WO2000042330A1

WO2000042330A1 - Schaftlager

Info

Publication number: WO2000042330A1
Application number: PCT/DE2000/000048
Authority: WO
Inventors: Stefan Ellinger
Original assignee: Infineon Technologies Ag
Priority date: 1999-01-12
Filing date: 2000-01-05
Publication date: 2000-07-20
Also published as: DE19900807B4; DE19900807A1

Abstract

Herkömmliche Schaftlager erlauben keine zuverlässige langfristige Abdichtung eines Schafts in einem Lager gegenüber Rotationsbewegungen und Transversalverschiebungen. Die vorliegende Erfindung löst dieses Problem, indem Transversalverschiebung und Rotation voneinander entkoppelt werden, um jede einzeln optimal abdichten zu können. Demgemäß stellt die vorliegende Erfindung ein Schaftlager mit einem Stator (17) und einem Rotor (20) bereit, wobei ein Schaft (10) transversal verschieblich und rotierbar durch den Rotor (20) durchgeführt ist, und der Rotor (20) im Stator (17) gelagert ist, und wobei der Zwischenraum zwischen Rotor (20) und Stator (17) mit einer magnetisierbaren Emulsion abgedichtet ist und weiterhin ein Faltenbalgen zumindest einen Teil des Schafts (10) umgibt, wobei der Balgen an seinem einen Ende am Rotor (20) befestigt ist und an seinem dem Rotor abgewandten Ende (24) mit dem Schaft (10) abdichtend verbunden ist.

Description

Beschreibung

Schaftlager

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Schaftlager. Insbesondere betrifft die Erfindung ein Schaftlager, das gasdicht ist und in dem ein Schaft sowohl rotierbar als auch transversal verschieblich ist. Schaftlager, welche der Rotation eines stabförmigen Schafts oder einer Spindel bei deren gleichzei- tiger Halterung dienen, werden in vielen Gebieten der Technik eingesetzt. Falls ein solches Lager zugleich in einem Durchtrittsloch zwischen zwei Kompartimenten, in denen unterschiedliche Druckbedingungen herrschen, eingesetzt werden soll, muß dieses Lager zudem besondere Bedingungen bezüglich seiner Dichtigkeit erfüllen. Hierfür werden spezielle Maßnahmen ergriffen, welche einen Durchtritt von Gasen oder Flüssigkeiten durch das Lager hindurch oder durch den Zwischenraum zwischen Lager und Kompartimentabgrenzung hindurch verhindern sollen. Gerade bei Vakuumanlagen sind hierbei beson- ders hohe Anforderung an den Grad der Dichtigkeit zu stellen.

Wenn darüber hinaus der Schaft im Lager nicht nur rotieren soll, sondern ebenfalls eine transversale Verschieblichkeit notwendig ist, sind weitere konstruktive Maßnahmen notwendig, um diese Dichtigkeit auch bei der Transversalverschiebung zu gewährleisten. So werden beispielsweise bei Plasmaabschei- dungsprozessen Vakuumkammern verwendet, in denen ein Drehteller über einer Heizplatte angeordnet ist. Auf dem Drehteller sind die zu behandelnden Werkstücke angeordnet. Dieser Dreh- teller ist mit einer Spindel verbunden, welche aus dem evakuierten Bereich der Plasmaabscheidungsanlage herausgeführt wird und die mit einem außerhalb des Vakuumbereichs gelegenen Antrieb verbunden ist, der den Drehteller rotieren kann und ihn bedarfsweise hebt bzw. senkt, um ihn in Kontakt mit der Heizplatte zu bringen. Die Spindel ist dabei in einem Lager gelagert. Die Abdichtung dieses Lagers zum Vakuum der Vakuumkammer hin erfolgt hierbei mit einer T-Ringdichtung. Das Ma- terial dieser Dichtung ermüdet jedoch auf Grund hoher Umgebungstemperaturen und Einflüssen durch die Prozeßgase schnell. Gerade nach längeren Standzeiten kommt es daher oft zu Leckagen und/oder zu Stockungen in der Vertikal- wie auch der Rotationsbewegung der Spindel an der Dichtungsstelle. Ein Ersatz der T-Ringdichtung wäre daher wünschenswert.

