DE2521506A1 - Dichte, bewegliche durchfuehrung - Google Patents

Dichte, bewegliche durchfuehrung

Info

Publication number
DE2521506A1
DE2521506A1 DE19752521506 DE2521506A DE2521506A1 DE 2521506 A1 DE2521506 A1 DE 2521506A1 DE 19752521506 DE19752521506 DE 19752521506 DE 2521506 A DE2521506 A DE 2521506A DE 2521506 A1 DE2521506 A1 DE 2521506A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
chamber
connection
seal
movable
wall
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19752521506
Other languages
English (en)
Inventor
Paul Thome
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from FR7509203A external-priority patent/FR2305661A2/fr
Application filed by Individual filed Critical Individual
Publication of DE2521506A1 publication Critical patent/DE2521506A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K15/00Electron-beam welding or cutting
    • B23K15/06Electron-beam welding or cutting within a vacuum chamber
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00Sealings
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/18Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)

Description

  • Dichte, bewegliche Durchführung Die Erfindung betrifft dichte, bewegliche Durchführungen durch eine zwei Medien voneinander trennende Wand, die an dieser Wand längs eines zuvor festgelegten Wegs ohne Unterbrechung der Abdichtung bewegt werden können.
  • Gegenwärtig sind höchstens dichte, stationäre Durchführungen bekannt, die die Drehung oder axiale Verschiebung von Achsen und manchmal die Bestreichung eines Raumsektors gestatten, wenn diese Durchführungen mit einem Kugelgelenk versehen sind, das dicht mit der Wand verbunden ist.
  • Auf diese Weise werden jedoch nur in begrenztem Maße die verschiedenen 3ewegungen und Arbeitsgänge ermöglicht, die im Inneren eines abgegrenzten Raums durchgeführt werden sollen.
  • Dies ist beispielsweise bei den verschiedenen Arbeiten der Fall, die bei sogenannten lbndschuhfächern mit Shutzgas-Atmosphäreauftreten, wenn man giftige, korrodierende, radioaktive, durch die umgebende Atmosphäre zerstörbare Stoffe oder Abgänge od.dgl. manipuliert.
  • Dasselbe ist bei Arbeiten der Fall, die unter Vakuum im Inneren von Räumen oder Behältern durchgeführt werden sollen und von außen gesteuert werden sollen, sowie allgemeiner bei allen Arbeiten, die in einem Medium von einer bestimmten chemischen Zusammensetzung und mit bestimmten physikalischen Eigenschaften von einem anderen Medium aus durch die Trennwand hindurch durchgeführt werden.
  • Erst vor ziemlich kurzer Zeit wurden Vorrichtungen vorgeschlagen, bei denen ein beweglicher Behälter dicht auf der Wand gleitet, in dem er sich an den Rändern einer Öffnung, die den Weg der dichten Durchführung bildet, sowie auf einem diese oeffnung bedeckenden Band abstützt. Diese Vorrichtungen sind kostspielig und in ihren Anwendungsmöglichkeiten begrenzt. Sie erfordern nämlich genaue geometrische Toleranzen, um die Ränder der Öffnung und das Band bündig zu machen, sowie sorgfältige Oberflächenbeschaffenheiten, damit bei der Bewegung des Behälters Lecke vermieden werden. Aufgrund dieser Anforderungen sind diese Vorrichtungen bei Wegen großer Länge schwierig zu benutzen und ihre Benutzung für Flächen oder Wege beliebiger Form ist unmöglich.
  • Durch die erfindungsgemäße Vorrichtung werden diese Nachteile vermieden. Erfindungsgemäß ist es nämlich möglich, ohne Unterbrechung der Abdichtung eine von einem Behälter getragene Durchführung zu bewegen, ohne daß man sich um geometrische Toleranzen der Ränder der Öffnung in der Wand, ihre Oberflächenbeschaffenheit, die Form dieser Wand und die Form und die Länge des Weges zu kammern braucht. Der Behälter kommt zu keinem Zeitpunkt auf der Wand zur Anlage.
  • Um bei zwei durch eine dichte Wand voneinander getrennten Medien von einem Medium aus in dem anderen längs einer gegebenen, in dieser Wand ausgeschnittenen Kurve zu arbeiten, wird erfindungsgemäß eine dichte, bewegliche Durchführung (im folgenden kurz Durchführung genannt) angebracht, die dicht mit der Wand verbunden ist und folgende Hauptorgane besitzt: a) einen besonderen, biegsamen Anschluß, der die betreffende Bewegungskurve bedeckt, b) eine spezielle bewegliche Kammer (Behälter), die dicht auf diesem Anschluß gleitet und die Öffnung und Schließung des Anschlusses im Inneren der Kammer gewährleistet, c) zusätzliche Organe wie Werkzeuge und äußere stationäre HilSsdurchgänge an der Kammer und dergleichen.
  • Infolgedessen besteht die Trennung zwischen einem Medium von dem anderen aus der Wand, dem biegsamen Anschluß und der Kammer.
