JPH02258049A - 真空処理装置用シール装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はシール装置に係り、特にフィルム状被処理物を
処理する真空処理室の両方側又は一方側に配置される真
空室のシールに使用されるシール装置に関する６ 〔従来の技術〕 従来真空処理室の両方側又は一方側に配置される予備真
空室のシール機構に関しては例えば特開昭５０−１６１
４７５号公報、特開昭５３−．８５７４１号公報に記載
のものがある。

〔発明が解決しようとする課題〕

特開昭５０−１６１４７５号記載のものでは、真空処理
室の隔壁の端と柔軟なプラスチックのフィルム面との間
でシールしなければならないので常に上下に振動してい
る走行するフィルムを完全なシール効果は期待できない
。また、シール機構をフィルム面に近づけると、フィル
ム面が傷付きやすく、さらにフィルムの円滑な走行の保
持という点においても配慮されていない。

一方、特開昭５３−８５７４１号公報のものは相隣る予
備真空室を隔てる隔壁の端にロールを設けたものである
から、この構造においてシールをしようとすると、ロー
ルと隔壁の端面との間という極めて限られた場所で行な
わなければならないため。

シール機構として限られた構造のものしか利用できない
。この構造のものでは任意の構造の信頼性の高いシール
機構を採用することに制約がある。

本発明は上記の点に鑑み、真空室のシールを良好に行い
うるシール装置を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は上記目的を達成するために、対接するロール間
に被処理物をはさみ、一方の側から他方の側へ被処理物
を搬送するシールロールと、このシールロールを囲むケ
ースとを備えるシール装置において、前記対接する各々
のシールロールの軸方向に沿ってシールロールに対接す
るシール部材をシールロールとケースとの間に配設した
ものである。

又、本発明は上記目的を達成するために対接する各々の
シールロールの軸方向に沿ってシールロールに対接する
シール部材をシールロールとケースとの間に配設し、前
記シールロールを偏心軸受によって支持したものである
。

〔作用〕

シールロールと、これを囲むケースとの間にシールロー
ルの軸方向に沿ってシールロールと対接するシール手段
を配設したことによって、シール手段の配設に制約がな
く、良好なシールを得ている。

〔実施例〕

以下本発明の一実施例をプラズマ真空処理に適用した場
合を、図面にしたがって説明する。

第１図および第２図において、１はプラスチック成形品
など可撓性の被処理物Ｆを真空状態で連続的にプラズマ
処理する真空処理室で、この真空処理室１内はこれに接
続する真空ポンプ４により１０−２ト一ル程度の真空圧
力に保持するように排気管５を介して真空排気される。

また、この真空処理室１内には図示していないが、真空
状態でプラズマ処理を施すための陽極、陰極などが内蔵
されている。２は真空処理室１の前方側に複数個配置さ
れる予備真空室、３は真空処理室１の後方側に配置され
る複数個の予備真空室で、これら予備真空室２，３内は
、これに接続する真空ポンプ６により前記真空処理室１
内の真空圧力より若干高い程度の真空圧力に保持するよ
うに排気管７を介して真空排気される。

第３図および第４図は前記予備真空室２．３の詳細を示
すもので、８，９は両端側がハウジング１０にラジアル
軸受１１および偏心軸受ハウジング１２を介して回転自
在に、かつ上、下方向へ移動可能に支持されるシール用
の上、下ロールで、この上、下ロール８，９の表面には
硬質のニッケルクロム層１３が施されている。１４は上
、下ロール８．９との間に対接するように配設され、か
つ表面にゴム、フッソ樹脂などの弾性材１５を一体的に
焼着したシール用の中ロールで、この中ロール１４は両
端側がハウジング１０にラジアル軸受１１および固定軸
受ハウジング１６を介して回転自在に支持されている。

