JP7296083B1 - 回転駆動式ゲートバルブ - Google Patents

Abstract

【課題】低コストで省スペース化を図ることができる回転駆動式ゲートバルブを提供する。【解決手段】本発明の回転駆動式ゲートバルブ１（１Ａ）は、対向する第一開口部７及び第二開口部８を有する弁箱４と、弁箱４内に収容され、第一開口部７及び第二開口部８を選択的に開閉する弁板ユニット５（５Ａ）と、弁板ユニット５（５Ａ）を駆動する駆動機構６と、を備え、弁板ユニット５（５Ａ）は、第一開口部７を開閉する第一弁板９と、第二開口部８を開閉する第二弁板１０と、駆動機構６により回転し、第一弁板９及び第二弁板１０を開位置又は閉位置に回転移動させる回転板１１と、回転板１１の回転に従動し、内部のカム機構により第一弁板９又は第二弁板１０を第一開口部７又は第二開口部８に密着又は離間する方向にスライド移動させるスライド板１２と、から構成されている。【選択図】図２

Description

本発明は、弁板を回転駆動させて弁箱の開口部を開閉する回転駆動式ゲートバルブに関する。

従来の一般的なゲートバルブは、シール材を有する弁板を昇降動作及び密着動作させることにより弁箱の開口部を密閉する方式や、対向する二枚の弁板でエアシリンダを挟み、閉位置で弁板にエアを印加することにより弁箱の開口部を直接密閉する方式が採用されている（例えば、前者の方式については特許文献１、後者の方式については特許文献２を参照）。

特開平９－３２４８６３号公報 特開２０１３－１２４７７３号公報

前者の方式のゲートバルブについては、弁板シール力をテコの作用で求めるため、弁箱の開口部のサイズによっては機構部が大型かつ複雑になり、重量やコストの面で競争力が無いという問題がある。また、後者の方式のゲートバルブについては、特に大型開口で有効であるが、弁板構造が複雑であり、半導体向けを含め小型ゲートバルブでは製品展開が困難であるという問題がある。

そこで、本発明はこのような問題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、弁板の開閉機構を簡素化して部品点数を削減し、低コストで省スペース化を図ることができる回転駆動式ゲートバルブを提供することにある。

前記の目的を達成するため、本発明の回転駆動式ゲートバルブは、開口部を有する弁箱と、前記弁箱内に収容された弁板ユニットと、前記弁板ユニットを駆動する駆動機構と、を備え、前記弁板ユニットは、前記開口部を開閉する弁板と、前記駆動機構により回転し、前記弁板を開位置又は閉位置に回転移動させる回転板と、前記回転板の回転に従動し、内部のカム機構により前記弁板を前記開口部に密着又は離間する方向にスライド移動させるスライド板と、から構成され、前記弁箱は、対向する第一開口部及び第二開口部を有し、前記弁板ユニットは、前記第一開口部を開閉する第一弁板と、前記第二開口部を開閉する第二弁板と、前記駆動機構により回転し、前記第一弁板及び前記第二弁板を開位置又は閉位置に回転移動させる回転板と、前記回転板の回転に従動し、内部のカム機構により前記第一弁板又は前記第二弁板を前記第一開口部又は前記第二開口部に密着又は離間する方向にスライド移動させるスライド板と、から構成され、前記第一開口部及び前記第二開口部を選択的に開閉することを特徴とする。

また、本発明は、上記構成からなる回転駆動式ゲートバルブにおいて、前記弁板のシール面にパッキンが嵌め込まれており、当該パッキンを嵌め込むシール溝が、平面とこれに滑らかに繋がった曲面とに対して形成され、逆Ω形状のように入口付近が括れ、奥がその入口付近の括れより広い円形の断面形状に形成されていることを特徴とする。

上記の構成から明らかなように、本発明の回転駆動式ゲートバルブによれば、駆動機構を用いて回転板によって弁板を回転移動させ、スライド板によって弁板をスライド移動させる開閉機構を採用したことにより、弁板の開閉機構を簡素化して部品点数を削減し、低コストで省スペース化を図ることができるという効果がある。

