JP2919065B2 - 搬送装置 - Google Patents
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/106—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links
- B25J9/1065—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms
- B25J9/107—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms of the froglegs type
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- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、搬送装置に関する。
（従来の技術） 例えば、半導体素子製造装置において半導体ウエハを
搬送する装置として、フログレッグ方式の搬送装置が多
用されている。これは、基台に離間配置した２つの第１
の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第１のアーム
と、この一対の第１のアームの端部にそれぞれ設けられ
た第２の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第２のア
ームと、この一対の第２のアームの端部を回転自在に支
持する２つの第３の支点を形成した被搬送体の支持部と
を有して構成される。この種のフログレッグ方式の搬送
装置は、特開昭54−10976,62−16167,61−278149,62−1
50735,62−21644,60−120520,60−183736,62−21649,62
−161608,61−99345,61−99344,61−90903,61−90887,6
1−87351,61−71383,62−41129等に多数開示されてい
る。
搬送する装置として、フログレッグ方式の搬送装置が多
用されている。これは、基台に離間配置した２つの第１
の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第１のアーム
と、この一対の第１のアームの端部にそれぞれ設けられ
た第２の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第２のア
ームと、この一対の第２のアームの端部を回転自在に支
持する２つの第３の支点を形成した被搬送体の支持部と
を有して構成される。この種のフログレッグ方式の搬送
装置は、特開昭54−10976,62−16167,61−278149,62−1
50735,62−21644,60−120520,60−183736,62−21649,62
−161608,61−99345,61−99344,61−90903,61−90887,6
1−87351,61−71383,62−41129等に多数開示されてい
る。
また、特開昭61−87351号公報では、第1,第２のアー
ムの重なり状態を経た後に、上記支持部を基台の反対方
向に移動させる装置が開示されている。
ムの重なり状態を経た後に、上記支持部を基台の反対方
向に移動させる装置が開示されている。
（発明が解決しようとする課題） 被搬送体の支持部を基台の前後または左右に移動させ
るには、一対の第１のアームを180度回転駆動させるこ
とで、原理的に達成できる。この種の搬送装置としてス
カラーロボットが一般に用いられている。しかし、占有
スペースが大きくロードロックチャンバーのようにスル
ープットを向上させる半導体ウエハ処理装置には適用で
きない。さらに、上述したフログレッグ方式の搬送装置
では、第1,第２の重なり合う状態では、両アームの支点
間距離の有効長さが同一である場合に、上記重なり状態
を乗り越える際にアームに負荷が作用し、装置の振動，
駆動不良を生じてしまい円滑な搬送が不可能であること
が判明した。
るには、一対の第１のアームを180度回転駆動させるこ
とで、原理的に達成できる。この種の搬送装置としてス
カラーロボットが一般に用いられている。しかし、占有
スペースが大きくロードロックチャンバーのようにスル
ープットを向上させる半導体ウエハ処理装置には適用で
きない。さらに、上述したフログレッグ方式の搬送装置
では、第1,第２の重なり合う状態では、両アームの支点
間距離の有効長さが同一である場合に、上記重なり状態
を乗り越える際にアームに負荷が作用し、装置の振動，
駆動不良を生じてしまい円滑な搬送が不可能であること
が判明した。
そこで、本発明の目的とするところは、被搬送体の支
持部を基台の前後または左右に円滑に移動させることが
できる搬送装置を提供することにある。
持部を基台の前後または左右に円滑に移動させることが
できる搬送装置を提供することにある。