そして下ロール９と中ロール１４との間には被処理物Ｆ
が挿入される。

１７は上ケース１８に固定され、かつ上ロール８の外周
面側に配設される上ロール支持受けで、この上ロール支
持受１７の内周面には上ロール８のニッケルクロム層１
３に対接する低摩擦係数のフッソ樹脂膜１９が焼着され
ている。２０は下ケース２１に固定され、かつ下ロール
９の外周側に配設される下ロール支持受けで、この下ロ
ール支持受け２０の内周面は下ロール９の表面に対接す
る低摩擦係数のフッソ樹脂膜２２が焼着されている。

第５図は上、下、中ロール８，９．１４および上。

下ケース１８．２１の両端側とハウジング１０゜偏心軸
受ハウジング１２との間に介在されるサイドビース２３
の取付状態を示したもので、サイドピース２３の上、下
、中ロール８，９．１４と対向する面には、低摩擦係数
のフッソ樹脂膜２４が焼着されており、このサイドピー
ス２３はボルト２５を締付けることによりコイルバネ２
６を介してバウシング１０に押付けられる。このとき、
前記上、下、中ロール８，９．１０とサイドピース２３
のフッソ樹脂膜２４との間には２０μｍ程度の隙間が形
成される。また、サイドピース２３の押付は力はサイド
ピース２３とボルト２５との隙間Ｈによって規制される
。

第６図は上、下、中ロール８，９を偏心軸受ハウジング
１２により上、下方向へ移動させるための説明図である
。第６図において、偏心軸受ハウジング１２の中心位１
１Ａは、上、下ロール８，９の中心位置Ｂに対し偏心（
偏心量Ｃ）して設けられており、この偏心軸受ハウジン
グ１２は中心位［Ａを回動中心に図示しない油圧シリン
ダ装置により図示矢印方向へ回動する。このとき、上、
下ロール８，９は上方向または下方向へ、すなわち、中
ロール１４に対して押付ける方向または中ロール１４か
ら離れる方向へ移動する。したがって、偏心軸受ハウジ
ング１２の回動角を調整することにより、上ロール８と
中ロール１４または下ロール９と中ロール１４との押圧
力を任意に変えることができると共に下ロール９と中ロ
ール１４の隙間への被処理物Ｆの挿入が容易になる。

第１図および第２図に戻って、２７は被処理物Ｆを予備
真空室２を経て真空処理室内へ移送する送り出し装置、
２８は真空処理室１内でプラズマ処理された被処理物Ｆ
を巻き取る巻き取り装置。

２９は駆動用モータで、この駆動用モータ２９の駆動力
により回転軸３０および動力分配機３１を介して予備真
空室２，３の上、下、中ロール８゜９．１４を回動させ
る。

上記のように構成される予備真空室２，３において、上
ロール８と中ロール１４の間のシールは、上ロール８を
偏心軸受ハイジング１２により中ロール１４に対して押
しつけ、中ロール１４の弾性材１５をたわませることに
より施される。同様に下ロール９と中ロール１４の間の
シールは、下ロール９を中ロール１４に対して押しつけ
、中ロール１４の弾性材１５をたわませることにより施
される・また、上ロール８と下ロール支持受けおよび下
ロール９と下ロール支持受け２０の間のシールは、両者
間の隙間を非常に小さく、例えば２０μｍ程度にするこ
とにより可能である。

次に作動を説明する。

先ず、真空ポンプ４，６を作動させることにより、真空
処理室１内および予備真空室２，３内を真空排気する。

このとき、真空処理室１内の圧力は予備真空室２，３内
の圧力より低く保持される。

また、真空処理室１内には、プラズマ特性を良くするた
めのアルゴンガス、窒素ガスなどを通気する。次に予備
真空室２，３の上、下、中ロール８．９．１４を駆動用
モータ２９の駆動力により回転させると共に真空処理室
１のプラズマ装置を操作する。この状態で被処理物Ｆは
送り出し装置２７から予備真空室２の下ロール９と中ロ
ール１４との間を経て真空処理室１へ連続的に導入され
る。真空処理室１内では、陽極と陰極間で発生するプラ
ズマ放電により被処理物Ｆの表面にプラズマ処理が施さ
れる。真空処理室１内でプラズマ表面処理された被処理
物Ｆは、直ちに予備真空室３の下ロール９と中ロール１
４との間を経て巻き取り装置２８により巻き取られる。