半導体製造装置と本発明の回転駆動式ゲートバルブの外観を示す全体図 第一実施形態の回転駆動式ゲートバルブの構成部品を示す分解図 第一実施形態の回転駆動式ゲートバルブの弁開時の状態を示す断面図 第一実施形態の回転駆動式ゲートバルブの弁閉時の状態を示す断面図 第一実施形態の回転駆動式ゲートバルブにおける弁板ユニットの動作説明図 第二実施形態の回転駆動式ゲートバルブの構成部品を示す分解図 第二実施形態の回転駆動式ゲートバルブの弁開時の状態を示す断面図 第二実施形態の回転駆動式ゲートバルブの弁閉時の状態を示す断面図 第二実施形態の回転駆動式ゲートバルブにおける弁板ユニットの動作説明図

以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照しながら説明する。

図１に示すように、本実施形態の回転駆動式ゲートバルブ１（１Ａ）は、フラットパネルディスプレイや半導体基板を製造する装置において、真空と真空、または真空と大気を隔離するための仕切弁であり、ディスプレイや基板を製造する上で各種工程を隔離する用途に使用される。この回転駆動式ゲートバルブ１（１Ａ）のバルブ本体２は、いわゆる弁箱タイプのバルブであって、天板３を有する角型の弁箱４と、弁箱４の内部に収容された弁板ユニット５（５Ａ）と、弁箱４の外部に取り付けられ、弁板ユニット５（５Ａ）を駆動する駆動機構６を備えて構成されている。

弁箱４の左右両側面には、基板を通過させるために、細長い形状で対向する一対の開口部（第一開口部７と第二開口部８）が設けられている。第一開口部７の外壁面にはプロセスチャンバＰＣが接続され、第二開口部８の外壁面にはトランスファーチャンバＴＣが接続される。そして、トランスファーチャンバＴＣから弁箱４を通過してプロセスチャンバＰＣへと搬送された基板は、第一開口部７を弁板ユニット５（５Ａ）で閉じることにより密閉された環境下に置かれ、真空排気されたプロセスチャンバＰＣの室内において各種製膜のための熱、ガス、プラズマ等の処理が行われる。

弁箱４の室内空間には、第一開口部７と第二開口部８を選択的に開閉する弁板ユニット５（５Ａ）が設けられている。図２は天板３と弁箱４を省略した構成部品の分解図であり、同図に示すように、弁板ユニット５（５Ａ）は、第一開口部７を開閉する第一弁板９と、第二開口部８を開閉する第二弁板１０と、これら二枚の弁板を回転移動させる回転板１１（１１ａ，１１ｂ）と、二枚の弁板の各々をスライド移動させるスライド板１２（１２ａ，１２ｂ）と、から構成されている。

第一弁板９と第二弁板１０は、第一開口部７と第二開口部８を塞ぐサイズに設計され、断面円弧状かつ平面横長の長方形状に成形されている。第一弁板９と第二弁板１０の内側面には、それぞれ平板状の取付片１３（１３ａ，１３ｂ）が設けられている。第一弁板９の取付片１３ａには長手方向に貫通する断面が真っ直ぐな直線長孔１４が形成され、第二弁板１０の取付片１３ｂには長手方向に貫通する断面が折れ曲がった屈曲長孔１５が形成されている。第一弁板９と第二弁板１０の外周面には、それぞれ第一開口部７と第二開口部８の開口縁に密着する弾性シール材として、パッキン１６，１６が嵌め込み固定されている。

ここで、第一弁板９と第二弁板１０のシール面は曲面（断面円弧状）であるため、シール材のパッキン１６を嵌め込むシール溝は、本出願人が保有する特許発明（特許第５６３９７６７号）のシール溝を採用している。すなわち、このシール溝は、平面とこれに滑らかに繋がった曲面とに対して形成され、逆Ω形状のように入口付近が括れ、奥がその入口付近の括れより広い円形の断面形状になっている。その形成方法としては、平面と曲面が滑らかに繋がった弁板表面において、平面では当該平面に沿って前記断面形状のシール溝を形成するための溝カッターを平行移動させ、曲面では当該曲面から所定距離だけ離れた点を中心に溝カッターを旋回させることにより、平面と曲面とでシール溝の断面形状が同一となるように形成される。これにより、平面と曲面とで溝の深さが異なることがなくなり、シール溝から突出するパッキン１６の突出高さが均一になり、弁板によるシール性能が向上する。

回転板１１は、前後に配置された一対の円形板１７，１７で構成され、各円形板１７の中心に回転軸１８が設けられている。円形板１７には、回転軸１８の円周方向に対称的に配置された円弧状のスロット１９，１９と、円形板１７の周縁部に対称的に配置された円形のシャフト孔２０，２０が貫通形成されている。これに対してスライド板１２は、前後に配置された一対の方形板２１，２１で構成され、各方形板２１の中心に軸孔２２が設けられている。方形板２１には、スロット１９かつフランジ２８に形成された長いスロットに沿うことでスライド板１２の回転が０度～９０度で制限できる２本のピン２３，２３と、取付片１３に対応した左右の取付凹部２４，２４が形成されている。

