DE1913699C3 - Kammer zum Bearbeiten eines darin befindlichen Werkstücks unter Luftabschluß, insbesondere Vakuumkammer - Google Patents

Description

^r)0 Die Erfindung betrifft eine Kammer zum Bearbeiten eines darin befindlichen Werkstücks unter Luftabschluß, insbesondere Vakuumkammer, mit mindestens einer flachen Kammerwand und einem zwischen ihren gegenüberliegenden Kanten liegenden langgestreckten

v> Schlitz, der sich in Richtung von der einen zur anderen Kante erstreckt einem den Schlitz abdeckenden Deckelteil, das nahe und parallel zu der Kammerwand angeordnet ist und eine mit dem Schlitz sich deckende Öffnung hat, wobei das Deckelteil gegenüber der

u) Kammerwand zum Bewegen der Öffnung entlang dem Schlitz bewegbar ist, mit einer die Öffnung umgebenden Dichtungsvorrichtung, die zusammen mit einem Werkzeug eine im wesentlichen gasdichte Dichtung über der Öffnung bildet, so daß ein in der Kammer ortsfest

h'> liegendes Werkstück mit Hilfe des Werkzeugs an einem Punkt behandelbar ist, der durch das Werkzeug entlang dem Schlitz über das Werkstück bewegbar ist, und mit Abdichtungen, die zwischen dem Deckelteii und der

Kammerwand angeordnet sind und sich rings um den Schlitz erstrecken, zum Aufrechterhalten einer gasdichten Abdichtung über dem Schlitz bei Bewegen der öffnung entlang dem Schlitz.

Es ist bekannt, zwei oben und unten dutch je ein Blech abgedeckte, mit einem leichten Kernwerkstoff gefüllte, tafelförmige Werkstücke durch Verschweißen zweier aneinanderstoßenden Kanten der Abdeckbleche der beiden Werkstücke mit Hilfe eines Elektronenstrahls miteinander zu verbinden. Bei einer Ausführungsform des hierzu verwendeten Geräts ruhen die beiden miteinander zu verbindenden Werkstücke auf einer ortsfesten Unterlage und tragen ihrerseits eine Vorrichtung zur wandernden Zuführung eines Elektronenstromes entlang der miteinander zu verschweißenden Blechkanten. Oberhalb dieser Kanten und parallel zu ihnen verläuft in dieser Vorrichtung ein lotrechter Schlitz, durch den bei einer Verschiebung des Elektronenzuführrohres in Richtung der miteinander zu verschweißenden Blechränder die Elektronen zur jeweiligen Schweißstelle gelangen. Für andere Arbeiten als das Verschweißen der parallelen Ränder von in der gleichen Ebene gelegenen Platten ist dieses bekannte Gerät weder bestimmt noch geeignet (US-Patentschrift

33 01 993).

Bei einer bekannten Vorrichtung zur unter Vakuum erfolgenden Bearbeitung eines Werkstückes mittels eines Elektronenzuführrohres liegt auf dem zu bearbeitenden Teil des Werkstücks luftdicht eine an eine Vakuumquelle angeschlossene, kreisscheibenförmige Kammer, die oben von einem durch einen ersten Elektromotor drehbaren, kreisförmigen Deckel abgeschlossen ist. Oberhalb eines radial verlaufenden Schlitzes des Deckels kann durch einen zweiten Elektromotor ein gegen den Deckel abgedichtetes Gleitstück in Richtung dieses Schlitzes hin und hergeschoben werden. Auf dieses Gleitstück ist ein Elektronenzuführrohr unverrückbar und dicht aufgesetzt Bei einer Verschiebung des Gleitstückes wird sodann die Auslaßöffnung des Elektronenzuführrohres genau oberhalb und entlang des Schlitzes im drehbaren Deckel verschoben. Auf dem Gleitstück ist eine von dem zweitgenannten Elektromotor angetriebene Zahnstange relativ zu dem Schlitz im Deckel so angeordnet, daß keine unzulässig große Verschiebung des Gleitstücks über den Deckel hinaus möglich ist. (US-Patentschrift

34 24 891).

