JPH0533011Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔概要〕 真空中で半導体装置を製造する場合に用いる真
空用半導体基板搬送装置に関し、 簡易な構成で十分な耐久性を有し、且つ発塵の
少ないことを目的とし、 真空容器の壁に対しベローズでシールされ、該
壁面に対し垂直方向に移動可能に設けられたハウ
ジングと、該ハウジングに設けられた中空部を挿
通し、Ｏリング等のシール手段でシールされた回
転自在で且つ中空な第１の軸と、該第１の軸の中
空部を挿通し、Ｏリング等のシール手段でシール
された回転自在な第２の軸と、上記第１の軸及び
第２の軸に取付けられた平行リンク機構とより構
成され、上記平行リンク機構は第２の軸の端部に
一端を固定され他端にピン孔を有するアームと、
第１の軸の端面にその回転中心から離れた位置に
一端を回動自在に軸着され且つ前記アームと同じ
長さを有するリンクと、前記アームとリンクとが
平行となるように他端を軸着した基板保持レバー
とよりなるように構成する。

〔産業上の利用分野〕

本考案は真空中で半導体装置を製造する場合に
用いる真空用半導体基板搬送装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、真空中で半導体装置を製造する場合、工
程間での半導体基板の搬送は、ベルト、ウオーキ
ングビーム、単機能ロボツトアーム等によつて行
なつていた。

〔考案が解決しようとする課題〕

半導体装置を製造する真空中で用いる搬送装置
としては、機構部品が少なく、精度が高く、
十分な耐久性が有り、発塵の少ない、アウ
トガスが少ないこと等の要件を満すことが必要で
ある。しかるに前述のベルト、ウオーキングビー
ム、単機能ロボツトアーム等では機構が複雑であ
つたり、発塵が多い等の問題があつた。

本考案は上記問題点に鑑み、簡易な構造で十分
な耐久性を有し、且つ発塵の少ない真空用半導体
基板搬送装置を提供することを目的とするもので
ある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、真空容器の壁１に対しベローズ２
でシールされ、該壁面に対し垂直方向に移動可能
に儲けられたハウジング７と、該ハウジング７に
儲けられた中空部を挿通し、Ｏリング等のシール
手段１０，１０′でシールされた回転自在で且つ
中空な第１の軸１３と、該第１の軸１３の中空部
を挿通し、Ｏリング等のシール手段１４，１４′
でシールされた回転自在な第２の軸１６と、上記
第１の軸１３及び第２の軸１６に取付けられた平
行リンク機構１７とより構成され、上記平行リン
ク機構１７は第２の軸１６の端部に一端を固定さ
れ他端にピン孔１８を有するアーム１９と、第１
の軸１３の端面にその回転中心から離れた位置に
一端を回動自在に軸着され且つ前記アーム１９と
同じ長さを有するリンク２１と、前記アーム１９
とリンク２１とが平行となるように他端を軸着し
た基板保持レバー２４とよりなることを特徴とす
る真空用半導体基板搬送装置によつて達成され
る。

〔作用〕

第１の軸１３と第２の軸１６を同一方向に同一
角速度で回動すれば基板保持レバー２４の先端２
５は第２の回転軸１６を中心として一定半径で回
動する。また第２の軸１６を固定し第１の軸１３
を時計方向又は反時計方向に回動すれば基板保持
レバー２４はアーム１９の先端のピン１８を中心
として回動し、その先端２５は第２の軸１６から
の距離を変える。従つて上記２つの動作を適当に
組合わせることにより基板保持レバーの先端２５
を所望野位置に移動させることができ、それによ
り基板を搬送することができる。

〔実施例〕

第１図は本考案の実施例を示す図であり、ａは
上面図、ｂは断面図である。

本実施例は同図に示すように、半導体製造装置
の真空容器の壁１にベローズ２がその一方の端部
に接合されたフランジ３によりＯリング４を介し
て気密に取付けられ、該ベローズ２の他端には該
部に接合されたフランジ５によりＯリング６を介
してハウジング７が気密に取付けられている。そ
して該ハウジング７はガイド８に案内され、シリ
ンダ等の直線駆動手段９により真空容器の壁１に
対して垂直方向に移動できるようになつている。

