JP2002235868A

JP2002235868A - ゲートバルブ

Info

Publication number: JP2002235868A
Application number: JP2001033776A
Authority: JP
Inventors: Kazuto Watanabe; 和人渡辺; Yoshihiro Katsumata; 好弘勝俣
Original assignee: Anelva Corp
Current assignee: Canon Anelva Corp
Priority date: 2001-02-09
Filing date: 2001-02-09
Publication date: 2002-08-23
Anticipated expiration: 2021-02-09
Also published as: JP4694006B2

Abstract

(57)【要約】【課題】弁箱の奥行き幅を増加させることなく、大型
処理基板に対応できるようにする。【解決手段】弁体２４は、当該弁体に平行な回転軸の
まわりに揺動運動を行うように構成されている。弁体を
動かすための開閉機構２８はトッグル機構で構成されて
いる。開閉機構の駆動源３０は、弁体の回転軸に平行な
方向に配置された複数個の回転シリンダ５４により構成
されている。回転シリンダの各々の回転シャフト５６は
カップリング６０を用いて直列に結合されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、真空基板処理装
置用のゲートバルブに関する。

【０００２】

【従来の技術】特願平１１−２５４５７０には、トッグ
ル機構で構成された開閉機構により弁体を揺動させて、
弁箱の開口の開け閉めを行うゲートバルブが提案されて
いる。２つのリンクからなるトッグル機構の利点は、原
動節側のリンクが連結リンクと直線状に近くなる位置
で、連結リンクの他端に大きな力を発生させる点にあ
る。上述の開閉機構を構成する原動節はロータリアクチ
ュエータ（回転シリンダ）によって駆動される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、処理基
板が大型化した場合、処理基板が通過する弁箱の開口が
大きくなるため、開口の開け閉めに用いられる弁体も大
きくなる。弁体が大きくなると、ゲートバルブ閉時に弁
体に作用する逆圧が大きくなるから、開閉機構の駆動源
の発生トルクを増加させる必要がある。そのため、駆動
源のサイズが必然的に大きくなる。

【０００４】図７は、典型的な真空基板処理装置の構成
を示す平面図である。この図例では、搬送室１０に、３
つの処理室１２ａ、１２ｂおよび１２ｃと、ロードロッ
ク室１４とがそれぞれゲートバルブ１６ａ、１６ｂ、１
６ｃおよび１６ｄを介して接続されている。搬送室１０
内には、処理基板１８を搬送するための搬送ロボット２
０が設置されている。

【０００５】図７に示すように、ゲートバルブは搬送室
との仕切りとして使用されることがある。上述したよう
に駆動源が大きくなると、弁箱の奥行き幅が大きくなる
ため、搬送室内の搬送ロボットのストロークを、増加し
た幅分だけ拡大させる必要がある。搬送ロボットのスト
ローク拡大に伴い、搬送ロボット自体も大型化し、搬送
室の占有面積が大きくなってしまう。

【０００６】したがって、この発明の目的は、弁箱の奥
行き幅を増加させることなく、大型処理基板に対応でき
るようにしたゲートバルブを提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】そこで、この発明のゲー
トバルブによれば、開口を有した弁箱と、この弁箱の内
側に収められ、開口の開閉に用いられる弁体と、この弁
体に接続された弁棒と、この弁棒を作動させ、弁箱の弁
座に弁体を着座させる閉動作、および弁座から弁体を離
間させる開動作を行う開閉機構とを備えたゲートバルブ
において、弁体が、当該弁体に平行な回転軸のまわりに
揺動運動を行うように構成されており、開閉機構はトッ
グル機構で構成されており、開閉機構の駆動源が、回転
軸に平行な方向に配置された複数個の回転式アクチュエ
ータにより構成され、回転式アクチュエータの各々の回
転駆動軸が直列に結合されていることを特徴とする。

