JPS6313969A - 制御バルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は制御バルブに係り、特に流れの開閉や流量の調
整等を精度良く行うための制御バルブに関する。

［従来の技術］ 近年、集積回路の高集積化および高性能化に伴ない、集
積回路製造プロセスのドライ化が進んでいる。特に、プ
ラズマを利用した薄膜形成やエツチングプロセスは、プ
ロセスの低温度化や形成されるパターンの微細化が容易
となり、集積回路の製造に欠くことのできない技術とな
っている。

このようなプラズマプロセス技術において１反応ガスの
制御は重要であり、特に圧力および流量は極めて重要な
制御パラメータとなっている。

圧力制御は、供給ガス流量制御又はバルブによるコンダ
クタンス制御によって行われるのが一般的であるが、ガ
ス流量はプロセス制御のパラメータでもあるからコンダ
クタンスを変化させて行う方が望ましい。

コンダクタンスを変化させるのには、反応槽と真空ポン
プとの間に設けられたバルブの弁のガス流体に対する断
面積を変化させればよい、このような制御バルブとして
は、従来、バタフライ型可変コンダクタンスバルブが用
いられていた。

このバタフライ型バルブは、バタフライ式の板状の弁を
ガス通路内で適宜の角度だけ回転させてガス流に対する
弁の断面積を変化させ、これによってコンダクタンスを
変化させるものである。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、上記従来のバルブては、弁の微小な角度
変化によってコンダクタンスが大きく変化してしまい、
高精度の圧力制御や流量制御を行うことができないとい
う問題点を有していた。

［目　的］ 本発明は上述従来技術の問題点に鑑みなされたものてあ
り、その目的は微小なコンダクタンスの調整を容易に行
うことの可俺な、制御バルブを提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的は本発明によれば、開度３１整可濠に支持され
ている弁手段を保持する本体のシール部の少なくとも一
部に溝か形成されていることを特徴とする、制御バルブ
によって達成される。

［作　用コ 上記シール部に溝が形成されているために、上記弁を開
くと、まず溝を通して徐々に開状態となり、逆に上記弁
を閉じる詩は溝を通して徐々に開状態に至る。したかっ
て、コンダクタンスの微小な調整がてき、圧力制御や流
量制御をスムーズに精度良く行うことがてきる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて具体的かつ詳細
に説明する。

第１図は本発明による制御バルブの一実施例を示す概略
的構成図である。

同図において、ガス通路はフランジ２の面方向に対し直
角の方向に延びており、バルブは該フランジ２によって
接続されている。バルブ内にはゲート弁４が回動自在に
設けられ、該ゲート弁４の回動によって後述するように
ガス流量が制御される。ゲート弁４には該ゲート弁４を
回動させるだめの駆動軸６が固定されており、該駆動軸
６の端部にはギア８が固定接続されている。該ギア８に
は、ゲート弁４を回転させるための駆動力を発生する、
不図示の駆動手段が接続されている。勿論、−ｆ−動で
あれば駆動軸６につまみ等を固定すればよい。

更に、フランジ２の内壁のシール部の一部分には、該フ
ランジ２の厚さ方向に貫通していない溝１０か設けられ
ている０本実施例では、溝ｌＯはゲート弁４の駆動軸６
に直交する方向のフランジ２の内％’４９Ｋに設けられ
ている。

次に、上記構成を有する本実施例の動作を第２図を用い
て説明する。

第２図は本実施例のｆ４御バルブを上方から見た場合の
概略的断面図である。

同図において、ゲート弁４がａの状態のときは、７ラン
ジ２の内壁シール部によって該ゲート弁４の全周が閉じ
られ、全開状態となっている。

この状態からゲート弁４を矢印Ｘ方向に微小角度回転さ
せてゲート弁４をｂの状態にすると、溝１０を通してガ
スが徐々に流れ始める。ゲート弁４を更に回転させてＣ
の状態にすると、制御バルブは全開状態となる。

バルブを閉じる時は、　Ｂ）Ｉ状態から矢印Ｘとは反対
方向にゲート弁４を回転させ、ゲート弁４をｂに示す様
に閉じると、１ＸＩ１１０の開口を通してガスが流れる
状態となる。そして、更にゲート弁４を閉じると、溝１
０の開口が徐々に小さくなり、最後にゲート弁４がａの
状態に示す様な全開状態となる。

以上の動作のコンダクタンス変化を第３図に示す。

第３図は、上記バルブの開度に対するコンダクタンスの
変化を示すグラフである。ただし、実線１２が本実施例
のグラフであり、破線１４が従来のバルブのグラフであ
る。

同グラフに示す様に１本実施例ではフランジ２の内壁の
シール部に溝ｌＯが形成されているために、ゲート弁４
の小さな開度領域で緩やかなコンダクタンス変化が得ら
れている。したがって、従来の溝なしのバルブに比べて
、より精度の高い流星制御が可ずｔとなる。

尚、小さな開度領域でのコンダクタンス変化は、フラン
ジ２のシール部に形成される溝ｌＯの形状、大きさおよ
び個数等によって決めることかてきる。

［発明の効果］ 以上詳細かつ具体的に説ＩＪ１シた様に１本発明による
ル制御バルブは、フランジの内壁のシール部に溝か形成
されているという簡単な構造て、コンダクタンスの微小
な調整を容易に行うことがてき、圧力制御や流量制御を
スムーズに精度良く行うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による制御バルブの一実施例を示す概略
的構成図、 第２図は本実施例の制御バルブの概略的断面図、 第３ＶＡは上記バルブの開度に対するコンダクタンスの
変化を示すグラフである。 ２・・・フランジ ３・・・ゲート弁 １０・・・溝

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）開度調整可能に支持されている弁手段を保持する
   本体のシール部の少なくとも一部に溝が形成されている
   ことを特徴とする、制御バルブ。
2. （２）前記溝は前記シール部を貫通せず、全閉可能であ
   ることを特徴とする、特許請求の範囲第（１）項記載の
   制御バルブ。
3. （３）前記弁手段はバタフライ型弁である、特許請求の
   範囲第（１）項記載の制御バルブ。