涉及的马达1中，在整个周向上形成有第1节气部9A和第2节气部9B，该第1节气部9A的第2间隙8A和第2节气部9B的第2间隙8B极小，为几μm至几十μm左右，因此，即使抽吸排气装置P1、P2的空气的抽吸力较小、排气量较少，也能够使排气槽12A、12B内的空气的压力平滑化。因此，能够在第1节气部9A以及第2节气部9B的整个周向上，均匀地将第1空间100A以及第2空间100B的内部的空气吸出。由此，能够抑制第1空间100A以及第2空间100B的内部的周向上的压力差。

另外，如上所述，在实施方式1所涉及的马达1中，第1密封部7A的第1间隙6A以及第2密封部7B的第1间隙6B例如为0.1mm至0.5mm左右，大于第1节气部9A的第2间隙8A以及第2节气部9B的第2间隙8B，但由于能够利用上述的第1节气部9A和第2节气部9B抑制第1空间100A以及第2空间100B的周向上的压力差，因此，即使第1密封部7A的第1间隙6A以及第2密封部7B的第1间隙6B例如为0.1mm至0.5mm左右而相对较大，也能够在第1密封部7A和第2密封部7B的整个周向上向第1空间100A和第2空间100B均匀地吸入空气。即，在实施方式1所涉及的马达1中，通过使空气分别在第1密封部7A以及第2密封部7B的整个周向上均匀地流入第1空间100A和第2空间100B，而能够利用第1节气部9A和第2节气部9B抑制第1空间100A以及第2空间100B的周向上的压力差，因此，能够可靠地防止在第1空间100A以及第2空间100B产生的灰尘流出到外部。

这样，实施方式1所涉及的马达1能够以较少的排气量有效地使第1密封部7A和第2密封部7B发挥功能，能够更有效地防止在形成于马达1的内部的第1空间100A和第2空间100B产生的灰尘流出外部。

另外，由于能够防止在马达1的内部产生的灰尘自第1密封部7A和第2密封部7B流出到外部，因此，在实施方式1所涉及的马达1中，作为轴承5，能够使用不需要电源、压缩空气这样的外部动力源的机械式的轴承，例如滚动轴承、滑动轴承等。

另外，作为润滑轴承5等的可动部的润滑脂，不需要使用生尘性较低的低尘润滑脂，而能够根据驱动条件使用最适合的润滑脂。

另外，在本实施方式所涉及的马达1的结构中，为了管理形成第1节气部9A的第2间隙8A的精度，将第2定子外壳41B的与第1圆环构件10相对的面的平面度、第1圆环构件10的与第2定子外壳41B相对的面的平面度以及用于形成第1圆环构件10与第2定子外壳41B之间的第2间隙8A的台阶设为管理项即可。另外，为了管理形成第2节气部9B的第2间隙8B的精度，将第3定子外壳41C的与第2圆环构件18相对的面的平面度、第2圆环构件18的与第3定子外壳41C相对的面的平面度以及用于形成第2圆环构件18与第3定子外壳41C之间的第2间隙8B的台阶设为管理项即可。因此，部件精度的管理项减少，作为其结果，能够提高马达1的成品率。

根据以上说明，实施方式1所涉及的马达1包括：定子21，其具备线圈21B和定子芯21A；转子22，其配置于定子21的径向外侧，能相对于定子21相对旋转；转子外壳42，其与转子22一起旋转；定子外壳41，其固定定子21；以及轴承5，其相对于定子外壳41以旋转自如的方式支承转子外壳42。定子外壳41包括第1定子外壳41A、第2定子外壳41B以及第3定子外壳41C。第2定子外壳41B与第1定子外壳41A、转子外壳42以及轴承5一起形成第1空间100A，且第2定子外壳41B在整个周向上隔开第1间隙6A与转子外壳42重叠。第3定子外壳41C与第1定子外壳41A、转子外壳42以及轴承5一起形成第2空间100B，且第3定子外壳41C在整个周向上隔开第1间隙6B与转子外壳42重叠。另外，马达1在第1空间100A内具有：第1圆环构件10，其在整个周向上隔开第2间隙8A与第2定子外壳41B重叠；第1排气孔13A，其用于经由第2间隙8A抽吸并排出第1空间100A的内部的空气；以及第1排气槽12A，其介于第2间隙8A与第1排气孔13A之间，沿着第2间隙8A形成于第2定子外壳41B的整个周向上，马达1在第2空间100B内具有：第2圆环构件18，其在整个周向上隔开第2间隙8B与第3定子外壳41C重叠；第2排气孔13B，其用于经由第2间隙8B抽吸并排出第2空间100B的内部的空气；以及第2排气槽12B，其介于第2间隙8B与第2排气孔13B之间，沿着第2间隙8B形成于第3定子外壳41C的整个周向上。