［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 第１の発明は、基台に離間配置して設けられた２つの
第１の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第１のアー
ムと、 この一対の各第１のアームの端部にそれぞれ設けられ
た第２の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第２のア
ームと、 この一対の第２のアームの端部を回転自在に支持する
２つの第３の支点を形成した被搬送体の支持部とを有
し、上記第1,第２のアームの重なり状態を経て、上記支
持部を上記基台の前または後ろに直線移動させる搬送装
置において、 前記第１の支点間距離または第３の支点間距離の少な
くともいずれか一方を可変としたことを特徴とする。
第１の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第１のアー
ムと、 この一対の各第１のアームの端部にそれぞれ設けられ
た第２の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第２のア
ームと、 この一対の第２のアームの端部を回転自在に支持する
２つの第３の支点を形成した被搬送体の支持部とを有
し、上記第1,第２のアームの重なり状態を経て、上記支
持部を上記基台の前または後ろに直線移動させる搬送装
置において、 前記第１の支点間距離または第３の支点間距離の少な
くともいずれか一方を可変としたことを特徴とする。
第２の発明は、基台に離間配置して設けられた２つの
第１の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第１のアー
ムと、 この一対の各第１のアームの端部にそれぞれ設けられ
た第２の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第２のア
ームと、 この一対の第２のアームの端部を回転自在に支持する
２つの第３の支点を形成した被搬送体の支持部とを有
し、上記第1,第２のアームの重なり状態を経て、上記支
持部を上記基台の前または後ろに直線移動させる搬送装
置において、 上記一対の第１のアームまたは一対の第２のアームの
少なくともいずれか一方に、アーム長軸方向への変形を
許容する撓み部を設けたことを特徴とする。
第１の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第１のアー
ムと、 この一対の各第１のアームの端部にそれぞれ設けられ
た第２の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第２のア
ームと、 この一対の第２のアームの端部を回転自在に支持する
２つの第３の支点を形成した被搬送体の支持部とを有
し、上記第1,第２のアームの重なり状態を経て、上記支
持部を上記基台の前または後ろに直線移動させる搬送装
置において、 上記一対の第１のアームまたは一対の第２のアームの
少なくともいずれか一方に、アーム長軸方向への変形を
許容する撓み部を設けたことを特徴とする。
（作用） 第1,第２のアームの重なり状態を乗り越える際にアー
ムに負荷が作用することは、第1,第２のアーム長が同一
である場合に逃げ場がないことに起因していることを見
出した。第１の発明では、支点間距離を可変とすること
で、第２の発明ではアームの長手方向への変形を許容す
ることで、それぞれ逃げ場を確保し、円滑な搬送を可能
としている。
ムに負荷が作用することは、第1,第２のアーム長が同一
である場合に逃げ場がないことに起因していることを見
出した。第１の発明では、支点間距離を可変とすること
で、第２の発明ではアームの長手方向への変形を許容す
ることで、それぞれ逃げ場を確保し、円滑な搬送を可能
としている。
（実施例） 以下、本発明の一実施例について、図面を参照して説
明する。まず、この搬送装置30の概要について、第２図
および第３図を参照して説明する。
明する。まず、この搬送装置30の概要について、第２図
および第３図を参照して説明する。
この搬送装置30は、フログレッグ方式の搬送アームを
採用しており、トップアーム32の自由端側には被搬送体
例えば半導体ウエハを載置するための載置部32aが設け
られている。このトップアーム32を搬送移動させるため
に、固定端側には第１支点34a,34aを中心に回転駆動さ
れるように一対の第１のアーム34,34が設けられ、これ
ら一対の第１のアーム34,34と前記トップアーム32と連
結する一対の第２のアーム36,36が設けられている。前
記一対の第２のアーム36,36は、一対の第１のアーム34,
34側に設けた第２支点36a,36aを中心に回転駆動される
ように構成されている。一方、前記トップアーム32は第
３支点32b,32bを介して前記第２のアーム36,36に回転自
在に支持されている。このフログレッグ方式の搬送アー
ムの駆動原理については、上述した各種公報により開示