Schließlich ist eine Vorrichtung zum Verschweißen der Oberfläche eines Arbeitsstückes mittels eines Elektronenstrahls bekannt, das sich in einer unter Vakuum stehenden Kammer befindet. Die obere Abdeckwand der Vakuumkammer weist einen langgestreckten, über den geplanten Schweißstelle liegender Schlitz auf, der senkrecht zu zwei gegenüberliegenden Seiten wänden der Kammer verläuft. Dieser Schlitz ist durch eine streifenförmige Deckelplatte abgedeckt, die über den Schlitz in dessen Längsrichtung gleiten kann und die Elektronenschleuder trägt Wenn nun die Länge des Schlitzes größer ist als die halbe Entfernung zwischen den zwei genannten sich gegenüberliegenden Seitenwänden der Kammer und wenn sich die Elektronenschleuder in der Nähe eines der beiden Enden des langgestreckten Schlitzes befindet, ragt die gleitende Deckelplatte über die eine der beiden sich gegenüberliegenden Seitenwände der Kammer hinaus, was unzweckmäßig, oft sogar ausgesprochen lästig ist. Außerdem ist ein besonderer Antriebsmechanismus erforderlich, um das Werkstück relativ zum Elektronen strahl in zwei zueinaider senkrechten Richtungen bewegen zu können. (US-Patentschrift 31 36 883).

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die eben beschriebene Elektronenschweißvorrichtung nach der ί US-Patentschrift 31 36883 so umzugestalten, daß bei einem Verschieben des Werkstücks sowohl in der Richtung des langgestreckten Schlitzet., als auch senkrecht hierzu ein Vorstehen der Deckelplatte mit Sicherheit ausgeschlossen wird.

ίο Um dies zu erreichen, schlägt die Erfindung vor, daß bei der eingangs beschriebenen Bauart einer Kammer zum Bearbeiten eines in ihr befindlichen Werkstücks unter Luftabschluß, insbesondere Vakuumkammer dem DeckeLteil eine Führungsvorrichtung zum Drehen des

·■ · Deckelteils parallel zur Kammerwand um eine bewegbare Achse zugeordnet ist und die Führungsvorrichtung dem Deckelteil eine translatorische Querbewegung gegenüber dem Schlitz aufzwingt, wobei sich die öffnung in dem Deckelteil entlang dem Schlitz

>.·< verschiebt, und daß die auf das Deckelteil einwirkende Führungsvorrichtung dessen translatorische Bewegung in Richtungen senkrecht zu den gegenüberliegenden Kanten der Kammerwand derart begrenzt, daß beim Bewegen der öffnung entlang dem Schlitz von dem

: ■ einen zu dem anderen Schlitzende ein Hinausragen des Deckelteils über die jeweilige Kante hinaus verhindert ist

Der wesentliche technische Vorteil dieser Kammer besteht darin, daß bei einer Bewegungsmöglichkeit des

im Werkzeugs, z. B. einer Elektronenschleuder in zwei zueinander senkrechten Richtungen ein besonderer zweiter Antriebsmechanismus entbehrlich ist und ein Überstehen der gleitenden Deckelplatte über eine der Seitenwände der Kammer nicht eintreten kann.

ii Weitere Ausführungsformen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen. Außerdem ist in der Zeichnung eine Ausführungsform der Erfindung beispielsweise dargestellt Es zeigt

Fig. 1 eine Vakuumkammer in schematischer schau-

!» bildlicher Darstellung,

F i g. 2 Einzelheiten der Vakuumkammer nach F i g. 1 in Ansicht von oben und

F i g. 3 einen Schnitt nach der Linie III-III in F i g. 2. Die Vakuumkammer für die Aufnahme eines (nicht