【０００８】この構成によれば、弁体を駆動する開閉機
構がトッグル機構を有するため、開閉機構の小型化が図
れるとともに、逆圧に抗する大きな力を弁体に与えるこ
とができるようになる。しかも、開閉機構の駆動源は複
数個の回転式アクチュエータを弁体の回転軸に平行に配
置し、これら回転式アクチュエータの回転駆動軸を直列
に結合したものであるから、弁箱の奥行き幅を増加させ
ることなく、駆動源の発生トルクを向上させることがで
きる。

【０００９】この発明のゲートバルブにおいて、好まし
くは、回転式アクチュエータが空気圧式であると良い。

【００１０】さらに開閉機構は、回転駆動軸に結合さ
れ、揺動運動を行う第１揺動リンクと、弁棒に接続さ
れ、この弁棒を軸として揺動運動を行う第２揺動リンク
と、第１および第２揺動リンク間を結合する結合リンク
とを備えると良い。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、図を参照して、この発明の
実施の形態につき説明する。なお、図は、この発明が理
解できる程度に形状、大きさおよび配置関係を概略的に
示したものに過ぎない。よって、この発明は、図示例に
何ら限定されることがない。

【００１２】この実施の形態のゲートバルブは、３００
ｍｍ相当の基板に対応可能な構成を有している。以下、
図１〜図５を参照して、この実施の形態のゲートバルブ
の構成につき説明する。

【００１３】図１〜図５は、この実施の形態のゲートバ
ルブの構成を示す図である。図１はゲートバルブの正面
図である。図２はゲートバルブの上面図である。図３は
ゲートバルブの概略的な斜視図である。図４（Ａ）およ
び図５（Ａ）には、弁棒に対し垂直な方向から見たとき
の弁箱および弁体の断面が示されている。図４（Ｂ）お
よび図５（Ｂ）には、開閉機構を弁棒に垂直な方向から
見たときの様子が示されている。各図において断面を示
すハッチングの図示を省略している。図３では、開閉機
構のリンクカバーとエア供給部との図示を省略してい
る。また、図３では、回転シリンダを簡略化して示して
いる。図４（Ａ）および図５（Ａ）には、弁箱をチャン
バ間に接続した状態にして示している。図１中の斜線部
がチャンバ間との結合面すなわちシール面である。ま
た、図４（Ａ）および図５（Ａ）では、開閉機構の図示
を省略している。図４は開時の様子を示しており、図５
は閉時の様子を示している。

【００１４】この実施の形態のゲートバルブは、弁箱２
２、弁体２４、弁棒２６、開閉機構２８および駆動源３
０を備えている。弁箱２２の壁面には、開口３２が設け
られている。弁箱２２の内側に収められた弁体２４は、
開口３２の開閉に用いられる、弁体２４と弁棒２６とは
接続されている。開閉機構２８は、弁棒２６を作動さ
せ、弁箱２２の弁座に弁体２４を着座させる閉動作、お
よび弁座から弁体２４を離間させる開動作を行うもので
ある。

【００１５】この実施の形態のゲートバルブは、弁体２
４に関して左右対称な構成になっている。例えば、弁体
２４の両端部に同じ形状の弁棒２６がそれぞれ接続され
ている。これら弁棒２６の回転軸は一致させてある。弁
体２４の主面は弁棒２６の延在方向に平行に配置されて
おり、弁棒２６の回転運動に伴って弁体２４が上述した
回転軸のまわりに揺動運動を行うように構成されてい
る。弁棒２６は、弁箱２２の側部に開けられた開口３４
を通して外部に導出されている。弁箱２２の側部にはガ
イドユニット３６が固定されている。弁棒２６はベアリ
ング３８によりガイドユニット３６に対し軸支されてい
る。このガイドユニット３６は、弁棒２６のガイド機能
とともに、真空と大気を隔離するためのシールユニット
機構を有している。

【００１６】このように弁体２４は、両側から弁棒２６
によって支えられている。各弁棒２６は、図１を見た場
合、開口３２の下方に設置されている。これらの弁棒２
６は、それぞれ同じ構成の開閉機構２８により回転駆動
される。各開閉機構２８を作動させると、各弁棒２６が
それぞれ同じ向きに同じ速度で回転することにより、弁
体２４は弁棒２６を軸にして揺動運動を行う。

