JP2003042298A - シール装置 - Google Patents
シール装置Info
- Publication number
- JP2003042298A JP2003042298A JP2001224198A JP2001224198A JP2003042298A JP 2003042298 A JP2003042298 A JP 2003042298A JP 2001224198 A JP2001224198 A JP 2001224198A JP 2001224198 A JP2001224198 A JP 2001224198A JP 2003042298 A JP2003042298 A JP 2003042298A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roll
- sealing device
- outer peripheral
- peripheral portion
- portion made
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、真空処理室への大気の流入を防止
するとともに、前記従来のニップ圧調整機構付きロール
式シール装置がもつ問題点を解決したシール装置を提供
にある。 【解決手段】 内部の真空処理室を外囲するケーシング
と、このケーシーングの内方にシールブロックを介し
て、帯状物を挟持する一対のロールからなるロールをロ
ール式シール装置において、前記一対のロールが、回転
軸、弾力性を有する材料からなるスリーブ部、剛性を有
する材料からなる外周部、を順次形成してなるロール
と、回転軸、弾性力を有する材料からなる外周部、を順
次形成してなるロール、であることを特徴とするロール
式シール装置。
するとともに、前記従来のニップ圧調整機構付きロール
式シール装置がもつ問題点を解決したシール装置を提供
にある。 【解決手段】 内部の真空処理室を外囲するケーシング
と、このケーシーングの内方にシールブロックを介し
て、帯状物を挟持する一対のロールからなるロールをロ
ール式シール装置において、前記一対のロールが、回転
軸、弾力性を有する材料からなるスリーブ部、剛性を有
する材料からなる外周部、を順次形成してなるロール
と、回転軸、弾性力を有する材料からなる外周部、を順
次形成してなるロール、であることを特徴とするロール
式シール装置。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、連続式真空処理装
置のシール装置に関する。
置のシール装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】帯状物を大気圧下から真空処理室に導入
し、真空処理を施した後大気圧下に送り出す連続式真空
処理装置においては、真空ポンプの動力を極力抑えて、
真空処理室を所定の真空度に維持するためにシール装置
によって、外気と真空処理室を多段の真空室に仕切る差
動排気システムが採用されている。こうしたシール装置
として、帯状物をロールによりピンチしてその前後に差
圧を生じさせるロール式シール装置が多く使用されてい
る。そして、帯状物の厚みの変化に対しても安定したシ
ール性能を維持できるとしてニップ圧調整機構付きロー
ル式シール装置が提案されている（例えば、特開平４−
２５９３７５号公報を参照）。
し、真空処理を施した後大気圧下に送り出す連続式真空
処理装置においては、真空ポンプの動力を極力抑えて、
真空処理室を所定の真空度に維持するためにシール装置
によって、外気と真空処理室を多段の真空室に仕切る差
動排気システムが採用されている。こうしたシール装置
として、帯状物をロールによりピンチしてその前後に差
圧を生じさせるロール式シール装置が多く使用されてい
る。そして、帯状物の厚みの変化に対しても安定したシ
ール性能を維持できるとしてニップ圧調整機構付きロー
ル式シール装置が提案されている（例えば、特開平４−
２５９３７５号公報を参照）。
【０００３】こうした前記ニップ圧調整機構付きロール
式シール装置では、対向配置された一対のロールのう
ち、一方のロールの軸受部が油圧シリンダーなどで弾性
支持されており、かつ他方のロールに対して離間・接近
する方向で移動可能となっている。このように、ロール
軸受部を他方のロールに接近させることで、このロール
は他方のロール外周表面に押圧され、その際の押圧を前
記油圧シリンダーで調整することでロール間のニップ圧
を調整できるようになっている。
式シール装置では、対向配置された一対のロールのう
ち、一方のロールの軸受部が油圧シリンダーなどで弾性
支持されており、かつ他方のロールに対して離間・接近
する方向で移動可能となっている。このように、ロール
軸受部を他方のロールに接近させることで、このロール
は他方のロール外周表面に押圧され、その際の押圧を前
記油圧シリンダーで調整することでロール間のニップ圧
を調整できるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のニップ圧力調整機構付きロール式シール装置では、