在该结构中，通过在第1排气孔13A连接抽吸排气装置P1并使抽吸排气装置P1工作，从而自第1排气孔13A均匀地吸出第1空间100A的空气，并自第1密封部7A向第1空间100A均匀地吸入空气。由此，能够可靠地防止在第1空间100A产生的灰尘流出到外部。

另外，通过在第2排气孔13B连接抽吸排气装置P2并使抽吸排气装置P2工作，从而自第2排气孔13B均匀地吸出第2空间100B的空气，并自第2密封部7B向第2空间100B均匀地吸入空气。由此，能够可靠地防止在第2空间100B产生的灰尘流出到外部。

另外，对于马达1来说，能够减少用于管理形成第1节气部9A的第2间隙8A的精度以及形成第2节气部9B的第2间隙8B的精度的管理项，其结果，能够提高马达1的制造时的成品率。

另外，马达1能够使用不需要电源、压缩空气这样的外部动力源的机械式的轴承，例如滚动轴承、滑动轴承等。

另外，对于马达1来说，作为润滑可动部的润滑脂不需要使用生尘性较低的低尘润滑脂，而能够根据驱动条件使用最适合的润滑脂。

(实施方式2)

图6是表示实施方式2所涉及的马达的一例子的剖视图。另外，对与上述的实施方式1相同的结构要素标注相同的附图标记并省略重复的说明。

如图6所示，在实施方式2所涉及的马达1a中，第2定子外壳41Ba在与第1圆环构件10a之间的嵌合面上，在整个周向上形成有第1排气槽12A，该第1排气槽12A用于经由第1节气部9A的第2间隙8A抽吸并排出第1空间100A的内部的空气。另外，第2定子外壳41Ba不具有面向第1定子外壳41Aa的径向内侧并与第1定子外壳41Aa嵌合的嵌合部，与第1排气槽12A连通设置的第1排气孔13A将沿轴线方向排列的第2定子外壳41Ba、第1圆环构件10a、第1定子外壳41Aa、第3定子外壳41Ca连通并在第3定子外壳41Ca的轴线方向下端部开口。由此，能够将第2定子外壳41B的内径(也就是中空孔23a的直径)r6’扩大到第1定子外壳41A的内径r5’。因而，能够使在第2定子外壳41Ba的轴线方向上端部开口的中空孔23a的直径大于实施方式1的中空孔23的直径。

图7是表示实施方式2中的第1圆环构件的一例子的图。图7的(a)是沿图6的A向视方向观察到的第1圆环构件10a的俯视图。图7的(b)是第1圆环构件10a的图7的(a)的C-C向视剖视图。图8是表示实施方式2中的第1圆环构件的与图7不同的一例子的图。图8的(a)是沿图6的A向视方向观察到的第1圆环构件10a的俯视图。图8的(b)是第1圆环构件10a的图8的(a)的C’-C’向视剖视图。另外，在图7和图8所示的例子中，设有六个用于通过第1定子外壳41Aa和第2定子外壳41Ba夹持并固定第1圆环构件10a的螺钉孔，但螺钉孔的数量并不限定于此。