【００１７】各弁棒２６の、弁箱２２の外部に導出され
た端部は、上述の開閉機構２８にそれぞれ結合されてい
る。この開閉機構２８はトッグル機構で構成されてい
る。この開閉機構２８は、主として第１揺動リンク４
０、第２揺動リンク４２および結合リンク４４により構
成される。第１揺動リンク４０は、駆動シャフト５０を
介して駆動源３０の回転駆動軸に結合されている。この
第１揺動リンク４０は、駆動源３０により駆動されて揺
動運動を行い、開閉機構２８の原動節として働くリンク
である。第２揺動リンク４２は、弁棒２６に接続され、
弁棒２６を軸にして揺動運動を行うリンクである。結合
リンク４４は、第１および第２揺動リンク４０および４
２間を結合するリンクである。第１揺動リンク４０と結
合リンク４４の一端とは、シャフト４６を介して回転自
在に結合されている。また、結合リンク４４の他端と第
２揺動リンク４２とは、シャフト４８を介して回転自在
に結合されている。開閉機構２８はリンクカバー５２に
より覆われている。

【００１８】このように構成してあるので、駆動源３０
を駆動して第１揺動リンク４０を揺動させると、第１揺
動リンク４０の動きに結合リンク４４が追従し、その結
果、第２揺動リンク４２が揺動し始める。第２揺動リン
ク４２が揺動すると、第２揺動リンク４２に結合された
弁体２４が揺動することにより、開口３２の開閉動作が
行われる。

【００１９】各開閉機構２８それぞれは、個別の駆動源
３０によって駆動される。各駆動源３０は、弁箱２２の
下部にそれぞれ固定されている。

【００２０】この実施の形態では、上述した駆動源３０
それぞれは、２個の同品の回転式アクチュエータにより
構成される。これら回転式アクチュエータの各々の回転
駆動軸（回転シャフト５６）は、カップリング６０を用
いて直列に結合されている。すなわち、各回転シリンダ
５４の回転シャフト５６が直線状になるように配置さ
れ、各回転シャフト５６の互いに対向する端部どうしが
カップリング６０により連結されている。

【００２１】また、各回転シリンダ５４は、回転シャフ
ト５６の延在方向が弁体２４の回転軸に平行になるよう
に、配置される。そして、各駆動源３０において、一方
の回転シャフト５６の端部が上述した駆動シャフト５０
に接続されている。

【００２２】回転式アクチュエータとしては、空気圧式
の回転シリンダ５４を用いている。この回転シリンダ５
４は、エアの供給によって内部の羽根を回転させること
により、この羽根に接続された回転シャフト（ベーンシ
ャフト）５６を回転させるものである。エアポート（エ
ア供給口）５８は、各回転シリンダ５４に２つずつ設け
られており、エアを導入するエアポートの選択によって
回転シャフト５６の回転方向を制御することができる。
エアポート５８へのエアの導入は、弁箱２２の下方に設
けられたエア供給部６２により行われる。

【００２３】このように、２個の回転シリンダ５４を連
結して用いることにより、１個の回転シリンダ５４を単
独で用いた場合に比べて、２倍の回転トルクを発生させ
ることができる。

【００２４】上述した回転シリンダ５４として、例えば
ＳＭＣ社製のロータリアクチュエータＣＤＲＢ１ＢＷ３
０−１００Ｄ−Ｔ７９（商品名）を用いるのが好適であ
る。また、上述したカップリング６０として、例えば三
木プーリー社製のサーボフレックスカップリングＳＦＣ
ＷＰ（商品名）を用いるのが好適である。

