WO2011072315A1 - Vakuumventil - Google Patents

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WO2011072315A1
WO2011072315A1 PCT/AT2010/000466 AT2010000466W WO2011072315A1 WO 2011072315 A1 WO2011072315 A1 WO 2011072315A1 AT 2010000466 W AT2010000466 W AT 2010000466W WO 2011072315 A1 WO2011072315 A1 WO 2011072315A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
vacuum valve
closure
sections
passage
walls
Prior art date
Application number
PCT/AT2010/000466
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Rico Rohner
Anton Neumeier
Eugen Broger
Original Assignee
Vat Holding Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vat Holding Ag filed Critical Vat Holding Ag
Publication of WO2011072315A1 publication Critical patent/WO2011072315A1/de

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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/029—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with two or more gates
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
    • F16K7/02—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with tubular diaphragm
    • F16K7/04—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with tubular diaphragm constrictable by external radial force

Definitions

  • the invention relates to a vacuum valve comprising a valve body having first and second walls having a space therebetween and of which the first wall has a first opening and the second wall has a second opening, wherein through the first and second openings a longitudinal axis
  • the passage through the valve body is closable in a closed position of the closure device and at least largely releasable in an open position of the closure device, and the first one is provided with a passage between the first and second walls and second closure portions, which are each sealed relative to the first and second wall and which in the open state of the vacuum valve, the passage at least largely release and are moved to close the vacuum valve in positions in which they protrude from opposite sides of the passage into the passage and partially cover this jeweVis, wherein the first and second closure portions are sealed against each other and / or pressed against a performed between them by the passage band
  • the path traveled may be approximately L-shaped.
  • An example of such a vacuum valve is known from US 6,431, 518 B1. From WO 2009/070824 A1 further goes, for example, a vacuum valve, in which a closure member starts when closing the vacuum valve on guide elements, which are arranged on both sides of the opening and having angled to the plane of the seat guide surfaces. Through these guide surfaces, the closure member is displaced over an end portion of the adjustment path before reaching its closed position at an angle to the plane of the seat.
  • a closure member starts when closing the vacuum valve on guide elements, which are arranged on both sides of the opening and having angled to the plane of the seat guide surfaces. Through these guide surfaces, the closure member is displaced over an end portion of the adjustment path before reaching its closed position at an angle to the plane of the seat.
  • the closure member as seen in cross-section, has wedge-shaped side surfaces running on to which elastomeric circumferentially closed seals are arranged, which bear against sealing surfaces of the valve seat in the closed state of the valve.
  • the closing and opening of the closure member is rectilinear here, wherein the necessary sealing force for pressing the closure member is applied to one of the sealing surfaces by acting on the closure member differential pressure.
  • Vacuum valves of a different shape with rectilinearly adjustable closure members can be found, for example, in US Pat. No. 4,809,950 and US Pat. No. 4,921,213.
  • a Schrägsitzventil is used, in which for closing the vacuum valve, a plate-shaped closure member is rectilinearly guided in the direction perpendicular to its plane against a seat obliquely to the axis of the valve opening.
  • a disadvantage here is, inter alia, that the material of the tape is bent when closing the valve.
  • a vacuum valve of the type mentioned is apparent from JP 04000072 A.
  • An embodiment is described in which first and second closure portions fixed to rods are sealed against the first and second walls of the first and second closure portions Valve body, which have the openings of the valve, are displaceable.
  • the first and second walls of the valve body are interconnected by third and fourth walls.
  • the first and second closure portions are sealed on the front side of these third and fourth walls.
  • a pressing of the first and second closure sections to a band performed between them is provided.
  • This vacuum valve has disadvantages in terms of the reliability and durability of the sealing of the closure portions relative to the valve body.
  • the object of the invention is to provide a vacuum valve which has a simplified design and / or advantages for applications in vacuum systems for processing tapes. According to the invention, this is achieved by a vacuum valve having the features of claim 1.
  • the first and second closure portions of the closure means are sealed against the first and second walls of the valve body.
  • This seal can be made by applying an elastic material from which the respective closure portion is formed or which has the respective closure portion, on the respective wall. Furthermore, this seal can be effected by abutment of the respective closure section on a sealing ring arranged on the respective wall, which surrounds the respective opening in the wall.
  • the first and second closure sections are sealed relative to the first and second walls and in this case retracted from opposite sides of the passage of the vacuum valve into a position partially overlapping the passage until they are pressed against each other in a sealed manner.
  • sealing the first and second closure portions with respect to the first and second walls at least portions of seals of the vacuum valve are formed, through which a sealing of the vacuum region of the vacuum valve against a contrast higher pressure, in particular atmospheric pressure.
  • a contrast higher pressure in particular atmospheric pressure.
  • the vacuum valve according to the invention to press the first and second closure sections in the closed state of the vacuum valve at least over a part of their respective longitudinal extent to the opposite surfaces of a performed through the passage of the vacuum valve band.
  • the sealed pressing of the closure portions against the band forms at least a portion of the dynamic seal of the vacuum valve from which the passage of the vacuum valve is sealed in the passageway through the passage.
  • the closure portions extend beyond the width of the band, they are sealed against each other in the parts of their longitudinal extent lying laterally of the band, whereby a further portion of the dynamic seal of the vacuum valve is formed.
  • a closure of the vacuum valve can thereby also take place against such a passage passing through the band.
  • the first and second closure sections are connected to one another by first and second side sections, wherein the closure device is designed so as to be completely circumferentially closed. It is thereby achieved a reliable and durable construction.
  • the first and second closure portions are formed entirely of an elastic material.
  • the closure device is formed circumferentially circumferentially closed by the first and second closure portions by first and second. Side sections are connected to each other, which bear respectively sealed against the first and second walls and also made of an elastic material. In the closed state of the vacuum valve, the side sections are sealed together sealed.
  • This circumferentially closed closure means made of the elastic material is thus sealed circumferentially with respect to the first and second walls. It therefore forms a seal of Vacuum range of the vacuum valve.
  • the closure device forms the dynamic seal for sealing the passage of the vacuum valve in its closed state.
  • the first and second closure sections in this embodiment are preferably each fastened on the front side to a holding part which is linearly displaceable by at least one actuator.
  • the first and the second closure portion each have an inelastic support body, for example of metal, on which an elastic material is arranged, which is sealed in the closed position of the vacuum valve to the elastic material of the other closure portion and / or a tape carried out between the closure sections can be applied.
  • first and second wall can also serve the elastic material of the first and second closure portion, wherein the serving to seal the passage in the closed state of the vacuum valve and to seal against the respective wall portions of the elastic material may each be integrally formed or made may consist of separate parts.
  • the respective wall disposed on the respective wall elastic sealing ring, on which the respective closure portion is pressed.
  • the closure device is in turn formed as a whole circumferentially closed by the first and second closure portions are interconnected by first and second side portions, which are also each sealed to the first and second wall. This sealing can be effected in that the first and second side portions have an elastic material at least in the areas in which they rest against the first and second walls.
  • the closure device is thus sealed over its entire circumference with respect to the first and second walls.
  • the first and second side portions are flexible, preferably at least over a part of their extension made of an elastic material.
  • the support body of the closure sections are each of at least one actuator linearly displaceable. In the closed state of the vacuum valve, the side sections are sealed together sealed.
  • the peripherally closed closure device forms on the one hand a seal of the vacuum region of the vacuum valve on the other hand a dynamic seal for sealing the passage of the vacuum valve in its closed state.
  • Fig. 1 is a view of a vacuum valve according to the invention
  • Fig. 2 is a plan view
  • Figures 5 and 6 are sections corresponding to Figures 3 and 4 in the closed state of the vacuum valve.
  • FIG. 7 shows a section along the line AA of Figure 1 in the open state of the vacuum valve with a guided through the passage of the vacuum valve belt ..;
  • FIG. 8 shows a section corresponding to FIG. 7 in the closed state of the vacuum valve
  • 9 and 10 are sections along the line CC in Figure 2 in the open and closed state of the vacuum valve ..;
  • Fig. 1 1 is an oblique view of the vacuum valve
  • FIG. 12 shows an oblique view from a view direction slightly changed with respect to FIG. 11 with the front wall of the valve body removed and without the closure device made of the elastic material;
  • FIG. 13 shows a section through a part of a vacuum valve in a second embodiment in a sectional plane according to FIG. 3, in the opened state of the vacuum valve;
  • Fig. 14 is a section along the line DD of Fig. 13;
  • Fig. 15 is an oblique view of a part of a vacuum valve in a third embodiment of the invention, in the open state of the vacuum valve;
  • Fig. 16 and Fig. 17 are a view and a plan view of the part of the vacuum valve shown in Fig. 15;
  • FIG. 18 shows a section along the line EE of Figure 17, wherein in addition sections of the locking units displacing piston rods are shown.
  • Fig. 19 is a section along the line FF of Fig. 18 (the piston rods omitted);
  • Fig. 20 is an enlarged detail G of Fig. 19;
  • Fig. 21 is a section along the line HH of Fig. 18;
  • Fig. 22 is a section along the line II of Fig. 18;
  • Fig. 23 is a section along the line JJ of Fig. 18;
  • Fig. 24 is an enlarged detail K of Fig. 23;
  • FIG. 25 shows an oblique view from a view angle slightly different from FIG. 15, omitting the front wall of the valve body;
  • Fig. 26 is an enlarged detail L of Fig. 25;
  • FIG. 27 shows a view of one of the walls of the valve body on the side facing the closure members
  • FIG. 28 shows a schematic representation of a vacuum system for processing a strip with valves according to the invention inserted therein.
  • FIGS. 1 to 12 A first embodiment of a vacuum valve according to the invention is shown in FIGS. 1 to 12.
  • the vacuum valve comprises a valve body 1 having first and second walls 2, 3 enclosing a gap 4 therebetween.
  • the first wall 2 has a first opening 5 and the second wall 3 has a second opening 6.
  • the openings 5 and 6 have the same shape and size and are in alignment with each other, wherein they have a longitudinal axis 8 having a passage 7 through the valve body Train 1.
  • the first and second openings 5, 6 are slit-shaped, their longitudinal extent being substantially greater than their height, in particular more than 10 times larger.
  • a closure device 9 is arranged, which is formed in this embodiment of an annular seal of an elastic, in particular rubber-elastic material 33.
  • an elastic, in particular rubber-elastic material 33 As a rubber-elastic material known for sealing purposes in vacuum valves known material may be used, for example Viton.