そして、直線長孔１４と屈曲長孔１５にそれぞれ一本ずつシャフト２５，２５が挿入され、シャフト２５の両端が前後の円形板１７，１７のシャフト孔２０，２０に固定される。これにより、第一弁板９と第二弁板１０が回転板１１に連結され、一体化される。また、方形板２１の左右の取付凹部２４，２４に取付片１３ａ，１３ｂが嵌め込み固定されることにより、第一弁板９と第二弁板１０がスライド板１２に連結され、一体化される。さらに、方形板２１の二本のピン２３，２３がそれぞれ円形板１７の一対のスロット１９，１９かつフランジ２８に形成された長いスロットに嵌められ、円形板１７の回転軸１８が方形板２１の軸孔２２に嵌められることにより、回転板１１とスライド板１２が連結され、一体化される。

このようにして、第一弁板９、第二弁板１０、回転板１１、スライド板１２が一体化されて弁板ユニット５（５Ａ）が構成されている。また、弁板ユニット５（５Ａ）の内部には、回転板１１のスロット１９及び回転板１１に連結されたシャフト２５からなる原動節と、第一弁板９の直線長孔１４、第二弁板１０の屈曲長孔１５、及びスライド板１２のピン２３からなる従動節とにより、回転板１１の回転運動をスライド板１２の直線運動に変換するカム機構（スコッチヨーク機構）が設けられている。

上記のように構成された弁板ユニット５（５Ａ）は、モータ２６を備えた駆動機構６により回転駆動される。すなわち、モータ２６の出力軸２７が、フランジ２８の中心に設けられたボス孔２９を通過して右側の回転板１１ｂの回転軸１８に直結されることにより、弁板ユニット５（５Ａ）がモータ２６に連結される。これにより、モータ２６を駆動して出力軸２７が回転すると、回転軸１８を介して前後の回転板１１ａ，１１ｂが一体に回転駆動し、これに連結された第一弁板９と第二弁板１０が軸心周りに回転して、開口部の開位置と閉位置の間を往復移動するように構成されている。

また、前後の回転板１１ａ，１１ｂが一体に回転駆動すると、これに連結された前後のスライド板１２ａ，１２ｂが従動し、内部のカム機構により回転運動が直線運動に変換される。これにより、第一弁板９が第一開口部７に、第二弁板１０が第二開口部８に、それぞれ密着又は離間する方向にスライド移動するように構成されている。

以上が第一実施形態の回転駆動式ゲートバルブ１（１Ａ）の構造であるが、次にその基本動作について、図３～５を参照しながら説明する。

この回転駆動式ゲートバルブ１（１Ａ）について、図３は弁開時の状態、図４は弁閉時の状態、図５は弁板ユニット５（５Ａ）を構成する各部品の動作を示したものである。まず図３の弁開時には、弁板ユニット５（５Ａ）を駆動するモータ２６は停止しており、弁箱４内では弁板ユニット５（５Ａ）が回転角度０度の位置に停止している。すなわち、第一弁板９が弁箱４の天面に位置し、第二弁板１０が弁箱４の底面に位置しているため、第一開口部７と第二開口部８が全開状態となっている。この全開状態のとき、第二開口部８（トランスファーチャンバＴＣ側）から第一開口部７（プロセスチャンバＰＣ側）へと基板を通過させることができる。

このときの弁板ユニット５（５Ａ）の状態は、図５（Ａ）に示すように、回転板１１についてはピン２３がスロット１９内で軸心を通る水平面上に位置している。また、スライド板１２も真横に倒れた状態であり、シャフト２５を内蔵する直線長孔１４と屈曲長孔１５が水平面と平行に位置している。これが弁板ユニット５（５Ａ）の「ＯＰＥＮ」位置である。

ここで、第一開口部７（プロセスチャンバＰＣ側）を閉じるＣＬＯＳＥ状態にするには、駆動機構６のモータ２６を駆動して、弁板ユニット５（５Ａ）を回転角度０度の位置から９０度の位置まで回転させる。モータ２６を駆動して出力軸２７が回転すると、図５（Ｂ）に示すように回転板１１が回転駆動し、これに連結されたスライド板１２が従動して回転駆動する。これにより、ピン２３とシャフト２５がそれぞれ回転し、シャフト２５に連結された第一弁板９と第二弁板１０が軸心周りに回転し、開位置から閉位置に移動する。これが弁板ユニット５（５Ａ）の「ＯＰＥＮ→ＣＬＯＳＥ」動作である。