在图7所示的例子中，如图6所示，第2定子外壳41Ba的与第1圆环构件10a相对的面平坦，在第1圆环构件10a的与第2定子外壳41Ba相对的面设有用于在第1圆环构件10a与第2定子外壳41Ba之间形成第2间隙8A的台阶。由此，在将第2定子外壳41Ba和第1圆环构件10a组合在一起时，在整个周向上形成第1圆环构件10a和第2定子外壳41Ba隔开第2间隙8A并重叠的第1节气部9A。在本实施方式中，如图6所示，第1圆环构件10a的外径r3’大于形成于第2定子外壳41B的第1排气槽12A的外径r9。因而，第1圆环构件10a和第2定子外壳41B沿着轴线方向隔开第2间隙8A并重叠的W5的范围成为第2节气部9B。

另外，与上述的例子不同，还可以不在第1圆环构件10a的与第2定子外壳41Ba相对的面设置台阶，而在第2定子外壳41Ba的与第1圆环构件10a相对的面设置用于在第2定子外壳41Ba与第1圆环构件10a之间形成第2间隙8A的台阶。

另外，如图8所示，还可以在第1圆环构件10a与第2定子外壳41Ba之间设置用于形成第2间隙8A的圆环状的间隔构件11a。

根据以上的结构，将第2定子外壳41Ba的与第1圆环构件10a相对的面的平面度、第1圆环构件10a的与第2定子外壳41Ba相对的面的平面度以及用于形成第1圆环构件10a与第2定子外壳41Ba之间的第2间隙8A的台阶设为管理项即可，而具有部件精度的管理项减少的优点。其结果，成品率提高。

在本实施方式中，也能够获得与上述的实施方式1相同的效果。即，实施方式2所涉及的马达1a通过在第1排气孔13A连接抽吸排气装置P1并使抽吸排气装置P1工作，从而自第1排气孔13A均匀地吸出第1空间100A的空气，并自第1密封部7A向第1空间100A均匀地吸入空气，通过在第2排气孔13B连接抽吸排气装置P2并使抽吸排气装置P2工作，从而自第2排气孔13B均匀地吸出第2空间100B的空气，并自第2密封部7B向第2空间100B均匀地吸入空气。由此，能够可靠地防止在第1空间100A以及第2空间100B产生的灰尘流出到外部。

另外，对于马达1a来说，能够减少用于管理形成第1节气部9A的第2间隙8A的精度和形成第2节气部9B的第2间隙8B的精度的管理项，其结果，能够提高马达1a的制造时的成品率。

另外，马达1a能够使用不需要电源、压缩空气这样的外部动力源的机械式的轴承，例如滚动轴承、滑动轴承等。

另外，对于马达1a来说，作为润滑可动部的润滑脂，不需要使用生尘性较低的低尘润滑脂，而能够根据驱动条件使用最适合的润滑脂。

(实施方式3)

图9是表示实施方式3所涉及的马达的一例子的剖视图。图10是表示实施方式3所涉及的马达的与图9不同的一例子的剖视图。另外，对与上述的实施方式1或实施方式2相同的结构要素标注相同的附图标记并省略重复的说明。

如图9所示，在实施方式3所涉及的马达1b中，形成于第2定子外壳41Ba的第1排气槽12A和形成于第3定子外壳41Cb的第2排气槽12B经由排气孔13连通。在图9所示的例子中，排气孔13在第3定子外壳41Cb的径向外侧的周向表面开口，并经由接头14连接例如真空泵等抽吸排气装置P的排气用软管15。

另外，如图10所示，在实施方式3所涉及的马达1c中，形成于第2定子外壳41Ba的第1排气槽12A和形成于第3定子外壳41Cc的第2排气槽12B经由排气孔13连通。在图10所示的例子中，排气孔13在第3定子外壳41Cc的轴线方向下端部开口，经由接头14连接例如真空泵等抽吸排气装置P的排气用软管15。