され公知であるので、その詳細な説明は省略する。
採用しており、トップアーム32の自由端側には被搬送体
例えば半導体ウエハを載置するための載置部32aが設け
られている。このトップアーム32を搬送移動させるため
に、固定端側には第１支点34a,34aを中心に回転駆動さ
れるように一対の第１のアーム34,34が設けられ、これ
ら一対の第１のアーム34,34と前記トップアーム32と連
結する一対の第２のアーム36,36が設けられている。前
記一対の第２のアーム36,36は、一対の第１のアーム34,
34側に設けた第２支点36a,36aを中心に回転駆動される
ように構成されている。一方、前記トップアーム32は第
３支点32b,32bを介して前記第２のアーム36,36に回転自
在に支持されている。このフログレッグ方式の搬送アー
ムの駆動原理については、上述した各種公報により開示
され公知であるので、その詳細な説明は省略する。
前記第１支点34a,34aおよび第２支点36a,36aの駆動力
伝達経路は下記のとおりである。
伝達経路は下記のとおりである。
まず、アーム駆動を行なうための基台40が設けられ、
この基台40には第３図に示すように駆動源42例えばモー
タの回転軸が連結されている。この駆動源42からの駆動
力は、内部にベルト伝達機構およびギア駆動機構等が内
蔵された駆動伝達部44に伝達される。また、前記第１の
アーム34を覆うアームカバー38内部には、前記駆動伝達
部44からの駆動力を受けて第１支点34a,34a自体を回転
駆動する機構と、第２支点36a,36aに回転力を伝達する
駆動機構とが内蔵され、これらは例えばベルト伝達駆動
によって実現されている。
この基台40には第３図に示すように駆動源42例えばモー
タの回転軸が連結されている。この駆動源42からの駆動
力は、内部にベルト伝達機構およびギア駆動機構等が内
蔵された駆動伝達部44に伝達される。また、前記第１の
アーム34を覆うアームカバー38内部には、前記駆動伝達
部44からの駆動力を受けて第１支点34a,34a自体を回転
駆動する機構と、第２支点36a,36aに回転力を伝達する
駆動機構とが内蔵され、これらは例えばベルト伝達駆動
によって実現されている。
次に、トップアーム32を第１図の基台40の左側より右
側に円滑に移動させる機構について、第１図を参照して
説明する。
側に円滑に移動させる機構について、第１図を参照して
説明する。
まず、各第１のアーム34の支点間距離Ｌと、各第２の
アーム36の支点間距離Ｌとは等しく設定され、また、ト
ップアーム32と一対の第２のアーム36の連結点である第
３支点32aに特徴的な構成を有している。
アーム36の支点間距離Ｌとは等しく設定され、また、ト
ップアーム32と一対の第２のアーム36の連結点である第
３支点32aに特徴的な構成を有している。
すなわち、トップアーム32の裏面側には２ヵ所に溝6
0,60が形成され、この溝60,60に臨んで２本のリニアス
ライド軸62,62が固定されている。この溝60,60内部に
は、溝幅よりもわずかに幅の狭いスライドハウジング6
4,64が収容され、２本のリニアスライド軸62,62にベア
リング66,66を介して挿通支持されることで、スライド
ハウジング64,64は第１図（Ａ）の矢印Ｅ方向に移動可
能となっている。また、前記スライドハウジング64,64
の外側の側面にはそれぞれ切欠部64a,64aが形成され、
この切欠部64a,64aと前記溝60の壁面との間には圧縮コ
イルスプリング68,68が配置されている。この結果、前
記スライドハウジング64,64は共に内側に移動するよう
に付勢されている。さらに、前記第２のアーム36,36の
先端側にはそれぞれ支点軸70,70が固定され、その上端
側にて前記スライドハウジング64,64を回転自在に支持
している。この結果、このスライドハウジング64,64を
介することで、前記トップアーム32を一対の第２のアー
ム36,36に対して回転自在に支持できるように構成され
ている。
0,60が形成され、この溝60,60に臨んで２本のリニアス
ライド軸62,62が固定されている。この溝60,60内部に
は、溝幅よりもわずかに幅の狭いスライドハウジング6
4,64が収容され、２本のリニアスライド軸62,62にベア
リング66,66を介して挿通支持されることで、スライド
ハウジング64,64は第１図（Ａ）の矢印Ｅ方向に移動可
能となっている。また、前記スライドハウジング64,64
の外側の側面にはそれぞれ切欠部64a,64aが形成され、
この切欠部64a,64aと前記溝60の壁面との間には圧縮コ
イルスプリング68,68が配置されている。この結果、前
記スライドハウジング64,64は共に内側に移動するよう
に付勢されている。さらに、前記第２のアーム36,36の
先端側にはそれぞれ支点軸70,70が固定され、その上端
側にて前記スライドハウジング64,64を回転自在に支持
している。この結果、このスライドハウジング64,64を
介することで、前記トップアーム32を一対の第２のアー