4Ί dargestellten) Werkstückes, das durch einen Elektronenstrahl geschweißt werden soll, wird durch ein aus sechs Metallwänden gebildetes Gehäuse 1 begrenzt. Eine der sechs Wände, nämlich die vordere Kammerwand 2, weist eine Ladetür 3 auf, die geöffnet werden

■>n kann, um den Zugang zu der Kammer frei zu geben, ehe in ihr ein Vakuum hergestellt wird. Leitungen (nicht dargestellt) verbinden eine Vakuumpumpe (nicht dargestellt) mit einer öffnung (nicht dargestellt) in einer der Wände des Gehäuses 1, um die Kammer in an sich

Vi bekannter Weise zu evakuieren. Die obere Kammerwand 4 des Gehäuses 1 ist mit langgestreckten öffnungen in der Form von zwei Schlitzen 5 und 6 ausgestattet, die im Abstand voneinander verlaufen und von der oberen Fläche der Kammerwand 4 in die

ι" Vakuumkammer führen. Die langgestreckten Schlitze 5 und 6 verlaufen parallel zur vorderen Kammerwand 2 und erstrecken sich über die obere Kammerwand 4 rechtwinklig zu deren einander gegenüberliegenden Kanten 30 und 31. Die Richtung der Schlitze wird als die

->'> y-Richtung bezeichnet. Über den Schlitzen 5 und 6 ist mittels eines kreisförmigen metallenen Deckelteiles 7, das parallel zur Oberfläche der oberen Kammerwand 4 auf letzterer liegt, eine gleitende Vakuumabdichtune

hergestellt. Das Deckelteil 7 kann um die in seiner Mitte vorgesehene Drehachse 8 rotieren, die in Richtungen parallel zur Kammerwand 4 verschiebbar ist. Weitere Einzelheiten über das Deckelteil 7, seiner Lagerung und Wirkunp weise werden nunmehr unter Bezugnahme auf die F i g. 2 und 3 beschrieben.

Die Drehachse 8 trägt unterhalb des Deckelteils 7 eine Nockenrolle 9, die ausschließlich auf der innen gelegenen Nockenfläche 10 eines auf der oberen Fläche der Wand 4 befestigten Nockens It abrollen kann. Dadurch wird es ermöglicht, daß das Deckelteil 7 nicht nur Rotationsbewegungen um die Drehachse 8 ausführen kann, sonderen daß sie auch eine translatorische Freiheit hat, weil die Drehachse 8 quer zu den Schützen 5 und 6 bewegt werden kann. Auf diese Weise kann die Rotationsachse des Deckelteils 7 in der X-Richtung (Fig. 1 und 2) zwischen den beiden Schlitzen innerhalb der durch die Nockenfläche 10 bestimmten Grenzen bewegt werden.

In einiger Entfernung von der Drehachse 8 weist das Deckelteil 7 eine kreisförmige öffnung 12 auf. Rund um diese Öffnung herum trägt das Deckelteil 7 eine kreisförmige Trag- und Abdichtungsanordnung 13 (F i g. 3) für die gasdichte Befestigung des Auslaßendes einer Elektronenröhre 14 an dem Deckelteil 7, die dem genannten Auslaßende einige Rotationsfreiheit (um die Achse des Elektronenrohres) relativ zum Deckelteil 7 beläßt. Vollständig rings um die Schlitze 5 und 6 herum und dicht bei diesen Schlitzen verlaufen Randeinfassungen 15, deren oben liegende Flächen Nuten aufweisen, in denen gasdichte nachgiebige Abdichtelemente 16 liegen. Diese Abdichtelemente 16 bilden eine Gleitdichtung zwischen den Randeinfassungen 15 und der unteren Fläche des Deckelteils 7 und bewirken gemeinsam mit dem Deckeltei! eine Vakuumabdichtung für jeden der beiden Schlitze 5 und 6. Um die Abnützung der Abdichtelemente, ohne sie zu schmieren, zu verrringern, kann die untere Fläche des Deckelteils 7 durch Auftragen eines Überzugs aus Polytetrafluoräthylen und Anpressen einer Glasplatte vor der Härtung hochglanzpoliert werden. Des weiteren wird der Hauptteil des Gewichts des Deckelteils 7 von Hilfstragemittels 17 aufgenommen, die aus Laufrollen mit je einer unter Federdruck stehenden Nylonkugel bestehen und die rings um die Schlitze 5 und 6 angeordnet sind.