【００２５】次に、ゲートバルブの閉動作につき説明す
る。まず、図４の開時の状態において、回転シリンダ５
４を駆動して、第１揺動リンク４０を駆動シャフト５０
を中心に図４（Ｂ）中の反時計回りに回転させる。する
と、結合リンク４４は上方に押し上げられる形となり、
このため第２揺動リンク４２が時計回りに回転する。し
たがって、第２揺動リンク４２の回転中心に設けられた
弁棒２６に対し時計回りの回転力が与えられる。この弁
棒２６の回転運動に伴い、弁体２４は開口３２の側に回
転して、図５（Ａ）に示すように弁体２４の主面（Ｏリ
ング６４が設けられた面）が弁座に対して着座する。

【００２６】次に、ゲートバルブの開動作につき説明す
る。まず、図５の閉時の状態において、回転シリンダ５
４を駆動して、第１揺動リンク４０を駆動シャフト５０
を中心に図５（Ｂ）中の時計回りに回転させる。する
と、結合リンク４４は下方に押し下げられる形となり、
このため第２揺動リンク４２が反時計回りに回転する。
したがって、第２揺動リンク４２の回転中心に設けられ
た弁棒２６に対し反時計回りの回転力が与えられる。こ
の弁棒２６の回転運動に伴い、弁体２４は開口３２の側
から離れる向きに回転するので、図４（Ａ）に示すよう
に開口３２が開いた状態となる。

【００２７】次に、図６を参照して、閉時の必要回転ト
ルクの計算例を示す。図６には、開閉機構２８の、図５
（Ｂ）中に太線で示したトッグル機構の部分を簡略化し
て示してある。

【００２８】図６中、ａ点はシャフト４６の回転軸、ｂ
点はシャフト４８の回転軸、ｃ点は駆動シャフト５０の
回転軸、ｄ点は弁棒２６の回転軸、およびｅ点はＯリン
グ６４に加わる荷重の作用点をそれぞれ示している。

【００２９】また、ｄ点とｅ点との間の距離をＬ１と
し、ｂ点とｄ点との間の距離をＬ２とし、ａ点とｃ点と
の間の距離をＬ３とする。さらに、ａ点とｂ点とを結ぶ
直線ａｂの長さをＬ４とし、直線ａｂと、ｂ点とｃ点と
を結ぶ直線ｂｃとのなす角度をθ４としたとき、Ｌ４ｃ
ｏｓθ４＝Ｘとする。また、直線ｂｃとａ点との距離を
Ｙとする。

【００３０】また、ｅ点に発生する荷重Ｐの方向と、ｄ
点およびｅ点を結ぶ直線とのなす角度をθ１とする。ま
た、ｂ点に発生する力Ｆ２の方向と、直線ｂｃとのなす
角度をθ２とする。また、駆動源３０によりａ点に与え
られる力Ｆ０の方向と、この力Ｆ０のうちａ点を直線ｂ
ｃの側に押しやる力成分Ｆの方向とのなす角度をθ３と
する。

【００３１】上述した各パラメータの値は以下の通りで
ある。Ｌ１＝２８ｍｍＬ２＝２１ｍｍＬ３＝２１ｍｍＸ＝５０．３１３ｍｍＹ＝３．２２７ｍｍ θ１＝７８．７° θ２＝１７．５° θ３＝８．８４° θ４＝３．６７°

【００３２】＜計算例１＞まず、２００ｍｍ相当の基板
に対応するゲートバルブの場合につき、計算例を示す。
弁箱２２の開口３２のサイズは、縦３．４ｃｍ、横２２
ｃｍである。

【００３３】このとき、弁体２４の主面に設けられるＯ
リング６４として、型名ＡＳ５６８＃３６２、太さＷ＝
５．３３、内径ＩＤ＝１５８．１２で規定される規格の
Ｏリングを用いている。三菱電線工業（株）から発行さ
れた「Ｏ−リングハンドブック」によれば、このＯリン
グのつぶし力は、つぶししろを１５％とした場合、０．
２５Ｋｇ／ｍｍである。Ｏリングの長さは５１２ｍｍな
ので、Ｏリングのつぶし力として、０．２５Ｋｇ／ｍｍ
×５１２ｍｍ＝１２８Ｋｇが必要である。また、１気圧
＝１．０Ｋｇ／ｃｍ² 重より、弁体２４に作用する逆圧
力は、３．４ｃｍ×２２ｃｍ×１．０Ｋｇ／ｃｍ² ＝７
４．８Ｋｇとなる。よって、弁体２４を弁座に押しつけ
るために必要な力Ｐは、合計で２０２．８Ｋｇとなる。

