JPS5965685A - 弁体の駆動装置 - Google Patents
弁体の駆動装置Info
- Publication number
- JPS5965685A JPS5965685A JP17459082A JP17459082A JPS5965685A JP S5965685 A JPS5965685 A JP S5965685A JP 17459082 A JP17459082 A JP 17459082A JP 17459082 A JP17459082 A JP 17459082A JP S5965685 A JPS5965685 A JP S5965685A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- valve body
- link
- conductance
- valve element
- Prior art date
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- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/44—Mechanical actuating means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Mechanically-Actuated Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は弁体の駆動装置に関し、特に、真空処理装置に
おける可変コンダクタンスバルブ等ノ弁体の駆動装置に
関するものである。
おける可変コンダクタンスバルブ等ノ弁体の駆動装置に
関するものである。
半導体、ＩＣその他の電子機器等の製造工程においては
、真空あるいは低圧のガス中で処理する工程が少なくな
い。その処理工程としては２例え（１） ば、蒸着、スパッタリング、化学的ガス分解による膜の
製造、あるいはドライエツチングなどの工程が挙げられ
る。これらの装置では、処理堂に特定ガスを導入し圧力
を一定に保持しながら処理する。この場合、処理室と真
空ポンプの間には、ポンプの排気速度を調節するだめの
可変コンダクタンスバルブが取り付けられている。
、真空あるいは低圧のガス中で処理する工程が少なくな
い。その処理工程としては２例え（１） ば、蒸着、スパッタリング、化学的ガス分解による膜の
製造、あるいはドライエツチングなどの工程が挙げられ
る。これらの装置では、処理堂に特定ガスを導入し圧力
を一定に保持しながら処理する。この場合、処理室と真
空ポンプの間には、ポンプの排気速度を調節するだめの
可変コンダクタンスバルブが取り付けられている。
従来の可変コンダクタンスバルブ等の駆動装置は、原動
回転駆動軸の動きを直接弁体の回転ｆｆｌ＋の動きとし
ている。しかし、この方法では、弁体の開閉機構を考慮
すれば明らかなように、原動回転駆動軸の回転率とコン
ダクタンスの変化率との関係が比例しなかった。このた
め、可変コンダクタンスバルブを自動制御する場合や原
動回転駆動軸の回転角度でコンダクタンスを制御する場
合に。
回転駆動軸の動きを直接弁体の回転ｆｆｌ＋の動きとし
ている。しかし、この方法では、弁体の開閉機構を考慮
すれば明らかなように、原動回転駆動軸の回転率とコン
ダクタンスの変化率との関係が比例しなかった。このた
め、可変コンダクタンスバルブを自動制御する場合や原
動回転駆動軸の回転角度でコンダクタンスを制御する場
合に。
非常に不便である。更に、従来の駆動装置では。
弁体の閉近辺領域での原動回転駆動軸の回転率に対する
コンダクタンスの変化率が大きいため、弁体の閉近辺領
域でのコンダクタンスの微調節が困難であった。
コンダクタンスの変化率が大きいため、弁体の閉近辺領
域でのコンダクタンスの微調節が困難であった。
（９）
本発明の目的は、弁体を自動制御する場合や原動回転駆
動軸の回転角度でコンダクタンスを制御する場合に、最
適な弁体の駆動装置を提供することにある。
動軸の回転角度でコンダクタンスを制御する場合に、最
適な弁体の駆動装置を提供することにある。
本発明の別の目的は、弁体の閉近辺領域でのコンダクタ
ンスの微調節を容易に行なうことができる弁体の駆動装
置を提供することにある。
ンスの微調節を容易に行なうことができる弁体の駆動装
置を提供することにある。
本発明によれば、弁体の回転軸と原動回転駆動軸とを、
２個の回シ対偶を連結するリンク装置で連結し、前記弁
体を閉じる方向に前記原動回転駆動軸に減少するように
したことを特徴とする弁体の駆動装置が得られる。
２個の回シ対偶を連結するリンク装置で連結し、前記弁
体を閉じる方向に前記原動回転駆動軸に減少するように
したことを特徴とする弁体の駆動装置が得られる。
次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。