ム36,36に対して回転自在に支持できるように構成され
ている。
次に、作用について説明する。
トップアーム32を第１図（Ａ）に示す状態より右側に
後退駆動させる場合には、第１支点34aの駆動により第
１図（Ａ）に示す下側の第１のアーム34を反時計方向に
回転させ、同時に、第２駆動支点36aの駆動により、下
側の第２のアーム36を時計方向に回転させる。他方の第
1,第２のアーム34,36は、上記アームに対して反転する
ように駆動されることになる。ここで、一対の第１のア
ーム34,34の移動軌跡は第４図の通りとなる。そして、
一対の第１のアーム34,34が90度回転することで、一対
の第１のアーム34,34と一対の第２のアーム36,36が重な
り合うことになる。従来は、アームが重なり合う際及び
その後重なり点を乗り越える際には、支点及びアームに
負荷が作用し、これに起因して装置の振動，駆動不良が
生じて円滑な搬送動作を確保できなかった。本実施例で
は従動軸である前記支点軸70,70が、外側に向って移動
可能であることから、その負荷を吸収して円滑な駆動を
実現している。すなわち、スライドハウジング64,64
は、前記圧縮コイルスプリング68,68の付勢力に抗し
て、リニアスライド軸62,62に沿って外側に向く矢印Ｅ
方向に開くことが可能であるので、アーム重なり時の支
点軸70,70の逃げを確保することができ、装置の振動，
駆動不良を生ずることを確実に防止できる。尚、トップ
アーム32は、同じスプリング力の圧縮コイルスプリング
68,68によって固定されているため、前記スライドハウ
ジング64,64の動きに関係なく、その進退方向に沿って
直線軌道を確保することができる。
後退駆動させる場合には、第１支点34aの駆動により第
１図（Ａ）に示す下側の第１のアーム34を反時計方向に
回転させ、同時に、第２駆動支点36aの駆動により、下
側の第２のアーム36を時計方向に回転させる。他方の第
1,第２のアーム34,36は、上記アームに対して反転する
ように駆動されることになる。ここで、一対の第１のア
ーム34,34の移動軌跡は第４図の通りとなる。そして、
一対の第１のアーム34,34が90度回転することで、一対
の第１のアーム34,34と一対の第２のアーム36,36が重な
り合うことになる。従来は、アームが重なり合う際及び
その後重なり点を乗り越える際には、支点及びアームに
負荷が作用し、これに起因して装置の振動，駆動不良が
生じて円滑な搬送動作を確保できなかった。本実施例で
は従動軸である前記支点軸70,70が、外側に向って移動
可能であることから、その負荷を吸収して円滑な駆動を
実現している。すなわち、スライドハウジング64,64
は、前記圧縮コイルスプリング68,68の付勢力に抗し
て、リニアスライド軸62,62に沿って外側に向く矢印Ｅ
方向に開くことが可能であるので、アーム重なり時の支
点軸70,70の逃げを確保することができ、装置の振動，
駆動不良を生ずることを確実に防止できる。尚、トップ
アーム32は、同じスプリング力の圧縮コイルスプリング
68,68によって固定されているため、前記スライドハウ
ジング64,64の動きに関係なく、その進退方向に沿って
直線軌道を確保することができる。
上記実施例と同様に、第３支点32a,32aの距離を可変
する構成としては、第５図に示すものでも良い。同図で
はトップアーム32と一対の第２のアーム36,36とを連結
する連結部材80に撓み部を設けることで対処している。
すなわち、前記連結部材80は一対の第２のアーム36,36
を回転自在に支持する第３支点32a,32aを有する支点支
持部材82と、トップアーム32を固定するアーム固定部材
84とから構成されている。そして、前記支点支持部材82
にはＴ時型の切り欠き部86が設けられ、かつ、部材82,8
4の境界には、その幅方向両端部より中央に向けて切り
欠かれた切り欠き部88,88が形成されている。この結
果、一対の第１のアーム34,34が90度回転して負荷が作
用した際には、強度的に弱い部分である切り欠き部86,8
8,88の存在によって、前記連結部材80の弾性変形し、第
３支点32a,32aの支点間距離を可変できる。
する構成としては、第５図に示すものでも良い。同図で
はトップアーム32と一対の第２のアーム36,36とを連結
する連結部材80に撓み部を設けることで対処している。
すなわち、前記連結部材80は一対の第２のアーム36,36
を回転自在に支持する第３支点32a,32aを有する支点支
持部材82と、トップアーム32を固定するアーム固定部材
84とから構成されている。そして、前記支点支持部材82
にはＴ時型の切り欠き部86が設けられ、かつ、部材82,8
4の境界には、その幅方向両端部より中央に向けて切り
欠かれた切り欠き部88,88が形成されている。この結
果、一対の第１のアーム34,34が90度回転して負荷が作
用した際には、強度的に弱い部分である切り欠き部86,8
8,88の存在によって、前記連結部材80の弾性変形し、第