  • the closure device 9 has first and second closure sections 10, 11, which each extend at least substantially parallel to the longitudinal extent of the slot-shaped opening 5, 6 or which are each parallel to the median plane 15 of the openings 5, 6, which are perpendicular to the straight line 12 lies, extend.
  • the first and second closure sections 10, 11 are sealed against the mutually facing surfaces 13, 14 of the first and second walls 2, 3. In the area between the walls 2, 3 and the locations of the sealed installation of the closure sections 10, 11 on the walls 2, 3, the vacuum area of the vacuum valve is located.
  • the first and second closure sections 10, 11 are respectively displaced in opposite directions of a straight line 12, transversely, in particular at right angles, to the longitudinal extension of the first and second closure sections 10, 11 or to the longitudinal extent of the openings 5, 6 and parallel to the facing surfaces 13, 14 of the first and second wall, against which the closure portions 10, 1 1.
  • the closure portions 10, 1 1 sealed against the surfaces 13, 14 of the walls 2, 3 are moved.
  • the two closure portions 10, 11 are on opposite sides of the passage 7 and give the closure portions 10, 1 1 the passage 7 preferably completely free, so do not cover in the direction of the longitudinal axis 8, the first and second opening.
  • the first and second closure sections 10, 11 protrude from opposite sides into the passageway 7, sealing against each other over their entire longitudinal extent (see Figures 5, 6 and 10) or over part of their Longitudinally sealed against each other and sealed over part of its longitudinal extent on opposite side surfaces 16, 17 of a carried through the passage 7 band 18 abut (see Fig .. 8).
  • the plane of the strip lies parallel to the longitudinal axis 8 and at right angles to the straight line 12.
  • the extent of the strip 18 in the direction of the longitudinal extent of the slot-shaped openings 5, 6 can be different in size, for example more than half of this extent.
  • first and second closure sections 10, 11 are connected to one another by first and second side sections 19, 20.
  • the side sections 19, 20 are formed integrally with the closure sections 10, 11 in this exemplary embodiment and consist of the same rubber-elastic material.
  • the side portions 19, 20 are sealed to the mutually facing surfaces 13, 14 of the walls 2, 3 at.
  • the side portions 19, 20 are folded together, wherein they are sealed against each other in the closed state of the vacuum valve on both sides of the refolding.
  • the side portions 19, 20 are the portions of the closure device 9, which lie in the open and closed state of the vacuum valve with respect to the direction of the straight line 12 on both sides next to the openings 5, 6, so do not cover these openings 5, 6 even in the closed state of the vacuum valve ,
  • the first and second closure sections 10, 11 are attached to plate-shaped first and second holding parts 21, 22, for example glued on.
  • the arranged in the space 4 or projecting into this holding parts 21, 22 cooperate with the respective side facing away from the passage 7 of the respective closure portion 10, 11 together.
  • the first and second holding parts 21, 22 are thus located outside the vacuum region of the vacuum valve.
  • the holding parts 21, 22 are linearly displaceable by means of actuators 23-26 in the direction of the straight line 12.
  • the actuators 23-26 may be formed, for example, as shown in the form of piston-cylinder units whose piston rods with the holding parts 21, 22nd are connected.
  • the holding parts 21, 22 are moved apart, they pull apart the attached to them closure portions 10, 1 1.
  • the side sections 19, 20 can thereby unfold - in their preformed shape - also by their elastic restoring forces.
  • the preformed shape of the side portions is continuously arcuate in the embodiment shown.
  • the one holding part 21 has stop elements 27, 28 which cooperate with stops of the wall 2.
  • the stop elements 27, 28 abut against the stops 29, 30.
  • the force of the holding member 21 moving actuators 23, 24 is greater than the force of the holding member 22 moving actuators 25, 26.
  • the stop members 27, 28 are thereby also under the back pressure of the holding member 22 in abutment against the stops 29, 30 held , The desired force with which the closure device 9 is pressed in order to seal the passage 7 in the closed state of the vacuum valve is thus determined by the force with which the holding part 22 is acted upon by the actuators 25, 26 in the closed state of the vacuum valve.
  • stop elements 27, 28 are knob-shaped or pin-shaped and the stops 29, 30 are formed by edges of window recesses in the first and second walls 2, 3. Formations of stop elements and attacks in other forms are possible.
  • the closure device 9 thus simultaneously forms the dynamic seal for sealing the passage of the vacuum valve and a seal of the vacuum valve for sealing the vacuum region of the vacuum valve (further static seals for sealing the vacuum region of the vacuum valve may be present).
  • a second embodiment of the invention is shown in FIGS. 13 and 14.
  • the first and second closure portions 10, 1 1 of the closure device 9 are not continuously formed here from an elastic material in contrast to the embodiment previously shown but each have a rigid support body 31, 32, on which an elastic, in particular rubber-elastic material 33 is fixed.
  • a rubber elastic material can be used, as is known for sealing purposes in vacuum valves, for example Viton.
  • the elastic material 33 is sealed against the mutually facing surfaces 13, 14 of the first and second walls 2, 3.
  • the two support bodies 31, 32 are displaced toward one another until the elastic materials 33 of the support bodies 31, 32 are pressed against one another or, if a band 18 passes through the passage 7, in the area of the band 18 against the opposite side surfaces 16 , 17 of the band 18 and in areas adjacent to the band 18 are pressed against each other.
  • the carrier bodies 31, 32 are rigid, actuators can act on them, without additional holding parts 21, 22 being required, as in the previously described embodiment.
  • the piston rods 34 of piston-cylinder units (not shown in FIGS. 13 and 14) engage the carrier bodies 31, 32.
  • the passage 7 can have a greater height, that is its dimension in the direction of the straight line 12.
  • the first and second closure sections 10, 11 of the closure device 9 are in turn connected by first and second side sections 19, 20 in order to form a closure device which is peripherally peripherally closed.
  • the elastic materials 33 fixedly attached to the carrier bodies 31, 32 in the region of the closure sections 10, 11 are detached from the closure device 9 in the region of the side sections 19, 20, at least in a partial region following the respective side edge.
  • the carrier bodies 31, 32 also extend over the region of the side sections or at least a part thereof, for example rectilinearly, and form pressing sections 48, 49 for the respective side section 19, 20.
  • the elastic materials 33 form where they are directed toward the side edge detach from the carrier bodies 31, 32, first and second legs 37, 38 of the side sections 19, 20, which are connected to each other at the edge.
  • legs 37, 38 are each pressed by the Andrückabismeen 48, 49 of the support body 31, 32 to each other when the vacuum valve is closed.
  • the legs 37, 38 each have a recess 35, 36 into which the pressing portions 48, 49 of the carrier body 31, 32 retract when closing the vacuum valve.
  • the side portions 19, 20 of the closure device 9 are folded together, wherein the pressing portions 48, 49 of the support body 31, 32 compress the legs 37, 38 consisting of the elastic material 33.
  • the parts of the vacuum valve not shown in the partial views of FIGS. 13 and 14 may be formed in an analogous manner as in the first embodiment of the vacuum valve.
  • stop elements 27, 28 may be present to unambiguously fix the end position of one of the closure sections 10, 1 1 in the closed state of the vacuum valve.
  • the stop elements 27, 28 can be arranged here, for example, on one of the carrier body 31, 32.
  • the closing force in the closed state of the vacuum valve is then determined in an analogous manner as in the first embodiment by the force with which the other carrier body is pressed against the pressed against the stop elements carrier body.
  • FIGS. 15 to 27 A further embodiment of the invention is shown in FIGS. 15 to 27.
  • the differences from the previously described embodiment will be explained below. Unwritten parts may be the same or analogous as in the embodiment described above.
  • the sealing of the closure device 9 with respect to the first and second walls 2, 3 takes place in this embodiment by elastic sealing rings 50, 51 which surround the first and second openings 5, 6 and on the respective wall 2, 3 on the side facing the closure device 9 are held.
  • the sealing rings 50, 51 are formed in the form of O-rings, which are arranged in grooves in the respective wall 2, 3.
  • the sealing rings 50, 51 abut circumferentially on sealing surfaces of the closure device 9, which face the first and second walls 2, 3.
  • FIGS. 25 and 26, the sealing ring 50 is shown, so that this system can be seen.
  • the first and second closure sections 10, 11 each have a rigid carrier body 31, 32, which has a base body and attachment pieces 52, 53 bolted thereto, which serve for connection to the respective side section 19, 20.
  • the side portions 19, 20 have V-shaped support pieces 54,55 of an elastic material, which are vulcanized for connection to the closure portions 10, 11 to the mounting pieces 52, 53.
  • first and second sealing rings 56, 57 run.
  • the sealing rings 56, 57 are in the form of O-rings and held in grooves on the end faces of the carrier bodies 31, 32. These sections of the sealing rings 56, 57 thus form an elastic material 33 of the respective closure section 10, 11.
  • the sealing rings 56, 57 further extend over the support pieces 54, 55, which may also have grooves for this purpose, in which the sealing rings 56, 57 extend.
  • the support pieces 54, 55 together with the extending over them portions of the sealing rings 56, 57 form in this embodiment, the side portions 19, 20.
  • the two sealing rings 56, 57 lie in parallel, in the direction of the longitudinal axis 8 of the passage 7 spaced-apart planes.
  • the support pieces 54, 55 may for example consist of Viton (FKM) or FFKM.
  • a band 18 is performed through the passage 7, this is clamped by the support members 58, 59.
  • the support members 58, 59 further limit the compression of the sealing rings 56, 57.
  • the free space that lies between the respective support member 58, 59 and the groove receiving it, smaller than the free space between the respective sealing ring 56, 57 and him receiving groove lies.
  • an intermediate suction between the two sealing rings 56, 57 may further be provided.
  • at least one channel 60 extends through at least one of the carrier body 31, 32, which opens between the sealing rings 56, 57. Through this at least one channel 60, the space between the sealing rings 56, 57 can be pumped out.
  • the closure device 9 could also be provided with only one sealing ring 56, 57, wherein a septaugung deleted. Also, more than two sealing rings with one or more than one insectsaugung can be provided.
  • Support elements 58, 59 can also be omitted.
  • the sealing rings 50, 51, 56, 57 may for example consist of Viton.
  • the support elements 58, 59 may for example consist of Viton.
  • the closure device 9 forms in all the described embodiments, the dynamic seal of the vacuum valve for sealing the passage of the vacuum valve in its closed state and at least one seal for sealing the vacuum region of the vacuum valve (further static seals for sealing the vacuum range of the vacuum valve can be provided).