Das Elektronenrohr 14 wird in bekannter Weise von einem oberhalb der oberen Kammerwand 4 vorgesehenen Traggerüst (nicht dargestellt) beweglich getragen. Wie beretis erwähnt, steht der Auslaß des Elektronenrohres mit der öffnung 12 des Deckelteils 7 in drehbarer, aber vakuumdichten Berührung. Die Zeichnung zeigt die öffnung 12 in Ausrichtung mit dem Mittelpunkt des rückwärtigen Schlitzes 6, wenn sich die Nockenrolle 9 in ihrer dargestellten vordersten Lage befindet

Um rings um den aus dem Elektronenrohr 14 zu der unterhalb der oberen Kammerwand 4 befindlichen Vakuumkammer gerichteten Elektronenstrahl einen gleichmäßigen magnetischen Schirm vorzusehen, kann am Auslaßende des Elektronensrohres ein Stahlrohr 18 (Fig.3) angeordnet sein, das sich durch die öffnung 12 und den Schlitz 6 hindurch in die unterhalb der Wand 4 gelegene Vakuumkammer erstreckt.

Durch die Bewegung des Elektronenrohres 14 auf seinem Traggerüst kann die dabei mit dem Schlitz 6 ausgerichtet bleibende öffnung 12 den Schlitz entlang bis zu seinem rechten Ende bewegt werden. Das

Elcktronenrohr nimmt sodann die in der Fig.2 mit 14 bezeichnete Lage ein. Um diese Bewegung des Elektronenrohres 14 zu ermöglichen, kann sich die Nockenrolle 9 in die in der Fig.2 mit 9' bezeichnete Lage bewegen. Das über der öffnung 12 befestigte Elektronenrohr kann dann den Schlitz 6 entlang bis zu seinem linken Ende bewegt werden, wodurch das Deckelteil 7 um die Achse der Drehachse 8 und der Nockenrolle 9 verschwenkt wird. Während dieser Bewegung kann sich die Nockenrolle 9 in die in Fi g. 2 mit 9" bezeichnete Lage bewegen.

Wenn danach der Rlektronenstrahl durch den Schlitz 5 in die Vakuumkammer eintreten soll, wird das Elektronenrohr 14 auf seinem Traggerüst derart bewegt, daß es das Deckelteil 7 so verschiebt und verschwenkt, wie es notwendig ist, um die öffnung 12 mit dem Schlitz 5 zur Deckung zu bringen. Wenn das Stahlrohr 18 im Schlitz 6 in Gebrauch war, muß es zwecks Ermöglichung einer solchen Bewegung des Deckelteils 7 erst entfernt werden und kann dann wieder in den Schlitz 5 hineingesteckt werden. Wenn die öffnung 12 mit dem Mittelpunkt des vorderen Schlitzes 5 ausgerichtet ist, nimmt die Nockentrolle 9 die in der F i g. 2 mit 9'" bezeichnete Lage ein.

Es ist dabei von Wichtigkeit, das das Deckelteil 7 die Schlitze 5 und 6 im wesentlichen gasdicht abdichtet, während die öffnung 12 und der durch diese hindurchgehende Elektronenstrahl vom einen Ende zum anderen Ende des jeweils im Gebrauch befindlichen Schlitzes 5 oder 6 bewegt wird. Wenn das Stahlrohr 18 nicht verwendet wird, kann die öffnung 12 ohne Zerstörung der durch die an dem Deckelteil 7 über den Schlitzen 5 und 6 vorgesehenen Abdichtmittel gebildeten Vakuumabdichtung von dem einen zum anderen der Schlitze 5 und 6 bewegt werden. Die Nockenrolle 9 und der Nocken 11 bilden eine Führung, die die translatorische Bewegung des Deckelteils 7 in den Richtungen senkrecht zu den einander gegenüberliegenden Kanten 30 und 31 begrenzt. Auf diese Weise verhindert die Zurückhaltung der Nockenrolle 9 innerhalb der Nockenfläche 10, daß die Deckelplatte 7 über die Kanten 30 und 31 der Wand 4 vorsteht. Die extremen Rückwärts- und Seitenlagen der Deckelplatte 7 sind in Fig.2 mit den gebrochenen Linien T", T und 7" dargestellt.

