JP2568920B2 - 差圧シール装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、圧力差のある空間を介して帯状鋼板等の長
尺物を搬送する場合に各空間間の差圧を維持するために
設けられる差圧シール装置に関する。

（従来の技術） 従来、例えば帯状鋼板等の長尺物を真空処理室内に於
いて連続的に真空処理する場合、真空処理室内の真空を
維持するために差圧室と称する幾つかの空間が第１図及
び第２図に見られるように真空処理室へ連なる長尺物の
搬送経路に設けられ、各差圧室ａには回転自在のシール
ロールｂと、該シールロールｂに接近したシールピース
ｃとで構成される差圧シール装置ｄを設け、該シールロ
ールｂを捲回して真空処理室へと搬送される長尺物ｅの
周囲をシールすることが行なわれている。

これを更に説明すると、各差圧室ａ、ａには真空ポン
プに連なる排気孔ｆが夫々設けられ、各差圧室ａの圧力
を真空処理室ａに近づく程低い圧力に制御し、長尺物ｅ
は差圧室ａの室壁ｋに形成した入口開口ｇから該差圧室
ａ内へ導入され、シールピースｃの通過孔ｈを通り、更
にシールロールｂを捲回して次の差圧室ａへと搬送され
る。この場合、差圧室ａ、ａ間は長尺物ｅの通過のため
に連通しているが、該長尺物ｅはシールロールｂとこれ
に沿って延びるシール面ｌを備えたシールピースｃとで
形成されるスリットｉを介して差圧室ａ内へ導入される
ので、各差圧室ａ、ａ間に圧力差があっても各室間の気
体の流通が制限され、各差圧室ａの圧力が設定圧力に維
持出来る。

（発明が解決しようとする課題） 前記従来の差圧シール装置のシールピースｃは、取付
フランジｊにより差圧室ａの室壁ｋにパッキングｍを介
して取付けられ、シールロールｂとは別個に独立した存
在で取付けられているので、組立が困難であり、また差
圧室ａの室壁ｋが圧力差により不同変形したり、温度差
による熱変形が生じたりすると、スリットｉを所定の値
に維持することが非常に困難になり、更にスリットｉの
値を各差圧室ａの前後の圧力差で定まる値以下に挟める
と、室壁ｋの変形等によりシールロールｂとシールピー
スｃが使用中に接触してシールロールｂが回転不能に陥
る不都合があった。そのため、スリットｉの値を必要以
上大きく設定し、これに伴ない増大するスリットｉを介
しての気体の移動量を真空ポンプの排気量を増大させて
排除しているが、真空ポンプが高価になり運転経費も増
大する欠点があった。

本発明は、上記した従来の差圧シール装置の不都合、
欠点を解決することを目的とするものである。

（課題を解決するための手段） 本発明では、差圧室内に、回転自在のシールロールを
設けると共に該差圧室の室壁の入口開口に連なる長尺物
の通過孔を備えたシールピースを該シールロールに接近
して設け、該通過孔から該シールロールを捲回して該差
圧室内を通過搬送される長尺物の周囲を、該シールロー
ルとシールピースによりシールするようにしたものに於
いて、該シールピースをシールロールの軸部に支持アー
ムにより支承させ、更に該シールピースと差圧室の室壁
を可動性且つ気密性を備えたシール手段により互に連結
して該入口開口と通過孔を連通させることにより、前記
目的を達成するようにした。

（作 用） 差圧室内を予定の真空に排気しながらシールロールを
回転すると、長尺物が該差圧室内を通過搬送され、例え
ば真空処理室へと送られる。各差圧室内へ導入される長
尺物の周囲は、シールロールとシールピースによりシー
ルされ、各差圧室内の圧力が設定圧に維持されるが、該
シールピースは支持アームによりシールロールに支承さ
れており、しかも差圧室の室壁と可動性及び気密性を有
するシール手段により入口開口と通過孔とを連通させて
連結されているので、室壁が変形してもシールピースと
シールロールの相対的関係は不変となり、シールピース
とシールロール間のスリットの値を予定の値に設定して
もシールピースがシールロールに接触して回転不能にな
る不都合もなく、該スリットの値はシールロールに支持
アームでシールピースを組付けたときに設定されるの
で、組立作業が簡単になる。

（実施例） 本発明の実施例を別紙図面の第３図乃至第５図に基づ
き説明すると、第３図に於いて符号（１）は真空排気孔
（２）を備えた差圧室、（３）は該差圧室（１）内に回
転自在に設けたシールロール、（４）は該差圧室（１）
の室壁（1a）に形成した横長の入口開口、（５）は該入
口開口（４）に連なる通過孔（６）を備えたシールピー
スを示し、該シールピース（５）はシールロール（３）
の周面に接近するシール曲面（７）（７）を備え、シー
ルロール（３）の回転によって入口開口（４）及びシー
ルピース（５）の通過孔（６）を介して該差圧室（１）
内に導入される帯状鋼板等の長尺物（８）の周囲をルー
ルし、気体が入口開口（４）を介して該差圧室（１）内
へ移動する量を制限して内部の圧力を設定圧に維持す
る。