  • Die Durchführung arbeitet folgendermaßen und besitzt folgende Merkmale: Der Anschluß besteht aus zwei biegsamen Bändern (aus Kunststoff od.dgl.) mit einem L-förmigen Querschnitt. Diese Bänder sind auf die betreffende Wand, die die Trennung zwischen den beiden Medien bildet, aufgelegt und/oder auf dieser vergossen. Sie liegen auf dieser Wand direkt oder über einen Träger auf. Sie sind einander gegenüber angeordnet und kommen übereinander dicht mit ihrer Seite (oder Lippe) in Berührung, die zu dieser Wand etwa senkrecht ist.
  • Man verfügt somit über einen biegsamen Anschluß, der die Kurve, längs welcher eine dichte Durchführung bewegt werden soll, die einen Eingriff von einem Medium aus in dem anderen Medium gestattet, bedeckt und beschreibt. Die dicht aufeinander aufliegenden Lippen dieses Anschlusses werden geöffnet, um über den Anschluß Zugang zu -erhalten.
  • Um diese Öffnung des inschlusses vorzunehmen, ohne da3 die Kontinuitt der PrennunC zwischen den beiden Medien unter brochen wird, wird. eine Spezialkamer benutzt. Diese bel^egliche Kammer ist quer über die nach oben gerichteten Lippen des Qnschlusses gesetzt, den sie umschlie3t und auf dem sie sich dicht bewegt. Im Inneren dieser Ganzer wird der Anschluß durch Trennung der aneinander anliegenden Lippen geöffnet und anschließend vor Verlassen der Kammer wieder eschlossen.
  • Im Prinzip können diese Kammer, die die Öffnung und die automatische Schließung des Anschlusses gewährleistet, und dieser Anschluß mit einem dopo.elten Reißverschluß verglichen werden.
  • Die Anordnungen, die die Abdichtung gewahrleisten, werden im Tachstehenden noch beschrieben.
  • An der beweglichen Kammer ist eine Durchführung für ein in der Kammer enthaltenes Werkzeug vorgesehen, die sich gegenüber der Öffnung des Anschlusses befindet.
  • Diese Anordnungen sind in Figur 1 dargestellt.
  • Die Trennung zwischen den Medien (1) und (2) besteht aus einer Wand , aus dem beweglichen Anschluß 4, aus der beweglichen Kammer 5 und aus den Zubehörteilen 6 und 7 dieser Kammer.
  • Die Kurve (oder der Weg), längs welcher bzw. längs welchem von einem Medium aus in dem anderen gearbeitet werden soll, ist hierbei durch die Fuge 8 dargestellt. Der Anschluß besteht aus zwei Bändern, die mit ihren Seiten 9 und 10 auf der Wand 3 aufliegen, wobei ihre nach oben gerichteten Flächen (LipDen) 11 und 12 aneinander anliegen.
  • Der Schlitten umgreift diese nach oben gerichteten Lippen. Die Öffnung und die Schließung des Anschlusses durch Trennung und anschließende Wiedervereinigung der beiden Lippen wird im Inneren der Kammer vorgenommQn^.
  • Die Lippen der Bänder besitzen ineinandergreifende Teile, die für die Verschließung ineinandergeoreßt werden. Die Elastizit@t dioser ineinander@@el@@@@@ feile gen@gt, um diese Fippen aneinanderzuhalten (Schnapowirkung). Zur Abdichtung dieser Verbindung genügt eine Fettung. Ein @berdruck des äußeren Mediums (Figur 1) trägt dazu bei, diese Lippen aneinander anzudrücken, und vervollständigt die Abdichtung. Diese ineinandergreifenden Teile gewährleisten ferner eine korrekte und reproduzierbare Positionierung einer Lippe auf der anderen.
  • Verdickungen, die ebenso wie die ineinandergreifenden Teile mit dem Band geformt sind, dienen als Führungen der Lippen des @nsonlus ses, wenn sie in die in der Kammer vorgesehene Öffnung eintreten. Sie dienen ferner als präzise Führun: für jede Li@@e auf den entsprechenden Auflageflächen der Kammer, so daß das Gleiten dieser Lippen auf den Auflageflächen ohne Beeinträchtigung der Dichtung vor sich gehen kann, während man den Anschluß öffnet und schließt.
  • Figur 2 zeigt in einem Querschnitt die beiden einander gegenüberstehenden Bänder mit ihren LIppen 11 und 12. Die ineinandergreifenden Teile bestehen aus Riopen 1@ der Zunge 12, die in @uten 14 der Lippe 11 eingreifen. Die Führungsorofile 15 besitzen eine abgeschnittene Abschrägung 16, die zum Erleichterm der Dichtungsfettung dient, wenn die lisen ineinandergreifen.
  • Die Auflageflächen besitzen buten 47, die mit Fett bestrichen sind und die Abdichtung auf der Trägerwand erleichtern.
  • Figur 3 zeigt im Querschnitt zwei Bänder, die einen Anschluß bilden und auf denen eine zusätzliche Sicherun für die Dichtung vorgesehen ist (Schutzring). Der äußere bberdruck drückt die Biegsamen Teile 21 der Lippen, die sich zwischen den Profilen 15 und 22 erstrecken, die die ineinandergreifenden R @en und unten tragen, gegeneinander.