またハウジング７にはその中心に儲けられた中
空部を挿通し１対のＯリング又は磁気シール等の
シール手段１０，１０′にシールされ、モータ１
１によりベルト１２を介して回転駆動される中空
な第１の軸１３が設けられ、該第１の軸１３には
その中空部を挿通し、Ｏリング又は磁気シール等
のシール手段１４，１４′でシールされ、モータ
１５で回転駆動される第２の軸１６が設けられて
いる。

また第１，第２の軸には、第１図，第２図に示
すように、基板搬送用の平行リンク機構１７が取
付けられている。この平行リンク機構１７は、第
２の軸１６の先端に一端を固定され他端にピン孔
１８を有するアーム１９と、一端を第１の中空軸
１３の端面に軸着され他端にベアリング孔２０を
有し、前記アーム１９と同じ長さを有するリンク
２１と、該リンク２１及びアーム１９が平行とな
るようにベアリング孔１８，２０をピン２２，２
３で軸着した基板保持レバー２４とで構成され、
該基板保持レバーの他端は基板保持部２５となつ
ている。

このように構成された本実施例では、第１の軸
１３と第２の軸１６を同一方向に同一角速度で回
動すれば基板保持レバー２４の先端の基板保持部
２５は第２の軸１６の中心として一定の半径を保
持して回動する。また第２の軸１６を固定し第１
の軸１３を時計方向又は反時計方向に回動すれば
基板保持レバー２４は前記アーム１９の先端のピ
ン２２を中心として回動し、その先端の基板保持
部２５は第２の軸１６からの距離が変化する。従
つて上記２つの動作を適当に組合わせることによ
り基板保持レバー２４の基板保持部２５を所望の
位置に移動させることができる。また直線駆動手
段９によりハウジング７を駆動することにより基
板保持部２５を真空容器の壁１に対して垂直方向
に移動させることもできる。

本実施例によれば、極めて簡単な構造であり、
可動部が少ないため十分な耐久性があり且つ発塵
も少ない。

〔考案の効果〕

以上説明した様に本考案によれば、基板の搬送
に平行なリンク機構を用いた簡単な構成で十分な
耐久性を有し、且つ発塵の少ない真空用半導体基
板搬送装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例を示す図、第２図は第
１図のＺ矢方向から見た図である。 図において、１は真空容器の壁、２はベロー
ズ、３，５はフランジ、４，６はＯリング、７は
ハウジング、８はガイド、９は直線駆動手段、１
０，１０′，１４，１４′はシール手段、１１，１
５はモータ、１２はベルト、１３は第１の軸、１
６は第２の軸、１７は平行リンク機構、１８，２
０はベアリング孔、１９はアーム、２１はリン
ク、２２，２３はピン、２４は基板保持レバー、
２５は基板保持部を示す。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 真空容器の壁１に対しベローズ２でシールさ
   れ、該壁面に対し垂直方向に移動可能に設けられ
   たハウジング７と、 該ハウジング７に設けられた中空部を挿通し、
   Ｏリング等のシール手段１０，１０′でシールさ
   れた回転自在で且つ中空な第１の軸１３と、 該第１の軸１３の中空部を挿通し、Ｏリング等
   のシール手段１４，１４′でシールされた回転自
   在な第２の軸１６と、 上記第１の軸１３及び第２の軸１６に取付けら
   れた平行リンク機構１７とより構成され、 上記平行リンク機構１７は第２の軸１６の端部
   に一端を固定され他端にベアリング孔１８を有す
   るアーム１９と、第１の軸１３の端面にその回転
   中心から離れた位置に一端を回動自在に軸着され
   且つ前記アーム１９と同じ長さを有するリンク２
   １と、前記アーム１９とリンク２１とが平行とな
   るように他端を軸着した基板保持レバー２４とよ
   りなることを 特徴とする真空用半導体基板搬送装置。