こうした構成は従来の差圧シール装置も備えるところ
であるが、本発明に於いては該シールピース（５）を支
持アーム（９）（９）によりシールロール（３）の軸部
（3a）（3a）へ支承させ、該シールピース（５）と差圧
室（１）の室壁（1a）を可動性且つ気密性を備えたシー
ル手段（10）により互に連結して入口開口（４）と通過
孔（６）を連通させ、該室壁（1a）が変形してもシール
ロール（３）とシールピース（５）との間に形成される
スリット（12）の値が変化しないようにした。

該支持アーム（９）は、第４図示の例では板状体で構
成し、シールピース（５）の幅をシールロール（３）の
長さよりも多少長く形成してシールピース（５）の両端
にねじ止めすると共に軸受（13）を介して軸部（3a）
（3a）へ取付けするようにした。また、シール手段（1
0）は、入口開口（４）の周縁にシートパッキング（1
4）を介して取付けたパッキングハウジング（15）、パ
ッキング抑え（16）からなるパッキング固定位置（17）
と、パッキングハウジング（15）に保持されたパッキン
グ（18）とで構成され、該パッキング（18）をシールピ
ース（５）の外周に摺動自在に当接させることにより、
シールピース（５）を気密に室壁（1a）に連結し、該室
壁（1a）がシールピース（５）に対して可動し得るよう
にした。第５図は該シール手段（10）の変形例を示し、
これに於いてはベローズ（19）を室壁（1a）とシールピ
ース（５）の外周との間に設けて、気密性と可動性のあ
るシールを行なうようにした。

その作動を説明するに、該差圧室（１）内を真空排気
孔（２）から排気し、シールロール（３）を回転する
と、長尺物（８）はその周囲をシールロール（３）とシ
ールピース（５）によりシールされ乍ら差圧室（１）内
を搬送されるので、該差圧室内の圧力が維持されるが、
該シールピース（５）は支持アーム（９）（９）により
シールロール（３）に支承されており、該シールピース
（５）は可動性と可撓性を有するシール手段（10）によ
り室壁（1a）に取付けられ、入口開口（４）と通過孔
（６）とを連通させるので、該室壁（1a）とシールロー
ル（３）の相対的な位置関係が変っても、シールロール
（３）とシールピース（５）との間のスリット（12）の
値が変わることがない。従ってシールロール（３）の回
転異常が生ずることがなく、連続して長尺物（８）を搬
送出来、スリット（12）の値は差圧室（１）のもつ差圧
に応じた最小値に設定することが可能になり、差圧室
（１）へ流入する気体の量が少なくなるので排気孔
（２）に接続される真空ポンプは排気量の小さいものを
使用することが出来、排気動力も小さく出来る。

（発明の効果） 以上のように本発明によるときは、差圧シール装置の
シールピースを支持アームを介してシールロールに支持
させると共にシールピースを可動性と気密性を備えたシ
ール手段により差圧室の室壁に取付けたので、室壁の変
形や室壁とシールロールの相対的関係の変化でシールロ
ールとシールピース間のスリットの値が変わることがな
く、シールロールの円滑な回転が得られ、該スリットの
値も小さく設定出来るので差圧室からの排気量を少なく
出来、装置及び運転コストを安価となし得、その組立も
簡単になる等の効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の差圧シール装置の截断側面図、第２図は
第１図のII−II線断面の拡大図、第３図は本発明の実施
例の截断側面図、第４図は第３図のIV−IV線断面の拡大
図、第５図は本発明の他の実施例の截断側面図である。 （１）……差圧室、（1a）……室壁 （３）……シールロール、（3a）……軸部 （４）……入口開口、（５）……シールピース （６）……通過孔、（８）……長尺物 （９）（９）……支持アーム、（10）……シール手段 （17）……パッキング固定装置、（18）……パッキング （19）……ベローズ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 夏木 神奈川県茅ケ崎市萩園2500番地 日本真 空技術株式会社内 (72)発明者 片島 豊久 神奈川県茅ケ崎市萩園2500番地 日本真 空技術株式会社内 (56)参考文献 特開 平２−179875（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−301563（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−39473（ＪＰ，Ａ) 実開 昭58−61450（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−136164（ＪＰ，Ｕ) 実公 平３−32522（ＪＰ，Ｙ２)

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】差圧室内に、回転自在のシールロールを設
   けると共に該差圧室の室壁の入口開口に連なる長尺物の
   通過孔を備えたシールピースを該シールロールに接近し
   て設け、該通過孔から該シールロールを捲回して該差圧
   室内を通過搬送される長尺物の周囲を、該シールロール
   とシールピースによりシールするようにしたものに於い
   て、該シールピースをシールロールの軸部に支持アーム
   により支承させ、更に該シールピースと差圧室の室壁を
   可動性且つ気密性を備えたシール手段により互に連結し
   て該入口開口と通過孔を連通させたことを特徴とする差
   圧シール装置。
2. 【請求項２】前記シール手段を、前記入口開口内へ挿入
   されたシールピースの外周に摺動自在に接するパッキン
   グと、該パッキングを差圧室の室壁に固定するパッキン
   グ固定装置とで構成したことを特徴とする請求項１に記
   載の差圧シール装置。
3. 【請求項３】前記シール手段を、差圧室の入口開口の周
   辺に一端が固定され、他端がシールピースの通過孔の周
   辺に固定されたベローズで構成したことを特徴とする請
   求項１に記載の差圧シール装置。