  • Um eine Vorverkalemmung der Lippen zu erreichen, die in den vorhergehenden Beispielen durch einander gegenüberstehende Rippen und @uten erreicht wird, können zweckmäßigerwese auch andere Einrichtungen benutzt werden. @eispielsweise können die beiden Bänder unter Verwendung von magnetischen @ändern aneinandergedückt werden. Ferner kann anch ein Federring 60 (Figur 6) benutzt werden, der die aneinander anliegenden Ränder der Lippen zusammen@reßt. Zur örtlichen Öffnung des Anschlusses wird der Federring entfernt und anschließend wieder aufgesetzt. Diese Arbeitsgänge werden im Inneren der Kammer vorgenommen.
  • Um eine vollständige Abdichtung während der Bewegungen aufrechtzuerhalten, sind der Anschluß und die bewegliche Kammer, die die Üffnung und die Schließund des Anschlusses gewährleistet, auf besondere Weise ausgebildet.
  • Wie bereits gesagt wurde, ist der Anschluß durch lipnen xekennzeichnet, die zu der Auflage des Anschlusses auf der betreffenden Fläche senkrecht sind und die längs des Anschlusses dicht zusammengepreßt sind.
  • Die bewegliche Kammer umgreift diese nach oben stehenden Ränder. Sie erfüllt die rufgabe eines donnelten Reißverschußläufers, der diesen Verschluß (oder Anschluß) während seiner Bewegung öffnet und sogleich wieder schließt, der jedoch auch die Abdichtung gewähreisten muß. Diese bewegliche Kammer bzw.
  • dieser Läufer kommt in keinem Moment auf der und zum Anliegen.
  • Er wird von geeigneten Einrichtungen getragen, die auch seine Bewegung gewährleisten.
  • Die bewegliche Kammer besitzt folgende V1erkriale: - sie umgreift die nach oben gerichteten Ränder der Lin-oen, und - besitzt eine oder mehrere Dichtungen, die auf den Linsen des Bandes reiben. Im Inneren d von der Kammer und den Dichtungen abgegrenzten Volumens sind Vorrichtungen zur Führung des Bandes vorgesehen, die die Öffnang und die Schließung des Anschlusses gewährleisten. Die Bänder werden im Inneren der Kammor von Teilen getragen, die die Reibungskräfte auf ein Minimum reduzieren (Rollen oder Gleitflächen). Eine obere Platine nimmt die Werkzeuge auf, die von einem Medium aus silber die Öffnung des Anschlusses in dein anderen Medium einresetzt werden sollen. Wenn zwischen den beiden betreffenden @edien eine Durckdifferenz besteht, werden die Dichtungen so angeordnet, daß die auf die Iriopen der Binder einwirkenden Kräfte auf ein Minimum reduziert werdeì.-Durch diese Anordnung werden ebenso die bei den Bewegungen der beweglichen Kammer auftretenden Reihungskräfte verrigert. Ferner sind Zusatzorgane, die die Seschaffenheit des Mediums im Inneren der Kammer kontrollieren (Vakuum, Schutzgas-Atmosphäre und dergleichen), und andere Einrichtungen vorgesehen, die zur Fährung des Werkzeugs während der Bewegungen dienen.
  • Die bewegliche Kammer besitzt eine Dichtung, die auf den Anschluß (oder besser auf den Lippen des Anschlusses) während ihren Bewegungen reibt und gleitet. Diese besondere Dichtung ist in sich geschlossen und beschreibt eine Kurve, die an den Außenflächen der @ippen anliegt und von einer Lippe zur anderen l;)ft, indem sie die ineinandergreifenden Fährungen 15 einschließt.
  • Figar 4 zeigt den Anschluß und die Kurve 41 des Kontakts dieser Dichtung der Kammer mit dem Anschluß. Im Inneren der Kammer sind die Lippen voneinander getrennt und geben einen Raum 42 frei und dann greifen die Führungen 15 wieder ineinander, um den Anschluß mittels der Rippen 13 und der Nuten 14 wieder zu schließen. Das äußere Medium 1 gespült den Anschluß bis zur uflaefleche dieser Dichtung, deren Kurve den dargestellten verlauf nimmt. Im Inneren dieser Kurve wird der Anschluß von dem Medium 2 besoült. Es müssen alle geeigneten Maßnahmen ergriffen werden, damit die biegsamen Lipen zu Jedem Zeitpunkt auf der gesamten Länge der Dichtung reiben, während der Anschluß verformt wird, indem er geöffnet und anschließend wieder geschlossen wird.
  • Zur Verbesserung der Dichtung kann auch ein "Schutzring vorgesehen werden, der durch zwei Dichtungen abgegrenzt wird.
  • Figur 5 ei das Profil dieser doDoelten Dichtung 41 und 45, die sich für einen Anschluß eignet, der seinerseits mit einer einen "Schutzring" bildenden, doppelton Fühung vesehen ist (vgl Fig.)). Wenn beispielsweise in dem Medium 2 ein Vakuum hergestellt werden soll, so bestünden hierbei zwei PLpstufen, und zwar die erste in dem Schutzring zwischen den Auflageflächen der Dich-tungen 41 und 43 und die zweite innerhalb der Dichtung 41.
  • Figur 7 zeig-t eine Draufsicht auf die bewegliche Kammer, die den Anschluß umgreift. Die Führungen 15 der Bänder treten bei 71 ein und treten bei 72 aus. Auf der Kammer sind Öffnungen vorgesehen, von denen die Öffnung 73 zum Pumpen dient, wenn beisoielsweise unter Vakuum gearbeitet wird, und die Öffnung 74 zur Aufnahme des Werkzeugs dient, das senkrecht über der Öffnung des Anschlusses angeordnet ist.