  • the closure device 9 comprises at least one circumferentially closed element made of an elastic material which, when the vacuum valve is open, extends around the passage 7 and from which opposite sections are compressed when the vacuum valve is closed. This compression takes place by rigid parts, which at least over extend the entire longitudinal extent of these opposite portions, in each case on the side facing away from the passage of the portion of the elastic member, are moved together against these opposite portions.
  • All elastic materials provided for sealing and / or the supporting elements 58, 59 and / or the carrier pieces 54, 55 may also consist of another material suitable for this purpose as Viton (FKM), for example FFKM, EPDM or silicone.
  • the carrier bodies 31, 32 of the first and second closure sections 10, 11 and the carrier pieces 54, 55 of the side sections 19, 20 move relative to the sealing rings 50, 51 held on the first and second walls 2, 3 along sealing surfaces of the carrier body 31, 32 and support pieces 54, 55 are moved.
  • the first and second closure sections 10, 11 are preferably retracted to such an extent that the passage 7 is not only completely released when viewed in the direction of its longitudinal axis 8 but the first and second closure sections 10, 11 are pulled back a little further are, for example 1 mm to 3 mm, so that the elastic materials of the closure device are protected, for example against the passing band 18, which can move in the passage perpendicular to its plane.
  • FIG. 28 schematically shows a vacuum system which is used for processing a belt 18 under vacuum conditions, for example for carrying out coatings.
  • Such vacuum systems are used, for example, in the production of coated solar cells or LEDs.
  • the belt 18 is unrolled from a first roller 39 and rolled up after processing on a second roller 40. It may in particular be a sheet in band form.
  • the belt 18 is guided between the first and second rollers 39, 40 through at least one vacuum chamber 41, 42, 43, in which a processing step is performed.
  • the rollers 39, 40 are arranged in separate vacuum chambers 44, 45, which are connected by the other vacuum chambers 41-43 each via a vacuum valve 46 according to the invention.
  • the vacuum valve 46 When the supply of the belt 18 in the roller 39 has been used up, the vacuum valve 46 is closed against the belt 18 and a new roller 39 is inserted, the beginning of the belt of that roller being at the end of the belt of the previous roller is connected. The vacuum chamber 44 is pumped off and the vacuum valve 46 is opened. The procedure is analogous if the roll 40 with the rolled-up processed strip is to be replaced by an empty roll. A flooding of the vacuum chambers 41-43 when changing the rollers 39, 40 can thus be avoided.
  • vacuum valves 46 may be arranged so that a service to one of these chambers 41-43 is made possible without the entire Flood system.
  • the thickness of the band 18, against which a vacuum valve according to the invention can be closed is limited to the extent that the possible deformation of the closure sections 10, 11 or of the elastic material 33 of the closure sections 10, 11 is limited in the closed state of the vacuum valve and in FIG the areas laterally next to the belt sufficient compression of the closure portions 10, 1 1 must still be given.
  • the thickness of the band 18 can be up to 1 mm.
  • a greater thickness of the band 18 can be made possible.

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Abstract

Ein Vakuumventil umfasst einen Ventilkörper (1) mit ersten und zweiten Wänden (2, 3), die einen Zwischenraum (4) zwischen sich aufweisen und von denen die erste Wand (2) eine erste Öffnung (5) und die zweite Wand (3) eine zweite Öffnung (6) aufweist, wobei durch die erste und zweite Öffnung (5, 6) ein eine Längsachse (8) aufweisender Durchgang (7) durch das Vakuumventil ausgebildet wird, und eine im Zwischenraum (4) zwischen der ersten und der zweiten Wand (2, 3) liegende Verschlusseinrichtung (9), von der der Durchgang (7) durch den Ventilkörper (1) in einer Schließstellung verschließbar und in einer Offenstellung zumindest großteils freigebbar ist. Die Verschlusseinrichtung (9) weist erste und zweite Verschlussabschnitte (10, 11) auf, die jeweils abgedichtet gegenüber der ersten und zweiten Wand (2, 3) verschiebbar sind und die im geöffneten Zustand des Vakuumventils den Durchgang (7) zumindest großteils freigeben und zum Schließen des Vakuumventils in Positionen verstellt werden, in denen sie von gegenüberliegenden Seiten des Durchgangs (7) her in den Durchgang (7) ragen und diesen jeweils teilweise überdecken, wobei sie abgedichtet aneinander und/oder an ein zwischen ihnen durch den Durchgang (7) durchgeführtes Band (18) angedrückt sind. Die ersten und zweiten Verschlussabschnitte (10, 11) sind durch erste und zweite Seitenabschnitte (19, 20) miteinander verbunden, wobei die Verschlusseinrichtung (9) insgesamt umfangsgeschlossen ausgebildet ist.

Description

Vakuumventil
Die Erfindung bezieht sich auf ein Vakuumventil umfassend einen Ventilkörper mit ersten und zweiten Wänden, die einen Zwischenraum zwischen sich aufweisen und von denen die erste Wand eine erste Öffnung und die zweite Wand eine zweite Öffnung aufweist, wobei durch die erste und zweite Öffnung ein eine Längsachse aufweisender Durchgang durch das Vakuumventil ausgebildet wird, und eine im Zwischenraum zwischen der ersten und der zweiten Wand liegende Verschlusseinrichtung, von der der Durchgang durch den Ventilkörper in einer Schließstellung der Verschlusseinrichtung verschließbar und in einer Of- fenstellung der Verschlusseinrichtung zumindest großteils freigebbar ist und die erste und zweite Verschlussabschnitte aufweist, welche jeweils abgedichtet gegenüber der ersten und zweiten Wand verschiebbar sind und welche im geöffneten Zustand des Vakuumventils den Durchgang zumindest großteils freigeben und zum Schließen des Vakuumventils in Positionen verstellt werden, in denen sie von gegenüberliegenden Seiten des Durch- gangs her in den Durchgang ragen und diesen jeweVis teilweise überdecken, wobei die ersten und zweiten Verschlussabschnitte abgedichtet aneinander und/oder an ein zwischen ihnen durch den Durchgang durchgeführtes Band angedrückt sind
Bekannt sind Vakuumventile, welche als Verschlusseinrichtung eine Ventilplatte aufweisen, die mit einer ringförmigen Dichtung ausgestattet ist, welche, im geschlossenen Zustand des Vakuumventils an eine die Ventilöffnung umgebende Dichtfläche angedrückt wird. Zum Verstellen der Ventilplatte ist diese an einer vakuumdicht aus dem Ventilkörper herausgeführten Ventilstange befestigt. Die an der Ventilplatte angeordnete Dichtung, welche zum Schließen der Ventilöffnung im geschlossenen Zustand des Vakuumventils dient, wird auch als„dynamische Dichtung" bezeichnet, während die Dichtung zum abgedichteten Herausführen der Ventilstange aus dem Vakuumbereich des Vakuumventils auch als „statische Dichtung" bezeichnet wird. Statische Dichtungen, die den Vakuumbereich des Vakuumventils nach außen abdichten, sind weiters zwischen dem Ventilkörper und vom Ventilkörper abnehmbaren Teilen vorgesehen, welche eine Öffnung im Ventilkörper ver- schließen. Beim Schließen und Öffnen des Vakuumventils werden bei solchen Vakuumventilen von der Ventilplatte je nach Ausbildungsart unterschiedliche Arten von Wegen durchlaufen. Beispielsweise kann der durchlaufene Weg annähernd L-förmig sein. Ein Beispiel für ein derartiges Vakuumventil ist aus der US 6,431 ,518 B1 bekannt. Aus der WO 2009/070824 A1 geht weiters beispielsweise ein Vakuumventil hervor, bei dem ein Verschlussglied beim Schließen des Vakuumventils an Führungselemente anläuft, die beidseitig der Öffnung angeordnet sind und winkelig zur Ebene des Sitzes stehende Führungsflächen aufweisen. Durch diese Führungsflächen wird das Verschlussglied über einen Endabschnitt des Verstellweges vor Erreichen seiner Schließstellung winkelig zur Ebene des Sitzes verschoben. Beim in der US 6,367,770 B1 beschriebenen Vakuumventil weist das Verschlussglied im Querschnitt gesehen keilförmig aufeinander zu laufende Seitenflächen auf, an denen elastomere umfangsgeschlossene Dichtungen angeordnet sind, die im geschlossenen Zustand des Ventils an Dichtflächen des Ventilsitzes anliegen. Das Schließen und Öffnen des Verschlussgliedes erfolgt hier geradlinig, wobei die nötige Dichtkraft zum Andrücken des Verschlussgliedes an eine der Dichtflächen durch einen auf das Verschlussglied wirkenden Differenzdruck aufgebracht wird. In anderer Form ausgebildete Vakuumventile mit geradlinig verstellbaren Verschlussgliedern gehen beispielsweise aus der US 4,809,950 und US 4,921 ,213 hervor. In Vakuumanlagen, in welchen Bänder, insbesondere aus einem Folienmaterial, bearbeitet werden, die von einer Rolle abgerollt und nach der Bearbeitung auf eine Rolle aufgerollt werden, besteht das Problem, dass die Rollen nach ihrem vollständigen Abwickeln bzw. Aufwickeln ausgetauscht werden müssen. Hierzu werden sie in eigenen Vakuumkammern angeordnet, welche von den Vakuumkammern, in denen die Bearbeitungen durchgeführt werden, durch Ventile abtrennbar sind. Es kann hierbei ein Schließen des Ventils gegen das Material des durchlaufenden Bandes durchgeführt werden. Dadurch kann vermieden werden, dass die gesamte Vakuumanlage beim Auswechseln der jeweiligen Rolle geflutet werden muss. Als Vakuumventil wird hierzu üblicherweise ein Schrägsitzventil eingesetzt, bei welchem zum Schließen des Vakuumventils ein plattenförmiges Verschlussglied gerad- linig in Richtung rechtwinkelig zu seiner Ebene gegen einen schräg zur Achse der Ventilöffnung stehenden Sitz geführt wird. Ein Nachteil besteht hierbei u.a. darin, dass das Material des Bandes beim Schließen des Ventils abgebogen wird.