第１図を参照すると１本発明の一実施例は、真空処理装
置における可変コンダクタンスバルブの弁体９の駆動装
置である。第１図の可変コンダクタンスバルブの状態は
、弁体９の全開時を示している。
置における可変コンダクタンスバルブの弁体９の駆動装
置である。第１図の可変コンダクタンスバルブの状態は
、弁体９の全開時を示している。
まず、可変コンダクタンスバルブについて説明する。従
軸６は、弁箱７に対する真空シールするだめの弾性シー
ル材８を介して、弁体９に固定されている。弁体９の外
周には１弾性シール材１゜が装着されており、弁体９の
全閉時の弁箱７に対する真空シールを行なっている。
軸６は、弁箱７に対する真空シールするだめの弾性シー
ル材８を介して、弁体９に固定されている。弁体９の外
周には１弾性シール材１゜が装着されており、弁体９の
全閉時の弁箱７に対する真空シールを行なっている。
次に、第２図をも参照して弁体９の駆動装置を説明する
。なお、第２図も、第１図と同様に、弁体９の全開時を
示している。そして、第２図の２点鎖線部は弁体９の全
閉時のリンク位置を示したものである。１は原動回転駆
動軸であり、これはリンク２に固定されている。リンク
２の他端は軸３を介してリンク４に回転自在に取シ付け
られている。また、リンク４の他端も軸３を介してリン
ク５に回転自在に取り付けられている。リンク５の他端
は従軸６に固定されている。
。なお、第２図も、第１図と同様に、弁体９の全開時を
示している。そして、第２図の２点鎖線部は弁体９の全
閉時のリンク位置を示したものである。１は原動回転駆
動軸であり、これはリンク２に固定されている。リンク
２の他端は軸３を介してリンク４に回転自在に取シ付け
られている。また、リンク４の他端も軸３を介してリン
ク５に回転自在に取り付けられている。リンク５の他端
は従軸６に固定されている。
このように１本実施例の弁体の駆動装置は、弁体９の回
転軸（即ち従軸）６と原動回転駆動軸１とを、２個の回
シ対偶を連結するリンク装置（即ぢ、リンク２，４．５
を有する装置）で連結したものである。そして２本実施
例は、弁体９の全開状態（第２図の実線位置の状態〕か
ら、弁体９をに減少するようにしたものである。
転軸（即ち従軸）６と原動回転駆動軸１とを、２個の回
シ対偶を連結するリンク装置（即ぢ、リンク２，４．５
を有する装置）で連結したものである。そして２本実施
例は、弁体９の全開状態（第２図の実線位置の状態〕か
ら、弁体９をに減少するようにしたものである。
第３図に、上述した従来の駆動装置を用いた場合と、第
１図及び第２図の実施例の駆動装置を用いた場合の、原
動回転駆動軸の回転率（弁体９の全開位置を１００とす
る）とコンダクタンスの変化率（弁体９の金時のコンダ
クタンスを１００とする）との関係を示した。この図か
ら明らかなように２本実施例の駆動装置を用いれば、原
動回転駆動軸の回転率とコンダクタンスの変化率は直線
状特性を示すので、弁体を自動制御することや原動回転
駆動軸の回転角度でコンダクタンスを制御することを極
めて容易にかつ正確に行なうことが可能となる。また、
上述した従来の駆動装置を用いた場合には、弁体の閉近
辺領域での原動回転側（５） 動軸の回転率に対するコンダクタンスの変化率が大きい
ため、弁体の閉近辺領域でのコンダクタンスの微調節が
困難であったが１本実施例の駆動装置を用いれば、比較
的、弁体の閉近辺領域での原動回転駆動軸の回転率に対
するコンダクタンスの変化率が小さくなるだめ、弁体の
閉近辺領域でのコンダクタンスの微調節が容易になる。
１図及び第２図の実施例の駆動装置を用いた場合の、原
動回転駆動軸の回転率（弁体９の全開位置を１００とす
る）とコンダクタンスの変化率（弁体９の金時のコンダ
クタンスを１００とする）との関係を示した。この図か
ら明らかなように２本実施例の駆動装置を用いれば、原
動回転駆動軸の回転率とコンダクタンスの変化率は直線
状特性を示すので、弁体を自動制御することや原動回転
駆動軸の回転角度でコンダクタンスを制御することを極
めて容易にかつ正確に行なうことが可能となる。また、
上述した従来の駆動装置を用いた場合には、弁体の閉近
辺領域での原動回転側（５） 動軸の回転率に対するコンダクタンスの変化率が大きい
ため、弁体の閉近辺領域でのコンダクタンスの微調節が
困難であったが１本実施例の駆動装置を用いれば、比較
的、弁体の閉近辺領域での原動回転駆動軸の回転率に対
するコンダクタンスの変化率が小さくなるだめ、弁体の
閉近辺領域でのコンダクタンスの微調節が容易になる。
以上説明したように１本発明によれば、弁体を自動制御
する場合や原動回転駆動軸の回転角度でコンダクタンス
を制御する場合に、最適な弁体の駆動装置が得られる。
する場合や原動回転駆動軸の回転角度でコンダクタンス
を制御する場合に、最適な弁体の駆動装置が得られる。
更に１本発明によれば、弁体の閉近辺領域でのコンダク
タンスの微調整を容易に行なうことができる弁体の駆動
装置が得られる。