ニップ圧調整機構がロール両端の軸受部にあるため、ロ
ール中央部の帯状物をピンチしようとすると、その反力
によりロールには弓状に撓む方向に力がかかることにな
る。そのため、軸方向に均等な力で帯状物をピンチする
ことができず、部分的に空隙が生じたり、帯状物に圧痕
やスリップ疵が発生する恐れがあった。
来のニップ圧力調整機構付きロール式シール装置では、
ニップ圧調整機構がロール両端の軸受部にあるため、ロ
ール中央部の帯状物をピンチしようとすると、その反力
によりロールには弓状に撓む方向に力がかかることにな
る。そのため、軸方向に均等な力で帯状物をピンチする
ことができず、部分的に空隙が生じたり、帯状物に圧痕
やスリップ疵が発生する恐れがあった。
【０００５】本発明は、真空処理室への大気の流入を防
止するとともに、前記従来のニップ圧調整機構付きロー
ル式シール装置がもつ問題点を解決したシール装置を提
供することを目的とする。
止するとともに、前記従来のニップ圧調整機構付きロー
ル式シール装置がもつ問題点を解決したシール装置を提
供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
内部の真空処理室を外囲するケーシングと、このケーシ
ーングの内方にシールブロックを介して、帯状物を挟持
する一対のロールからなるロールをロール式シール装置
において、前記一対のロールが、回転軸、弾力性を有す
る材料からなるスリーブ部、剛性を有する材料からなる
外周部、を順次形成してなるロールと、回転軸、弾性力
を有する材料からなる外周部、を順次形成してなるロー
ル、であることを特徴とするロール式シール装置であ
る。
内部の真空処理室を外囲するケーシングと、このケーシ
ーングの内方にシールブロックを介して、帯状物を挟持
する一対のロールからなるロールをロール式シール装置
において、前記一対のロールが、回転軸、弾力性を有す
る材料からなるスリーブ部、剛性を有する材料からなる
外周部、を順次形成してなるロールと、回転軸、弾性力
を有する材料からなる外周部、を順次形成してなるロー
ル、であることを特徴とするロール式シール装置であ
る。
【０００７】請求項２記載の発明は、前記シールブロッ
クのうち、前記回転軸、弾力性を有する材料からなるス
リーブ部、剛性を有する材料からなる外周部、を順次形
成してなるロール、に接するシールブロックを、任意の
押圧でロール外周部に押し当てる手段を設け、且つ押し
当てられたロール外周部が他方のロールに対して押圧さ
れる方向に配設したことを特徴とする請求項１記載のロ
ール式シール装置である。
クのうち、前記回転軸、弾力性を有する材料からなるス
リーブ部、剛性を有する材料からなる外周部、を順次形
成してなるロール、に接するシールブロックを、任意の
押圧でロール外周部に押し当てる手段を設け、且つ押し
当てられたロール外周部が他方のロールに対して押圧さ
れる方向に配設したことを特徴とする請求項１記載のロ
ール式シール装置である。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図１〜
図３に沿って説明する。
図３に沿って説明する。
【０００９】連続式真空処理装置１は、シール装置Ａで
仕切られて、真空処理室２とその前後に配置された複数
個の差圧室３とで構成される、また、各差圧室には真空
ポンプ５が接続され、排気されている。
仕切られて、真空処理室２とその前後に配置された複数
個の差圧室３とで構成される、また、各差圧室には真空
ポンプ５が接続され、排気されている。
【００１０】シール装置Ａは、帯状物１２をその厚み方
向の両側から挟持する剛性ロール７、弾性ロール８、及
びそれぞれのロール外周面に当接するシールブロック
９、１０ａは、ケーシング６で囲まれた空間を実質的に
閉塞して封止するように配置されている。
向の両側から挟持する剛性ロール７、弾性ロール８、及
びそれぞれのロール外周面に当接するシールブロック
９、１０ａは、ケーシング６で囲まれた空間を実質的に
閉塞して封止するように配置されている。
【００１１】なお、本明細書中でいう剛性ロール及び弾
性ロールとは、それぞれ回転軸、弾力性を有する材料か
らなるスリーブ部、剛性を有する材料からなる外周部、
を順次形成してなるロールと、回転軸、弾性力を有する
材料からなる外周部、を順次形成してなるロールのこと
を指し、以下では、ことわり書きが無い限りこのことを
意味するものとする。
性ロールとは、それぞれ回転軸、弾力性を有する材料か
らなるスリーブ部、剛性を有する材料からなる外周部、
を順次形成してなるロールと、回転軸、弾性力を有する
材料からなる外周部、を順次形成してなるロールのこと
を指し、以下では、ことわり書きが無い限りこのことを
意味するものとする。
【００１２】剛性ロール７及び弾性ロール８は、ケーシ
ング６の側壁部にベアリング１１を介して回転自在に取
り付けられている。ここで、剛性ロール７及び弾性ロー
ル８は駆動させてもよいし、従動でもよいが、回転駆動
させた方が帯状物１２との間でスリップ痕が発生せず好