Durch die Bewegung des Elektronenstrahls entlang den Schlitzen 5 und 6 kann die erforderliche Bewegung zwischen dem Schweißstrahl und dem Werkstück in der V-Richtung erreicht werden.

Nochmals auf die F i g. 1 zurückkommend, kann die Bewegung in der X-Richtung durch die Bewegung eines Arbeitstisches (nicht dargestellt) erreicht werden, der in an sich bekannter Weise das Werkstück innerhalb der Vakuumkammer trägt Die erforderliche Bewegung des Arbeitstisches in der X-Richtung kann in bekannter Weise durch eine Antriebsvorrichtung ausgeführt werden, die eine Schub- oder Antriebsstange 19 enthält, die in die Vakuumkammer durch eine runde Abdichtung 20 in der vorderen Kammerwand 2 unterhalb der Ladetür 3 eintritt Bekannte Betätigungsvorrichtungen (nicht dargestellt) für die Antriebsstange 19 können außerhalb der Vakuumkammer, z. B. unterhalb einer Ladeplattform (nicht dargestellt) in der Nähe der Wand 2 unterhalb der Ladetür 3 vorgesehen sein.

Bezüglich des Maßstabes der F i g. 2 sei bemerkt daß der Durchmesser des ausgeführten Deckelteils 7 der dargestellten Vorrichtung ungefähr 122 mm beträgt Die F i g. 2 ist in einem größeren Maßstab gezeichnet

aii die F i g. 1, und der Maßstab der F i g. 3 ist größer als der der F ig. 2.

Einige mögliche vorteilhaft Abwandlungen der dargestellten Vorrichtung sind die folgenden:

Der Nocken Il und die Nockemolle 9 (oder ein äquivalenter einem Nocken folgender Siifi) können, was ihre Lagerung auf der oberen Wand 4 und dem Deckeitc il 7 anlangt, miteinander vertauscht werden. Die flexiblen Abdicluelemente 16 müssen nicht notwendigerweise in unmittelbarer Nähe der Kanten der Schlitze verlaufen, z. B. könnte ein flexibles Abdichtelement verwendet werden, das rund um beide Schlitze herumläuft, möglicherweise mit einem zweiten Abdichtelement, das zwischen den beiden Schlitzen liegt und sich rund um den Nocken 11 der Fig.2 erstreckt Jegliche Flächenvergrößerung des Bereiches des Dekkelteiles 7, der zusammen mit den flexiblen Abdichtelementen oberhalb der Schlitze eine Vakuumabdichtung bewirkt, führt zu vergrößerten Belastungen und daher zu höheren Reibungskräften, die überwunden werden müssen. Das oder jedes flexible Abdichtelement könnte auf der Unterseite des Deckelteils 7 statt auf der oberen Fläche der Wand 4 befestigt werden. Ein eventueller Überzug würde sodann auf der oberen Fläche der Wand 4 vorgesehen werden. Es könnte sich aber als sehr schwierig erweisen, einen befriedigenden Überzug oben auf einer großen Kammer anzubringen. In einigen Fällen kann es wünschenswert sein, an der Stelle jedes der einfachen flexiblen Abdichtelement 16 eine doppelreihige Abdichtungsanordnung zu verwenden. Wird zwischen den beiden Abdichtungselementen ein Zwischenraum hergestellt, entsteht eine zweistufige Abdichtung.