３支点32a,32aの支点間距離を可変できる。
第９図は、弾性変形により支点間距離を可変摺る他の
実施例を示したものである。
実施例を示したものである。
同図において、一対の第２のアーム100,100は、アー
ムホルダー120を介してトップアーム110を回転可能に支
持している。一対の各第２のアーム100の先端側にはベ
アリング102が設けられ、このベアリング102により回転
体104を回転可能に支持している。そして、この回転体
が前記ホルダー120にネジ126により固定され、ホルダー
120はネジ112によりトップアーム110に固定されてい
る。
ムホルダー120を介してトップアーム110を回転可能に支
持している。一対の各第２のアーム100の先端側にはベ
アリング102が設けられ、このベアリング102により回転
体104を回転可能に支持している。そして、この回転体
が前記ホルダー120にネジ126により固定され、ホルダー
120はネジ112によりトップアーム110に固定されてい
る。
ホルダー120は例えば４〜5mmの板厚のAl板で構成さ
れ、前記回転体104,104を固定支持する２つの位置の中
心線に沿って、端面より中間部に亘って所定幅で切り欠
いたスリット122を有する。また、スリット122が開口し
ない側の領域では、スリット122の両側に大きく切り欠
いた２つの切欠部124a,124bを有する。
れ、前記回転体104,104を固定支持する２つの位置の中
心線に沿って、端面より中間部に亘って所定幅で切り欠
いたスリット122を有する。また、スリット122が開口し
ない側の領域では、スリット122の両側に大きく切り欠
いた２つの切欠部124a,124bを有する。
このような構造により、負荷によってホルダー120は
同図（Ａ）の矢印方向に弾性変形するので、第２の支点
間距離を可変できる。
同図（Ａ）の矢印方向に弾性変形するので、第２の支点
間距離を可変できる。
なお、第１支点34a,34a間距離を可変することでも同
様な作用が実現できるが、この場合には、第１支点34a,
34aに回転駆動力を伝達する軸との関係を考慮し、例え
ば撓み軸などとして、支点ずれの場合にも円滑な回転伝
達できる構成とする必要がある。
様な作用が実現できるが、この場合には、第１支点34a,
34aに回転駆動力を伝達する軸との関係を考慮し、例え
ば撓み軸などとして、支点ずれの場合にも円滑な回転伝
達できる構成とする必要がある。
また、アーム重なり時の負荷を吸収するためには、必
ずしも第１支点34a,34a間距離、または第３支点32a,32a
間距離を可変するものに限らず、第１のアーム34又は第
２のアーム36が、この軸方向に長さを可変するものでも
良い。このためにの一例としては、例えば第６図に示す
ように、第２のアーム36途中に、負荷の作用によりアー
ム軸方向に変形するようにアームを切り欠いて構成した
撓み部90を形成するものを挙げることができる。
ずしも第１支点34a,34a間距離、または第３支点32a,32a
間距離を可変するものに限らず、第１のアーム34又は第
２のアーム36が、この軸方向に長さを可変するものでも
良い。このためにの一例としては、例えば第６図に示す
ように、第２のアーム36途中に、負荷の作用によりアー
ム軸方向に変形するようにアームを切り欠いて構成した
撓み部90を形成するものを挙げることができる。
なお、本発明は上記各実施例に限定されるものではな
く、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能であ
る。
く、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能であ
る。
次に、搬送装置30のアームを一体的に回転する場合の
好適な実施例について説明する。
好適な実施例について説明する。
一般にこの種の搬送アームは、例えばセンダーよりウ
エハを受け取り、プロセス室にウエハを受渡す場合に
は、搬送アームをセンダー部へ向かう方向とプロセス室
へ向かう方向とに回転駆動可能とする必要がある。この
際、従来はこの回転中心Ｂを第８図（Ａ）に示すように
トップアーム32の進退方向であるＡ方向と、前記第１支
点34a,34aを結んだ線との交点に設定していた。上記の
回転駆動は、同図（Ｂ）に示すようにトップアーム32を
後退駆動させた位置にて実現されるので、同図に示すよ
うに回転半径D1が大きくなり、搬送装置30を収容するロ
ードロックチャンバー10の容積を大きく確保せざるを得
なかった。このような構成では、ロードロックチャンバ
ー10内部のデッドスペースが大きく、特に、大気，真空
状態を繰返すこの種のロードロックチャンバー10では、
大気状態から所定真空度に達するまでの真空引き時間が
長くかかるという問題があった。
エハを受け取り、プロセス室にウエハを受渡す場合に
は、搬送アームをセンダー部へ向かう方向とプロセス室
へ向かう方向とに回転駆動可能とする必要がある。この
際、従来はこの回転中心Ｂを第８図（Ａ）に示すように
トップアーム32の進退方向であるＡ方向と、前記第１支