Ein Vakuumventil der eingangs genannten Art geht aus der JP 04000072 A hervor. Es ist ein Ausführungsbeispiel beschrieben, in dem erste und zweite Verschlussabschnitte, die an Stangen festgelegt sind, abgedichtet gegenüber der ersten und zweiten Wand des Ventil körpers, die die Öffnungen des Ventils aufweisen, verschiebbar sind. Die ersten und zweiten Wände des Ventilskörpers sind durch dritte und vierte Wände miteinander verbunden. Die ersten und zweiten Verschlussabschnitte liegen stirnseitig abgedichtet an diesen dritten und vierten Wänden an. Ein Anpressen der ersten und zweiten Verschluss- abschnitte an ein zwischen diesen durchgeführtes Band ist vorgesehen. Dieses Vakuumventil hat Nachteile hinsichtlich der Zuverlässigkeit und Dauerhaftigkeit der Abdichtung der Verschlussabschnitte gegenüber dem Ventilkörper.
Ein weiteres Vakuumventil mit ersten und zweiten Verschlussabschnitten, die jeweils an vier Seiten an Wänden des Ventilkörpers anliegen, geht aus der JP 36-019567 U hervor. Auch hier ist ein Anpressen der ersten und zweiten Verschlussabschnitte gegen ein zwischen diesen durchgeführtes Band vorgesehen.
Ein weiteres Vakuumventil mit ersten und zweiten Verschlussteilen, die zum Anpressen an ein zwischen ihnen durchgeführtes Band vorgesehen sind, geht aus der JP 2009-030 754 A hervor.
Aufgabe der Erfindung ist es ein Vakuumventil bereitzustellen, welches eine vereinfachte Ausbildung und/oder Vorteile für Anwendungen in Vakuumanlagen zur Bearbeitung von Bändern aufweist. Erfindungsgemäß gelingt dies durch ein Vakuumventil mit den Merkmalen des Anspruchs 1.
Beim Vakuumventil der Erfindung sind die ersten und zweiten Verschlussabschnitte der Verschlusseinrichtung gegenüber der ersten und zweiten Wand des Ventilkörpers abge- dichtet. Diese Abdichtung kann durch Anlage eines elastischen Materials, aus welchem der jeweilige Verschlussabschnitt ausgebildet ist oder welches der jeweilige Verschlussabschnitt aufweist, an der jeweiligen Wand erfolgen. Weiters kann diese Abdichtung durch Anlage des jeweiligen Verschlussabschnitts an einem an der jeweiligen Wand angeordneten Dichtring erfolgen, der die jeweilige Öffnung in der Wand umgibt.
Zum Schließen des Vakuumventils werden die ersten und zweiten Verschlussabschnitte abgedichtet gegenüber der ersten und zweiten Wand verfahren und hierbei von gegenüberliegenden Seiten des Durchgangs des Vakuumventils her in eine den Durchgang teilweise überlappende Position eingefahren, bis sie abgedichtet aneinander angedrückt sind. Durch die Abdichtung der ersten und zweiten Verschlussabschnitte gegenüber der ersten und zweiten Wand werden zumindest Abschnitte von Dichtungen des Vakuumventils ausgebildet, durch welche eine Abdichtung des Vakuumbereichs des Vakuumventils gegenüber einem demgegenüber höheren Druck erfolgt, insbesondere Atmosphärendruck. Durch das abgedichtete aneinander Andrücken der ersten und zweiten Verschlussabschnitte im geschlossenen Zustand des Vakuumventils wird zumindest ein Abschnitt der dynamischen Dichtung des Vakuumventils ausgebildet, von welcher der Durchgang des Vakuumventils im geschlossenen Zustand des Vakuumventils abgedichtet wird. Vorteilhafterweise ist es beim erfindungsgemäßen Vakuumventil auch möglich, die ersten und zweiten Verschlussabschnitte im geschlossenen Zustand des Vakuumventils zumindest über einen Teil ihrer jeweiligen Längserstreckung an die gegenüberliegenden Oberflächen eines durch den Durchgang des Vakuumventils durchgeführten Bandes anzudrücken. Durch das abgedichtete Andrücken der Verschlussabschnitte an das Band wird zumindest ein Abschnitt der dynamischen Dichtung des Vakuumventils ausgebildet, von welcher der Durchgang des Vakuumventils bei durch den Durchgang durchgeführtem Band abgedichtet wird. Wenn sich die Verschlussabschnitte über die Breite des Bandes hinaus erstrecken, so sind sie in den seitlich des Bandes liegenden Teilen ihrer Längserstreckung abgedichtet aneinander angedrückt, wobei ein weiterer Abschnitt der dynamischen Dichtung des Va- kuumventils ausgebildet wird. Ein Verschließen des Vakuumventils kann dadurch auch gegen ein solches den Durchgang durchsetzendes Band erfolgen.
Die ersten und zweiten Verschlussabschnitte sind erfindungsgemäß durch erste und zweite Seitenabschnitte miteinander verbunden, wobei die Verschlusseinrichtung insgesamt um- fangsgeschlossen ausgebildet ist. Es wird hierdurch eine zuverlässige und dauerhafte Konstruktion erreicht.
In einer möglichen Ausführungsform der Erfindung sind die ersten und zweiten Verschlussabschnitte insgesamt aus einem elastischen Material ausgebildet. Die Verschluss- einrichtung ist insgesamt umfangsgeschlossen ausgebildet, indem die ersten und zweiten Verschlussabschnitte durch erste und zweite. Seitenabschnitte miteinander verbunden sind, welche jeweils abgedichtet an der ersten und zweiten Wand anliegen und ebenfalls aus einem elastischen Material bestehen. Im geschlossenen Zustand des Vakuumventils sind die Seitenabschnitte abgedichtet zusammengefaltet. Diese umfangsgeschlossene aus dem elastischen Material bestehende Verschlusseinrichtung ist somit umfänglich gegenüber der ersten und zweiten Wand abgedichtet. Sie bildet daher eine Abdichtung des Vakuumbereichs des Vakuumventils. Weiters bildet die Verschlusseinrichtung die dynamische Dichtung zur Abdichtung des Durchgangs des Vakuumventils in dessen geschlossenem Zustand. Zum Verstellen des jeweiligen Verschlussabschnitts beim Öffnen und Schließen des Vakuumventils sind der erste und der zweite Verschlussabschnitt in dieser Ausführungsform vorzugsweise jeweils stirnseitig an einem Halteteil befestigt, das von mindestens einem Aktuator linear verschiebbar ist. In anderen möglichen Ausführungsformen der Erfindung weisen der erste und der zweite Verschlussabschnitt jeweils einen unelastischen Tragkörper, beispielsweise aus Metall, auf, an dem ein elastisches Material angeordnet ist, welches in der Schließstellung des Vakuumventils abgedichtet an das elastische Material des anderen Verschlussabschnitts und/oder an ein zwischen den Verschlussabschnitten durchgeführtes Band anlegbar ist. Zur Abdichtung gegenüber der ersten und zweiten Wand kann ebenfalls das elastische Material des ersten und zweiten Verschlussabschnitts dienen, wobei die zur Abdichtung des Durchgangs im geschlossenen Zustand des Vakuumventils und zur Abdichtung gegenüber der jeweiligen Wand dienenden Teile des elastischen Materials jeweils einstückig ausgebildet sein können oder aus separaten Teilen bestehen können. In einer weiteren Ausführungsvariante der Erfindung kann zur Abdichtung gegenüber der jeweiligen Wand ein an der jeweiligen Wand angeordneter elastischer Dichtring dienen, an welchem der jeweilige Verschlussabschnitt angedrückt ist. Die Verschlusseinrichtung ist wiederum insgesamt umfangsgeschlossen ausgebildet, indem die ersten und zweiten Verschlussabschnitte durch erste und zweite Seitenabschnitte miteinander verbunden sind, welche ebenfalls jeweils abgedichtet gegenüber der ersten und zweiten Wand sind. Diese Abdichtung kann dadurch erfolgen, dass die ersten und zweiten Seitenabschnitte zumindest in den Bereichen, in denen sie an der ersten und zweiten Wand anliegen, ein elastisches Material aufweisen. Weiters kann diese Abdichtung dadurch erfolgen, dass an der jeweiligen Wand ein die jeweilige Öffnung in der Wand umgebender elastischer Dichtring an- gebracht ist, der an Dichtflächen der ersten und zweiten Seitenabschnitte anliegt. Die Verschlusseinrichtung ist somit über ihren gesamten Umfang gegenüber der ersten und zweiten Wand abgedichtet. Um beim Öffnen und Schließen des Vakuumventils das Verfahren der ersten und zweiten Verschlussabschnitte zu ermöglichen, sind die ersten und zweiten Seitenabschnitte flexibel ausgebildet, wobei sie vorzugsweise zumindest über einen Teil ihrer Erstreckung insgesamt aus einem elastischen Material bestehen. Zum Öffnen und Schließen des Vakuumventils sind die Tragkörper der Verschlussabschnitte jeweils von mindestens einem Aktuator linear verschiebbar. Im geschlossenen Zustand des Vakuumventils sind die Seitenabschnitte abgedichtet zusammengefaltet.