Seit einiger Zeit sind sogenannte ferrofluide Dichtungen bekannt, bei denen eine Dichtung dadurch erzielt wird, daß sich zwischen einem rotierenden Element und einem feststehenden

Element der Dichtung eine magnetisierbare (ferrofluide) Emulsion befindet. Diese wird durch ringförmig um das rotierbare Element angeordnete Magnete magnetisiert, was zu einer zuverlässigen Abdichtung des Zwischenraums zwischen rotierbarem Element und statischem Element führt. Auf Grund ihrer Anordnung könnte man die ringförmige magnetische Emulsion daher als flüssigen O-Ring bezeichnen. Ferrofluide Dichtungen haben jedoch den Nachteil, lediglich bei rotierenden Bewegungen eine Dichtigkeit zu erzielen.

Bei einer transversalen Verschiebung, beispielsweise eines Schafts in einem Lager, bricht hingegen die Dichtung zusammen und damit möglicherweise auch ein abzudichtendes Vakuum. Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Schaftlager bereitzustellen, dessen Dichtigkeit, beispielsweise gegenüber einem Vakuum, sowohl bei Rotationsbewegung als auch bei Transversalverschiebung eines zu lagernden Schafts gewährleistet bleibt. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch das Schaftlager gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 1 sowie der Verwendung des erfindungsgemäßen Schaftlagers als Spindeldurchführung in einer Plasmaabscheidungsanlage gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 11.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Aspekte ergeben sich aus den abhängigen Patentansprüchen, der Beschreibung und den beigefügten Zeichnungen. In einem Aspekt ist die vorliegende Erfindung auf ein Schaftlager gerichtet, welches eine zuverlässige Abdichtung sowohl bei Rotationsbewegungen als auch bei transversalen Verschiebungen eines darin gelagerten Schafts sicherstellt.

In einem weiteren Aspekt ist die Erfindung auf ein Schaftlager gerichtet, welches das Prinzip der ferrofluiden Dichtung erstmals bei Schaftlagerungen anwendbar macht, bei denen der Schaft auch transversal verschieblich sein muß.

In noch einem weiteren Aspekt der Erfindung wird ein Schaftlager bereitgestellt, bei dem der Schaft so durch das Lager hindurchgeführt wird, daß eine ferrofluide Abdichtung gegenüber einer vom Schaft mitgenommenen, lediglich rotierenden Hohlwelle möglich ist, während transversale Bewegungen des Schafts innerhalb der Hohlwelle erfolgen und mittels eines hermetisch an der Hohlwelle und am Schaft angeordneten Faltenbalgens abgedichtet werden.

Demgemäß ist die vorliegende Erfindung auf ein Schaftlager mit einem Stator und einem Rotor gerichtet, wobei ein Schaft transversal verschieblich und rotierbar durch den Rotor durchgeführt ist und der Rotor im Stator gelagert ist, wobei der Zwischenraum zwischen Rotor und Stator mit einer magneti- sierbaren Emulsion abgedichtet ist und weiterhin ein Faltenbalgen zumindest einen Teil des Schafts umgibt und der Balgen an seinem einen Ende am Rotor befestigt ist und an seinem dem Rotor abgewandten Ende mit dem Schaft abdichtend verbunden ist.

Vorzugsweise ist die transversale Verschieblichkeit des Schafts durch eine Arretierung zwischen Schaft und Rotor auf einen vorbestimmten Bereich begrenzt. Die Arretierung kann beispielsweise einen Vorsprung im Rotor und eine Vertiefung im Schacht aufweisen, in die der Vorsprung eingreifen kann. Vorzugsweise ist dieser Vorsprung eine durch den Rotor hindurch reichende Schraube und die Vertiefung eine längliche Nut, deren Breite im wesentlichen der Schraubenbreite und deren Länge im wesentlichen dem Bereich der Verschieblichkeit entspricht. Der Faltenbalgen weist vorzugsweise einen am Rotor befestigten Balgenanschlußring, einen tubusförmigen dehn- und komprimierbaren Balgen und einen Balgenfrontring auf. Der dehn- und komprimierbare Balgen kann beispielsweise aus Edelstahl bestehen. Der Faltenbalgen ist vorzugsweise an seinem dem Rotor abgewandten Ende mittels eines Rückhalterings mit dem Schaft abdichtend verbunden. Alternativ kann der Falten- balgen an seinem dem Rotor abgewandten Ende am Schaft abdichtend angeschweißt sein. Im Schaftlager kann weiterhin ein ringförmiger Magnet angeordnet sein, der die magnetisierbare Emulsion magnetisieren kann. Die Lagerung des Rotors im Stator erfolgt vorzugsweise mittels eines Kugellagers