在实施方式3所涉及的马达1b、1c中，通过在排气孔13连接一个抽吸排气装置P，能够获得与上述的实施方式1、2相同的效果。即，实施方式3所涉及的马达1b、1c通过在排气孔13连接抽吸排气装置P并使抽吸排气装置P工作，从而自排气孔13均匀地吸出第1空间100A以及第2空间100B的空气，并自第1密封部7A向第1空间100A均匀地吸入空气以及自第2密封部7B向第2空间100B均匀地吸入空气。由此，能够可靠地防止在第1空间100A和第2空间100B产生的灰尘流出到外部。

另外，对于马达1b、1c来说，能够减少用于管理形成第1节气部9A的第2间隙8A的精度以及形成第2节气部9B的第2间隙8B的精度的管理项，其结果，能够提高马达1b、1c的制造时的成品率。

另外，马达1b、1c能够使用不需要电源、压缩空气这样的外部动力源的机械式的轴承，例如滚动轴承、滑动轴承等。

另外，马达1b、1c作为润滑可动部的润滑脂，不需要使用生尘性较低的低尘润滑脂，而能够根据驱动条件使用最适合的润滑脂。

(变形例)

图11是表示实施方式3的变形例所涉及的马达的一例子的剖视图。图12是表示实施方式3的变形例所涉及的马达的与图11不同的一例子的剖视图。另外，对与上述的实施方式3相同的结构要素标注相同的附图标记并省略重复的说明。

如图11和图12所示，在实施方式3的变形例所涉及的马达1d中，排气孔13在第3定子外壳41Cd的轴线方向下端部和径向外侧的周向表面这两者开口。

在图11所示的例子中，排气孔13的设于第3定子外壳41Cd的轴线方向下端部的开口部利用密封构件300密封，在排气孔13的设于第3定子外壳41Cd的径向外侧的周向表面的开口部经由接头14连接例如真空泵等抽吸排气装置P的排气用软管15。

在图12所示的例子中，排气孔13的设于第3定子外壳41Cd的径向外侧的周向表面的开口部利用密封构件300密封，在排气孔13的设于第3定子外壳41Cd的轴线方向下端部的开口部经由接头14连接例如真空泵等抽吸排气装置P的排气用软管15。

另外，作为密封构件300，只要是能够可靠地密封设于第3定子外壳41Cd的轴线方向下端部的开口部和设于第3定子外壳41Cd的径向外侧的周向表面的开口部的任一开口部的构件，就能够是任何构件，例如，能够使用螺钉、螺栓、或销等构件。

在实施方式3的变形例所涉及的马达1d中，将排气孔13的开口部设于第3定子外壳41Cd的轴线方向下端部和径向外侧的周向表面这两者，通过将排气孔13的两个开口部中的一个利用密封构件300密封，并在另一个开口部连接抽吸排气装置P，能够获得与上述的实施方式3相同的效果，这一点是不言而喻的。另外，由于能够在设于第3定子外壳41Cd的轴线方向下端部的开口部和设于第3定子外壳41Cd的径向外侧的周向表面的开口部之间选择用于连接抽吸排气装置P的排气孔13的开口部，因此，能够获得通用性更高的马达1d。

(实施方式4)

图13是表示实施方式4所涉及的马达的一例子的剖视图。另外，对与上述的实施方式1相同的结构要素标注相同的附图标记并省略重复的说明。

如图13所示，在实施方式4所涉及的马达1e中，转子外壳41的构件42Ca为圆板状的构件，为在第1空间100A与外部(清洁环境)之间不产生空气的流通的结构。即，在实施方式4所涉及的马达1e中，不需要考虑灰尘自第1空间100A向清洁环境的流出。

实施方式4所涉及的马达1包括：定子21，其具备线圈21B和定子芯21A；转子22，其配置于定子21的径向外侧，能相对于定子21相对旋转；转子外壳42，其与转子22一起旋转；定子外壳41，其固定定子21；以及轴承5，其相对于定子外壳41以旋转自如的方式支承转子外壳42。定子外壳41包括第1定子外壳41A和第3定子外壳41C。第3定子外壳41C与第1定子外壳41A、转子外壳42以及轴承5一起形成第2空间100B，并在整个周向上隔开第1间隙6与转子外壳42重叠。另外，马达1在第2空间100B内具有：圆环构件18，其在整个周向上隔开第2间隙8与第3定子外壳41C重叠；排气孔13，其用于经由第2间隙8抽吸并排出第2空间100B的内部的空气；以及排气槽12，其介于第2间隙8与排气孔13之间，沿着第2间隙8形成于第3定子外壳41C的整个周向上。