  • Figur 8 ist ein Schnitt nach der Linie VIII-VIII von Figur 7.
  • Hierbei wurden Lippen mit doppelter Abdichtung mit zwei Führungen 31 und 82 vorgesehen (vgl. auch Fig. 3 und 5). Die bewegliche Kammer 87 umgreift den Anschluß 83 und besitzt im dargestellten Fall einen Schutzring, der von den Dichtungen 34 und 25 abgegrenzt wird, dio auf den Außenflächen der Bänder reiben.
  • Die Eingangsdichtung ist bei 38 dargestellt. Mit dem Stutzen 88 ist schematisch die Abpumpung des Schutzringes dargestellt, wenn das Innere 9 der Kammer unter Vakuum gehalten wird.
  • Figur 9 zeigt einen Schnitt nach der Linie IX-IX von Figur 7.
  • Die bewegliche Kammer 98 umgreift den Anschluß, der sich hierbei in der geöffneten Stellung befindet. Die Dichtungen 84 und 85 dieser Kammer grenzen einen Schutzring ab, der über die Öffnung @@ abgepumpt wird. Die Kammer besitzt einen Teil @@, der die @änder auseinanderspreizt, die an Rolen 100 zum Anliegen kommen, die von dem Teil 99 getragen werden. Der Abstand zwischen diesen Rollen und den Dichtungen @4 und @5 ist so eingestellt, daß diese Dichtungen an den Lippen 23 des Anschlusses in Reibung bleiben.
  • Figur 9 zeigt ferner einen Anschluß mit zweifacher @bdichtung und zwei Fuhrungen 81 und 32. Außerdem ist eine elektronenkanone dargestellt, die das Werkzung bildet und die Vor@schweißu 101 mit Hilft eines Elektronenstrahls auführen soll.
  • Diese Elektronenkanone 91 besitzt eine Kathode 92, eine Elektrode glj, eine Anode 91% und eine Fokussie@ungsspule 95. Sie ist durch eine flexibel Dichtung 97 mit der Kammer 9@ verbunden. Kugeln 95 gestatten ihre Bewegung auf der Oberfläche der Kammer so, daß sie mit der Kante 101 in Flucht gehalten wird.
  • die Kamme@ wird von einer konsole 104 getragen, die mech nisch auf Schienen 105 einer Platte 106 bewegt wird. ;n der/Kammer bewegliche Können zahlreiche andere zusatzorgane angebracht werden. Wenn diese Vorrichtung beispielsweise zu Schweißarbeiten mit Hilfe eines Elekronenstrahls benutzt werden, kann ein biegsamer @antel 90 aus Metallitzen benutzt werden, der um die Kammer herum aufgehängt ist und auf den Auflageflächen 9 und 10 der nder reibt. Dieser Mantel läßt die bei der Schweißung auftretenden Röntgenstrahlen nicht durch (vgl. Figur b).
  • Die statischen Kräfte, die durch die Druckdifferenz zwischen dem Inneren und dein Äußeren der Kammer verursacht werden, sind auf die Kräfte beschränkt, die sich aus der Öffnungsfläche is Anschlusses erheben. Sie sind somit sehr gering. Die dynamischen Kräfte beschräken sich auf die Reibung der Dichtungen.
  • Der Anschluß kann ohne Schwierigkeit zu einem Ring geschlossen werden, wenn die bewegliche Durchführung bei ihrer Dewegung das Werkstück umkreisen soll. @ierzu sind lediglich die Enden des Anschlusses durch Vulkanisierung miteinander zu verbinden.
  • Die Fi. 10 und 11 zeigen eine leicht abgewandelte Ausführungsform des Anschlusses und der beweglichen Kammer.
  • Der Anschluß besitzt Führungen 111 und 112 auf den Außenseiten der Bänder. Diese Führungen dienen ferner als Dichtung, auf denen die Kammer 110 gleitet. Die Auflagefläche dieser Dichtung sind in Fig. 11 mit Schraffierungen 11@ dargestellt. Diese Füh rungen gleiten in Nuten, die in der Kammer vorgesehen sind.
  • Die Kammer 110 besitzt Eingangs- und Ausgangsdichtungen 116 und 117. Die Bänder werden auf diese Weise an der gleitonden Kammer eingehakt. In diesem Fall brauchen sie nicht von Rellen oder anderen Vorrichtungen getragen zu werden.
  • Um zu vermeiden, daß sich die Bänder in Längsrichtung bei der Öffnung des Anschlusses zusammenfalten, sind die 3führungsnuten in der Kammer bei \3 (Fig.11) so geneigt, daß die Flachen 114 und 113 (Fig. 10) ständig unter Soannung gehalten werden.
  • Gegebenenfalls kann es zweckmäßig sein, zwischen der Kammer und den Bändern die Reibungen zu verringern und die Abdichtung zu verbessern, indem flüssige Dichtungen, wie sie in letzter Zeit entwickelt wurden, benutzt werden. Klierbei werden in der Flüssigkeit magnetische Partikel in Fluidsuspension gehalten und durch Einwirkung eines Magnetfeldes trotz der auf sie ausgeübten Druckkräfte an ihrem Platz gehalten.
  • Beispielsweise wird ein Spiel von einigen Zehntel Millimetern zwischen den Bändern 83 und den Rändern 84 und 35 der Kammer, durch welches die Kammer sich ohne Reibung auf den von den zwei Bändern gebildeten Anschluß bewegen kann, mit einer flüssigen Suspension gespeist, die sehr feine magnetische Partikel enthält (vgl. Fig.9).