そして、図５（Ｃ）に示すように回転板１１が９０度回転すると、スロット１９内のピン２３が垂直面上に移動し、固定されたフランジ２８の長いスロットの終端に当たっている状態となる。また、スライド板１２が追従して９０度回転し、真横に倒れた状態から垂直に起立する。これにより、シャフト２５を内蔵する直線長孔１４と屈曲長孔１５が垂直面と平行に位置し、シャフト２５に連結された第一弁板９と第二弁板１０が第一開口部７と第二弁板１０に対向する位置まで回転移動する。これが弁板ユニット５（５Ａ）の「ＣＬＯＳＥ」位置である。

ここで、図５（Ｄ）に示すように、「ＣＬＯＳＥ」位置から回転板１１が１１０度の位置まで回転すると、スライド板１２は９０度の位置で停止したまま回転方向への動きが規制され、内部のカム機構により水平左方向にスライド移動する。すなわち、回転板１１に連結したシャフト２５が直線長孔１４と屈曲長孔１５の孔に沿って移動することにより、取付片１３に一体化された第一弁板９が第一開口部７に向かって押され、第一弁板９の外周面のパッキン１６が第一開口部７の開口縁に密着する。したがって、回転角度１１０度の位置でモータ２６を停止させると、第一弁板９によって第一開口部７がシールされ、プロセスチャンバＰＣ側の気密性が確保される。これが弁板ユニット５（５Ａ）の「ＬＯＣＫ１」位置である。

さらに、図５（Ｅ）に示すように、「ＬＯＣＫ１」位置から回転板１１が１３０度の位置まで回転すると、スライド板１２は回転方向への動きが規制された状態であり、内部のカム機構により水平右方向にスライド移動する。すなわち、回転板１１に連結したシャフト２５が直線長孔１４と屈曲長孔１５の孔に沿って移動することにより、取付片１３に一体化された第一弁板９が第一開口部７から離れ、それと同時に第二弁板１０が第二開口部８に向かって押され、第二弁板１０の外周面のパッキン１６が第二開口部８の開口縁に密着する。したがって、回転角度１３０度の位置でモータ２６を停止させると、第一開口部７が開き、第二弁板１０によって第二開口部８がシールされ、トランスファーチャンバＴＣ側の気密性が確保される。これが弁板ユニット５（５Ａ）の「ＬＯＣＫ２」位置である。

以上が弁板ユニット５（５Ａ）によるＣＬＯＳＥ動作であるが、ＯＰＥＮ動作はこれとは逆の動きになる。すなわち、弁板ユニット５（５Ａ）を駆動するモータ２６を逆回転させると、まず内部のカム機構により第二開口部８から第二弁板１０が離れ、第一弁板９が第一開口部７に密着する（図５（Ｅ）～（Ｄ）の状態）。ここで、モータ２６の逆回転を進めると第一弁板９が第一開口部７から離れ（図５（Ｃ）の状態）、さらに回転を進めると回転板１１によって弁板ユニット５（５Ａ）が９０度回転し、弁板ユニット５（５Ａ）が元の「ＯＰＥＮ」位置に戻る（図５（Ｂ）～（Ａ）の状態）。

このように、第一実施形態の回転駆動式ゲートバルブ１（１Ａ）によれば、駆動機構６のモータ２６を回転させることにより、第一弁板９が第一開口部７に密着又は離間し、第二弁板１０が第二開口部８に密着又は離間するため、第一開口部７と第二開口部８を選択的に開閉することができる。これにより、いずれか一方の開口部を閉じた状態でチャンバの気密性を保ちながら、天板３を外して他方の弁板を外部に取り出すことができ、クリーニングやパッキンの交換等のメンテナンス作業を容易に行うことが可能になる。このように、回転駆動式の片側シール機構を採用することにより、メンテナンス性向上とダウンタイム短縮を図ることができる。

なお、上述した第一実施形態では、二枚の弁板（第一弁板９と第二弁板１０）を有する弁板ユニット５（５Ａ）によって第一開口部７と第二開口部８を選択的に開閉するものとしたが、一枚の弁板でいずれか一方の開口部のみを開閉する構造を採用することも可能である。