在该结构中，通过在排气孔13连接抽吸排气装置P并使抽吸排气装置P工作，从而自排气孔13均匀地吸出第2空间100B的空气，并自密封部7向第2空间100B均匀地吸入空气。由此，能够可靠地防止在第2空间100B产生的灰尘流出到外部。

另外，对于马达1e来说，能够减少用于管理形成节气部9的第2间隙8的精度的管理项，其结果，能够提高马达1e的制造时的成品率。

另外，马达1e能够使用不需要电源、压缩空气这样的外部动力源的机械式的轴承，例如滚动轴承、滑动轴承等。

另外，对于马达1e来说，作为润滑可动部的润滑脂，不需要使用生尘性较低的低尘润滑脂，而能够根据驱动条件使用最适合的润滑脂。

另外，在上述的实施方式中，表示了第2定子外壳41B隔着第1圆环构件10固定于第1定子外壳41A、第2定子外壳41Ba隔着第1圆环构件10a固定于第1定子外壳41Aa的例子，但第1圆环构件10、10a还可以与第1定子外壳41A、41Aa一体化地形成。由此，能够削减构成马达1、1a、1b、1c、1d、1e的部件个数。另外，具有部件精度的管理项减少的优点。其结果，成品率提高。

另外，在第3定子外壳41C、41Ca、41Cb、41Cc、41Cd中，也与第2定子外壳41B、41Ba相同，可以设为第3定子外壳41C、41Ca、41Cb、41Cc、41Cd隔着第2圆环构件18固定于第1定子外壳41A、41Aa的结构，这是不言而喻的。

而且，第2圆环构件18还可以与第1定子外壳41A、41Aa一体化地形成。由此，能够削减构成马达1、1a、1b、1c、1d、1e的部件个数。另外，具有部件精度的管理项减少的优点。其结果，成品率提高。

图14是表示本实施方式所涉及的马达的应用例的图。本实施方式所涉及的马达1、1a、1b、1c、1d、1e例如在清洁环境400下在半导体制造装置401、平板显示器制造装置402中使用。马达1、1a、1b、1c、1d、1e的壳体(框体)的一部分(定子外壳)利用紧固构件支承于基台500。另外，紧固构件为螺钉、螺栓、销等。由此，将马达1、1a、1b、1c、1d、1e固定于基台500。

马达1、1a、1b、1c、1d、1e与利用马达1、1a、1b、1c、1d、1e驱动的被驱动物600一起构成驱动器700。被驱动物600利用紧固构件支承于马达1、1a、1b、1c、1d、1e的壳体(框体)的一部分(定子外壳)。另外，紧固构件为螺钉、螺栓、销等。由此，将被驱动物600固定于马达1、1a、1b、1c、1d、1e。

在被驱动物600的上部配置被制造物800。在基台500上设有中空孔501，在被驱动物600上设有中空孔601。

将向被制造物800供给电源、信号的线缆900贯穿于基台500的中空孔501、马达1、1a、1b、1c、1d、1e的中空孔23、23a、被驱动物600的中空孔601，并与被制造物800连接。

如上所述，本实施方式所涉及的马达1、1a、1b、1c、1d、1e能够可靠地防止在内部产生的灰尘流出到外部，因此，该实施方式所涉及的马达1、1a、1b、1c、1d、1e、使用该实施方式所涉及的马达1、1a、1b、1c、1d、1e构成的驱动器700适合于在例如图14所示的清洁环境400下在半导体制造装置401、平板显示器制造装置402中使用。