Die vorliegende Erfindung umfaßt weiterhin die Verwendung des Schaftlagers als Spindeldurchführung in einer Plasmaabschei- dungsanlage, die einen Drehhebeantrieb und eine Vakuumkammer aufweist. Das Lager ist dabei vorzugsweise so orientiert, daß der Faltenbalgen sich in der Vakuumkammer der Plasmaabschei- dungsanlage befindet. Die Spindel ist im Schaftlager vorzugsweise durch den Dreh- und Hebemechanismus rotierbar und transversal verschieblich.

Im folgenden wird die Erfindung im einzelnen beschrieben, wobei auf die Figuren Bezug genommen wird, in denen folgendes dargestellt ist. Es zeigt:

Figur 1 eine vorbekannte Plasmaabscheidungsanlage im Quer- schnitt; und

Figur 2 das erfindungsgemäße Schaftlager.

Die in Figur 1 gezeigte Plasmaabscheidungsanlage soll bei- spielhaft das Problem der Abdichtung von Schäften zeigen, welche durch eine Durchtrittsöffnung zwischen zwei Bereichen unterschiedlicher Gas-Drücke hindurchgeführt werden. Darge- stellt ist eine Plasmaabscheidungsanlage mit einer Vakuumkammer 1 und einer darunter angeordneten Evakuierkammer 4. Die beiden Kammern stehen über einen Verbindungsstutzen 5 miteinander in Verbindung. Die Evakuierung der Kammern erfolgt über einen Pumpenanschluß 6. In der Vakuumkammer 1 ist ein rotierbarer Wafer-Drehteller 2 angeordnet, auf dem die zu bearbeitenden Werkstücke, beispielsweise Wafer, abgelegt werden. Unter dem Wafer-Drehteller 2 befindet sich eine Heizplatte 3. Diese dient dazu, den Werkstücken auf dem Wafer-Drehteller eine notwendige Prozeßtemperatur zu verleihen. Während eines Prozeßvorgangs ruht der Wafer-Drehteller unmittelbar auf der Heizplatte 3. Der Drehteller wird von einer Seite aus mit Werkstücken beschickt und danach jeweils um einen vorgegebenen Winkel weitergedreht, um Platz für die Bestückung mit dem nächsten Werkstück zu schaffen. Nach Abschluß der Bearbeitung hat jedes Werkstück praktisch einen Vollkreis zurückgelegt, bevor es aus der Vakuumkammer wieder entnommen wird. Um den Wafer-Drehteller 2 frei um den vorbestimmten Winkel drehen zu können, wird er mittels des Tellerschafts 10 zunächst angeho- ben, um dann um den vorbestimmten Winkel rotiert zu werden. Zu diesem Zwecke steht der Wafer-Drehteller 2 über den Tellerschaft 10 in Verbindung mit einer unter den Vakuumkammern angeordneten Drehhebeanordnung 9. Der Tellerschaft 10 ist durch ein in der Evakuierkammer 4 angeordnetes Schaftge- häuse 8 hindurchgeführt, welches auf der Durchtrittsseite des Tellerschafts durch die Evakuierkammer ein Schaftlager 7 aufweist und am Durchtritt von Schaftgehäuse 8 zur Evakuierkammer 4 ein zweites Schaftgehäuselager 11 aufweist. Die Abdichtung des nicht evakuierten Lagergehäuses 8 (Atmosphäre) ge- genüber der Evakuierkammer 4 erfolgt mittels einer T-

Ringdichtung 12, die unterhalb des Schaftgehäuselagers 11 im Schaftgehäuse angeordnet ist und den Tellerschaft 10 ringförmig umgibt. Diese T-Ringdichtung weist die im Stand der Technik bekannten Nachteile auf.