  • Diese magnetischen Partikel werden einem @agnetfeld ausgesetzt, das durch Polstücke erzeugt wird, die sie zu dem rand @5 oder 84 anziehen. Diese magnetischen lurafte halten die @artikel und durch Kapillarworkung die Flüssigkeit de@ Susponsion trotz der Durckdifferenzen zwischen dem Inneren und dem Äueren der Kammer, so daß die Flüssigkeit eine Dichtung bildet.
  • Gemäß einer anderen Ausführungsform hält der biegsame Anschluß den @ Druck stand, wobei gleichzeitig ein Hohlraum vorgesehen ist, der sich über dem betreffenden Weg erstreckt, und der Läufor, d.h. h. die bewegliche Kammer, liegt mit ihren Dichtungen nur auf den nicht verformten Teilen des Anschlusses an. Nit anderen Worten, die Öffnung und die Schlioßung der beiden, den Anschluß bildenden @@nder im Inneren der Kammer geht ohne eine Verformung in Höhe der Auflageflächen der Dichtungen vor sich.
  • Die Figuren. 12a, 12b und 12c zeigen einen Anschluß 121, der die 1"orm des griechischen Buchstabens "Omega" () hat, und aus zwei Bändern 122 und 12) besteht, die mit ihrer Auflagefläche 125 und 126 an einer Wand 124 befestigt sind. Die beiden lzinder liegen mit ihren oberen Endrändern 127 aneinander an. Aufgrund ihrer Form halten sie einem Außendruck stand, der die Festklemmung der Ränder 127 verstärkt und auf diese Weise die Abdichtung begünstigt. Das Innere dieses # -förmigen Anschlusses grenzt einen Hohraum 123 ab, der sich über den betreffenden Weg 129 erstreckt. Verjüngte Teile 130 werden gemäß 131 durch de Durchgang eines Spreizorgans 152 verformt, das von dem Läufer getragen wird und in dessen Innerem vorgesehen ist. Die Dichtungen 133 des Läufers liegen bei der Spreizung der verjüngten Teile 130 des Anschlusses an den nicht verformten Teilen 1j5 des Anschlusses an und gleiten auf diesen. Gemäß einer Abwandlung bildet die Längsdichtung 136 gegebenenfalls einen Teil der @ünder und der läufer 134 gleitet auf dieser Dichtung. Die frontalen Dichtungen werden von dem Läufer ähnlich wie bei den oben beschriebenen Anordnungen getragen.
  • Bei der Anbringung des Anschlusses werden Spannrige 137 (Fig.
  • 12c) benut-t, die dem Anschluß eine Gesamtsteilfigkeit verleihen.
  • Sie werden entfernt und anschließend wieder aufgesetzt, um die @ewegung des Läufers zu gestatten. Gegebenenfalls sind auf dem Anschluß Führungsnuten 133 vorgesehen, die die Positionierung der Kammer 128 erleichtern sollen (Fig. 12b), Die Fig. 13a, 13b und 1jc zeigen einen Anschluß, der mit seinen Auflageflächen 139 und 140 auf der Wand 124 aufliegt. Auf diesen Auflageflächen sind Nuten 141 vorgesehen, die in Pumpöffnungen 142 münden, über die der Hohlraum 123 evakuiert wird.
  • bei der Anbringung des Anschlusses wird die Spreizung zwischen den unsymmetrischen Bändern 149 und 144 mit Hilfe von Einlagegitteru 145 (Fig. 13c) @@@@@@@ gchalten, die von Schulten 146 und 147 gehalten werden. Der Läufer 134 reibt in Längsrichtung auf nicht verformten Auflageflächen der @änder 143 und 144. Im Inneren der beweglichen Kammer wird das Band 144 progressiv um das biegsame Gelenk 148 verformt, wodurch ein "kontinuierlicher" Deckel 150 in die Stellung 149 angehoben wird. Figur 15a zeigt ein Profilteil 151 das zur Bewegung dieses Deckels mit Hilfe einer einen Teil des Läufers bildenden, mechanischen Vorrichtung (nicht dargestellt) dient. Gegebenenfalls wird die Miegsamkeit des Deckels 150 in radialer Richtung erhöht, indem dieser mit Hilfe einer Reihe von Stahllamellen 151 gebildet wird, die mit einer Plastikfolie 152 bedeckt sind, die an dem Gelenk 146 angeschweißt ist (Figur 1ab).
  • Die Fig. 14a und 14b zeigen einen Anschluß, der mit seinen Auflageflächen 139 und 140 aufliegt. Die Bänder besitzen zwei Zylindersektoren 153 und 154, die an dem Band 139 bzw. an dem Band 140 angeschweißt sind. Diese beiden Sektoren sind bei 155 aneinander angedrückt und grenzen über der Wand 124 einen Hohlraum 128 ab.
  • Der Läufer 156 wird durch profilierte Enden zwischen diese beiden Zylinder eingefiihrt.
  • Dieser Läufer 156 wird allmählich breiter und bewirkt dadurch eine allmähliche Verdrehung der Zylindersektoren 153 und 154, die jeweils rollen, indem sie sich in die Bänder 139 und 140 einwickeln. Die Berührung des Läufers 156 findet bei 157 an Teilen statt, die bezüglich der ursprünglichen Auflage 155 nicht verformt sind.
  • Fig. 15 zeigt eine einfache Anwendung dieser dichten, beweglichen Durchführungen. Ein Rohr 158 aus Kunststoff, an dem die denfl-förmigen Anschluß bildenden Bänder 158 angeschweißt sind, bildet die Vakuumkammer für Rohre 159. Die Spannringe 137 halten diesen Anschluß, wenn das Vakuum unterbrochen wird. Sie werden bei der Bewegung der beweglichen Kammer 160 entfernt, die Werkzeuge, beispielsweise eine Elektronenkanone, trägt, die an dem Rohr eine Arbeit ausführen sollen. Die Rohre 159, die einen Durchmesser mit einem vorbestimmten Wert haben, dienen als Sipreizorgane für die Bänder und verhindern, daß diese sich unter der Einwirkung eines Außendruckes schließen.