附图标记说明

1、1a、1b、1c、1d、1e、马达；2、马达部；3、旋转检测器；4、壳体；5、轴承；5A、内圈；5B、外圈；5C、滚动轮；6、6A、6B、第1间隙；7、密封部；7A、第1密封部；7B、第2密封部；8、8A、8B、第2间隙；9、节气部；9A、第1节气部；9B、第2节气部；10、10a、第1圆环构件；11、11a、间隔构件；12、排气槽；12A、第1排气槽；12B、第2排气槽；13、排气孔；13A、第1排气孔；13B、第2排气孔；14、14A、14B、接头；15、15A、15B、排气用软管；16、槽部；17、O形密封圈；18、(第2)圆环构件；19、第1线缆贯穿孔；20、第2线缆贯穿孔；21、定子；21A、定子芯；21B、线圈；22、转子；23、23a、中空孔；41、定子外壳；41A、41Aa、第1定子外壳；41AA、41AAa、41AB、41ABa、构件(第1定子外壳)；41B、41Ba、第2定子外壳；41C、41Ca、41Cb、41Cc、41Cd、第3定子外壳；42、转子外壳；42A、42B、42C、构件(转子外壳)；100A、第1空间；100B、第2空间；200A、200B、线缆；300、密封构件；400、清洁环境；401、半导体制造装置；402、平板显示器制造装置；500、基台；501、中空孔(基台)；600、被驱动物；601、中空孔(被驱动物)；700、驱动器；800、被制造物；900、线缆(被制造物)；AX、旋转轴线；P、P1、P2、抽吸排气装置。

Claims (25)

1.一种马达，其具有：

定子，其包括线圈和定子芯；

转子，其配置于所述定子的径向外侧，能相对于所述定子相对旋转；

转子外壳，其与所述转子一起旋转；

定子外壳，所述定子固定于该定子外壳，并且在该定子外壳与所述转子外壳之间设有空间，该定子外壳在整个周向上隔开第1间隙与所述转子外壳重叠；

轴承，其相对于所述定子外壳以旋转自如的方式支承所述转子外壳；

圆环构件，其在所述空间内，在整个周向上隔开第2间隙与所述定子外壳重叠；

排气孔，其用于经由所述第2间隙抽吸并排出所述空间的内部的空气；以及

排气槽，其介于所述第2间隙与所述排气孔之间，沿着所述第2间隙设于所述定子外壳的整个周向上。

2.根据权利要求1所述的马达，其中，

所述定子外壳包括：

第1定子外壳，其由在以所述转子的旋转中心为轴心的轴线方向上夹持所述轴承的内圈的至少两个构件形成；

第2定子外壳，其设于所述第1定子外壳的所述轴线方向上的一端侧，在该第2定子外壳与所述第1定子外壳之间设有第1所述排气槽，并且固定有第1所述圆环构件，在该第2定子外壳与第1所述圆环构件之间设有所述第1间隙；以及

第3定子外壳，其设于所述第1定子外壳的所述轴线方向上的另一端侧，在该第3定子外壳与所述第1定子外壳之间设有第2所述排气槽，并且固定有第2所述圆环构件，在该第3定子外壳与第2所述圆环构件之间设有所述第1间隙，