Die Verwendung irgendwelcher flexibler Abdichtelemente kann vermieden werden, wenn die untere Fläche des Deckelteils 7 und die obere Fläche der Wand 4 durch Aufbringen eines Überzugs von Polytetrafluorethylen auf eine oder beide dieser Flächen hochglanzpoliert werden und das Deckelteil 7 unmittelbar auf der Wand 4 aufliegt. In diesem Fall könnten die Führungsmittel 9 und 11 in die Wand 4 zurückgezogen oder in dem Deckelteil 7 angebracht werden. Die praktischen Gesichtspunkte bei der Herstellung eines solchen optischen Hochglanzes auf zwei so großen Flächen könnten jedoch diese Möglichkeit unwirtschaftlich

ίο machen.

Bei einigen Ausführungsformen kann die elektronenschleuder auf dem Deckelteil 7 nichtdrehbar befestigt sein. Die Schlitze 5 und 6 müssen sich nicht immer genau senkrecht zu den beiden Seitenkanten 30 und 31 der

!, Wand 4 erstrecken. Die Schlitze könnten sogar •senkrecht aufeinander stehen und zusammenlaufen, obwohl dies einige zusätzliche konstruktive Probleme schaffen würde.

Die die Schlitze enthaltende und mit den Mitteln für die Gleitabdichtung und die Festhaltung des Elektronenrohres ausgestattete Wand könnte in einer Abwandlung auch der Boden oder eine der Seitenwände der Vakuumkammer sein.
Als Abwandlung zu dem Traggerüst und dem Antrieb für das Elektronenrohr könnte das Deckelteil 7 unmittelbar angetrieben werden, um die erforderliche

Bewegung des Elektronenrohres über den Schlitzen 5 und 6 zu erzielen.

Eine Kammer nach der vorliegenden Erfindung kann abgewandelt auch so ausgeführt werden, daß das in der Kammer befindliche Werkstück von einem in diese eingeleiteten inerten Gas, z. B. Argon, umgeben ist. In diesem Fall der Argon-Lichtbogenschweißung würde das Werkzeug aus einer beweglichen Schweißelektrode

bestehen. Bei einer anderen Abwandlung der Erfindung besteht das Werkzeug aus einem Laserstrahl.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims (11)

Patentansprüche:

1. Kammer zum Bearbeiten eines darin befindlichen Werkstacks unter Luftabschluß, insbesondere Vakuumkammer, mit mindestens einer flachen Kammerwand und einem zwischen ihren gegenüberliegenden Kanten liegenden langgestreckten Schlitz, der sich in Richtung von der einen zur anderen Kante erstreckt, einem den Schlitz abdeckenden Deckelteil, das nahe und parallel zu der Kammerwand angeordnet ist und eine mit dem Schlitz sich deckende Öffnung hat, wobei das Deckelteil gegenüber der Kammerwand zum Bewegen der Öffnung entlang dem Schlitz bewegbar ist, mit einer die Öffnung umgebenden Dichtungsvorrichtung, die zusammen mit einem Werkzeug eine gasdichte Dichtung über der Öffnung bildet, so daß ein in der Kammer ortsfest liegendes Werkstück mit Hilfe des Werkzeugs an einem Punkt behandelbar ist, der durch das Werkzeug entlang dem Schlitz über das Werkstück bewegbar ist, und mit Abdichtungen, die zwischen dem Deckelteil und der Kammerwand angeordnet sind und sich rings um den Schlitz erstrecken, zum Aufrechterhalten einer gasdichten Abdichtung über dem Schlitz bei Bewegen der Öffnung entlang dem Schlitz, dadurch gekennzeichnet, daß dem Deckelteii (7) eine Führungsvorrichtung (8, 9, 10, II) zum Drehen des Deckelteils parallel zur Kammerwand (4) um eine bewegbare Achse (8) zugeordnet ist und die Führungsvorrichtung dem Deckelteil (7) eine translatorische Querbewegung gegenüber dem Schlitz (6) aufzwingt, wobei sich die Öffnung (12) in dem Deckelteil (7) entlang dem Schlitz verschiebt, und daß die auf das Deckelteii einwirkende Führungsvorrichtung dessen translatorische Bewegung in Richtungen senkrecht zu den gegenüberliegenden Kanten (30, 31) der Kammerwand (4) derart begrenzt, daß beim Bewegen der öffhung (12) entlang dem Schlitz (6) von dem einen zu dem anderen Schlitzende ein Hinausragen des Deckelteils (7) über die jeweilige Kante hinaus verhindert ist.