  • Eine andere Ausführungsform der Erfindung betrifft Anordnungen, die die Verwendung einer Kammer gestatten, deren Dichtungen auf den horizontalen Wänden der beiden Bänder gleiten, und die, wenn sie vorgesehen werden können, eine einfachere Ausführung der Kammern gestatten und gleichzeitig ein Einfallen des biegsamen Anschlusses unter der Einwirkung des Druckes in das Volumen verhindern, das sich unter den nach oben gerichteten Lippen der beiden Bänder befindet. Diese Anordnungen sind in den Fig. 16, 17, 18 und 19 dargestellt. Sie beziehen sich insbesondere auf ein Beispiel einer Verschweißung von zwei Blechen 161 und 162 längs der Kante 163 durch Elektronenbeschuß. Bekanntlich muß diese Arbeit unter Vakuum vorgenommen werden, d.h. zwischen den Medien 1 (umgebende Atmosphäre) und 2 (Vakuum) muß eine totale Abdichtung aufrechterhalten werden. Diese Abdichtung wird mit Hilfe der Wände 1 und 2, mit Hilfe eines Behälters 164, der an der Rückseite der Schweißung über Dichtungen 165 an den Teilen 161 und 162 anliegt und über die Öffnung 166 abgepumpt wird, und schließlich mit Hilfe des erfindungsgemäßen beweglichen, biegsamen Anschlusses erreicht.
  • Dieser biegsame Anschluß besitzt die folgenden Teile: zunächst zwei Auflage-Zwischenstücke 167, die zu beiden Seiten der Schweißnaht angeordnet sind und direkt auf den Teilen 161 und 162 aufliegen, und zwei Bänder 168, die einerseits eine Auflagesohle 169, die an die Teile angepreßt ist, und andererseits eine Lippe 170 besitzen, an deren oberem Ende ein einen Wulst bildender Vorsprung 171 vorgesehen ist. Die Lippen der beiden Bänder sind aneinander angedrückt. Die gleitende Kammer ist mit 172 und ihre Dichtungen mit 173 dargestellt.
  • Die erste Erscheinung, die vermieden werden soll, ist das Einfallen dieser Bänder in das Innere des Volumens 174. Dies wird mit Hilfe der in den Fig. 17, 18 und 19 gezeigten Klemmstücke erreicht, die den Vorsprung der Lippen umschließen und gleichzeitig mit ihrer Fläche 175 auf dem waagerechten Teil 168 der Bänder aufliegen. Diese Stücke haben die Aufgabe, die Verformungen der Bänder zu verhindern und zu begrenzen, und dienen gleichzeitig dazu, eine geeignete Klemmung zwischen den Lippen der Bänder zu gewährleisten, so daß eine einwandfreie Abdichtung aufrechterhalten wird. Diese Teile, die abnehmbar sind, bestehen aus zwei symmetrischen Teilen 176 und 177 mit der Form von Winkeln, die durch Befestigungsorgane 178 miteinander verbunden sind, die die schnelle Öffnung und Schließung dieser beiden Hälften gestatten. Diese Halter 176 und 177 werden zu Beginn aufgesetzt, bevor die gleitende Kammer in Bewegung versetzt wird. Anschließend werden sie vor der Kammer abgenommen, um ihren Vorschub auf den Bändern zu gestatten, und werden hinter ihr im Maße ihrer Bewegung wieder zurückgesetzt.
  • Ferner muß ein Absacken des Bandes in das Innere des Volumens 174 an der Stelle vermieden werden, an der die Lippen in das Innere der Kammer eintreten. Dies wird mit Hilfe eines Wagens 179 erreicht, der sich mit Hilfe von Wälzlagern 180 im Inneren von Nuten 181 bewegt, die n dem Zwischenstück 167 vorgesehen sind. Dieser Wagen besitzt AuSlagefedern 182. die einen Schuh 183 unter den Lippen 170 so beaufschlagen, daß diese mit den Zwischenstücken 167 bündig bleiben. Dieser Wagen 179 wird durch die Kammer selbst in Bewegung versetzt, mit der er über Teile 184 verbunden ist. Auf den Fig. 16 und 17 sind Nuten 185 dargestellt, die in den Teilen 167 vorgesehen sind und die Evakuierung der Einheit mit Hilfe einer über die Öffnungen 166 vorgenommenen Abpumpung vereinfachen sollen.
  • Zur Vereinfachung der Anbringung dieser Einrichtung an den zu verschweißenden Flächen 161 und 162 sind die Zwischenstücke 167 zweckmäßigerweise durch Stege verbunden, die aus Stangen 186 (Fig. 18) oder aus einem perforierten Blech bestehen. Diese Stege machen in gewisser Weise die Naht 163 sichtbar. Wenn dieser dichte Anschluß für die Verschweißung unter Vakuum durch einen Elektronenstrahl mit Hilfe einer an der gleitenden Kammer befestigten Elektronenkanone benutzt wird, werden diese Stege, die stellenweise ein Hindernis für den Elektronenstrahl darstellen, durch diesen durchschnitten. Sie können "verzehrt werden" und werden bei jedem neuen Schweißvorgang ersetzt.
  • - Patentansprüche

Claims (22)

  1. -Patent ansprüche-Vorrichtung zur Bewegung einer dichten Durchführung auf einer zwei Medien voneinander trennenden Wand beliebiger Form auf einem vorbestimmten Weg, g e k e n n z e i c h -n e t durch einen biegsamen Anschluß (4), der geöffnet und geschlossen werden kann, der den betreffenden Weg bedeckt und der mit einer beweglichen Kammer (5), die nicht auf der Wand (3) aufliegt, für die Öffnung und die Schließung des biegsamen Anschlusses zusammenarbeitet, und durch von der Kammer getragene angebaute Organe (6,7).
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n z e i c h -n e t , daß der biegsame Anschluß aus zwei L-förmigen Bändern (9, 12 und 10, 11) besteht, die dicht mit ihren Flächen (11 und 12), die zu der Wand, an die sie angepreßt sind, senkrecht sind, aneinander anliegen.
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 2, g e k e n n z e i c h n e t durch eine Einrichtung zur Öffnung und Schließung des Anschlusses durch Trennung und anschließende Vereinigung der beiden Bänder, wobei die Öffnung und die Schließ ung des Anschlusses im Inneren der beweglichen Kammer vor sich geht.
  4. 4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch g e k e n n z e i c h -n e t , daß mechanische oder magnetische Einrichtungen (60) die Bänder (9, 12 und 10, 1i) aneinander angedrückt halten, auch wenn keine Druckdifferenz zwischen dem äußeren und dem Inneren der Kammer besteht.
  5. 5. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch g e k e n n z e i c h -n e t , daß der biegsame Anschluß (4) durch Vulkanisierung der beiden Bänder zu einem Ring geschlossen ist, wenn die bewegliche Durchführung sich um ein Werkstück bewegen soll.
  6. 6. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch g e -k e n n z e i c h n e t , daß die bewegliche Kammer (5) die miteinander in Berührung stehenden Seiten der Bänder umschließt, ohne auf der Trennwand (3) aufzuliegen, und sich auf dem beweglichen Anschluß (4) ohne Unterbrechung der Abdichtung bewegt.
  7. 7. Vorrichtung nach den Ansprüchen 2 und 4, dadurch g e -k e n n z e i c h n e t , daß Führungen (15) und entsprechende Führungsnuten auf den Bändern bzw. in der Kammer (5) vorgesehen sind, wobei die Führungen in den Nuten gleiten und eine Abdichtung mit der Kammer gewährleisten.
  8. 8. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t -, daß in der Kammer ein Dichtungsschutzring (22) vorgesehen ist.
  9. 9. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß die Dichtungen zwischen den Bändern des Anschlusses und der Kammer aus Flüssigkeiten (86) bestehen, die magnetische Teilchen enthalten, die in der Kammer durch Anlegen eines Magnetfeldes an ihrem Platz gehalten werden.
  10. 10 Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die Kammer eine Elektronenkanone (91) enthält und einen biegsamen Mantel (90) zum Schutz gegen Röntgenstrahlen besitzt.
  11. 11. Vorrichtung nach Anspruch 1, g e k e n n z e i c h n e t durch einen dem Druck standhaltenden, biegsamen Anschluß (121), der aus zwei Bändern (122, 123) besteht, die einen Hohlraum (128) abgrenzen, der sich über dem vorbestimmten Weg erstreckt, und der dicht mit Auflageflächen (125 und 126) auf der Wand (124) oder auf einem Zwischentragelement aufliegt, eine bewegliche Kammer (134), die dicht auf den Bändern gleitet, in deren Innerem der Anschluß geöffnet und geschlossen wird und die mechanisch von der Wand unabhängig sein kann, und Dichtungen (133) zwischen Kammer und Anschluß, die auf Teilen aufliegen, die zu keinem Ztpunkt bei der Bewegung der Kammer verformt werden.
  12. 12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß die entweder außerhalb des Anschlusses vorgesehene Klemm- und Führungsorgane (137) oder im Inneren des Hohlraums vorgesehene Abstandsorgane (138) besitzt, die bei der Montage der beweglichen, dichten Durchführung eine korrekte Stellung der beiden Bänder zueinander vor der Befestigung des Anschlusses gewährleisten.
  13. 13. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß die Auflageflächen der Bänder Nuten (141) aufweisen, die in Pumpöffnungen (142) zum Evakuieren des Inneren des Hohlraums (128) unter dem biegsamen Anschluß ausmünden.
  14. 14. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß der Anschluß ein Band besitzt, von dem mindestens ein Teil (144) progressiv im Inneren der Kammer bei der Öffnung des Anschlusses verformt wird.
  15. 15. Vorrichtung nach den Ansprüchen 11 und 14, dadurch g e -k e n n z e i c h n e t , daß der Anschluß (121) Q-förmig ist.
  16. 16. Vorrichtung nach den Ansprüchen 11 und 14, dadurch g e -k e n n z e i c h n e t , daß der Anschluß (121) einen Tunnel bildet, dessen oberer Teil einen durchgehenden Deckel (150) bildet, der durch Veformung in Inneren der Kammer progressiv geöffnet wird.
  17. 17. Vorrichtung nach den Ansprüchen 11 und 14, dadurch g e -k e n n z e i c h n e t , daß die Bänder aus zwei ziylindrischen Teilen (153, 154) bestehen, die mit den Auflageflächen verbunden sind, und auf den Auflageflächen bei dem Durchgang eines von der beweglichen Kammer getragenen Spreizelements (156) auf den Auflageflächen durch Verformung oder Verdrehung rollen.
  18. 18. Vorrichtung nach den Ansprüchen 11 und 14, dadurch g e -k e n n z e i c h n e t , daß an dem Anschluß (121) Führungsnuten (138) vorgesehen sind, um den Läufer (134) und den Anschluß unabhängig von der Tragwand einander gegenüber zu positionieren sowie um die Öffnung des Anschlusses im Inneren der Kammer zu erleichtern.
  19. 19. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch g e k e n n z e i c h -n e t , daß die aneinander anliegenden Flächen (11 und 12) einen Iängswulst (171) zur gegenseitigen Positionierung der beiden Flächen besitzen.
  20. 20. Vorrichtung nach Anspruch 19, g e k e n n z e i c h n e t durch bei der Bewegung der Kammer bewegliche und zurücksetzbare, abnehmbare Halter für das Band, die aus zwei zueinander beweglichen Teilen (176 und 177) bestehen, die durch Befestigungsorgane (178) miteinander verbunden sind, die ihre Annäherung und die Zentrierung der beiden Bänder in bezug aufeinander gestatten, indem sie auf dem Längswulst aufliegen, und die auf diese Weise ein Einsacken der Bänder über dem Weg unter der Einwirkung des Druckes verhindern, wenn sich die Kammer auf einer ebenen Fläche oder auf der Fläche eines Rotationskörpers bewegt.
  21. 21. Vorrichtung nach den Ansprüchen 19 und 20, g e k e n n -z e i c h n e t durch einen mit der Kammer fest verbundenen Wagen (179),der sich unter dieser bewegt und die Bänder bei Durchgang der Dichtungen der Kammer unterstützt.
  22. 22. Vorrichtung nach den Ansprüchen 2 und 19, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß der biegsame Anschluß auf zwei Zwischenstücken (167) angeordnet ist, die zu beidenSeiten des vorbestimmten Weges vorgesehen sind, und miteinander durch Stege (185) verbunden sind, die bei dem Durchgang der Kammer zerstört werden.
    L e e r s e i t e
DE19752521506 1975-03-20 1975-05-14 Dichte, bewegliche durchfuehrung Pending DE2521506A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR7509203A FR2305661A2 (fr) 1973-04-17 1975-03-20 Passage mobile etanche