図６～９は、本発明における第二実施形態の回転駆動式ゲートバルブ１（１Ｂ）を示したものである。図６は天板３と弁箱４を省略した構成部品の分解図であり、同図に示すように、第二実施形態の弁板ユニット５（５Ｂ）は、第一開口部７を開閉する第一弁板９と、一枚の第一弁板９を回転移動させる回転板１１（１１ａ，１１ｂ）と、第一弁板９をスライド移動させるスライド板１２（１２ａ，１２ｂ）と、から構成されている。

回転板１１は、前後に配置された一対の円形板１７，１７で構成されているが、各円形板１７の周縁部には円形のシャフト孔２０が一箇所のみに貫通形成されている。これに対してスライド板１２は、前後に配置された一対の半円形板３０，３０で構成されており、各半円形板３０には、取付片１３に対応した取付凹部２４が片側のみに形成されている。その他の構成は第一実施形態と同じであるので、同一部材には同一符号を付して詳細な説明を省略する。

そして、直線長孔１４に一本のシャフト２５が挿入され、シャフト２５の両端が前後の円形板１７，１７のシャフト孔２０，２０に固定されることにより、第一弁板９が回転板１１に連結され、一体化される。また、半円形板３０の片側に形成された取付凹部２４に取付片１３が嵌め込み固定されることにより、第一弁板９がスライド板１２に連結され、一体化される。さらに、半円形板３０の二本のピン２３，２３がそれぞれ円形板１７の一対のスロット１９，１９に嵌められ、円形板１７の回転軸１８が半円形板３０の軸孔２２に嵌められることにより、回転板１１とスライド板１２が連結され、一体化される。

このようにして、第一弁板９、回転板１１、スライド板１２が一体化されて第二実施形態の弁板ユニット５（５Ｂ）が構成されている。また、弁板ユニット５（５Ｂ）の内部には、回転板１１のスロット１９及び回転板１１に連結されたシャフト２５からなる原動節と、第一弁板９の直線長孔１４及びスライド板１２のピン２３からなる従動節とにより、回転板１１の回転運動をスライド板１２の直線運動に変換するカム機構（スコッチヨーク機構）が設けられている。

以上が第二実施形態の回転駆動式ゲートバルブ１（１Ｂ）の構造であるが、次にその基本動作について、図７～９を参照しながら説明する。

この回転駆動式ゲートバルブ１（１Ｂ）について、図７は弁開時の状態、図８は弁閉時の状態、図９は弁板ユニット５（５Ｂ）を構成する各部品の動作を示したものである。まず図７の弁開時には、弁板ユニット５（５Ｂ）を駆動するモータ２６は停止しており、弁箱４内では弁板ユニット５（５Ｂ）が回転角度０度の位置に停止している。すなわち、第一弁板９が弁箱４の天面に位置しているため、第一開口部７と第二開口部８が全開状態となっている。この全開状態のとき、第二開口部８（トランスファーチャンバＴＣ側）から第一開口部７（プロセスチャンバＰＣ側）へと基板を通過させることができる。

このときの弁板ユニット５（５Ｂ）の状態は、図９（Ａ）に示すように、回転板１１についてはピン２３がスロット１９内で軸心を通る水平面上に位置している。また、スライド板１２も真横に倒れた状態であり、シャフト２５を内蔵する直線長孔１４が水平面と平行に位置している。これが弁板ユニット５（５Ｂ）の「ＯＰＥＮ」位置である。

ここで、第一開口部７（プロセスチャンバＰＣ側）を閉じるＣＬＯＳＥ状態にするには、駆動機構６のモータ２６を駆動して、弁板ユニット５（５Ｂ）を回転角度０度の位置から９０度の位置まで回転させる。モータ２６を駆動して出力軸２７が回転すると、図９（Ｂ）に示すように回転板１１が回転駆動し、これに連結されたスライド板１２が従動して回転駆動する。これにより、ピン２３とシャフト２５がそれぞれ回転し、シャフト２５に連結された第一弁板９が軸心周りに回転し、開位置から閉位置に移動する。これが弁板ユニット５（５Ｂ）の「ＯＰＥＮ→ＣＬＯＳＥ」動作である。

そして、図９（Ｃ）に示すように回転板１１が９０度回転すると、スロット１９内のピン２３が垂直面上に移動する。また、スライド板１２が追従して９０度回転し、真横に倒れた状態から垂直に起立する。これにより、シャフト２５を内蔵する直線長孔１４が垂直面と平行に位置し、シャフト２５に連結された第一弁板９が第一開口部７に対向する位置まで回転移動する。これが弁板ユニット５（５Ｂ）の「ＣＬＯＳＥ」位置である。