Das in Figur 2 dargestellte erfindungsgemäße Schaftlager ersetzt das in Figur 1 gezeigte Schaftgehäuse. Es kann somit mit der Außenwandung der Evakuierkammer 4 verbunden sein oder alternativ, sofern ein anderer Evakuiermechanismus zur Verfügung gestellt wird, an der Vakuumkammerwandung la der Vakuumkammer 1 selbst. In Figur 2 wird die zweite Alternative dar- gestellt, bei der das erfindungsgemäße Schaftlager an der Vakuumkammerwandung la befestigt ist. Das Schaftlager besteht aus einem Stator, der auch als Lagergehäuse 17 bezeichnet wird und der fest mit der Vakuumkammerwandung la verbunden ist sowie aus einem Rotor 20, der auch als Hohlwelle bezeich- net werden kann. Der Schaft 10 ist durch diesen Rotor 20 transversal verschieblich hindurchgeführt. Bei Rotation des Schafts 10 dreht sich der Rotor 20 mit dem Schaft 10 mit. Das Lager weist eine zur Atmosphärenseite hinweisende Seite 18 und eine zur Vakuumkammer 1 hinweisende Vakuumseite 19 auf .Das Lager liegt mit der Vakuumseite 19 auf der Vakuumkammerwandung la auf und kann mit dieser z.B. verschraubt sein. Die Dichtigkeit zwischen Vakuumkammer und Umgebung wird mittels einer in die Vakuumseite 19 eingelassenen statischen 0- Ring-Dichtung gewährleistet.

An dem erfindungsgemäßen Schaftlager sind gleichzeitig zwei Abdichtungsmechanismen vorgesehen, die einerseits eine Abdichtung bei Rotation des Schafts, andererseits eine Abdichtung bei dessen transversaler Verschiebung sicherstellen. Zum einen wird in den Zwischenraum zwischen Stator 17 und Rotor 20 eine magnetisierbare Emulsion eingebracht, die bei einer Rotationsbewegung des Rotors im Stator durch ihre Magneti- siertheit eine zuverlässige Abdichtung des Zwischenraums zwischen Rotor 20 und Stator 17 bewirkt. Da zwischen dem Rotor 20 und dem Stator 17 keine Transversalverschiebungen stattfinden, sondern ausschließlich Rotationsbewegungen, kann somit innerhalb des eigentlichen Schaftlagers eine zuverlässige Abdichtung des Vakuums erreicht werden.

Der zweite Abdichtmechanismus bewirkt eine zuverlässige Abdichtung zwischen dem Schaft 10 und dem Rotor 20. Er besteht aus einem Faltenbalgen, welcher fest mit dem Rotor einerseits und dem Schaft andererseits verbunden ist. Es handelt sich hierbei also um eine mechanisch wirkende Abdichtung des Zwischenraums zwischen Schaft 10 und Rotor 20.

Die verwendete magnetisierbare Emulsion soll gegen die mit ihr in Kontakt kommenden Substanzen widerstandsfähig sein. Dies betrifft insbesondere chemische Abscheidungsprozesse, bei denen agressive Substanzen in der Vakuumkammer enthalten sind. Dem Fachmann sind hierfür eine Reihe geeigneter, magne- tisierbarer Substanzen bekann, z.B. Fluorkohlenwasserstoffe oder Ester. Damit die zwischen Stator 17 und Rotor 20 befindliche ferrofluide Emulsion diesen Zwischenraum zuverlässig abzudichten vermag, muß sie magnetisiert sein. Dies wird durch Magnete reicht, die im Zwischenraum oder in unmittelba- rer Nähe des Zwischenraums im wesentlichen kreisförmig um den Rotor herum angeordnet sind. In Figur 2 ist ein ringförmiger Dauermagnet 26 mit insgesamt drei Ringwülsten gezeigt. Zwischen der Rotoraußenwand und diesen Ringwülsten verbleiben nur schmale Spalten mit einem besonders stark wirkenden Ma- gnetfeld, die mit magnetisierbarer Emulsion gefüllt sind und die O-ringartige Abdichtung des Zwischenraums zwischen Stator 17 und Rotor 20 bewirken.

Es ist jedoch auch vorstellbar, lediglich eine Ringwulst zu verwenden oder den oder die Magnete in etwas größerem Abstand vom Rotor 20 zu beabstanden, sofern die magnetische Kraft noch hinreichend ist, die im Zwischenraum befindliche magnetisierbare Emulsion zu magnetisieren. Des weiteren können Elektromagnete an Stelle von Dauermagneten verwendet werden, um beispielsweise die Dichtleistung gezielt an das anliegende Vakuum anpassen zu können. Auch kann mehr als eine Anordnung von Magneten verwendet werden.