2. Kammer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungsvorrichtung aus einem ersten und einem zweiten, mit dem ersten zusammenarbeitenden Glied besteht und das erste Glied eine Nockenrolle (9) ist und das zweite Glied (11) eine innenliegende, die Nockenrolle einschließende Nockenfläche (10) hat, durch die die parallel zur Kammerwand (4) erfolgende Bewegung der Nokkenrolle (9) begrenzt wird, wobei eines der beiden Glieder an dem Deckelteil (7) und das andere an der Kammerwand (4) befestigt ist.

3. Kammer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Nockenrolle (9) auf der frei von dem Deckelteil (7) nach unten vorstehenden, bewegbaren Achse (8) gelagert und mit Spiel an der sie umgebenden inneren, eine geschlossene Bahn ergebenden Fläche (10) des an der Kammerwand (4) befestigten Nockens (11) geführt ist.

4. Kammer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Deckelteil (7) auf der der Kammerwand (4) zugekehrten Seite einen glatten Oberzug von Polytetrafluorethylen hat, der mit der gasdichten Abdichtung (16) an dem Deckelteil (7) oberhalb des Schlitzes (6) zusammenarbeitet.

5. Kammer nach Anspruch i, dadurch gekenn-

zeichnet, daß durch eine zweite Kammerwand (2) gasdicht eine Schubstange (19) zum Bewegen des in der Kammer befindlichen Werkstücks senkrecht zum Schlitz (6) geführt ist.

6. Kammer nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Kammerwand (4) und dem Deckelteil (7) Hilfstiagemittel (17) zum Herabsetzen des Drucks auf die Abdichtung (16) zwischen der Kammerwand (4) und dem Deckelteii (7) vorgesehen sind.

7. Kammer nach Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Hilfstragemittel (17) federbelastete Fußrollen sind.

8. Kammer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Kammerwand (4) zwischen den beiden Kanten (30, 31) einen zweiten langgestreckten Schlitz (5) hat und die Kammer eine zweite Abdichtung (16) aufweist, die sich um den Schlitz (5) herum zwischen dem Deckelteil (7) und der Kammerwand (4) erstreckt und den zweiten Schlitz (5) gegen das Deckelteil gasdicht abdichtet, und daß die Führungsvorrichtung (8, 9, 10, 11) die Öffnung (12) in dem Deckelteil (7) zur Deckung mit dem zweiten Schlitz (S) bringt und die Öffnung von dem einen zu dem anderen Schlitzende verschiebbar ist, ohne daß ein Hinausragen des Deckelteils (7) über die gegenüberliegenden Kanten (30,31) eintritt.

9. Kammer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Dekkelteil (7) die Form einer kreisförmigen Scheibe hat.

10. Kammer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Schlitze (S, 6) in einem seitlichen Abstand voneinander verlaufen und ihre Längsachsen senkrecht auf einer der beiden Kanten (30, 31) stehen und die Drehachse (8) des Deckeltteils (7) mittig auf ihm und in einem Bereich zwischen den beiden Schlitzen bewegbar angeordnet ist.

11. Vakuumkammer nach einem der Ansprüche 1 bis 9 zur Ausübung des Elektronen-Schweißverfahrens, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung (12) im Deckelteil (7) für den Durchtritt des vom Elektronenrohr (14) ausgesandten Elektronenstrahls vorgesehen ist.