ましい。回転駆動をさせる場合は、磁気シール等の回転
軸シール装置を介することにより、大気側駆動軸から駆
動力を伝達すればよい。
ング６の側壁部にベアリング１１を介して回転自在に取
り付けられている。ここで、剛性ロール７及び弾性ロー
ル８は駆動させてもよいし、従動でもよいが、回転駆動
させた方が帯状物１２との間でスリップ痕が発生せず好
ましい。回転駆動をさせる場合は、磁気シール等の回転
軸シール装置を介することにより、大気側駆動軸から駆
動力を伝達すればよい。
【００１３】剛性ロール７は回転軸７ａとこの回転軸７
ａの外表面に接合され、ゴム等の弾性力を有する材料か
らなるスリーブ部７ｂ、及びこのスリーブ部７ｂの外表
面に接合され、金属等の剛性を有する材料からなる剛性
外周部７ｃとから構成される。
ａの外表面に接合され、ゴム等の弾性力を有する材料か
らなるスリーブ部７ｂ、及びこのスリーブ部７ｂの外表
面に接合され、金属等の剛性を有する材料からなる剛性
外周部７ｃとから構成される。
【００１４】弾性ロール８は回転軸８ａとこの回転軸８
ａの外表面に接合され、ゴム等の弾性力を有する材料か
らなる弾性外周部８ｂとから構成される。
ａの外表面に接合され、ゴム等の弾性力を有する材料か
らなる弾性外周部８ｂとから構成される。
【００１５】固定シールブロック９はケーシング６の底
壁部に固定され、弾性ロール８の下部空間を帯状物１２
の入側と出側に仕切っている。また、シール面は組み立
て誤差等で微少な隙間があった場合にでも気体の流路を
長くとれるように、弾性ロール８の外周面側に開口する
側面視凹円弧状にするが好ましい。
壁部に固定され、弾性ロール８の下部空間を帯状物１２
の入側と出側に仕切っている。また、シール面は組み立
て誤差等で微少な隙間があった場合にでも気体の流路を
長くとれるように、弾性ロール８の外周面側に開口する
側面視凹円弧状にするが好ましい。
【００１６】可動シールブロック１０ａは、剛性ロール
７の上部に、ケーシング６の頂壁部を貫通するように配
置してあり、剛性ロール７の剛性外周部７ｃが押圧され
る方向に摺動可能に取り付けられ、かつ、押圧力を所定
の値に制御可能となっている押付けシリンダ１０ｂによ
り、弾性支持されて剛性ロール７に押圧されている。ま
た、シール面は、固定シールブロック９と同様に、剛性
ロール７の外周面側に開口する側面視凹円弧状にし、か
つ、シール面の材料としては、剛性ロール７の外表面と
の摩擦をなるべく小さくするため樹脂等を使用するのが
好ましい。また、前記可動シール部１０の配置には特に
制限が無く、ロール両端のみや、軸の両端と中心等に配
置することができる。軸の両端と中心に配置すれば均一
な圧力で帯状物をピンチすることができ好ましい。
７の上部に、ケーシング６の頂壁部を貫通するように配
置してあり、剛性ロール７の剛性外周部７ｃが押圧され
る方向に摺動可能に取り付けられ、かつ、押圧力を所定
の値に制御可能となっている押付けシリンダ１０ｂによ
り、弾性支持されて剛性ロール７に押圧されている。ま
た、シール面は、固定シールブロック９と同様に、剛性
ロール７の外周面側に開口する側面視凹円弧状にし、か
つ、シール面の材料としては、剛性ロール７の外表面と
の摩擦をなるべく小さくするため樹脂等を使用するのが
好ましい。また、前記可動シール部１０の配置には特に
制限が無く、ロール両端のみや、軸の両端と中心等に配
置することができる。軸の両端と中心に配置すれば均一
な圧力で帯状物をピンチすることができ好ましい。
【００１７】以上の構成において、各ロールとケーシン
グ６との空間はシールブロック９、１０ａにより封止さ
れる。また、帯状物１２を挟持したロール間のギャップ
は、押付けシリンダ１０ｂにより、可動シールブロック
１０ａを剛性ロール７の剛性外周部７ｃに押し付ける
と、剛性ロール７のスリーブ部７ｂの弾性により、剛性
外周部７ｃのみが軸方向に均一かつ適正な押圧で弾性ロ
ール８の弾性外周部８ｂに押し当てられ、弾性ロール８
の弾性外周部８ｂの弾性により最小に保たれる。
グ６との空間はシールブロック９、１０ａにより封止さ
れる。また、帯状物１２を挟持したロール間のギャップ
は、押付けシリンダ１０ｂにより、可動シールブロック
１０ａを剛性ロール７の剛性外周部７ｃに押し付ける
と、剛性ロール７のスリーブ部７ｂの弾性により、剛性
外周部７ｃのみが軸方向に均一かつ適正な押圧で弾性ロ
ール８の弾性外周部８ｂに押し当てられ、弾性ロール８
の弾性外周部８ｂの弾性により最小に保たれる。
【００１８】
【発明の効果】本発明は、剛性ロールをシールブロック
で弾性ロールに押し当てるようにしたことにより、軸方
向に均一な力で帯状物をピンチすることができ、部分的
な空隙が生じたり圧痕やスリップ疵の発生をさせること
なく良好なシール性能が得られる。
で弾性ロールに押し当てるようにしたことにより、軸方
向に均一な力で帯状物をピンチすることができ、部分的
な空隙が生じたり圧痕やスリップ疵の発生をさせること
なく良好なシール性能が得られる。
【図１】 本発明の一実施例を示す断面図である。
【図２】 図１におけるシール装置の詳細図である。
【図３】 図１におけるシール装置の側断面詳細図であ