タンスの微調整を容易に行なうことができる弁体の駆動
装置が得られる。
第１図は本発明の一実施例による弁体の駆動装置を示し
た正面図、第２図は第１図を下側から見た図、第３図は
従来品と本発明実施品の原動回転駆動軸の回転率とコン
ダクタンスの変化率との関（６） 係を示した図である。 １・・・原動回転駆動軸、２．４．５・・・リンク、３
・・・軸、６・・・従軸、７・・・弁箱、８．１０・・
・弾性シール材、９・・・弁体。 （７）
た正面図、第２図は第１図を下側から見た図、第３図は
従来品と本発明実施品の原動回転駆動軸の回転率とコン
ダクタンスの変化率との関（６） 係を示した図である。 １・・・原動回転駆動軸、２．４．５・・・リンク、３
・・・軸、６・・・従軸、７・・・弁箱、８．１０・・
・弾性シール材、９・・・弁体。 （７）
Claims (1)
- １、 弁体の回転軸と原動回転駆動軸とを、２個の回り
対偶を連結するリンク装置で連結し、前記
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17459082A JPS5965685A (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | 弁体の駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17459082A JPS5965685A (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | 弁体の駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5965685A true JPS5965685A (ja) | 1984-04-13 |
| JPS6160317B2 JPS6160317B2 (ja) | 1986-12-20 |
Family
ID=15981220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17459082A Granted JPS5965685A (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | 弁体の駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5965685A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002235868A (ja) * | 2001-02-09 | 2002-08-23 | Anelva Corp | ゲートバルブ |
| WO2008035670A1 (fr) * | 2006-09-21 | 2008-03-27 | Taiho Kogyo Co., Ltd. | Ensemble vanne |
| JP2010139073A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Inficon Gmbh | バルブ構造 |
| US7926465B2 (en) | 2007-12-14 | 2011-04-19 | Hyundai Motor Company | Impulse charger for motor vehicle engines |
-
1982
- 1982-10-06 JP JP17459082A patent/JPS5965685A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002235868A (ja) * | 2001-02-09 | 2002-08-23 | Anelva Corp | ゲートバルブ |
| JP4694006B2 (ja) * | 2001-02-09 | 2011-06-01 | キヤノンアネルバ株式会社 | ゲートバルブ |
| WO2008035670A1 (fr) * | 2006-09-21 | 2008-03-27 | Taiho Kogyo Co., Ltd. | Ensemble vanne |
| US7926465B2 (en) | 2007-12-14 | 2011-04-19 | Hyundai Motor Company | Impulse charger for motor vehicle engines |
| JP2010139073A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Inficon Gmbh | バルブ構造 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6160317B2 (ja) | 1986-12-20 |
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