点34a,34aを結んだ線との交点に設定していた。上記の
回転駆動は、同図（Ｂ）に示すようにトップアーム32を
後退駆動させた位置にて実現されるので、同図に示すよ
うに回転半径D1が大きくなり、搬送装置30を収容するロ
ードロックチャンバー10の容積を大きく確保せざるを得
なかった。このような構成では、ロードロックチャンバ
ー10内部のデッドスペースが大きく、特に、大気，真空
状態を繰返すこの種のロードロックチャンバー10では、
大気状態から所定真空度に達するまでの真空引き時間が
長くかかるという問題があった。
このような問題を解決するため、第７図に示すような
構成を採用することが望ましい。すなわち、同図（Ａ）
に示すように、前記第１支点34a,34aを結ぶ辺を底辺と
する二等辺三角形の頂点（この頂点はトップアーム32の
後退移動方向に存在する）Ｂを回転中心とすることで解
決することができる。特に、この回転中心Ｂは、前記ト
ップアーム32を後退移動駆動した際のトップアーム32の
長さを２分する位置に設けるものが望ましい。そうする
と、搬送装置30を回転駆動する際の回転半径は、トップ
アーム32を２分する長さである半径D2となり、この搬送
装置30を収容するロードロックチャンバー10の容積を最
小限に小さくすることが可能となり、回転時のデッドス
ペースをより小さくすることができる。この結果、ロー
ドロックチャンバー10が小型化され、大気状態より所定
真空度に達するまでの真空引き時間をも短縮することが
可能となる。
構成を採用することが望ましい。すなわち、同図（Ａ）
に示すように、前記第１支点34a,34aを結ぶ辺を底辺と
する二等辺三角形の頂点（この頂点はトップアーム32の
後退移動方向に存在する）Ｂを回転中心とすることで解
決することができる。特に、この回転中心Ｂは、前記ト
ップアーム32を後退移動駆動した際のトップアーム32の
長さを２分する位置に設けるものが望ましい。そうする
と、搬送装置30を回転駆動する際の回転半径は、トップ
アーム32を２分する長さである半径D2となり、この搬送
装置30を収容するロードロックチャンバー10の容積を最
小限に小さくすることが可能となり、回転時のデッドス
ペースをより小さくすることができる。この結果、ロー
ドロックチャンバー10が小型化され、大気状態より所定
真空度に達するまでの真空引き時間をも短縮することが
可能となる。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば一対の第1,第２
のアームが重なり合う際に作用する負荷を、支点間距離
を可変とし、あるいはアームの撓み変形によりアーム長
を可変とすることで吸収でき、被処理体を基台の反対方
向に搬送する駆動を、振動を生ずること無く確実かつ円
滑に実現できる。
のアームが重なり合う際に作用する負荷を、支点間距離
を可変とし、あるいはアームの撓み変形によりアーム長
を可変とすることで吸収でき、被処理体を基台の反対方
向に搬送する駆動を、振動を生ずること無く確実かつ円
滑に実現できる。
第１図（Ａ），（Ｂ）は、本発明を適用した搬送装置の
主要部の一部を切欠した平面図,I−Ｉ断面図、 第２図は、第１図の搬送装置の全体平面図、 第３図は、第１図の搬送装置の全体正面図、 第４図は、第１のアームの移動軌跡を示す概略説明図、 第５図は、支点間距離を可変する構成の変形例を示す概
略説明図、 第６図は、アームを弾性変形させてアーム長を可変とす
る変形例を示す概略説明、 第７図（Ａ），（Ｂ）は、それぞれ回転半径を小さくで
きる搬送装置を説明するための概略説明図、 第８図（Ａ），（Ｂ）は、それぞれ回転半径の大きな搬
送装置を説明するため概略説明図、 第９図（Ａ），（Ｂ）は、支点間距離を可変する構成の
変形例を示す概略説明図である。 10……ロードロックチャンバー、 30……搬送装置、 32……支持部材（トップアーム）、 32a……第３の支点、 34……第１のアーム、 34a……第１の支点、 36……第２のアーム、 36a……第２の支点。
主要部の一部を切欠した平面図,I−Ｉ断面図、 第２図は、第１図の搬送装置の全体平面図、 第３図は、第１図の搬送装置の全体正面図、 第４図は、第１のアームの移動軌跡を示す概略説明図、 第５図は、支点間距離を可変する構成の変形例を示す概
略説明図、 第６図は、アームを弾性変形させてアーム長を可変とす
る変形例を示す概略説明、 第７図（Ａ），（Ｂ）は、それぞれ回転半径を小さくで
きる搬送装置を説明するための概略説明図、 第８図（Ａ），（Ｂ）は、それぞれ回転半径の大きな搬
送装置を説明するため概略説明図、 第９図（Ａ），（Ｂ）は、支点間距離を可変する構成の
