JP4352467B2 - 真空チャンバ用回転伝動機構 - Google Patents
真空チャンバ用回転伝動機構 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4352467B2 JP4352467B2 JP2006148760A JP2006148760A JP4352467B2 JP 4352467 B2 JP4352467 B2 JP 4352467B2 JP 2006148760 A JP2006148760 A JP 2006148760A JP 2006148760 A JP2006148760 A JP 2006148760A JP 4352467 B2 JP4352467 B2 JP 4352467B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- cylindrical body
- transmission mechanism
- end plate
- side wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
これにより、回転伝動軸数が多くても保守作業等が容易な構造の真空チャンバ用回転伝動機構を実現できる。
また、本発明による真空チャンバ用回転伝動機構は、前記回転体の何れかを駆動する電動モータが前記筒状体の上方またはその内腔に設けられ、且つ、前記電動モータへの給電線が前記筒状体を介して前記真空チャンバの下方へ引き出されていることを特徴とするものである。
11 チャンバ底
11a 開口
11b ボルト(取着具)
12 チャンバ蓋
12a 開口
13,14 ゲート
21,22,23,24,25,26 ウエハ処理チャンバ
22a,23a ウエハ(基板、真空内移送物)
30 フロッグレッグ駆動機構(真空チャンバ用2軸回転伝動機構)
31 従動リング(真空内回転体)
31a ベアリング(軸受け)
31b ベアリング(軸受け)
32 磁石(真空内磁性体、磁気結合手段)
33 円筒側壁(筒状体)
33a フランジ
34 磁石(大気内磁性体、磁気結合手段)
35 主動リング(回転板、大気内回転体)
35a 電動モータ(大気内回転駆動源)
35b 小歯車
36 従動リング(真空内回転体)
36a ベアリング(軸受け)
36b ベアリング(軸受け)
37 磁石(真空内磁性体、磁気結合手段)
38 磁石(大気内磁性体、磁気結合手段)
39 主動リング(回転板、大気内回転体)
39a 電動モータ(大気内回転駆動源)
39b 小歯車
39c プレート(押さえ板)
40 フロッグレッグ機構(真空チャンバ内伝達先機構)
41 アーム
42 リンク
43 ウエハブレード
50 フロッグレッグ駆動機構(真空チャンバ用2軸回転伝動機構)
51 従動リング(真空内回転体)
51a ベアリング(軸受け)
51b ベアリング(軸受け)
52 磁石(真空内磁性体、磁気結合手段)
53a フランジ
54 磁石(大気内磁性体、磁気結合手段)
55 主動リング(回転板、大気内回転体)
55a 電動モータ(大気内回転駆動源)
56 従動リング(真空内回転体)
56a ベアリング(軸受け)
56b ベアリング(軸受け)
57 磁石(真空内磁性体、磁気結合手段)
58 磁石(大気内磁性体、磁気結合手段)
59 主動リング(回転板、大気内回転体)
59a 電動モータ(大気内回転駆動源)
59c プレート(押さえ板)
60 フロッグレッグ機構(真空チャンバ内伝達先機構)
61 アーム
62 リンク
63 ウエハブレード
120 ボルト(取着具、張力付与手段)
300 フロッグレッグ駆動機構
330 円筒側壁(短い筒状体、筒状体)
331 円筒端板(補強手段)
332 連通口(給電線通路)
333 Oリング(封止手段)
334 挟持リング(押さえ環)
350 主動リング(回転板、大気内回転体)
351 連通口(給電線通路)
352 貫通口(工具通路)
390 主動リング(回転板、大気内回転体)
500 フロッグレッグ駆動機構
511 モータ給電線
512 コネクタ
514 給電線保護細筒
530 円筒側壁(短い筒状体、筒状体)
531 円筒端板(補強手段)
532 連通口(給電線通路)
533 ボルト(連結手段)
534 挟持リング(押さえ環)
550 主動リング(回転板、大気内回転体)
551 連通口(給電線通路)
561 モータ給電線
562 コネクタ
590 主動リング(回転板、大気内回転体)
Claims (5)
- 真空チャンバの底に立設されその上蓋に密着する筒状体と、
前記筒状体の側壁の内周に設けた主動リングが、前記筒状体の側壁の外周に設けた従動リングと磁気結合する回転体の複数対と
を具備した真空チャンバ用回転伝動機構であって、
前記筒状体は、複数の短い筒状体が上下に連結され、各前記短い筒状体には、底辺として前記側壁の一端に該側壁と一体化した端板を備え、
前記主動リングには、貫通口が形成されており、
前記筒状体は、
上側の前記短い筒状体の端板が、下側の前記短い筒状体の端板の上に載せられ、前記貫通口から治具が差し込まれて、前記治具により連結手段が締め込まれ、前記上側の短い筒状体の端板と、前記下側の短い筒状体の端板とが前記連結手段により着脱可能に連結される
ことを特徴とする真空チャンバ用回転伝動機構。 - 前記回転体の何れかを駆動する電動モータが前記筒状体の上方またはその内腔に設けられ、且つ、前記電動モータへの給電線が前記筒状体を介して前記真空チャンバの下方へ引き出されている
ことを特徴とする請求項1に記載の真空チャンバ用回転伝動機構。 - 前記短い筒状体における端板の厚さは、前記側壁の厚さよりも厚く形成されている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の真空チャンバ用回転伝動機構。 - 前記端板には連通口が貫通形成されており、前記電動モータの給電線が前記連通口を介して前記真空チャンバの下方へ引き出されている
ことを特徴とする請求項2に記載の真空チャンバ用回転伝動機構。 - 前記連結手段および前記連通口の周囲に配された封止手段を備え、前記封止手段によって前記連結手段および前記連通口の周囲を封止し、前記筒状体の内外が隔絶されている