る
る
１ 連続式真空処理装置
２ 真空処理室
３ 差圧室
４ バルブ
５ 真空ポンプ
Ａ シール装置
６ ケーシング
７ 剛性ロール
７ａ 回転軸
７ｂ スリーブ部
７ｃ 剛性外周部
８ 弾性ロール
８ａ 回転軸
８ｂ 弾性外周部
９ 固定シールブロック
１０ 可動シール部
１０ａ 可動シールブロック
１０ｂ 押付けシリンダ
１１ ベアリング
１２ 帯状物
１３ シール
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 3J043 AA08 BA05 CA20 DA05
4K029 AA25 KA01 KA07
4K030 CA17 GA14 KA10
Claims (2)
- 【請求項１】内部の真空処理室を外囲するケーシング
と、このケーシーングの内方にシールブロックを介し
て、帯状物を挟持する一対のロールからなるロールをロ
ール式シール装置において、前記一対のロールが、回転
軸、弾力性を有する材料からなるスリーブ部、剛性を有
する材料からなる外周部、を順次形成してなるロール
と、回転軸、弾性力を有する材料からなる外周部、を順
次形成してなるロール、であることを特徴とするロール
式シール装置。 - 【請求項２】前記シールブロックのうち、前記回転軸、
弾力性を有する材料からなるスリーブ部、剛性を有する
材料からなる外周部、を順次形成してなるロール、に接
するシールブロックを、任意の押圧でロール外周部に押
し当てる手段を設け、且つ押し当てられたロール外周部
が他方のロールに対して押圧される方向に配設したこと
を特徴とする請求項１記載のロール式シール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001224198A JP2003042298A (ja) | 2001-07-25 | 2001-07-25 | シール装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001224198A JP2003042298A (ja) | 2001-07-25 | 2001-07-25 | シール装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003042298A true JP2003042298A (ja) | 2003-02-13 |
Family
ID=19057406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001224198A Pending JP2003042298A (ja) | 2001-07-25 | 2001-07-25 | シール装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003042298A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007083608A1 (ja) * | 2006-01-19 | 2007-07-26 | Japan Science And Technology Agency | スパッタ装置及びスパッタ方法 |
| JP2007191757A (ja) * | 2006-01-19 | 2007-08-02 | Raiku:Kk | インラインスパッタ装置 |
| JP2011089165A (ja) * | 2009-10-22 | 2011-05-06 | Kobe Steel Ltd | Ｃｖｄ成膜装置 |
| CN104060240A (zh) * | 2014-07-11 | 2014-09-24 | 无锡格菲电子薄膜科技有限公司 | 一种生产二维纳米材料的水平式卷对卷装置 |
-
2001
- 2001-07-25 JP JP2001224198A patent/JP2003042298A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007083608A1 (ja) * | 2006-01-19 | 2007-07-26 | Japan Science And Technology Agency | スパッタ装置及びスパッタ方法 |
| JP2007191757A (ja) * | 2006-01-19 | 2007-08-02 | Raiku:Kk | インラインスパッタ装置 |
| JP4693050B2 (ja) * | 2006-01-19 | 2011-06-01 | 株式会社ライク | インラインスパッタ装置 |
| JP2011089165A (ja) * | 2009-10-22 | 2011-05-06 | Kobe Steel Ltd | Ｃｖｄ成膜装置 |
| CN104060240A (zh) * | 2014-07-11 | 2014-09-24 | 无锡格菲电子薄膜科技有限公司 | 一种生产二维纳米材料的水平式卷对卷装置 |
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