【００３４】次に、片方の弁棒２６を駆動するために必
要なトルクＴ１を計算する。図６中のｅ点に与えられる
荷重Ｐ１は次式（１）により計算される。Ｐ１＝Ｐ／ｃｏｓ（９０−θ１）＝２０２．８／ｃｏｓ（９０−７８．７）＝２０６．８（Ｋｇ）・・・（１）

【００３５】また、図６中のｄ点に発生する回転トルク
Ｔ０は、次式（２）によって計算される。Ｔ０＝Ｐ１×Ｌ１＝２０６．８×２．８＝５７９．０４（Ｋｇ・ｃｍ）・・・（２）

【００３６】この実施の形態のゲートバルブは２本の弁
棒２６を備えるため、次式（３）によってトルクＴ１が
計算される。Ｔ１＝Ｔ０／２＝５７９．０４／２＝２８９．５２（Ｋｇ・ｃｍ）・・・（３）

【００３７】よって、片方の弁棒２６を駆動するために
必要なトルクＴ１は２９０Ｋｇ・ｃｍ以上となる。

【００３８】次に、駆動源３０の必要トルクＴを求め
る。図６中のｂ点に発生する力Ｆ２は次式（４）により
計算される。Ｆ２＝Ｔ１／Ｌ２＝２９０／２．１＝１３８．１（Ｋｇ）・・・（４）

【００３９】また、図６中の力Ｆ２の直線ｂｃに沿った
方向の成分Ｆ１は、次式（５）により計算される。Ｆ１＝Ｆ２／ｃｏｓθ２＝１３８．１／ｃｏｓ１７．５＝１４４．８（Ｋｇ）・・・（５）

【００４０】トッグルリンクの公式より次式（６）が成
り立つ。Ｆ１／Ｆ＝Ｘ／（２Ｙ）・・・（６）

【００４１】よって、（６）式よりＦが次式（７）に示
すように計算される。Ｆ＝２×Ｆ１×Ｙ／Ｘ＝２×１４４．８×３．２２７／５０．３１３＝１８．５７（Ｋｇ）・・・（７）

【００４２】よって、駆動源３０がａ点に与える力Ｆ０
は次式（８）により計算される。Ｆ０＝Ｆ／ｃｏｓθ３＝１８．５７／ｃｏｓ８．８４＝１８．８（Ｋｇ）・・・（８）

【００４３】よって、駆動源３０の必要トルクＴは次式
（９）により計算される。Ｔ＝Ｌ３・Ｆ０＝２．１×１８．８＝３９．４８（Ｋｇ・ｃｍ）・・・（９）

【００４４】以上説明したように、２００ｍｍ相当の基
板が通過できるゲートバルブの場合、弁体の弁座押し付
け力として２０２．８Ｋｇ・ｃｍが必要である。トッグ
ル機構を用いた開閉機構２８では、１軸あたりの必要回
転トルクが３９．４８Ｋｇ・ｃｍとなる。

【００４５】＜計算例２＞次に、３００ｍｍ相当の基板
に対応するゲートバルブの場合につき、計算例を示す。
弁箱２２の開口３２のサイズは、縦３．４ｃｍ、横３２
ｃｍである。