Die umfangsgeschlossene Verschlusseinrichtung bildet in diesen Ausführungsformen wie- derum einerseits eine Abdichtung des Vakuumbereichs des Vakuumventils andererseits eine dynamische Dichtung zur Abdichtung des Durchgangs des Vakuumventils in dessen geschlossenem Zustand.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung werden im Folgenden anhand der beilie- genden Zeichnung erläutert. In dieser zeigen:
Fig. 1 eine Ansicht eines Vakuumventils gemäß der Erfindung;
Fig. 2 eine Draufsicht;
Fig. 3 und 4 Schnitte entlang der Linien AA und BB von Fig. 1 im geöffneten Zustand des Vakuumventils;
Fig. 5 und 6 Schnitte entsprechend den Fig. 3 und 4 im geschlossenen Zustand des Vakuumventils;
Fig. 7 einen Schnitt entlang der Linie AA von Fig. 1 im geöffneten Zustand des Vakuumventils mit einem durch den Durchgang des Vakuumventils geführten Band;
Fig. 8 einen Schnitt entsprechend Fig. 7 im geschlossenen Zustand des Vakuumventils; Fig. 9 und 10 Schnitte entlang der Linie CC in Fig. 2 im geöffneten und geschlossenen Zustand des Vakuumventils;
Fig. 1 1 eine Schrägsicht des Vakuumventils;
Fig. 12 eine Schrägsicht aus einer gegenüber Fig. 1 1 etwas geänderten Blickrichtung mit abgenommener vorderen Wand des Ventilkörpers und ohne die Verschlusseinrichtung aus dem elastischen Material;
Fig. 13 einen Schnitt durch einen Teil eines Vakuumventils in einer zweiten Ausführungsform in einer Schnittebene entsprechend Fig. 3, im geöffneten Zustand des Vakuumventils;
Fig. 14 einen Schnitt entlang der Linie DD von Fig. 13;
Fig. 15 eine Schrägsicht eines Teils eines Vakuumventils in einer dritten Ausführungsform der Erfindung, im geöffneten Zustand des Vakuumventils;
Fig. 16 und Fig. 17 eine Ansicht und eine Draufsicht des in Fig. 15 dargestellten Teils des Vakuumventils;
Fig. 18 einen Schnitt entlang der Linie EE von Fig. 17, wobei zusätzlich Abschnitte von die Verschlusseinheiten verschiebenden Kolbenstangen dargestellt sind; Fig. 19 einen Schnitt entlang der Linie FF von Fig. 18 (die Kolbenstangen wieder weggelassen);
Fig. 20 ein vergrößertes Detail G von Fig. 19;
Fig. 21 einen Schnitt entlang der Linie HH von Fig. 18;
Fig. 22 einen Schnitt entlang der Linie II von Fig. 18;
Fig. 23 einen Schnitt entlang der Linie JJ von Fig. 18;
Fig. 24 ein vergrößertes Detail K von Fig. 23;
Fig. 25 eine Schrägsicht aus einem gegenüber Fig. 15 leicht unterschiedlichen Blickwinkel, die vordere Wand des Ventilkörpers weggelassen;
Fig. 26 ein vergrößertes Detail L von Fig. 25;
Fig. 27 eine Ansicht einer der Wände des Ventilkörpers auf die den Verschlussgliedern zugewandte Seite;
Fig. 28 eine schematische Darstellung einer Vakuumanlage zur Bearbeitung eines Bandes mit darin eingesetzten erfindungsgemäßen Ventilen.
Ein erstes Ausführungsbeispiel eines Vakuumventils gemäß der Erfindung ist in den Fig. 1 bis 12 dargestellt.
Das Vakuumventil umfasst einen Ventilkörper 1 , der erste und zweite Wände 2, 3 aufweist, die einen Zwischenraum 4 zwischen sich einschließen. Die erste Wand 2 besitzt eine erste Öffnung 5 und die zweite Wand 3 besitzt eine zweite Öffnung 6. Die Öffnungen 5 und 6 besitzen die gleiche Form und Größe und liegen in einer Flucht miteinander, wobei sie einen eine Längsachse 8 aufweisenden Durchgang 7 durch den Ventilkörper 1 ausbilden. Die ersten und zweiten Öffnungen 5, 6 sind schlitzförmig ausgebildet, wobei ihre Längserstreckung wesentlich größer als ihre Höhe ist, insbesondere mehr als 10 mal größer.
Im Zwischenraum 4 ist eine Verschlusseinrichtung 9 angeordnet, welche in diesem Ausführungsbeispiel von einer ringförmigen Dichtung aus einem elastischen, insbesondere gum- mielastischen Material 33 gebildet wird. Als gummielastisches Material kann ein für Dichtzwecke in Vakuumventilen bekanntes Material eingesetzt werden, beispielsweise Viton.
Die Verschlusseinrichtung 9 besitzt erste und zweite Verschlussabschnitte 10, 11 , die sich jeweils zumindest im Wesentlichen parallel zur Längserstreckung der schlitzförmigen Öff- nung 5, 6 erstrecken bzw. die sich jeweils parallel zur Mittelebene 15 der Öffnungen 5, 6, welche rechtwinkelig zur Geraden 12 liegt, erstrecken. Die ersten und zweiten Verschlussabschnitte 10, 1 1 liegen abgedichtet an den zueinander gerichteten Oberflächen 13, 14 der ersten und zweiten Wand 2, 3 an. Im Bereich zwischen den Wänden 2, 3 und den Stellen der abgedichteten Anlage der Verschlussabschnitte 10, 1 1 an den Wänden 2, 3 liegt der Vakuumbereich des Vakuumventils.
Zum Öffnen und Schließen des Vakuumventils werden die ersten und zweiten Verschlussabschnitte 10, 1 1 jeweils in entgegengesetzte Richtungen einer Geraden 12 verschoben, die quer, insbesondere rechtwinkelig, zur Längserstreckung der ersten und zweiten Ver- Schlussabschnitte 10, 1 1 bzw. zur Längserstreckung der Öffnungen 5, 6 und parallel zu den aufeinander zu gerichteten Oberflächen 13, 14 der ersten und zweiten Wand liegt, an denen die Verschlussabschnitte 10, 1 1 anliegen. Hierbei werden die Verschlussabschnitte 10, 1 1 abgedichtet gegenüber den Oberflächen 13, 14 der Wände 2, 3 verschoben. Im geöffneten Zustand des Vakuumventils befinden sich die beiden Verschlussabschnitte 10, 11 auf gegenüberliegenden Seiten des Durchgangs 7 und geben die Verschlussabschnitte 10, 1 1 den Durchgang 7 vorzugsweise vollständig frei, überdecken also in Richtung der Längsachse 8 gesehen die erste und zweite Öffnung nicht. Im geschlossenen Zustand des Vakuumventils ragen der erste und der zweite Verschlussabschnitt 10, 1 1 von gegenüberliegenden Seiten her in den Durchgang 7, wobei sie über ihre gesamte Längserstreckung abgedichtet aneinander anliegen (vgl. Fig. 5, 6 und 10) oder über einen Teil ihrer Längserstreckung abgedichtet aneinander und über einen Teil ihrer Längserstreckung abgedichtet an gegenüberliegenden Seitenflächen 16, 17 eines durch den Durchgang 7 durchgeführten Bandes 18 anliegen (vgl. Fig. 8). Die Ebene des Bandes liegt hierbei parallel zur Längsachse 8 und rechtwinkelig zur Geraden 12. Die Ausdehnung des Bandes 18 in Richtung der Längserstreckung der schlitzförmigen Öffnungen 5, 6 kann hierbei unterschiedlich groß sein, beispielsweise mehr als die Hälfte dieser Ausdehnung ausmachen.
Zur Ausbildung einer insgesamt umfangsgeschlossenen bzw. ringförmigen Verschlusseinrichtung 9 sind der erste und der zweite Verschlussabschnitt 10, 1 1 durch erste und zweite Seitenabschnitte 19, 20 miteinander verbunden. Die Seitenabschnitte 19, 20 sind in diesem Ausführungsbeispiel einstückig mit den Verschlussabschnitten 10, 11 ausgebildet und be- stehen aus dem gleichen gummielastischen Material. Die Seitenabschnitte 19, 20 liegen abgedichtet an den aufeinander zu gerichteten Oberflächen 13, 14 der Wände 2, 3 an. Beim Schließen des Vakuumventils werden die Seitenabschnitte 19, 20 zusammengefaltet, wobei sie im geschlossenen Zustand des Vakuumventils beidseitig der Umfaltung abgedichtet aneinander angedrückt sind.
Die Seitenabschnitte 19, 20 sind die Abschnitte der Verschlusseinrichtung 9, die im geöffneten und geschlossenen Zustand des Vakuumventils bezogen auf die Richtung der Geraden 12 beidseitig neben den Öffnungen 5, 6 liegen, diese Öffnungen 5, 6 also auch im geschlossenen Zustand des Vakuumventils nicht überdecken.
Im geschlossenen Zustand des Vakuumventils ohne ein durch den Durchgang 7 durchgeführtes Band 18 sind somit die Verschlussabschnitte 10, 1 1 zusammengedrückt und die Seitenabschnitte 19, 20 zusammengefaltet, wie dies aus den Fig. 5, 6 und 10 ersichtlich ist. Das Schließen des Vakuumventils kann aber auch bei einem zuvor durch den Durchgang 7 durchgeführten Band 18 erfolgen, vgl. die Fig. 7 und 8, wobei die Verschlussabschnitte 10, 1 1 über den Bereich der Breite des Durchgangs 7 (=den Bereich der Längserstreckung der Öffnungen 5, 6), über welchen sich das Band 18 erstreckt, an die gegenüberliegenden Seitenflächen 16, 17 des Bandes angedrückt sind. In Bereichen neben dem Band 18 sind die Verschlussabschnitte 10, 11 wiederum aneinander angedrückt. Die Verschlussabschnit- te 10, 1 1 erstrecken sich quer, insbesondere rechtwinkelig, zur Längsausdehnung des Bandes 18.
Zum Öffnen und Schließen des Vakuumventils sind die ersten und zweiten Verschlussabschnitte 10, 1 1 an plattenförmigen ersten und zweiten Halteteilen 21 , 22 befestigt, bei- spielsweise angeklebt. Die im Zwischenraum 4 angeordneten oder in diesen ragenden Halteteile 21 , 22 wirken mit der jeweils vom Durchgang 7 abgewandten Seite des jeweiligen Verschlussabschnitts 10, 11 zusammen. Die ersten und zweiten Halteteile 21 , 22 befinden sich somit außerhalb des Vakuumbereiches des Vakuumventils. Die Halteteile 21 , 22 sind mittels Aktuatoren 23-26 linear verschiebbar und zwar in die Richtung der Geraden 12. Die Aktuatoren 23-26 können beispielsweise wie dargestellt in Form von Kolben-Zylinder-Einheiten ausgebildet sein, deren Kolbenstangen mit den Halteteilen 21 , 22 verbunden sind. Anstelle der dargestellten zwei Aktuatoren 23, 24; 25, 26 pro Halteteil 21 , 22 könnte pro Halteteil 21 , 22 auch nur ein Aktuator oder es könnten mehr als zwei Aktuatoren pro Halteteil 21 , 22 vorgesehen sein. Wenn ausgehend vom geöffneten Zustand des Vakuumventils, vgl. Fig. 3, 4, 7 und 9, das Vakuumventil geschlossen werden soll, so werden die Halteteile 21 , 22 einander angenähert, wobei sie die Verschlussabschnitte 10, 1 1 zusammenfahren. Beim Zusammenfahren der Verschlussabschnitte 10, 1 1 kommen auch die Seitenabschnitte 19, 20, welche zuvor von den Stirnseiten der Halteteile 21 , 22 beabstandet waren, stirnseitig an die Halteteile 21 , 22 in Anlage und werden von den Halteteilen 21 , 22 zusammengefaltet, wie insbesondere aus dem Vergleich der Fig. 9 und 10 ersichtlich ist. Zum Öffnen des Vakuumventils werden die Halteteile 21 , 22 auseinandergefahren, wobei sie die an ihnen angebrachten Verschlussabschnitte 10, 1 1 auseinanderziehen. Die Seitenabschnitte 19, 20 können sich hierbei - auch durch ihre elastischen Rückstellkräfte - in ihre vorgeformte Gestalt entfalten. Die vorgeformte Gestalt der Seitenabschnitte ist im gezeigten Ausführungsbeispiel durchgehend bogenförmig.