変形例を示す概略説明図である。 10……ロードロックチャンバー、 30……搬送装置、 32……支持部材（トップアーム）、 32a……第３の支点、 34……第１のアーム、 34a……第１の支点、 36……第２のアーム、 36a……第２の支点。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−161608（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−251091（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/68 B25J 9/00
Claims (3)
- 【請求項１】基台に離間配置して設けられた２つの第１
の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第１のアーム
と、 この一対の各第１のアームの端部にそれぞれ設けられた
第２の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第２のアー
ムと、 この一対の第２のアームの端部を回転自在に支持する２
つの第３の支点を形成した被搬送体の支持部とを有し、
上記第1,第２のアームの重なり状態を経て、上記支持部
を前または後ろに直線移動させる搬送装置において、 前記第１の支点間距離または第３の支点間距離の少なく
ともいずれか一方を可変としたことを特徴とする搬送装
置。 - 【請求項２】基台に離間配置して設けられた２つの第１
の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第１のアーム
と、 この一対の各第１のアームの端部にそれぞれ設けられた
第２の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第２のアー
ムと、 この一対の第２のアームの端部を回転自在に支持する２
つの第３の支点を形成した被搬送体の支持部とを有し、
上記第1,第２のアームの重なり状態を経て、上記支持部
を前または後ろに直線移動させる搬送装置において、 上記一対の第１のアームまたは一対の第２のアームの少
なくともいずれか一方に、アーム長軸方向への変形を許
容する撓み部を設けたことを特徴とする搬送装置。 - 【請求項３】請求項（１）または（２）において、 上記基台は、上記支持部の移動軌跡上であって２つの第
１の支点を結ぶ線上より離れた位置に設けた回転軸を中
心に回転可能である搬送装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2334210A JP2919065B2 (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 搬送装置 |
| KR1019910021566A KR0165549B1 (ko) | 1990-11-29 | 1991-11-28 | 반송장치 |
| US07/799,999 US5195866A (en) | 1990-11-29 | 1991-11-29 | Conveying apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2334210A JP2919065B2 (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04199729A JPH04199729A (ja) | 1992-07-20 |
| JP2919065B2 true JP2919065B2 (ja) | 1999-07-12 |
Family
ID=18274775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2334210A Expired - Fee Related JP2919065B2 (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 搬送装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5195866A (ja) |
| JP (1) | JP2919065B2 (ja) |
| KR (1) | KR0165549B1 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0600851B1 (en) * | 1989-10-20 | 1999-02-03 | Applied Materials, Inc. | Robot apparatus |
| JPH06132380A (ja) * | 1992-09-04 | 1994-05-13 | Fujitsu Ltd | 搬送装置 |
| US5643366A (en) * | 1994-01-31 | 1997-07-01 | Applied Materials, Inc. | Wafer handling within a vacuum chamber using vacuum |
| US20040005211A1 (en) * | 1996-02-28 | 2004-01-08 | Lowrance Robert B. | Multiple independent robot assembly and apparatus and control system for processing and transferring semiconductor wafers |
