JPH0472A - 帯状材の周囲を真空シールする真空バルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、真空室内に連続的に導入され或いは真空室内
から連続的に導出される鋼板等の帯状材の周囲を真空シ
ールし、該真空室内の真空を維持する真空バルブに関す
る。

（従来の技術） 従来、鋼板等の帯状材を連続的に真空室内を通過させ、
該真空室内で該帯状材に真空処理を施す真空処理装置が
知られているが、この種の装置に於いては真空室内の真
空を維持するために、真空室の帯状材が導入導出される
開口部に第４図及び第５図に示すような真空バルブａを
設け、帯状材すの周囲を真空シールすることが行われて
いる。該真空バルブａは、寸法精度よく製作した箱状の
パツキンケースＣの中に摺動軸ｄにより夫々摺動される
一対のパツキンｅを収容して構成される。各パツキンｅ
は、きついはめ合いを保ってパツキンケースＣに収めら
れ、ピストン駆動機構で駆動される摺動軸ｄにより帯状
材すの両面を挾み込んで真空シールする。

（発明が解決しようとする課題） 従来の前記したような真空バルブに於いては、パツキン
ｅとパツキンケースＣとの気密な接触を保持するため、
パツキンｅを寸法精度の高い箱状のパツキンケースＣに
きついはめ合いで収容し、バルブの開閉のときは、パツ
キンｅを強い力でしかもバランス良く摺動させる必要が
あるため、摺動軸ｄを動かすための複雑なピストン駆動
機構を備えねばならず、装置が高価になり、また、パツ
キンの消耗も激しく保守が面倒である不都合があった。

本発明は、こうした不都合がなく、単純なパツキン駆動
機構で軽快に動作し、パツキンの消耗の非常に少ない真
空バルブを提供することを目的とするものである。

（課題を解決するための手段） 本発明では、帯状材が通過する真空室の開口部に、一対
の往復動自在の支持部材により押されて該帯状材の両面
へ密接する圧接部材をバルブケース内に備えた真空バル
ブを設けて該帯状材の周囲を真空シールするようにした
ものに於て、該一対の支持部材に該帯状材の長さ方向に
長い長孔を夫々設け、該長孔にロールで構成した圧接部
材を夫々軸支させ、該バルブケース内の該帯状材に密接
した両圧接部材の周面と対向する位置に、該帯状材の通
過口を有し且つ各圧接部材のロールの曲率に略等しい曲
面を有する弁座を設けることにより、前記目的を達成す
るようにした。

（作　用） 真空室の開口部に設けた真空バルブのバルブケース及び
弁座の通過口を通過する帯状材の両面に向けて支持部材
を移動させ、該支持部材に保持したロールからなる圧接
部材を該帯状材の両面へ押し付ける。該支持部材により
圧接部材が帯状材に密接するまでの間、各圧接部材は長
孔に沿って遊動可能な状態にあり、弁座に沿って軽快に
移動するが、各圧接部材が帯状材に押し付けられる位置
にまで移動すると、各圧接部材の周面は弁座の曲面に押
し当てられるようになる。これによって、圧接部材の周
面と帯状材の間、及び該周面と弁座の間は無理なく完全
に遮断され、大気側と真空側との間が真空シールされる
。

（実施例） 本発明の実施例を、図面第１図乃至第３図に示した帯状
材を真空室内に導入する開口部に適用した場合につき説
明すると、第１図及び第２図に於いて、符号（１）は鋼
板等の帯状材（２）が連続的に通過する真空室の開口部
、（３）は該帯状材（２）の周囲を真空シールすべく該
開口部（１）に設けた真空バルブである。

該真空バルブ（３）は、そのバルブケース（４）を挿通
して内外に延び、例えばエアーシリンダ等の簡単且つ安
価な駆動手段（１５）により往復動される一対の摺動軸
からなる支持部材（５）と、該支持部材（５）により押
されて帯状材（２）の両面に密接するゴム製のロールか
らなる圧接部材（６）とを備えた構成を有する。該一対
の支持部材（５）の夫々には、２叉状に分岐した圧接部
材（６）の取付は腕（７）が一体に設けられ、圧接部材
（６）の軸（９）を軸支するために、各腕（７）の先端
部に帯状材（２）の長さ方向に長い長孔（８）が形成さ
れる。該長孔（８）は、第１図示の場合、−側を開放し
、その開放部から圧接部材（６）の軸（９）を挿入する
ようにした。

該圧接部材（６）は、支持部材（５）の往動により押さ
れて帯状材（２）の両面に第２図示のように密接するが
、この密接したときの両圧接部材（６）の側周面（１０
）と対向する位置に、該帯状材（２）の通過口（１１）
を有し且つ各圧接部材（６）のロールの曲率に略等しい
円弧状の曲面（１２）ををする弁座（１３）が設けられ
る。該弁座（１３）の詳細は第３図示の如であり、２つ
の曲面（１２）が交わる稜線（１４）の中間部に通過口
（１１）が形成される。

図示の例では、弁座（１３）がバルブケース（４）の壁
板を兼ねるように構成したが、該壁板とは別個に弁座（
１３）を設けるようにしてもよい。

この実施例の場合、各支持部材（５）を往動させて圧接
部材（６）を帯状材（２）に密接させ、該帯状材（２）
の周囲の真空シールを行うが、その往動で該圧接部材（
８）の周面（ｌＯ）が弁座（１３）の曲面（１２）に接
するまでは、支持部材（５）の長孔（８）に遊動的に支
持されて弁座（１３）に沿い軽快に回転しなから圧接部
材（６）が移動し、該圧接部材（６）の周面（１０）が
弁座（１３）の曲面（１２）に接するようになると、該
長孔（８）に案内されて圧接部材（６）が移動し、該周
面（１０）と曲面（１３）とが互いに接するようになり
、圧接部材（６）の周面（１０）と帯状材（２）の間、
及び該周面（１０）と弁座（１３）の間は無理なく完全
に遮断され、大気側と真空側との間が真空シールされる
。該支持部材（５）の往復動は、圧接部材（６）が遊動
状態であるので、比較的小さい力でバランスを崩さずに
行え、従って該支持部材（５）の駆動装置に簡単安価な
ものを使用でき、該圧接部材（６）は回転しながら帯状
材（２〉と弁座（１３）に接するので損耗が少なくなる
。

尚、上記の実施例に於いては、真空室内に帯状材（２）
を導入する場合について説明したが、真空室内から帯状
材（２）を導出する場合には、弁座（１３）が真空室側
に設けられる。また、圧接部材（６）の表面の材料とし
て、用途に応じて金属、プラスチック、セラミックス等
を用いてもよく、更に、支持部材（５）の駆動に、手動
、電動、空圧、油圧のいずれを用いてもよく、必要に応
じてその駆動速度を変化させてもよい。

（発明の効果） 以上のように本発明によれば、帯状材か通過する真空室
の開口部に設けられる真空バルブを、バルブケース内の
一対の往復動自在の支持部材に該帯状材の長さ方向に長
い長孔を設けて該長孔にロールから成る圧接部材を軸支
し、該帯状材に密接した両圧接部材の周面と対向する位
置に、該帯状材の通過口を有し且つ各圧接部材のロール
の曲率に略等しい曲面を有する弁座を設けて構成したの
で、圧接部材が帯状材と弁座の曲面に接するまでは軽く
支持１部材が移動し、該圧接部材のバランスを崩すこと
なく簡単安価な駆動装置で支持部材を往復動させ得られ
、該圧接部材は帯状材と弁座に回転接触してシールする
ので損耗が少なく耐久性も向上する等の効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の裁断側面図、第２図は第１図
の■−■線截線面断面図３図は弁座の斜視図、第４図は
従来例の裁断側面図、第５図は第４図のＶ−ｖ線切断面
図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 帯状材が通過する真空室の開口部に、一対の往復動自在
   の支持部材により押されて該帯状材の両面へ密接する圧
   接部材をバルブケース内に備えた真空バルブを設けて該
   帯状材の周囲を真空シールするようにしたものに於て、
   該一対の支持部材に該帯状材の長さ方向に長い長孔を夫
   々設け、該長孔にロールで構成した圧接部材を夫々軸支
   させ、該バルブケース内の該帯状材に密接した両圧接部
   材の周面と対向する位置に、該帯状材の通過口を有し且
   つ各圧接部材のロールの曲率に略等しい曲面を有する弁
   座を設けたことを特徴とする帯状材の周囲を真空シール
   する真空バルブ。