Das eine Halteteil 21 besitzt Anschlagelemente 27, 28, die mit Anschlägen der Wand 2 zusammenwirken. Wenn beim Schließen des Vakuumventils das erste Halteteil 21 und somit der erste Verschlussabschnitt 10 seine vorgesehene Endposition erreicht hat, so laufen die Anschlagelemente 27, 28 an die Anschläge 29, 30 an. Vorzugsweise ist die Kraft der das Halteteil 21 bewegenden Aktuatoren 23, 24 größer als die Kraft der das Halteteil 22 bewegenden Aktuatoren 25, 26. Die Anschlagelemente 27, 28 werden dadurch auch unter dem Gegendruck des Halteteils 22 in Anlage an den Anschlägen 29, 30 gehalten. Die gewünschte Kraft, mit der die Verschlusseinrichtung 9 verpresst wird, um den Durchgang 7 im geschlossenen Zustand des Vakuumventils abzudichten, wird somit durch die Kraft bestimmt, mit der das Halteteil 22 von den Aktuatoren 25, 26 im geschlossenen Zustand des Vakuumventils beaufschlagt wird.
Im gezeigten Ausführungsbeispiel sind die Anschlagelemente 27, 28 noppenförmig bzw. stiftförmig und die Anschläge 29, 30 werden von Rändern von Fensterausnehmungen in der ersten und zweiten Wand 2, 3 gebildet. Ausbildungen von Anschlagelementen und Anschlägen in anderer Form sind möglich.
Die Verschlusseinrichtung 9 bildet somit gleichzeitig die dynamische Dichtung zum Abdichten des Durchgangs des Vakuumventils und eine Dichtung des Vakuumventils zur Abdichtung des Vakuumbereichs des Vakuumventils (weitere statische Dichtungen zur Abdichtung des Vakuumbereichs des Vakuumventils können vorhanden sein). Ein zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Fig. 13 und 14 dargestellt. Die ersten und zweiten Verschlussabschnitte 10, 1 1 der Verschlusseinrichtung 9 sind hier im Unterschied zum zuvor gezeigten Ausführungsbeispiel nicht durchgehend aus einem elastischen Material ausgebildet sondern weisen jeweils einen starren Trägerkörper 31 , 32 auf, an welchem ein elastisches, insbesondere gummielastisches Material 33 festgelegt ist. Es kann wiederum ein gummielastisches Material eingesetzt werden, wie es für Dichtzwecke in Vakuumventilen bekannt ist, beispielsweise Viton.
Das elastische Material 33 liegt abgedichtet an den zueinander gerichteten Oberflächen 13, 14 der ersten und zweiten Wand 2, 3 an. Zum Schließen des Vakuumventils werden die beiden Trägerkörper 31 , 32 aufeinander zu verschoben, bis die elastischen Materialien 33 der Trägerkörper 31 , 32 aneinander angedrückt sind oder, falls ein Band 18 durch den Durchgang 7 verläuft, im Bereich des Bandes 18 an die gegenüberliegenden Seitenflächen 16, 17 des Bandes 18 und in Bereichen neben dem Band 18 aneinander angedrückt sind.
Da die Trägerkörper 31 , 32 starr ausgebildet sind, können Aktuatoren auf sie einwirken, ohne dass wie im zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiel zusätzliche Halteteile 21 , 22 erforderlich wären. Im gezeigten Ausführungsbeispiel greifen die Kolbenstangen 34 von Kolben-Zylinder-Einheiten (nicht dargestellt in den Fig. 13 und 14) an den Trägerkörpern 31 , 32 an.
Durch den Einsatz von starren Trägerkörpern 31 , 32 mit den an ihnen angeordneten elastischen Materialien 33 kann der Durchgang 7 eine größere Höhe, das ist seine Abmessung in Richtung der Geraden 12, aufweisen.
Die ersten und zweiten Verschlussabschnitte 10, 1 1 der Verschlusseinrichtung 9 sind zur Ausbildung einer insgesamt umfangsgeschlossenen Verschlusseinrichtung wiederum durch erste und zweite Seitenabschnitte 19, 20 verbunden. Hierzu sind die im Bereich der Verschlussabschnitte 10, 1 1 fest an die Trägerkörper 31 , 32 angebrachten elastischen Ma- terialien 33 im Bereich der Seitenabschnitte 19, 20 von der Verschlusseinrichtung 9 abgelöst, zumindest in einem Teilbereich anschließend an den jeweiligen Seitenrand. Die Trägerkörper 31 , 32 erstrecken sich auch über den Bereich der Seitenabschnitte oder zumindest einen Teil hiervon, beispielsweise geradlinig, weiter und bilden hier Andrückabschnitte 48, 49 für den jeweiligen Seitenabschnitt 19, 20. Die elastischen Materialien 33 bilden, wo sie sich zum Seitenrand hin von den Trägerkörpern 31 , 32 ablösen, erste und zweite Schenkel 37, 38 der Seitenabschnitte 19, 20, die randseitig miteinander verbunden sind. Diese Schenkel 37, 38 werden jeweils von den Andrückabschnitten 48, 49 der Trägerkörper 31 , 32 aneinander angedrückt, wenn das Vakuumventil geschlossen ist. Beispielsweise können die Schenkel 37, 38 jeweils eine Vertiefung 35, 36 besitzen, in welche die Andrückabschnitte 48, 49 derTrägerkörper 31 , 32 beim Schließen des Vakuumventils einfahren.
Beim Schließen des Vakuumventils werden die Seitenabschnitte 19, 20 der Verschlusseinrichtung 9 zusammengefaltet, wobei die Andrückabschnitte 48, 49 der Trägerkörper 31 , 32 die aus dem elastischen Material 33 bestehenden Schenkel 37, 38 zusammendrücken. Die in den Teildarstellungen von Fig. 13 und 14 nicht dargestellten Teile des Vakuumventils können in analoger Weise wie im ersten Ausführungsbeispiel des Vakuumventils ausgebildet sein.
Obwohl dies in den Fig. 13 und 14 nicht dargestellt ist, können wiederum mit Anschlägen 29, 30 zusammenwirkende Anschlagelemente 27, 28 vorhanden sein, um die Endposition von einem der Verschlussabschnitte 10, 1 1 im geschlossenen Zustand des Vakuumventils eindeutig festzulegen. Die Anschlagelemente 27, 28 können hier beispielsweise an einem der Trägerkörper 31 , 32 angeordnet sein. Die Schließkraft im geschlossenen Zustand des Vakuumventils wird dann in analoger Weise wie im ersten Ausführungsbeispiel durch die Kraft bestimmt, mit welcher der andere Trägerkörper gegen den an die Anschlagelemente angedrückten Trägerkörper angedrückt wird.
Eine weitere Ausführungsform der Erfindung ist in den Fig. 15 bis 27 dargestellt. Insbesondere die Unterschiede zum zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiel werden im Fol- genden erläutert. Nicht beschriebene Teile können gleich oder analog wie beim zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiel ausgebildet sein.
Die Abdichtung der Verschlusseinrichtung 9 gegenüber der ersten und zweiten Wand 2, 3 erfolgt in diesem Ausführungsbeispiel durch elastische Dichtringe 50, 51 , die die erste und zweite Öffnung 5, 6 umgeben und an der jeweiligen Wand 2, 3 auf der der Verschlusseinrichtung 9 zugewandten Seite gehalten sind. Vorzugsweise sind die Dichtringe 50, 51 in Form von O-Ringen ausgebildet, die in Nuten in der jeweiligen Wand 2, 3 angeordnet sind. Die Dichtringe 50, 51 liegen umfänglich an Dichtflächen der Verschlusseinrichtung 9 an, die der ersten bzw. zweiten Wand 2, 3 zugewandt sind. In den Fig. 25 und 26 ist der Dichtring 50 eingezeichnet, sodass diese Anlage ersichtlich ist. Die ersten und zweiten Verschlussabschnitte 10, 1 1 weisen jeweils einen starren Trägerkörper 31 , 32 auf, der einen Grundkörper und an diesen angeschraubte Befestigungsstücke 52, 53 aufweist, die zur Verbindung mit dem jeweiligen Seitenabschnitt 19, 20 dienen. Die Seitenabschnitte 19, 20 weisen V-förmige Trägerstücke 54,55 aus einem elastischen Material auf, welche zur Verbindung mit den Verschlussabschnitten 10, 11 an die Befestigungsstücke 52, 53 anvulkanisiert sind.
Über die einander zugewandten Stirnseiten der Trägerkörper 31 , 32 verlaufen Abschnitte von ersten und zweiten Dichtringen 56, 57. Beispielsweise sind die Dichtringe 56, 57 in Form von O-Ringen ausgebildet und in Nuten an den Stirnseiten der Trägerkörper 31 , 32 gehalten. Diese Abschnitte der Dichtringe 56, 57 bilden somit ein elastisches Material 33 des jeweiligen Verschlussabschnitts 10, 1 1.
Die Dichtringe 56, 57 verlaufen weiters über die Trägerstücke 54, 55, welche zu diesem Zweck ebenfalls Nuten aufweisen können, in denen die Dichtringe 56, 57 verlaufen.
Die Trägerstücke 54, 55 zusammen mit den über sie verlaufenden Abschnitten der Dichtringe 56, 57 bilden in diesem Ausführungsbeispiel die Seitenabschnitte 19, 20. Die beiden Dichtringe 56, 57 liegen in parallelen, in Richtung der Längsachse 8 des Durchgangs 7 voneinander beabstandeten Ebenen.
Beim Schließen des Vakuumventils durch Zusammenschieben der Trägerkörper 31 , 32 werden die über die Trägerkörper 31 , 32 verlaufenden Abschnitte der Dichtringe 56, 57 zusammengedrückt bzw. gegen ein durch den Durchgang 7 durchgeführtes Band gedrückt. Die Trägerstücke 54, 55 werden zusammengefaltet und mit ihnen die über ihre Innenseiten verlaufenden Abschnitte der Dichtringe 56, 57. Zum Zusammendrücken der Trägerstücke 54, 55 dienen Andrückabschnitte 48, 49, welche von seitlichen Fortsätzen des Grundkörpers der Trägerkörper 31 , 32 gebildet werden.