| US6102164A (en) * | 1996-02-28 | 2000-08-15 | Applied Materials, Inc. | Multiple independent robot assembly and apparatus for processing and transferring semiconductor wafers |
| KR100457339B1 (ko) * | 1997-09-30 | 2005-01-17 | 삼성전자주식회사 | 반도체 웨이퍼 이송암 |
| JP3907889B2 (ja) * | 1999-11-01 | 2007-04-18 | 康人 唐澤 | 基板搬送装置 |
| FR2812281A1 (fr) * | 2000-07-25 | 2002-02-01 | Dubuit Mach | Dispositif de chargement et/ou de dechargement de support de pile et poste de chargement et/ou dechargement correspondant |
| JP5306908B2 (ja) * | 2009-06-03 | 2013-10-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送モジュール |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5244985A (en) * | 1975-10-06 | 1977-04-08 | Maeda Kogyo Kk | Lateral shifting equipmnt of load supporting table |
| US4483654A (en) * | 1981-02-13 | 1984-11-20 | Lam Research Corporation | Workpiece transfer mechanism |
| US4909701A (en) * | 1983-02-14 | 1990-03-20 | Brooks Automation Inc. | Articulated arm transfer device |
| WO1984003196A1 (en) * | 1983-02-14 | 1984-08-16 | Brooks Ass | Articulated arm transfer device |
| US4666366A (en) * | 1983-02-14 | 1987-05-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Articulated arm transfer device |
| JPS6187351A (ja) * | 1984-09-17 | 1986-05-02 | Canon Inc | ウエハ搬送用ハンドラ |
| SU1278201A1 (ru) * | 1985-04-30 | 1986-12-23 | Ордена Ленина Институт Кибернетики Им.В.М.Глушкова | Манипул тор |
| JPH0292153A (ja) * | 1988-09-29 | 1990-03-30 | Canon Inc | 画像通信方式 |
| JP2629920B2 (ja) * | 1988-12-28 | 1997-07-16 | 株式会社デンソー | 工業用ロボット |
| JPH02311237A (ja) * | 1989-05-25 | 1990-12-26 | Fuji Electric Co Ltd | 搬送装置 |
-
1990
- 1990-11-29 JP JP2334210A patent/JP2919065B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-11-28 KR KR1019910021566A patent/KR0165549B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1991-11-29 US US07/799,999 patent/US5195866A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04199729A (ja) | 1992-07-20 |
| KR0165549B1 (ko) | 1999-02-01 |
| US5195866A (en) | 1993-03-23 |
| KR920010817A (ko) | 1992-06-27 |
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