Der den Zwischenraum zwischen Schaft .10 und Rotor 20 abdich- tende Faltenbalgen besteht in der vorliegenden Ausführungsform aus einem am Rotor 20 befestigten Balgenanschlußring 23, einem Balgen 25 und einem am Schaft anliegenden Balgenfron- tring 24, der mit einem eng schließenden Rückhaltering 27 mit dem Schaft abdichtend verbunden ist. Da der gesamten Faltenbalgen mit dem Schaft 10 und dem Rotor 20 mitrotiert, kann der Rückhaltering 27 auf seine Abdichtungsfunktion hin opti- miert werden, da keine Gleitung zwischen Schaft 10 und Rückhaltering 27 erfolgen wird. Der eigentliche Balgen 25 kann beispielsweise aus Edelstahl gefertigt sein, ist vorteilhafterweise tubusförmig und derart in Falten oder Rillen gepreßt oder sonstwie geformt worden, daß er sich bei transversalen Verschiebungen des Schafts dehnen oder zusammenziehen kann. Er gleicht damit in seiner Funktion aus dem fotografischen Bereich bekannten Balgen, wie beispielsweise Nahaufnahmebalgeneinrichtungen. Der Balgen kann neben einer zylinderförmi- gen Ausgestaltung auch andere Fromen haben, die geeignet sind, eine Kompression und Expansion mitzumachen, beispielsweise konusförmig.

Die Befestigung des Balgenanschlußrings 23 am Rotor 20 kann beispielsweise durch Verschweißen erfolgen. Wichtig ist, daß zwischen den Teilen Rotor 20, Balgenanschlußring 23, Balgen 25, Balgenfrontring 24 und Rückhaltering 27 ein gasdichter Verschluß hergestellt ist. Dies kann in dem Fachmann bekannter Weise durch Verschweißen, spezielles Verkleben, oder, wie im Falle von Rotor und Balgenanschlußring, durch einstückiges Ausformen erfolgen.

Alternativ zur Verwendung eines Rückhalterings 27 kann der Balgenfrontring 24 beispielsweise auch am Schaft 10 verschweißt sein. Auch hier ist wieder maßgeblich, daß ein gas- dichter Abschluß zwischen dem Balgenfrontring und dem Schaft zustande kommt.

Um ein Zerreißen oder andere Beschädigungen des Faltenbalgens zu vermeiden, sollte die transversale Verschieblichkeit des Schafts 10 begrenzt werden. Hierzu kann beispielsweise ein

Vorsprung im Rotor vorgesehen sein, der in eine entsprechende Vertiefung im Schaft 10 eingreift, so daß der Schaft 10 in beide Richtungen nur bis zu dem Punkt verschoben werden kann, an dem der Vorsprung gegen die Endwände der Vertiefung stößt. In der in Figur 2 gezeigten Ausführungsform wird als Vorsprung eine Mitnehmerschraube 22 verwendet, welche in den Ro- tor 20 eingeschraubt ist und in dem vom Rotor 20 gebildeten Hohlraum nach innen hineinragt. Die Vertiefung ist in dieser Ausführungsform eine Mitnehmernut 29 im Schaft 10, deren Länge dem gewünschten Verschieblichkeitsbereich entspricht und deren Breite im wesentlichen der Schraubenbreite entspricht. Auf diese Weise kann ein Spiel zwischen dem Schaft 10 und dem Rotor 20 minimiert werden, wenn beide gemeinsam rotieren.

Es ist jedoch auch möglich, den Vorsprung im Schaft 10 anzubringen und dann eine Vertiefung im Rotor 20 vorzusehen, in die dieser Vorsprung eingreifen kann. Maßgeblich für die Ausführung dieses Merkmals muß jedenfalls sein, daß Schaft und Rotor stets gemeinsam rotieren, jedoch lediglich der Schaft transversal verschiebbar ist, während der Rotor im wesentlichen keine transversalen Bewegungen machen darf. Um ein leichtgängiges Rotieren des Rotors 20 im Stator 17 zu ermöglichen, können entsprechende Lagerungen vorgenommen werden. Beispielsweise können Gleitlager vorgesehen sein oder, wie im in der Figur 2 gezeigten Beispiel, ein Kugellager mit Kugeln 21. Auch ist es vorstellbar, daß mehrere Kugellager verwendet werden oder Kugel- und Gleitlager kombiniert werden können. Schließlich sollten Rotor und Stator so aufeinander abgestellt sein, daß aus den Abschlüssen keine magnetsierbare Emulsion austreten kann. Dies kann beispielsweise erreicht werden, indem Vorsprünge am Rotor und am Stator vorgesehen werden, die lediglich einen so kleinen Zwischenspalt zwischen Rotor und Stator im Bereich der Vorsprünge verbleiben lassen, daß ein Durchtritt von magnetisierbarer Emulsion nicht möglich ist. Die Lagerschalen eines verwendeten Kugellagers können entweder einstückig mit dem Rotor, beziehungsweise dem Stator ausgeführt sein, oder es kann zwischen Rotor und Stator ein vollständiges Kugellager inklusive der Lagerschalen eingesetzt werden. Letzeres hat den Vorteil, daß auf indu- striell verfügbare Standardkugellager zurückgegriffen werden kann.