Die Trägerstücke 54, 55 können beispielsweise aus Viton (FKM) oder FFKM bestehen.
Zumindest über einen Teil der Breite des Durchgangs 7 (=Längserstreckung der Öffnungen 5, 6) verlaufen über die Stirnseiten der Trägerkörper 31 , 32 zwischen den Dichtringen 56, 57 längserstreckte elastische Abstützelemente 58, 59. Diese können beispielsweise von Abschnitten von O-Ringen gebildet werden, die in Nuten in den Trägerkörpern 31 , 32 gehalten sind.
Falls im geschlossenen Zustand des Vakuumventils ein Band 18 durch den Durchgang 7 durchgeführt ist, so wird dieses von den Abstützelementen 58, 59 geklemmt. Die Abstützelemente 58, 59 begrenzen weiters die Verpressung der Dichtringe 56, 57. Hierbei ist der Freiraum, der zwischen dem jeweiligen Abstützelement 58, 59 und der ihn aufnehmenden Nut liegt, kleiner als der Freiraum der zwischen dem jeweiligen Dichtring 56, 57 und der ihn aufnehmenden Nut liegt.
Zur Verbesserung der Abdichtfunktion des Vakuumventils in seinem geschlossenen Zustand kann weiters eine Zwischenabsaugung zwischen den beiden Dichtringen 56, 57 vorgesehen sein. Hierbei verläuft mindestens ein Kanal 60 durch zumindest einen der Trägerkörper 31 , 32, der zwischen den Dichtringen 56, 57 mündet. Durch diesen mindestens ei- nen Kanal 60 kann der Raum zwischen den Dichtringen 56, 57 abgepumpt werden.
Die Verschlusseinrichtung 9 könnte auch mit nur einem Dichtring 56, 57 versehen sein, wobei eine Zwischenabsaugung entfällt. Auch mehr als zwei Dichtringe mit einer oder mehr als einer Zwischenabsaugung können vorgesehen sein.
Abstützelemente 58, 59 können auch entfallen. Die Dichtringe 50, 51 , 56, 57 können beispielsweise aus Viton bestehen.
Die Abstützelemente 58, 59 können beispielsweise aus Viton bestehen.
Die Verschlusseinrichtung 9 bildet in allen beschriebenen Ausführungsformen die dynamische Dichtung des Vakuumventils zur Abdichtung des Durchgangs des Vakuumventils in seinem geschlossenen Zustand und zumindest eine Dichtung zur Abdichtung des Vakuumbereichs des Vakuumventils (weitere statische Dichtungen zur Abdichtung des Vaku- umbereichs des Vakuumventils können vorgesehen sein).
In allen beschriebenen Ausführungsformen weist die Verschlusseinrichtung 9 mindestens ein umfangsgeschlossenes Element aus einem elastischen Material auf, welches im geöffneten Zustand des Vakuumventils um den Durchgang 7 herum verläuft und von welchem beim Schließen des Vakuumventils gegenüberliegende Abschnitte zusammengedrückt werden. Dieses Zusammendrücken erfolgt, indem starre Teile, welche sich zumindest über die gesamte Längserstreckung dieser gegenüber liegenden Abschnitte erstrecken, und zwar jeweils auf der vom Durchgang abgewandten Seite des Abschnitts des elastischen Elements, gegen diese gegenüberliegenden Abschnitte zusammengefahren werden. Alle zur Abdichtung vorgesehenen elastischen Materialien und/oder die Abstützelemente 58, 59 und/oder die Trägerstücke 54, 55 können auch aus einem anderen hierzu geeigneten Material als Viton (FKM) bestehen, beispielsweise FFKM, EPDM oder Silikon.
Beim Schließen des Vakuumventils verschieben sich die Trägerkörper 31 , 32 der ersten und zweiten Verschlussabschnitte 10, 1 1 und die Trägerstücke 54, 55 der Seitenabschnitte 19, 20 gegenüber den an der ersten und zweiten Wand 2, 3 gehaltenen Dichtringen 50, 51 , welche hierbei entlang von Dichtflächen der Trägerkörper 31 , 32 und Trägerstücke 54, 55 verschoben werden. In der Offenstellung der Verschlusseinrichtung sind die ersten und zweiten Verschlussabschnitte 10, 1 1 vorzugsweise so weit zurückgezogen, dass der Durchgang 7 in Richtung seiner Längsachse 8 gesehen nicht nur vollständig freigegeben ist sondern dass die ersten und zweiten Verschlussabschnitte 10, 1 1 demgegenüber etwas weiter zurückgezogen sind, z.B. um 1 mm bis 3mm, sodass die elastischen Materialien der Verschlusseinrichtung ge- schützt sind, beispielsweise gegenüber dem vorbeigezogenen Band 18, welches sich im Durchgang rechtwinkelig zu seiner Ebene verschieben kann.
In Fig. 28 ist schematisch eine Vakuumanlage dargestellt, die zur Bearbeitung eines Bandes 18 unter Vakuumbedingungen dient, beispielsweise zur Durchführung von Beschich- tungen. Solche Vakuumanlagen werden beispielsweise bei der Herstellung von durch Be- schichtung ausgebildete Solarzellen oder LED's eingesetzt. Das Band 18 wird von einer ersten Rolle 39 abgerollt und nach der Bearbeitung auf eine zweite Rolle 40 aufgerollt. Es kann sich insbesondere um eine Folie in Bandform handeln. Das Band 18 wird zwischen der ersten und zweiten Rolle 39, 40 durch mindestens eine Vakuumkammer 41 , 42, 43 ge- führt, in welcher ein Bearbeitungsschritt durchgeführt wird. Die Rollen 39, 40 sind in separaten Vakuumkammern 44, 45 angeordnet, die von den anderen Vakuumkammern 41 -43 jeweils über ein erfindungsgemäßes Vakuumventil 46 verbunden sind.
Wenn der Vorrat des Bandes 18 in der Rolle 39 aufgebraucht ist, wird das Vakuumventil 46 gegen das durchgeführte Band 18 geschlossen und eine neue Rolle 39 wird eingesetzt, wobei der Anfang des Bandes dieser Rolle mit dem Ende des Bandes der vorigen Rolle verbunden wird. Die Vakuumkammer 44 wird abgepumpt und das Vakuumventil 46 wird geöffnet. In analoger Weise wird vorgegangen, wenn die Rolle 40 mit dem aufgerollten bearbeiteten Band gegen eine leere Rolle auszuwechseln ist. Eine Beflutung der Vakuumkammern 41-43 beim Wechseln der Rollen 39, 40 kann somit vermieden werden.
Zwischen den Vakuumkammern 41 -43, in welchen Bearbeitungsschritte ausgeführt werden, können lediglich Verbindungsstücke 47 angeordnet sein oder es können ebenfalls, zumindest teilweise, erfindungsgemäße Vakuumventile 46 angeordnet sein, sodass auch ein Service an einer dieser Kammern 41-43 ermöglicht wird, ohne das gesamte System zu fluten.
Die Dicke des Bandes 18, gegen das ein erfindungsgemäßes Vakuumventil geschlossen werden kann, ist dahingehend limitiert, dass die mögliche Verformung der Verschlussabschnitte 10, 11 bzw. des elastischen Materials 33 der Verschlussabschnitte 10, 11 im ge- schlossenen Zustand des Vakuumventils begrenzt ist und in den Bereichen seitlich neben dem Band eine ausreichende Verpressung der Verschlussabschnitte 10, 1 1 noch gegeben sein muss. Beispielsweise kann die Dicke des Bandes 18 bis zu 1 mm betragen. In Abhängigkeit von der in Richtung senkrecht zur Ebene des Bandes gemessenen Dicke der Verschlussabschnitte 10, 1 1 bzw. des im Bereich ihrer Stirnseiten angeordneten elastischen Materials 33 kann auch eine größere Dicke des Bandes 18 ermöglicht werden.
L e g e n d e
zu den Hinweisziffern:
1 Ventilkörper 31 Trägerkörper
2 erste Wand 32 Trägerkörper
3 zweite Wand 33 elastisches Materia
4 Zwischenraum 34 Kolbenstange
5 erste Öffnung 35 Vertiefung
6 zweite Öffnung 36 Vertiefung
7 Durchgang 37 Schenkel
8 Längsachse 38 Schenkel
9 Verschlusseinrichtung 39 Rolle
10 erster Verschlussabschnitt 40 Rolle
11 zweiter Verschlussabschnitt 41 Vakuumkammer
12 Gerade 42 Vakuumkammer
13 Oberfläche 43 Vakuumkammer
14 Oberfläche 44 Vakuumkammer
15 Mittelebene 45 Vakuumkammer
16 Seitenfläche 46 Vakuumventil
17 Seitenfläche 47 Verbindungsstück
18 Band 48 Andrückabschnitt
19 erster Seitenabschnitt 49 Andrückabschnitt
20 zweiter Seitenabschnitt 50 Dichtring
21 Halteteil 51 Dichtring
22 Halteteil 52 Befestigungsstück
23 Aktuator 53 Befestigungsstück
24 Aktuator 54 Trägerstück
25 Aktuator 55 Trägerstück
26 Aktuator 56 Dichtring
27 Anschlagelement 57 Dichtring
28 Anschlagelement 58 Abstützelement
29 Anschlag 59 Abstützelement
30 Anschlag 60 Kanal

Claims

Ansprüche
Vakuumventil umfassend
einen Ventilkörper (1) mit ersten und zweiten Wänden (2, 3), die einen Zwischenraum (4) zwischen sich aufweisen und von denen die erste Wand
(2) eine erste Öffnung (5) und die zweite Wand (3) eine zweite Öffnung (6) aufweist, wobei durch die erste und zweite Öffnung (5, 6) ein eine Längsachse (8) aufweisender Durchgang (7) durch das Vakuumventil ausgebildet wird, und
eine im Zwischenraum (4) zwischen der ersten und der zweiten Wand (2, 3) liegende Verschlusseinrichtung (9), von der der Durchgang (7) durch den Ventilkörper (1) in einer Schließstellung der Verschlusseinrichtung verschließbar und in einer Offenstellung der Verschlusseinrichtung zumindest großteils freigebbar ist und die erste und zweite Verschlussabschnitte (10, 1 1) aufweist, welche jeweils abgedichtet gegenüber der ersten und zweiten Wand (2, 3) verschiebbar sind und welche im geöffneten Zustand des Vakuumventils den Durchgang (7) zumindest großteils freigeben und zum Schließen des Vakuumventils in Positionen verstellt werden, in denen sie von gegenüberliegenden Seiten des Durchgangs (7) her in den Durchgang (7) ragen und diesen jeweils teilweise überdecken, wobei die ersten und zweiten Verschlussabschnitte (10, 1 1) abgedichtet aneinander und/oder an ein zwischen ihnen durch den Durchgang (7) durchgeführtes Band (18) angedrückt sind,
dadurch gekennzeichnet, dass der erste Verschlussabschnitt (10) und der zweite Verschlussabschnitt (1 1) durch erste und zweite Seitenabschnitte (19, 20) miteinander verbunden sind, wobei die Verschlusseinrichtung (9) insgesamt umfangsgeschlossen ausgebildet ist.