ここで、図９（Ｄ）に示すように、「ＣＬＯＳＥ」位置から回転板１１が１１０度の位置まで回転すると、スライド板１２は９０度の位置で停止したまま回転方向への動きが規制され、内部のカム機構により水平左方向にスライド移動する。すなわち、回転板１１に連結したシャフト２５が直線長孔１４に沿って移動することにより、取付片１３に一体化された第一弁板９が第一開口部７に向かって押され、第一弁板９の外周面のパッキン１６が第一開口部７の開口縁に密着する。したがって、回転角度１１０度の位置でモータ２６を停止させると、第一弁板９によって第一開口部７がシールされ、プロセスチャンバＰＣ側の気密性が確保される。これが弁板ユニット５（５Ｂ）の「ＬＯＣＫ１」位置である。

以上が弁板ユニット５（５Ｂ）によるＣＬＯＳＥ動作であるが、ＯＰＥＮ動作はこれとは逆の動きになる。すなわち、弁板ユニット５（５Ｂ）を駆動するモータ２６を逆回転させると、第一弁板９が第一開口部７から離れ（図９（Ｃ）の状態）、さらに回転を進めると回転板１１によって弁板ユニット５（５Ｂ）が９０度回転し、弁板ユニット５（５Ｂ）が元の「ＯＰＥＮ」位置に戻る（図９（Ｂ）～（Ａ）の状態）。

このように、第二実施形態の回転駆動式ゲートバルブ１（１Ｂ）によれば、駆動機構６のモータ２６を回転させることにより、第一弁板９が第一開口部７に密着又は離間するため、第一開口部７を開閉することができる。なお、第二開口部８のみを開閉したい場合には、弁板ユニット５（５Ｂ）について第一弁板９に換えて第二弁板１０を取り付ければ良い。これにより、いずれか一方の開口部を閉じた状態でチャンバの気密性を保ちながら、天板３を外して他方の弁板を外部に取り出すことができ、クリーニングやパッキンの交換等のメンテナンス作業を容易に行うことが可能になる。このように、回転駆動式の片側シール機構を採用することにより、メンテナンス性向上とダウンタイム短縮を図ることができる。

１：回転駆動式ゲートバルブ
２：バルブ本体
３：天板
４：弁箱
５：弁板ユニット
６：駆動機構
７：第一開口部
８：第二開口部
９：第一弁板
１０：第二弁板
１１：回転板
１２：スライド板
１３：取付片
１４：直線長孔
１５：屈曲長孔
１６：パッキン
１７：円形板
１８：回転軸
１９：スロット
２０：シャフト孔
２１：方形板
２２：軸孔
２３：ピン
２４：取付凹部
２５：シャフト
２６：モータ
２７：出力軸
２８：フランジ
２９：ボス孔
３０：半円形板

Claims (2)

1. 開口部を有する弁箱と、
   前記弁箱内に収容された弁板ユニットと、
   前記弁板ユニットを駆動する駆動機構と、を備え、
   前記弁板ユニットは、
   前記開口部を開閉する弁板と、
   前記駆動機構により回転し、前記弁板を開位置又は閉位置に回転移動させる回転板と、
   前記回転板の回転に従動し、内部のカム機構により前記弁板を前記開口部に密着又は離間する方向にスライド移動させるスライド板と、から構成され、
   前記弁箱は、対向する第一開口部及び第二開口部を有し、
   前記弁板ユニットは、
   前記第一開口部を開閉する第一弁板と、
   前記第二開口部を開閉する第二弁板と、
   前記駆動機構により回転し、前記第一弁板及び前記第二弁板を開位置又は閉位置に回転移動させる回転板と、
   前記回転板の回転に従動し、内部のカム機構により前記第一弁板又は前記第二弁板を前記第一開口部又は前記第二開口部に密着又は離間する方向にスライド移動させるスライド板と、から構成され、
   前記第一開口部及び前記第二開口部を選択的に開閉することを特徴とする回転駆動式ゲートバルブ。
2. 前記弁板のシール面にパッキンが嵌め込まれており、当該パッキンを嵌め込むシール溝が、平面とこれに滑らかに繋がった曲面とに対して形成され、逆Ω形状のように入口付近が括れ、奥がその入口付近の括れより広い円形の断面形状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の回転駆動式ゲートバルブ。
   

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