所述转子外壳由在所述轴线方向上夹持所述轴承的外圈的至少两个构件形成，

在所述转子外壳与所述第2定子外壳之间设有所述第1间隙，并且所述转子外壳与所述第1定子外壳、所述第2定子外壳以及所述轴承一起划分出第1所述空间，

在所述转子外壳与所述第3定子外壳之间设有所述第1间隙，并且所述转子外壳与所述第2定子外壳、所述第3定子外壳、所述轴承一起划分出第2所述空间。

3.根据权利要求2所述的马达，其中，

第1所述圆环构件在与所述第2定子外壳相对的面设有用于在其与所述第2定子外壳之间形成所述第2间隙的台阶。

4.根据权利要求2所述的马达，其中，

所述第2定子外壳在与第1所述圆环构件相对的面设有用于在其与所述第2定子外壳之间形成所述第2间隙的台阶。

5.根据权利要求2所述的马达，其中，

该马达包括间隔构件，该间隔构件介于第1所述圆环构件与所述第2定子外壳之间，用于在第1所述圆环构件与所述第2定子外壳之间设置所述第2间隙。

6.根据权利要求2所述的马达，其中，

第2所述圆环构件在与所述第3定子外壳相对的面设有用于在其与所述第3定子外壳之间形成所述第2间隙的台阶。

7.根据权利要求2所述的马达，其中，

所述第3定子外壳在与第2所述圆环构件相对的面设有用于在其第2所述圆环构件之间形成所述第2间隙的台阶。

8.根据权利要求2所述的马达，其中，

该马达包括间隔构件，该间隔构件介于第2所述圆环构件与所述第3定子外壳之间，用于在第2所述圆环构件与所述第3定子外壳之间设置所述第2间隙。

9.根据权利要求2所述的马达，其中，

所述第2定子外壳在与所述第1定子外壳在径向上重叠的嵌合面设有槽部，在该槽部设有O形密封圈。

10.根据权利要求2所述的马达，其中，

在所述第2定子外壳设有第1所述排气孔，在所述第3定子外壳设有第2所述排气孔。

11.根据权利要求2所述的马达，其中，

第1所述排气孔以将所述第2定子外壳、所述第1定子外壳以及所述第3定子外壳连通的方式设置，

第2所述排气孔设于所述第3定子外壳。

12.根据权利要求10所述的马达，其中，

第1所述排气孔在所述第2定子外壳的所述轴线方向上的另一端设有开口部，

第2所述排气孔在所述第3定子外壳的周向表面设有开口部。

13.根据权利要求2所述的马达，其中，

所述排气孔以将所述第2定子外壳、所述第1定子外壳以及所述第3定子外壳连通、并连结第1所述排气槽和第2所述排气槽的方式设置。

14.根据权利要求13所述的马达，其中，

所述排气孔在所述第3定子外壳的径向外侧的周向表面设有开口部。

15.根据权利要求13所述的马达，其中，

所述排气孔在所述第3定子外壳的所述轴线方向上的另一端设有开口部。

16.根据权利要求13所述的马达，其中，

所述排气孔在所述第3定子外壳的径向外侧的周向表面、以及所述第3定子外壳的所述轴线方向上的另一端设有开口部，任一侧的开口部被密封。

17.根据权利要求2所述的马达，其中，

所述第2定子外壳隔着第1所述圆环构件固定于所述第1定子外壳。

18.根据权利要求2所述的马达，其中，

第1所述圆环构件与所述第1定子外壳一体化。

19.根据权利要求2所述的马达，其中，

所述第3定子外壳隔着第2所述圆环构件固定于所述第1定子外壳。

20.根据权利要求2所述的马达，其中，

第2所述圆环构件与所述第1定子外壳一体化。

21.根据权利要求1所述的马达，其中，

所述第1定子外壳沿所述轴线方向设有第1线缆贯穿孔，该第1线缆贯穿孔用于供马达驱动用或位置检测用的线缆贯穿，

所述第3定子外壳沿所述轴线方向设有第2线缆贯穿孔，该第2线缆贯穿孔与所述第1线缆插入孔连通并用于供所述线缆贯穿，

以所述第1线缆贯穿孔和所述第2线缆贯穿孔在所述轴线方向上重叠的开口面积与所述线缆的截面积大致一致的方式，使所述第1线缆贯穿孔的径向中心位置和所述第2线缆贯穿孔的径向中心位置不同。

22.根据权利要求1所述的马达，其中，

所述轴承为滚动轴承或滑动轴承。

23.一种驱动器，其中，

该驱动器构成为包括：

马达，其为权利要求1～22中任一项所述的马达；以及

被驱动物，其利用所述马达驱动。

24.一种半导体制造装置，其中，

该半导体制造装置包括权利要求1～22中任一项所述的马达、或权利要求23所述的驱动器。

25.一种平板显示器制造装置，其中，

该平板显示器制造装置包括权利要求1～22中任一项所述的马达、或权利要求23所述的驱动器。