Vakuumventil nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die ersten und zweiten Verschlussabschnitte (10, 1 1) zumindest in den Bereichen, in denen sie im geschlossenen Zustand des Vakuumventils aneinander und/oder an das zwischen ihnen durch den Durchgang (7) durchgeführte Band (18) angedrückt sind, ein elastisches Material (33) aufweisen.
3. Vakuumventil nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zur Abdichtung der ersten und zweiten Verschlussabschnitte (10, 1 1 ) gegenüber der ersten und zweiten Wand (2, 3) die ersten und zweiten Verschlussabschnitte (10, 11) zumindest in Bereichen, in denen sie an der ersten und zweiten Wand (2, 3) anliegen, ein elastisches Ma- terial (33) aufweisen oder an der jeweiligen Wand (2, 3) ein die Öffnung (5, 6) der jeweiligen Wand (2, 3) umgebender elastischer Dichtring (50, 51) angeordnet ist, der an Dichtflächen der ersten und zweiten Verschlussabschnitte (10, 1 1) anliegt.
4. Vakuumventil nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten und zweiten Verschlussabschnitte (10, 1 1) insgesamt aus einem elastischen Material (33) bestehen.
5. Vakuumventil nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Verschlussabschnitt (10) an einem ersten Halteteil (21) und der zweite Verschlussabschnitt (11) an ei- nem zweiten Halteteil (22) befestigt ist, wobei die ersten und zweiten Halteteile (21 , 22) zum Verstellen des jeweiligen Verschlussabschnitts (10, 1 1) beim Öffnen und Schließen des Vakuumventils von mindestens einem Aktuator (23-26) jeweils linear verschiebbar sind.
6. Vakuumventil nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das jeweilige Halteteil (21 , 22) plattenförmig ausgebildet ist und der jeweilige Verschlussabschnitt (10, 1 1) stirnseitig an ihm befestigt ist.
7. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten und zweiten Verschlussabschnitte (10, 1 1) jeweils einen starren Trägerkörper (31 , 32) aufweisen, an dem elastisches Material (33) angeordnet ist, welches in der Schließstellung des Vakuumventils abgedichtet am elastischen Material (33) des anderen Verschlussabschnitts (10, 1 1) und/oder an ein zwischen den Verschlussabschnitten (10, 1 1) durch den Durchgang (7) durchgeführtes Band (18) angedrückt ist, wobei die Träger- körper (31 , 32) zum Öffnen und Schließen des Vakuumventils jeweils von mindestens einem Aktuator (23-26) linear verschiebbar sind.
8. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Seitenabschnitte (19, 20) der Verschlusseinrichtung (9) jeweils abgedichtet gegenüber der ersten und zweiten Wand (2, 3) sind, wobei die Verschlusseinrichtung (9) über ihren gesamten Umfang gegenüber der ersten und zweiten Wand (2, 3) abgedichtet ist.
9. Vakuumventil nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass ein jeweiliger Seitenabschnitt (19, 20) im geschlossenen Zustand des Vakuumventils zusammengefaltet ist, wobei zwei Schenkel (37, 38) des jeweiligen Seitenabschnitts (19, 20) abgedichtet an- einander anliegen, und dass die Seitenabschnitte (19, 20) zumindest in den Bereichen, in denen sie im geschlossenen Zustand des Vakuumventils durch Zusammenfalten zusammengedrückt sind, ein elastisches Material aufweisen.
10. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass zur Abdichtung der ersten und zweiten Seite nabschnitte (19, 20) der Verschlusseinrichtung (9) gegenüber der ersten und zweiten Wand (2, 3) die ersten und zweiten Seitenabschnitte (19, 20) zumindest in den Bereichen, in denen sie an der ersten und zweiten Wand (2, 3) anliegen, ein elastisches Material aufweisen oder an der jeweiligen Wand (2, 3) ein die jeweilige Öffnung in der Wand umgebender elastischer Dichtring (50, 51) angeordnet ist, der an Dichtflächen der ersten und zweiten Seitenabschnitte (19, 20) anliegt.
1 1. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten und zweiten Seitenabschnitte (19, 20) insgesamt aus einem elastischen Material bestehen.
12. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 bis 1 1 , dadurch gekennzeichnet, dass über die einander zugewandten Stirnseiten der Trägerkörper (31 , 32) und über elastische Trägerstücke (54, 55) der ersten und zweiten Seitenabschnitte (19, 20), die mit den Trä- gerkörpern (31 , 32) verbunden sind, mindestens ein elastischer Dichtring (56, 57) verläuft.
13. Vakuumventil nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass zwei in Richtung der Längsachse des Durchgangs (7) voneinander beabstandete Dichtringe (56, 57) über die einander zugewandten Stirnseiten der Trägerkörper (31 , 32) und über die die Trägerkörper (31 , 32) verbindenden Trägerstücke (54, 55) verlaufen und dass zwischen diesen Dichtringen (56, 57) mindestens ein durch zumindest einen der Trägerkörper (31 , 32) verlaufender Kanal (60) zur Absaugung eines zwischen den Dichtringen (56, 57) im geschlossenen Zustand des Vakuumventils liegenden Raums mündet.
14. Vakuumventil nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest über Abschnitte der einander zugewandten Stirnseiten der Trägerkörper (31 , 32) aus elastischem Material bestehende Abstützelemente (58, 59) verlaufen, die im geschlossenen Zustand des Vakuumventils aneinander bzw. an ein durch den Durchgang (7) durchgeführtes Band (18) angedrückt sind.
15. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Position eines der beiden Verschlussabschnitte (10, 1 1) im geschlossenen Zustand des Vakuumventils durch mindestens einen Anschlag (29, 30) festgelegt ist, an welchem mindestens ein Anschlagelement (27, 28) anliegt, wobei die Schließkraft durch die Stärke des Andrückens des anderen Verschlussabschnitts (10, 1 1) gegen den in seiner Position festgelegten Verschlussabschnitt (10, 11) bestimmt ist.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8833383B2 (en) 2011-07-20 2014-09-16 Ferrotec (Usa) Corporation Multi-vane throttle valve
WO2015032861A1 (de) * 2013-09-06 2015-03-12 Von Ardenne Gmbh Schlitzventil und substratbehandlungsanlage
CN105351543A (zh) * 2015-11-19 2016-02-24 盐城杰富茂博石化机械制造有限公司 一种双联闸阀

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3722899A (en) * 1970-08-05 1973-03-27 Gen Engineering Co Seal
JPS6019567U (ja) 1983-07-20 1985-02-09 株式会社日立製作所 エレベ−タ−の非常運転装置
JPS6319567U (de) * 1986-07-17 1988-02-09
US4809950A (en) 1987-05-26 1989-03-07 Siegfried Schertler Valve slide with slide housing
US4921213A (en) 1988-09-14 1990-05-01 Vat Holding Ag Valve slide
JPH0392770U (de) * 1990-01-12 1991-09-20
JPH0472A (ja) 1990-04-12 1992-01-06 Kawasaki Steel Corp 帯状材の周囲を真空シールする真空バルブ
JP2000065249A (ja) * 1998-08-20 2000-03-03 Irie Koken Kk 真空ゲートバルブ
US6367770B1 (en) 2000-03-23 2002-04-09 Vat Holding Ag Vacuum valve for separating two vacuum chambers
US6431518B1 (en) 2001-01-11 2002-08-13 Vat Holding Ag Vacuum valve
JP2009030754A (ja) 2007-07-30 2009-02-12 V Tex:Kk 気密を保持するゲートバルブ、このゲートバルブを使用したフィルム製造装置およびフィルム製造方法
WO2009070824A1 (de) 2007-12-06 2009-06-11 Vat Holding Ag Vakuumventil

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3722899A (en) * 1970-08-05 1973-03-27 Gen Engineering Co Seal
JPS6019567U (ja) 1983-07-20 1985-02-09 株式会社日立製作所 エレベ−タ−の非常運転装置
JPS6319567U (de) * 1986-07-17 1988-02-09
US4809950A (en) 1987-05-26 1989-03-07 Siegfried Schertler Valve slide with slide housing
US4921213A (en) 1988-09-14 1990-05-01 Vat Holding Ag Valve slide
JPH0392770U (de) * 1990-01-12 1991-09-20
JPH0472A (ja) 1990-04-12 1992-01-06 Kawasaki Steel Corp 帯状材の周囲を真空シールする真空バルブ
JP2000065249A (ja) * 1998-08-20 2000-03-03 Irie Koken Kk 真空ゲートバルブ
US6367770B1 (en) 2000-03-23 2002-04-09 Vat Holding Ag Vacuum valve for separating two vacuum chambers
US6431518B1 (en) 2001-01-11 2002-08-13 Vat Holding Ag Vacuum valve
JP2009030754A (ja) 2007-07-30 2009-02-12 V Tex:Kk 気密を保持するゲートバルブ、このゲートバルブを使用したフィルム製造装置およびフィルム製造方法
WO2009070824A1 (de) 2007-12-06 2009-06-11 Vat Holding Ag Vakuumventil

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8833383B2 (en) 2011-07-20 2014-09-16 Ferrotec (Usa) Corporation Multi-vane throttle valve
WO2015032861A1 (de) * 2013-09-06 2015-03-12 Von Ardenne Gmbh Schlitzventil und substratbehandlungsanlage
DE102014100070B4 (de) 2013-09-06 2019-04-18 VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG Schlitzventil und Vakuumbeschichtungsanlage
CN105351543A (zh) * 2015-11-19 2016-02-24 盐城杰富茂博石化机械制造有限公司 一种双联闸阀

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