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2521506A1 true DE2521506A1 (de) 1976-10-07

Family

ID=9153007

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19752521506 Pending DE2521506A1 (de) 1975-03-20 1975-05-14 Dichte, bewegliche durchfuehrung

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE2521506A1 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3145403A1 (de) * 1980-11-18 1982-07-01 USM Corp., 06032 Farmington, Conn. "vorrichtung zur verwendung bei der heissfixierung eines aufgeleisteten schuhoberteils"
DE9005495U1 (de) * 1990-05-15 1990-07-19 Herbert Kannegiesser Gmbh + Co, 4973 Vlotho, De
DE102013019231A1 (de) * 2013-11-16 2015-05-21 Eisenmann Ag Vorrichtung zum Behandeln von Gegenständen

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3145403A1 (de) * 1980-11-18 1982-07-01 USM Corp., 06032 Farmington, Conn. "vorrichtung zur verwendung bei der heissfixierung eines aufgeleisteten schuhoberteils"
DE9005495U1 (de) * 1990-05-15 1990-07-19 Herbert Kannegiesser Gmbh + Co, 4973 Vlotho, De
DE102013019231A1 (de) * 2013-11-16 2015-05-21 Eisenmann Ag Vorrichtung zum Behandeln von Gegenständen
CN105722605A (zh) * 2013-11-16 2016-06-29 艾森曼欧洲公司 用于处理室的密封组件
US9956574B2 (en) 2013-11-16 2018-05-01 Eisenmann Se Device for treating objects
CN105722605B (zh) * 2013-11-16 2018-12-28 艾森曼欧洲公司 用于处理室的密封组件
EP3071336B1 (de) * 2013-11-16 2019-07-10 Eisenmann SE Dichtungsanordnung für einen behandlungsraum

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2212593B1 (de) Spreizdichtung, insbesondere für gase
EP0555764B1 (de) Vakuumbearbeitungsanlage
DE2759035B2 (de) Hydraulisches Stützelement
DE2937972A1 (de) Vorrichtung zum aufbringen einer flaechenpressung auf fortschreitende werkstuecke
DE2329321A1 (de) Teleskopartiger mast
EP1561837B1 (de) Bandbeschichtungsanlage mit einer Vakuumkammer und einer Beschichtungswalze
DE2250936C2 (de) Vorrichtung zum aufeinanderfolgenden Schweißen von Werkstücken mittels Elektronenstrahlen
DE2521506A1 (de) Dichte, bewegliche durchfuehrung
DE2430962A1 (de) Dichtung
EP0223997A1 (de) Behälter für den Transport und zur Lagerung bioschädlicher Stoffe
DE3439081A1 (de) Ferrofluiddichtung
DE2629217A1 (de) Einrichtung zum bearbeiten von werkstuecken unter vakuum
DE3050419T1 (de)
DE2608646A1 (de) Durchbiegungseinstellwalze
DE2753771A1 (de) Schieber
DE3906816C2 (de)
DE2364448A1 (de) Vorrichtung zum dichten durchfuehren eines zylindrischen koerpers durch die wandung einer vakuumkammer
DE1913699C3 (de) Kammer zum Bearbeiten eines darin befindlichen Werkstücks unter Luftabschluß, insbesondere Vakuumkammer
WO2011072315A1 (de) Vakuumventil
DE3009770A1 (de) Vorrichtung zum aufbringen einer flchenpressung auf fortschreitende werkstuecke
DE2111530C3 (de) Vorrichtung zum Einformen von Gewindegängen in zylindrische Hohlkörper
EP3409437B1 (de) Anlage zur kontinuierlichen behandlung eines strangprofils
DE102007049669A1 (de) Schleusenvorrichtung und Verfahren zum Öffnen der Schleusenvorrichtung
DE2823321A1 (de) Technisches ladungstraegerstrahlgeraet mit beweglicher vakuumkammer
DE1775008B2 (de) FlanschschnellverschluB für Deckel von Behältern, Insbesondere für explosionssichere Geräte

Legal Events

Date Code Title Description
OHJ Non-payment of the annual fee