【００４６】このとき、弁体２４の主面に設けられるＯ
リング６４として、型名ＡＳ５６８＃３７２、太さＷ＝
５．３３、内径ＩＤ＝２２１．６２で規定される規格の
Ｏリングを用いている。三菱電線工業（株）から発行さ
れた「Ｏ−リングハンドブック」によれば、このＯリン
グのつぶし力は、つぶししろを１５％とした場合、０．
２５Ｋｇ／ｍｍである。Ｏリングの長さは６９６ｍｍな
ので、Ｏリングのつぶし力として、０．２５Ｋｇ／ｍｍ
×６９６ｍｍ＝１７４Ｋｇが必要である。また、１気圧
＝１．０Ｋｇ／ｃｍ² 重より、弁体２４に作用する逆圧
力は、３．４ｃｍ×３２ｃｍ×１．０Ｋｇ／ｃｍ² ＝１
０８．８Ｋｇとなる。よって、弁体２４を弁座に押しつ
けるために必要な力Ｐは、合計で２８２．８Ｋｇとな
る。

【００４７】次に、片方の弁棒２６を駆動するために必
要なトルクＴ１を計算する。図６中のｅ点に与えられる
荷重Ｐ１は次式（１０）により計算される。Ｐ１＝Ｐ／ｃｏｓ（９０−θ１）＝２８２．８／ｃｏｓ（９０−７８．７）＝２８８．４（Ｋｇ）・・・（１０）

【００４８】また、図６中のｄ点に発生する回転トルク
Ｔ０は、次式（１１）によって計算される。Ｔ０＝Ｐ１×Ｌ１＝２８８．４×２．８＝８０７．５２（Ｋｇ・ｃｍ）・・・（１１）

【００４９】この実施の形態のゲートバルブは２本の弁
棒２６を備えるため、次式（１２）によってトルクＴ１
が計算される。Ｔ１＝Ｔ０／２＝８０７．５２／２＝４０３．７６（Ｋｇ・ｃｍ）・・・（１２）

【００５０】よって、片方の弁棒２６を駆動するために
必要なトルクＴ１は４０４Ｋｇ・ｃｍ以上となる。

【００５１】次に、駆動源３０の必要トルクＴを求め
る。図６中のｂ点に発生する力Ｆ２は次式（１３）によ
り計算される。Ｆ２＝Ｔ１／Ｌ２＝４０４／２．１＝１９２．４（Ｋｇ）・・・（１３）

【００５２】また、図６中の力Ｆ２の直線ｂｃに沿った
方向の成分Ｆ１は、次式（１４）により計算される。Ｆ１＝Ｆ２／ｃｏｓθ２＝１９２．４／ｃｏｓ１７．５＝２０１．７（Ｋｇ）・・・（１４）

【００５３】トッグルリンクの公式より次式（１５）が
成り立つ。Ｆ１／Ｆ＝Ｘ／（２Ｙ）・・・（１５）

【００５４】よって、（１５）式よりＦが次式（１６）
に示すように計算される。Ｆ＝２×Ｆ１×Ｙ／Ｘ＝２×２０１．７×３．２２７／５０．３１３＝２５．８７（Ｋｇ）・・・（１６）

【００５５】よって、駆動源３０がａ点に与える力Ｆ０
は次式（１７）から計算される。Ｆ０＝Ｆ／ｃｏｓθ３＝２５．８７／ｃｏｓ８．８４＝２６．２（Ｋｇ) ・・・（１７）

【００５６】よって、駆動源３０の必要トルクＴは次式
（１８）により計算される。Ｔ＝Ｌ３・Ｆ０＝２．１×２６．２＝５５．０２（Ｋｇ・ｃｍ）・・・（１８）

【００５７】以上説明したように、３００ｍｍ相当の基
板が通過できるゲートバルブの場合、弁体の弁座押し付
け力として２８２．８Ｋｇ・ｃｍが必要である。トッグ
ル機構を用いた開閉機構２８では、１軸あたりの必要回
転トルクが５５．０２Ｋｇ・ｃｍとなる。