ことを特徴とする請求項4に記載の真空チャンバ用回転伝動機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006148760A JP4352467B2 (ja) | 2006-05-29 | 2006-05-29 | 真空チャンバ用回転伝動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006148760A JP4352467B2 (ja) | 2006-05-29 | 2006-05-29 | 真空チャンバ用回転伝動機構 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15919197A Division JP3882176B2 (ja) | 1997-06-02 | 1997-06-02 | 真空チャンバ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006281440A JP2006281440A (ja) | 2006-10-19 |
JP4352467B2 true JP4352467B2 (ja) | 2009-10-28 |
Family
ID=37403861
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006148760A Expired - Lifetime JP4352467B2 (ja) | 2006-05-29 | 2006-05-29 | 真空チャンバ用回転伝動機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4352467B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4950745B2 (ja) * | 2007-04-19 | 2012-06-13 | 株式会社ダイヘン | 搬送装置 |
KR101023050B1 (ko) * | 2008-10-30 | 2011-03-24 | 주식회사 티이에스 | 진공환경의 반송챔버 내에서 대형기판을 반송시키는데 적합한 기판반송장치 |
JP5306908B2 (ja) * | 2009-06-03 | 2013-10-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送モジュール |
-
2006
- 2006-05-29 JP JP2006148760A patent/JP4352467B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006281440A (ja) | 2006-10-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6581072B2 (ja) | 双腕ロボット | |
TWI593528B (zh) | 具有獨立可旋轉機身中段的機器人系統、設備及方法 | |
TWI598195B (zh) | 具有非等長前臂的多軸機器人設備、電子裝置製造系統、及用於在電子裝置製造中傳送基板的方法 | |
JP5134182B2 (ja) | 独立多エンドエフェクタを備えた基板移送装置 | |
TWI603905B (zh) | 在電子裝置製造中經調適以傳送雙基材的機器人系統、設備和方法 | |
JP2831820B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JP3196218B2 (ja) | ウエハ搬送装置とウエハ搬送方法 | |
JP4950745B2 (ja) | 搬送装置 | |
CN104428884B (zh) | 吊杆驱动装置、多臂机械手装置、电子器件处理系统及用于在电子器件制造系统中传送基板的方法 | |
TW201343345A (zh) | 在電子裝置製造中經調適以輸送多個基材的完全地獨立的機器人系統、設備及方法 | |
JP2008264980A (ja) | 基板搬送ロボット | |
TW201517200A (zh) | 設有線性平移支架之真空機械臂 | |
CN109414821A (zh) | 包括间隔上臂与交错腕部的双机器人以及包括该双机器人的系统和方法 | |
CN106024680A (zh) | 端口门定位装置及相关的方法 | |
JP4352467B2 (ja) | 真空チャンバ用回転伝動機構 | |
US8747049B2 (en) | Transferring apparatus | |
US9995378B2 (en) | Drive device and substrate processing system | |
JPH0492446A (ja) | 基板搬送ロボット | |
JP3882176B2 (ja) | 真空チャンバ | |
EP1892755A2 (en) | Substrate Container Opener and Opener-Side Door Drive Mechanism Thereof | |
TWI787730B (zh) | 水平多關節機器人以及包括水平多關節機器人的基板運送系統 | |
JP2012054271A (ja) | ロードポート装置 | |
JP4151855B2 (ja) | 真空チャンバ | |
JP2004106105A (ja) | 搬送ロボット | |
JP2011161629A (ja) | 基板搬送ロボット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090427 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090618 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090706 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090719 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120807 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120807 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120807 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130807 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |