JPH06132380A - 搬送装置 - Google Patents

搬送装置

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JPH06132380A
JPH06132380A JP5200735A JP20073593A JPH06132380A JP H06132380 A JPH06132380 A JP H06132380A JP 5200735 A JP5200735 A JP 5200735A JP 20073593 A JP20073593 A JP 20073593A JP H06132380 A JPH06132380 A JP H06132380A
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JP
Japan
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shafts
carrier
drive
attached
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JP5200735A
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English (en)
Inventor
Masayuki Kimura
将行 木村
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/106—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links
    • B25J9/1065—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms
    • B25J9/107—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms of the froglegs type
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T74/00—Machine element or mechanism
    • Y10T74/20—Control lever and linkage systems
    • Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
    • Y10T74/20305—Robotic arm
    • Y10T74/20317—Robotic arm including electric motor

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明はリンク機構を有する搬送装置に関
し、小型軽量化を図り、パーティクル発生を防止するこ
とを目的とする。 【構成】 第１及び第２のアーム２４ａ，２４ｂ，２５
ａ，２５ｂが第１の回動軸２６ａ，２６ｂにより連結さ
れた一組のリンクを左右に配設されて、一端が駆動軸２
３ａ，２３ｂに取り付けられ、他端が第２の回動軸２８
ａ，２８ｂにより搬送台２７に取り付けられる。この場
合、駆動軸２３ａ，２３ｂがそれぞれ傾斜された状態で
設けられ、同一のリンクにおける第１及び第２の回動軸
２６ａ，２６ｂ，２８ａ，２８ｂが平行に、すなわち同
一のリンクの駆動部２３ａ，２３ｂと同様に傾斜されて
取り付けられる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、リンク機構を有する搬
送装置に関する。
【０００２】近年、例えば半導体製造で使用される搬送
装置におけるウエハの搬送では、パーティクルを付着さ
せることなく搬送しなければならず、特に半導体の高集
積化に伴い、付着するパーティクルの個数や大きさの許
容値が厳しくなってきている。このため、パーティクル
発生を防止すると共に、小型軽量化を図ることが要求さ
れている。
【０００３】
【従来の技術】図１１に、従来の搬送装置の構成図を示
す。図１１（Ａ）は主要部分の平面図であり、図１１
（Ｂ）はその側面図である。
【０００４】図１１（Ａ），（Ｂ）の搬送装置は、駆動
部１１の水平上面に２本の駆動軸１２ａ，１２ｂが設け
られており、該駆動軸１２ａ，１２ｂにはそれぞれ第１
のアーム１３ａ，１３ｂの一端が取り付けられる。
【０００５】第１のアーム１２ａ，１２ｂの他端では、
第１の回動軸１４ａ，１４ｂによりそれぞれ第２のアー
ム１５ａ，１５ｂの一端と連結される。また、第２のア
ーム１５ａ，１５ｂの他端にはそれぞれ互いに噛合する
歯車１６ａ，１６ｂが固着されており、それぞれ水平な
搬送台１７に第２の回動軸１８ａ，１８ｂにより連結さ
れる。
【０００６】このような搬送装置は、駆動部１１により
駆動軸１２ａ，１２ｂを回動させると、四本アームのリ
ンク機構（第１のリンク１３ａ，１３ｂ及び第２のリン
ク１５ａ，１５ｂ）により搬送台１７を矢印方向に移動
させるものである。
【０００７】この場合、歯車１６ａ，１６ｂは、第１の
アーム１３ａ，１３ｂの回転角度を一致させるものであ
る。すなわち、２本の駆動軸１２ａ，１２ｂ，及び２本
の第２の回動軸１８ａ，１８ｂが平行に取り付けられる
ことから、左右の第１及び第２のアーム１３ａ，１３
ｂ，１５ａ，１５ｂの回転角度を一致させるためのもの
である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、歯車１６ａ，
１６ｂは上述の理由から必要なものであるが、歯車１６
ａ，１６ｂの噛み合い部分よりパーティクルが発生し、
ウエハを搬送する場合に付着するという問題がある。
【０００９】また、歯車１６ａ，１６ｂは搬送台１７に
位置することから、該搬送台１７が重く、大きくなると
共に、これにより支える第１及び第２のアーム１３ａ，
１３ｂ，１５ａ，１５ｂを太くして剛性を高める必要が
あり、その結果移動空間を大きく確保しなければならな
いという問題がある。
【００１０】そこで、本発明は上記課題に鑑みなされた
もので、小型軽量を図り、パーティクル発生を防止する
搬送装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記課題は、２本の支持
部材が第１の回動軸により連結された一組のリンクを左
右に配設し、該二組のリンクの一端を対応するそれぞれ
の駆動軸に取り付けると共に、他端を第２の回動軸を介
して搬送台に取り付け、駆動部により該駆動軸を回動さ
せて該搬送台を移動させる搬送装置において、前記それ
ぞれの駆動軸が傾斜されて設けられ、前記第１及び第２
の回動軸が前記リンクごとに、対応する該駆動軸に平行
して取り付けられることにより解決される。
【００１２】
【作用】上述のように、駆動軸がそれぞれ傾斜された状
態で設けられ、同一のリンクにおける第１及び第２の回
動軸が平行に、すなわち同一のリンクの駆動軸と同様に
傾斜されて取り付けられる。
【００１３】これにより、左右のリンクは常に同一の回
転角度が維持される。すなわち、歯車を使用せずに回転
角度が一致されることから、従来歯車より発生するパー
ティクルを排除することが可能となる。
【００１４】また、搬送台に歯車を取り付けないことか
ら軽量となり、これに伴って移動空間の縮小を図ること
が可能となる。
【００１５】
【実施例】図１に本発明の第１実施例の構成図を示す。
図１（Ａ）は搬送装置の主要部分の平面図であり、図１
（Ｂ）はその正面図である。
【００１６】図１（Ａ），（Ｂ）において、搬送装置２
１は、駆動部２２上面に、山形に傾斜部２２ａ，２２ｂ
が形成されており、この傾斜部２２ａ，２２ｂに駆動軸
２３ａ，２３ｂが設けられる。
【００１７】一方、支持部材である第１のアーム２４ａ
と第２のアーム２５ａが第１の回動軸２６ａにより連結
されて一組のリンクが形成され、また、第１のアーム２
４ｂと第２のアーム２５ｂが第１の回動軸２６ｂにより
連結されて一組のリンクが形成される。この二組のリン
クの一端がそれぞれ対応する駆動軸２３ａ，２３ｂに取
り付けられて左右に配設される。
【００１８】一方、搬送台２７は、その左右において駆
動部２２の傾斜部２２ａ，２２ｂと同じ傾斜角の傾斜面
２７ａ，２７ｂが形成されており、この傾斜面２７ａ，
２７ｂにより第２のアーム２５ａ，２５ｂ（リンク）の
他端が第２の回動軸２８ａ，２８ｂに取り付けられる。
すなわち、それぞれのリンクの駆動軸２３ａ，２３ｂに
対して、同一のリンクで第１及び第２の回動軸２６ａ，
２６ｂ，２８ａ，２８ｂが平行に取り付けられる。
【００１９】ここで、図２に、図１の動作を説明するた
めの図を示す。図２（Ａ），（Ｂ）は図１（Ａ），
（Ｂ）にそれぞれ対応する。
【００２０】図２（Ａ），（Ｂ）における搬送装置２１
は、駆動部２２により駆動軸２３ａ，２３ｂを互いに逆
方向に回動させることにより、二組のリンクによって搬
送台２７が矢印Ａ方向に移動するものである。
【００２１】この場合、駆動軸２３ａ，２３ｂ，第１及
び第２の回動軸２６ａ，２６ｂ，２８ａ，２８ｂは傾斜
されていることから、搬送台２７の停止位置が固定され
る。
【００２２】すなわち、図中の矢印Ｆのような力が搬送
台２７に加わった時、ＦはＦａとＦｂに分解できる。Ｆ
ａは第２の回動軸２８ｂを中心に搬送台２７を動かそう
とする力であるが、Ｆｂは第２の回動軸２８ａを中心に
搬送台２７を動かそうとする力である。従って、搬送台
２７を動かそうとする力が一致しないため、搬送台２７
は停止位置で固定される。
【００２３】すなわち、歯車を設けることなく、歯車と
同様の働きをさせることができるものである。
【００２４】これにより、パーティクルの発生を防止す
ることができると共に、搬送台２７が軽量化され、第１
及び第２のアーム２４ａ，２４ｂ，２５ａ，２５ｂの剛
性を向上させることができ、移動空間の範囲を縮小させ
ることができるものである。
【００２５】次に、図３に本発明の第１実施例の一適用
例の構成図を示し、図４に図３の平面図を示す。なお、
図１と同一の構成部分には同一の符号を付す。
【００２６】図３及び図４に示す搬送装置３１は、真空
中でウエハを搬送する場合に使用されるもので、真空チ
ャンバ３２により真空側と大気側に分離される。
【００２７】真空チャンバ３２には円形状のフランジ３
３が取り付けられ、フランジ３３に多軸機構の磁性流体
シール３４が取り付けられて真空側を、例えば１０-8to
rrの真空度で真空状態とされる。
【００２８】磁性流体シール３４は外周部３４ａがフラ
ンジ３３に固定され、内周部３４ｂにはプーリ３５が取
り付けられている。そして、真空チャンバ３２に取り付
けられている旋回用ステッピングモータ３６によりタイ
ミングベルト３７を介して、該内周部３４ｂを旋回させ
る。
【００２９】一方、大気側では、アーム駆動用ステッピ
ングモータ３８に取り付けられた減速機３９（例えば、
減速比１：５０）の回動軸がカップリング４０を介して
第１のギア４１ａを回動させると共に、第１のギア４１
ａにより第２のギア４１ｂを回動させる。これらにより
駆動部２２を構成する。この第１及び第２のギア４１
ａ，４１ｂは、後述する駆動軸２３ａ，２３ｂの回転角
度を一致させるもので、バックラッシュのないものが使
用される。
【００３０】第１のギア４１ａにはユニバーサルジョイ
ント４２ａを介して駆動軸２３ａが磁性流体シール３４
の内周部３４ｂを貫通して真空側に延出する。また、第
２のギア４１ｂにはユニバーサルジョイント４２ｂを介
して駆動軸２３ｂが磁性流体シール３４の内周部３４ｂ
を貫通して真空側に延出する。なお、ユニバーサルジョ
イント４２ａ，４２ｂはバックラッシュのないものが用
いられる。
【００３１】この場合の駆動軸２３ａ，２３ｂは、垂直
方向に対して傾斜角５度で設けられる。
【００３２】一方、真空側では、磁性流体シール３４の
内周部３４ｂより延出する駆動軸２３ａ，２３ｂは、第
１のアーム２４ａ，２４ｂの一端に取り付けられる。こ
こで、図４に示すように、第１のアーム２４ａ，２４ｂ
の他端は第１の回動軸２６ａ，２６ｂにより第２のアー
ム２５ａ，２５ｂに連結され、第２のアーム２５ａ，２
５ｂの他端は搬送台２７の各傾斜面２７ａ，２７ｂに第
２の回動軸２８ａ，２８ｂに連結されることは図１と同
様である。この場合、第１及び第２の回動軸２６ａ，２
６ｂ，２８ａ，２８ｂは、駆動軸２３ａ，２３ｂと平行
であって、垂直方向に５度傾斜されて取り付けられる。
そして、搬送台２７には、ハンド４３が取り付けられ、
ハンド４３にウエハ（図示せず）が搭載されて搬送され
る。
【００３３】このような搬送装置３１は、アーム駆動用
ステッピングモータ３８を回転させることにより、第１
及び第２のギア４１ａ，４１ｂ，ユニバーサルジョイン
ト４２ａ，４２ｂを介して駆動軸２３ａ，２３ｂを回動
させることでハンド４３を矢印方向に移動させるもので
ある。例えば、駆動軸２３ａ，２３ｂを１８０°回転さ
せると、第１及び第２のアーム２４ａ，２４ｂ，２５
ａ，２５ｂは図４に示すように伸び切った状態となる。
【００３４】ここで、駆動軸２３ａ，２３ｂと第１の回
動軸２６ａ，２６ｂとの軸間距離は、第１及び第２の回
動軸２６ａ，２６ｂ，２８ａ，２８ｂ間の軸間距離と同
一又は短かく配置される。この場合の第１のアーム２４
ａ，２４ｂは第２のアーム２５ａ，２５ｂと同一又は短
かく形成される。これは、第１及び第２のアーム２４
ａ，２４ｂ，２５ａ，２５ｂが縮んだ状態のときに、第
２の回動軸２８ａ，２８ｂの位置が第１の回動軸２６
ａ，２６ｂより第１のアーム２４ａ，２４ｂ側に位置す
ると、次の動作で第２の回動軸２８ａ，２８ｂが何れの
方向に移動するかが判明できなくなることを防止するた
めである。
【００３５】次に、図５に、本発明の第２実施例の構成
図を示す。図５における搬送装置５１は、２本の支持部
材であるアーム５２ａ，５２ｂを中間回動軸５３で連結
して一組のリンクを構成し、これを側部回動軸５４ａ，
５４ｂにより、例えば三組連結する。駆動部２２の傾斜
部２２ａ，２２ｂに支持された駆動軸２３ａ，２３ｂに
取り付けられたアーム２４ａ、２４ｂは、側部回動軸５
４ａ、５４ｂを介して三組構成のリンクの一方の端部に
取り付けられている。また、搬送台２７の傾斜面２７
ａ，２７ｂに支持された第２の回動軸２８ａ，２８ｂに
取り付けられたアーム２５ａ、２５ｂは、側部回動軸５
４ａ、５４ｂを介して三組構成のリンクの他方の端部に
取り付けられている。このようにして、パンタグラフ方
式の搬送装置が構成される。
【００３６】この場合、中間回動軸５３は垂直方向に設
けられ、各側部回動軸５４ａ，５４ｂは、駆動軸２３
ａ，２３ｂ及び第２の回動軸２８ａ，２８ｂと平行に、
中間回動軸５３に対して傾斜されて取り付けられたもの
である。
【００３７】この第２実施例では、パンタグラフ方式で
あっても、第１実施例と同様に歯車を不要とすることが
できるものである。
【００３８】次に、本発明の第３実施例を説明する。
【００３９】前述の第１及び第２の実施例において、図
３に示すアーム２４ａ、２４ｂ、２５ａ、２５ｂからな
るリンクを駆動部２２に対し、図の上側のみならず、図
の下側でも伸縮動作させる必要があるときには、例えば
駆動部２２を１８０°回転させ、アームが図の下側に向
くようにする必要がある。しかしながら、この回転動作
には時間がかかり、搬送のスループットが上がらない。
また、回転動作を実現するためには、ギヤなどを用いる
必要があり、摺動面からの発塵がある。
【００４０】第３実施例は、塵の影響なくまたリンクを
１８０°回転させることなく、リンクの伸縮方向の切り
替えを円滑に行えるようにした搬送装置である。
【００４１】図６は、本発明の第３実施例による搬送装
置の構成図を示す。図６（Ａ）はこの搬送装置の主要部
分の平面図であり、図６（Ｂ）はその側面図である。図
示するように、搬送装置は駆動部６１を有し、その水平
上面に２本の駆動軸６３ａ、６３ｂが設けられている。
駆動軸６３ａ、６３ｂにはそれぞれ、第１のアーム６４
ａ、６４ｂの一端が取り付けられている。駆動部６１は
また、コイル６２を有する。このコイル６２にはアーム
の伸縮方向に応じた方向（ａからｂ又はｂからａ方向）
に、図示しない回路から電流が与えられる。
【００４２】第１のアーム６４ａ、６４ｂの他端は、回
動軸６９ａ、６９ｂにより第２のアーム６５ａ、６５ｂ
の一端と連結される。第２のアーム６５ａ、６５ｂの他
端は回動軸６６ａ、６６ｂにより試料搬送台６７に連結
される。試料搬送台６７上には、ウエハ６８が載置され
ている。搬送台６７のほぼ中央から下向きにロッド７０
が形成されており、その先端に永久磁石７１が取り付け
られている。アーム６４ａと６５ｂ、及びアーム６４ｂ
と６５ｂとが図６に示すように重なっている状態（縮ん
だ状態）で、永久磁石７１はコイル６２と対抗してい
る。コイル６２と永久磁石７１とはリニアモータを構成
する。
【００４３】なお、アーム６４ａと６５ａで一組のリン
クが構成され、アーム６４ｂと６５ｂでもう一組のリン
クが構成される。また各アーム６４ａ、６４ｂ、６５
ａ、６５ｂの長さは同一であり、かつ駆動軸６３ａ、６
３ｂと回動軸６９ａ、６９ｂとの軸間距離は、回動軸６
９ａ、６９ｂと回動軸６６ａ、６６ｂとの軸間距離に等
しい。
【００４４】図６（Ｂ）に示すように、アーム６４ａ、
６５ａ、６４ｂ、６５ｂが縮んだ状態では、軸６３ａと
６６ａとは同一直線上にあり、また軸６４ｂと６６ｂと
は同一直線上にある。この状態では、軸６３ａ及び６３
ｂを回転させても、試料搬送台６７の位置は変化しな
い。
【００４５】ここで、図６（Ａ）に示すように、軸６６
ａと６６ｂとは第１のアーム６４ａと６４ｂに対し、換
言すれば軸６３ａと６３ｂに対し僅かながら搬送方向に
移動可能である。この移動可能な範囲を図６（Ａ）のＬ
で示す。この移動可能な範囲Ｌを実現するために、軸６
９ａと６９ｂは搬送方向に僅かにガタつくように遊びを
もって設けられている。
【００４６】いま、コイル６２にａからｂ方向に電流を
流した場合、搬送台６７に取り付けられた永久磁石７１
に力Ｆが生じる。その結果、軸６６ａと６６ｂが力Ｆの
作用する方向に微少ながらずれる。この状態で軸６３ａ
と６３ｂとを、図６（Ａ）の矢印ｅ方向に回転させる
と、試料搬送台６７は矢印ｃの方向に動く。また、試料
搬送台６７を矢印ｄの方向に動かす場合は、コイル６２
に流れる電流を逆方向（ｂからａ方向）にする。その結
果、図６（Ａ）に示す力Ｆとは反対方向の力が作用し
て、軸６６ａと６６ｂとがその力の作用する方向に微少
ならがずれる。この状態で軸６３ａと６３ｂとを、図６
（Ａ）の矢印ｆ方向に回転させると、試料搬送台６７は
矢印ｄの方向に動く。
【００４７】以上説明したように、第３実施例によれ
ば、同一の軸間距離を有するアームを用いて、簡単な構
成で確実に所望の方向へリンクを伸縮させることができ
る。
【００４８】図７は、本発明の第３実施例を適用したウ
エハ搬送装置の構成を示す側面図である。図７中、図６
に示す構成要素と同一のものには同一の参照番号を付
す。図３に示す搬送装置と同様に、真空中でウエハを搬
送する装置である。真空チャンバ７２は大気側から分離
され、１０-8torrの真空度で保たれている。真空チャン
バ７２内に、図６に示した搬送装置が収容されている。
【００４９】一方、大気側では、アーム駆動用ステッピ
ングモータ７７に取り付けられた減速機７６（例えば、
減速比１：５０）の回動軸が第１のギア７５ａを回動さ
せると共に、第１のギア７５ａにより第２のギア７５ｂ
を回動させる。これらにより駆動部６１を構成する。こ
の第１及び第２のギア７５ａ，７５ｂは、駆動軸６３
ａ，６３ｂの回転角度を一致させるもので、バックラッ
シュのないものが使用される。
【００５０】第１のギア７５ａに取り付けられる駆動軸
６３ａは、軸受・シール７４ａの内周部を貫通して真空
側に延出する。また、第２のギア７５ｂに取り付けられ
るは駆動軸６３ｂ、軸受・シール７４ｂの内周部を貫通
して真空側に延出する。この場合の駆動軸６３ａ，６３
ｂは、垂直に設けられている。
【００５１】一方、真空側では、軸受・シール７４ａ、
７４ｂより延出する駆動軸６３ａ，６３ｂは、第１のア
ーム６４ａ，６４ｂの一端に取り付けられる。第１のア
ーム６４ａ，６４ｂの他端は第１の回動軸６９ａ，６９
ｂにより第２のアーム６５ａ，６５ｂに連結され、第２
のアーム６５ａ，６５ｂの他端は回動軸６６ａ、６６ｂ
を介して搬送台６７に連結される。なお、図７の構成で
は、永久磁石７１は搬送台６７に直接固定されている。
【００５２】コイル６２内には、磁力を高めるために、
鉄片７３が設けられている。図７の構成では、コイル６
２はアーム６４ａ及び６５ａと６４ｂ及び６５ｂとの間
に位置している。
【００５３】図７に示す搬送装置は、アーム駆動用ステ
ッピングモータ７７を回転させることにより、第１及び
第２のギア７５ａ，７５ｂを介して駆動軸６３ａ，６３
ｂを回動させることで搬送台６７を図６の矢印ｃ又はｄ
方向に移動させるものである。
【００５４】図８は、図６に示す搬送装置の変形例であ
る。図８中、図６に示す構成要素と同一のものには同一
の構成要素を付す。図８に示す搬送装置では、コイル６
２を搬送台６７に取り付け、永久磁石７１を駆動部６１
に取り付けた構成である。永久磁石７１は駆動部６１の
上面から突出している突出部６１ａに支持されている。
コイル６２のリード線は回動軸６６ａ、６６ｂ内を通
り、外部に引き出される。図８に示す搬送装置も、コイ
ル６２に流れる電流の方向を変えることで、アームの伸
縮を、図６（Ａ）に示すｃ又はｄ方向に変えることがで
きる。
【００５５】なお、図６、７及び８に示す構成におい
て、永久磁石７１に代えてアルミニウムなどの二次導体
を用いてもよい。コイル６２に電流を流すことで二次導
体に渦電流が発生し、永久磁石７１と同様の作用をす
る。
【００５６】また、図６又は図８に示す構成を用いて図
５に示すようなパンタグラフ方式の搬送装置を構成する
こともできる。これを、第４実施例として、図９に示
す。図９において、前述した図に示す構成要素と同一の
ものには同一の参照番号を付す。
【００５７】駆動部６２に支持された駆動軸６３ａ，６
３ｂに取り付けられたアーム６４ａ、６４ｂは、側部回
動軸５４ａ、５４ｂを介して三組構成のリンクの一方の
端部に取り付けられている。また、搬送台６７に支持さ
れた回動軸６６ａ，６６ｂに取り付けられたアーム６５
ａ、６５ｂは、側部回動軸５４ａ、５４ｂを介して三組
構成のリンクの他方の端部に取り付けられている。この
ようにして、パンタグラフ方式の搬送装置が構成され
る。リンクは駆動部６２の両側で伸縮可能である。な
お、図９の構成では、回動軸５４ａ、５４ｂは他の軸と
同様に垂直に設けられている。
【００５８】なお、第１実施例と第３実施例を組み合わ
せて搬送装置を構成することもできる。この構成を図１
０に、第５実施例として示す。図１０中、前述の図に示
す構成要素と同一のものには同一の参照番号を付す。図
１０の構成では、駆動部２２にコイル６２が設けられ、
搬送台２７に永久磁石７１が取り付けられている。な
お、コイル６２と永久磁石７１とをそれぞれ搬送台２７
と駆動部２２に取り付けてもよい。
【００５９】
【発明の効果】以上説明したように請求項１記載の本発
明によれば、駆動軸を傾斜させて設け、第１及び第２の
回動軸を同一のリンクで対応する駆動軸に平行して取り
付けることにより、搬送台の歯車を不要として装置の小
型軽量化を図ることができると共に、パーティクルの発
生を防止することができるものである。
【００６０】また、請求項４記載の発明によれば、リン
クの伸縮方向を決定するために、搬送台に磁気的に発生
した力を作用させることとしたため、簡単な構成で確実
にリンクの伸縮方向を選択することができる。
【００６１】更に、請求項１０記載の発明によれば、上
記請求項１及び４の効果の両方が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例の構成図である。
【図２】図１の動作を説明するための図である。
【図３】本発明の第１実施例を適用した真空搬送装置の
構成図である。
【図４】図３の平面図である。
【図５】本発明の第２実施例の構成図である。
【図６】本発明の第３実施例の構成図である。
【図７】本発明の第３実施例を適用した真空搬送装置の
構成図である。
【図８】本発明の第３実施例の変形例を示す図である。
【図９】本発明の第４実施例の構成図である。
【図１０】本発明の第５実施例の構成図である。
【図１１】従来の搬送装置の構成図である。
【符号の説明】
２１，３１，５１ 搬送装置 ２２ 駆動部 ２３ａ，２３ｂ 駆動軸 ２４ａ，２４ｂ 第１のアーム ２５ａ，２５ｂ 第２のアーム ２６ａ，２６ｂ 第１の回動軸 ２７ 搬送台 ２８ａ，２８ｂ 第２の回動軸 ５３ 中間回動軸 ５４ａ，５４ｂ 側部回動軸

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ２本の支持部材（２４ａ，２４ｂ，２５
    ａ，２５ｂ）が第１の回動軸（２６ａ，２６ｂ）により
    連結された一組のリンクを左右に配設し、該二組のリン
    クの一端を対応するそれぞれの駆動軸（２３ａ，２３
    ｂ）に取り付けると共に、他端を第２の回動軸（２８
    ａ，２８ｂ）を介して搬送台（２７）に取り付け、駆動
    部（２２）により前記駆動軸（２３ａ，２３ｂ）を回動
    させて該搬送台（２７）を移動させる搬送装置におい
    て、 前記それぞれの駆動軸（２３ａ，２３ｂ）が傾斜されて
    設けられ、前記第１及び第２の回動軸（２６ａ，２６
    ｂ，２８ａ，２８ｂ）が前記リンクごとに、対応する該
    駆動軸（２３ａ，２３ｂ）に平行して取り付けられるこ
    とを特徴とする搬送装置。
  2. 【請求項２】 前記駆動軸（２３ａ，２３ｂ）と前記第
    １の回動軸（２６ａ，２６ｂ）との軸間距離が、該第１
    の回動軸（２６ａ，２６ｂ）と前記第２の回動軸（２８
    ａ，２８ｂ）との軸間距離より短かく又は同一に配置さ
    れることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
  3. 【請求項３】 ２本の支持部材（５２ａ，５２ｂ）を中
    間回動軸（５３）により連結した一組のリンクを、側部
    回動軸（５４ａ，５４ｂ）により所定数組連設し、該側
    部回動軸（５４ａ，５４ｂ）の一方の末部が搬送台（２
    ７）に取り付けられると共に、該リンクの末端が対応す
    る駆動軸（２３ａ，２３ｂ）に取り付けられ、駆動部
    （２２）により該駆動軸（２３ａ，２３ｂ）を回動させ
    て該搬送台（２７）を移動させる搬送装置において、 前記駆動軸（２３ａ，２３ｂ）及び前記側部回動軸（５
    ４ａ，５４ｂ）が、前記中間回動軸（５２）に対して傾
    斜されて取り付けられることを特徴とする搬送装置。
  4. 【請求項４】 ２本の支持部材（６４ａ，６４ｂ，６５
    ａ，６５ｂ）が第１の回動軸（６３ａ，６３ｂ）により
    連結された一組のリンクを左右に配設し、該二組のリン
    クの一端を対応するそれぞれの駆動軸（６９ａ，６９
    ｂ）に取り付けると共に、他端を第２の回動軸（６６
    ａ，６６ｂ）を介して搬送台（６７）に取り付け、駆動
    部（６１）により前記該駆動軸（６３ａ，６３ｂ）を回
    動させて該搬送台（２７）を移動させる搬送装置におい
    て、 前記二組のリンクの伸縮方向を決定するために、前記搬
    送台（６７）に磁気的に発生した力（Ｆ）を作用させる
    手段（６２、７１）を設けたことを特徴とする搬送装
    置。
  5. 【請求項５】 前記手段（６２、７１）は、前記駆動部
    （６１）に設けられたコイル（６２）と、前記二組のリ
    ンクが収縮した状態で前記コイルに対向するように前記
    搬送台（６７）に設けられた永久磁石（７１）とを有す
    ることを特徴とする請求項４記載の搬送装置。
  6. 【請求項６】 前記手段（６２、７１）は、前記駆動部
    （６１）に設けられたコイル（６２）と、前記二組のリ
    ンクが収縮した状態で前記コイルに対向するように前記
    搬送台（６７）に設けられた二次導体（７１）とを有す
    ることを特徴とする請求項４記載の搬送装置。
  7. 【請求項７】 前記手段（６２、７１）は、前記駆動部
    （６１）に設けられた永久磁石（７１）と、前記二組の
    リンクが収縮した状態で前記コイルに対向するように前
    記搬送台（６７）に設けられたコイル（６２）とを有す
    ることを特徴とする請求項４記載の搬送装置。
  8. 【請求項８】 前記手段（６２、７１）は、前記駆動部
    （６１）に設けられた二次導体（７１）と、前記二組の
    リンクが収縮した状態で前記コイルに対向するように前
    記搬送台（６７）に設けられたコイル（６２）とを有す
    ることを特徴とする請求項４記載の搬送装置。
  9. 【請求項９】 ２本の支持部材（５２ａ，５２ｂ）を中
    間回動軸（５３）により連結した一組のリンクを、側部
    回動軸（５４ａ，５４ｂ）により所定数組連設し、該側
    部回動軸（５４ａ，５４ｂ）の一方の末部が搬送台（６
    ７）に取り付けられると共に、該リンクの末端が対応す
    る駆動軸（６３ａ，６３ｂ）に取り付けられ、駆動部
    （６２）により該駆動軸（６３ａ，６３ｂ）を回動させ
    て該搬送台（６７）を移動させる搬送装置において、 前記所定数のリンクの伸縮方向を決定するために、前記
    搬送台（６７）に磁気的に発生した力（Ｆ）を作用させ
    る手段（６２、７１）を設けたことを特徴とする搬送装
    置。
  10. 【請求項１０】 ２本の支持部材（２４ａ，２４ｂ，２
    ５ａ，２５ｂ）が第１の回動軸（２６ａ，２６ｂ）によ
    り連結された一組のリンクを左右に配設し、該二組のリ
    ンクの一端を対応するそれぞれの駆動軸（２３ａ，２３
    ｂ）に取り付けると共に、他端を第２の回動軸（２８
    ａ，２８ｂ）を介して搬送台（２７）に取り付け、駆動
    部（２２）により前記駆動軸（２３ａ，２３ｂ）を回動
    させて該搬送台（２７）を移動させる搬送装置におい
    て、 前記それぞれの駆動軸（２３ａ，２３ｂ）が傾斜されて
    設けられ、前記第１及び第２の回動軸（２６ａ，２６
    ｂ，２８ａ，２８ｂ）が前記リンクごとに、対応する該
    駆動軸（２３ａ，２３ｂ）に平行して取り付けら、 前記二組のリンクの伸縮方向を決定するために、前記搬
    送台（２７）に磁気的に発生した力（Ｆ）を作用させる
    手段（６２、７１）を設けたことを特徴とする搬送装
    置。
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