【００５８】以上の計算例より、ゲートバルブを３００
ｍｍ相当の基板に対応させるには、駆動源の発生トルク
を、２００ｍｍ相当の基板に対応したゲートバルブで使
用されていた駆動源の発生トルクの２倍にすれば良いこ
とが分かる。上述したように、この実施の形態のゲート
バルブでは、２個の回転シリンダを直列に組み合わせた
駆動源を用いることによって、必要回転トルクの発生が
実現されている。しかもこの構成によれば、複数個の回
転シリンダを弁体の回転軸に平行な方向に配置するか
ら、弁箱の奥行き幅を増加させる必要がない。よって、
搬送室内の搬送ロボットのストロークを増加させる必要
がない。その結果、ロボットの大型化、搬送室の占有面
積の大型化、および作業性の悪化を回避できる。

【００５９】

【発明の効果】この発明のゲートバルブによれば、弁体
が、当該弁体に平行な回転軸のまわりに揺動運動を行う
ように構成され、開閉機構がトッグル機構で構成され、
開閉機構の駆動源が、回転軸に平行な方向に配置された
複数個の回転式アクチュエータにより構成され、回転式
アクチュエータの各々の回転駆動軸が直列に結合されて
いる。

【００６０】この構成によれば、弁体を駆動する開閉機
構がトッグル機構を有するため、開閉機構の小型化が図
れるとともに、逆圧に抗する大きな力を弁体に与えるこ
とができるようになる。しかも、開閉機構の駆動源は複
数個の回転式アクチュエータを弁体の回転軸に平行に配
置し、これら回転式アクチュエータの回転駆動軸を直列
に結合したものであるから、弁箱の奥行き幅を増加させ
ることなく、駆動源の発生トルクを向上させることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施の形態のゲートバルブの構成を示す図であ
る。

【図２】実施の形態のゲートバルブの構成を示す図であ
る。

【図３】実施の形態のゲートバルブの構成を示す図であ
る。

【図４】実施の形態のゲートバルブの構成を示す図であ
る。

【図５】実施の形態のゲートバルブの構成を示す図であ
る。

【図６】閉時の必要回転トルクの計算例の説明に供する
図である。

【図７】典型的な真空基板処理装置の構成を示す図であ
る。

【符号の説明】

１０：搬送室１２ａ，１２ｂ，１２ｃ：処理室１４：ロードロック室１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ：ゲートバルブ１８：処理基板２０：搬送ロボット２２：弁箱２４：弁体２６：弁棒２８：開閉機構３０：駆動源３２，３４：開口３６：ガイドユニット３８：ベアリング４０：第１揺動リンク４２：第２揺動リンク４４：結合リンク４６，４８：シャフト５０：駆動シャフト５２：リンクカバー５４：回転シリンダ５６：回転シャフト５８：エアポート６０：カップリング６２：エア供給部６４：Ｏリング0

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】開口を有した弁箱と、該弁箱の内側に収
められ、前記開口の開閉に用いられる弁体と、該弁体に
接続された弁棒と、該弁棒を作動させ、前記弁箱の弁座
に前記弁体を着座させる閉動作、および該弁座から前記
弁体を離間させる開動作を行う開閉機構とを備えたゲー
トバルブにおいて、前記弁体が、当該弁体に平行な回転軸のまわりに揺動運
動を行うように構成されており、前記開閉機構はトッグル機構で構成されており、前記開閉機構の駆動源が、前記回転軸に平行な方向に配
置された複数個の回転式アクチュエータにより構成さ
れ、前記回転式アクチュエータの各々の回転駆動軸が直列に
結合されていることを特徴とするゲートバルブ。
【請求項２】請求項１に記載のゲートバルブにおい
て、前記回転式アクチュエータが空気圧式であることを特徴
とするゲートバルブ。
【請求項３】請求項１に記載のゲートバルブにおい
て、前記開閉機構は、前記回転駆動軸に結合され、揺動運動を行う第１揺動リ
ンクと、前記弁棒に接続され、該弁棒を軸として揺動運動を行う
第２揺動リンクと、前記第１および第２揺動リンク間を結合する結合リンク
とを備えることを特徴とするゲートバルブ。