Zusammengefaßt kann gesagt werden, daß das erfindungsgemäße Schaftlager eine besonderes vorteilhafte Abdichtung bei Rota- tions- und Transversalverschiebungen erzielt, indem die zwei Bewegungen unterschiedlichen Bereichen des Schaftlagers zugewiesen werden, und damit jeder der Bewegungen eine optimale Abdichtung durch spezielle Maßnahmen zugeordnet werden kann.

Claims

Patentansprüche

1. Schaftlager mit einem Stator (17) und einem Rotor (20), wobei ein Schaft (10) transversal verschieblich und rotierbar durch den Rotor (20) durchgeführt ist und der Rotor (20) im Stator (17) gelagert ist, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der Zwischenraum zwischen Rotor (20) und Stator (17) mit einer magnetisierbaren Emulsion abgedichtet ist und weiterhin ein Faltenbalgen zumindest einen Teil des Schafts (10) umgibt, wobei der Balgen an seinem einen Ende am Rotor (20) befestigt ist und an seinem dem Rotor (20) abgewandten Ende mit dem Schaft (10) abdichtend verbunden ist.

2. Schaftlager nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die transversale Verschieblichkeit des Schaftes (10) durch eine Arretierung zwischen Schaft (10) und Rotor (20) auf einen vorbestimmten Bereich begrenzt ist.

3. Schaftlager nach Anspruch 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Arretierung einen Vorsprung im Rotor (20) und eine Vertiefung im Schaft (10) aufweist, in die der Vorsprung ein- greifen kann.

4. Schaftlager nach Anspruch 3, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der Vorsprung eine durch den Rotor (20) hindurchreichende Schraube (22) und die Vertiefung eine längliche Nut (29) ist, deren Breite im wesentlichen der Schraubenbreite entspricht und deren Länge im wesentlichen dem Bereich der Verschieblichkeit entspricht.

5. Schaftlager nach einem der Ansprüche 1 bis 4, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der Faltenbalgen einen am Rotor (20) befestigten Balgenanschlußring (23) , einen tubusförmigen, dehn- und komprimierbaren Balgen (25), und einen Balgenfrontring (24) aufweist.

6. Schaftlager nach Anspruch 5, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der dehn- und komprimierbare Balgen (25) aus Edelstahl besteht.

7. Schaftlager nach Anspruch 5 oder 6, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der Faltenbalgen an seinem dem Rotor (20) abgewandten Ende mittels eines Rückhalterings (27) mit dem Schaft (10) abich- tend verbunden ist.

8. Schaftlager nach Anspruch 5 oder 6, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der Faltenbalgen an seinem dem Rotor (20) abgewandten Ende am Schaft (10) abdichtend angeschweisst ist.

9. Schaftlager nach einem der Ansprüche 1 bis 8, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß darin weiterhin ein Magnet (26) angeordnet ist, der die ma- gnetisierbare Emulsion magnetisieren kann.

10. Schaftlager nach einem der Ansprüche 1 bis 9, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Lagerung des Rotors (20) im Stator (17) ein Kugellager aufweist.

11. Verwendung des Lager nach einem der Ansprüche 1 bis 10 als Spindeldurchführung in einer Plasmaabscheidungsanlage, die einen Dreh-/Hebeantrieb (9) und eine Vakuumkammer (1) aufweist..

12. Verwendung nach Anspruch 11, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß das Lager so orientiert ist, daß der Faltenbalgen sich in der Vakuumkammer (1) der Plasmaabscheidungsanlage befindet.

13. Verwendung nach Anspruch 10 oder 11, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Spindel im Schaftlager durch den Dreh-/Hebemechanismus

(9) rotierbar und transversal verschieblich ist.