このように被処理物Ｆは予備真空室で良好なシール効果
が得らると共に真空処理室１内で短時間にプラズマ処理
されるため、プラスチック成形品などに含有している可
塑剤などの内部添加剤の揮発、逸散が制御されると共に
、連続的に被処理物Ｆが真空装置内に導入されるため、
空気等の混入も少なく、目的とするガス、目的とする圧
力で定常的に処理可能であり、良好な改質特性を賦与す
ることを可能にする。また、表面がニッケルクロム層１
３の上。

下ロール８，９と表面が弾性材１５の中ロール１４およ
び前記上、下ロール８，９と表面がフッソ樹脂膜１９．
２２の上、下ロール支持受け１７゜２０は金属層と非金
ＩＡ層の摺動であるため、摩擦力も小さく、長時間の運
転にも充分耐えられる。

第７図は本発明における予備真空室のロールとケースお
よびロール間の軸方向シール手段の他の実施例を示すも
のである。

第７図において、第３図および第４図と同一符号のもの
は同一部分を示す。

３２．３３は前記上ロール８と下ロール９の一部と軸方
向に沿って連続的に対接し、且つ上、下ケース１８．２
１に取外し可能に支持されるウレタンゴムなどのリップ
部材で、このリップ部材３２．３３はりツブシール３４
．３５とリップ取付台３６．３７から成っている。

このように上ロール８．下ロール９の一部と対接するよ
うにリップ部材３２．３３を配設することにより、ロー
ルとケースおよびロール間の軸方向の良好なシール効果
を得ることは勿論、耐久性が向上する。

また、リップ部材３２．３３を上、下ケースに取外し可
能に支持させるため、たとえリップ部材が摩擦力により
使用不能になった場合でも容易に交換が可能となる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、シールロールとこれを囲むケースとの
間にシール手段を配設したので、シール手段に制約がな
く、良好なシールを得ている。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明装置の一実施例を示す正面図、第２図は
第１図の平面図、第３図および第４図は本発明装置にお
ける予備真空室のシールロールとケースおよびロール間
のシール手段を説明するための要部拡大図で、第３図は
側面図、第４図は第３図のＩＶ−ｍＶ線矢視図、第５図
は本発明の装置におけるシールロール端面間のシール手
段を説明するための要部拡大図、第６図は本発明装置に
おける上、下ロールを偏心軸受により上下方向へ移動さ
せるための説明図、第７図は本発明装置の他の実施例を
示す図である。 １・・・真空処理室、２，３・・・予備真空室、８・・
・上ロール、９・・・下ロール、１４・・・中ロール、
Ｆ・・・彼処第 図 第　４　図 第２　図 冨　５　図 苓 す 図 藁 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、対接するロール間に被処理物をはさみ、一方の側か
   ら他方の側へ被処理物を搬送するシールロールと、この
   シールロールを囲むケースとを備えるシール装置におい
   て、前記対接する各々のシールロールの軸方向に沿つて
   シールロールに対接するシール部材をシールロールとケ
   ースとの間に配設し、シールロールの一方の側から他方
   の側をシールすることを特徴とするシール装置。 ２、シール部材は、弾性材であることを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載のシール装置。 ３、対接するロール間に被処理物をはさみ、一方の側か
   ら他方の側へ被処理物を搬送するシールロールと、この
   シールロールを囲むケースとを備えるシール装置におい
   て、前記対接する各々のシールロールの軸方向に沿つて
   シールロールに対接するシール部材をシールロールとケ
   ースとの間に配設し、前記シールロールを偏心軸受によ
   つて支持し、シールロールの一方の側から他方の側をシ
   ールすることを特徴とするシール装置。