JPS61218885A - 圧力制御装置 - Google Patents
圧力制御装置Info
- Publication number
- JPS61218885A JPS61218885A JP5841685A JP5841685A JPS61218885A JP S61218885 A JPS61218885 A JP S61218885A JP 5841685 A JP5841685 A JP 5841685A JP 5841685 A JP5841685 A JP 5841685A JP S61218885 A JPS61218885 A JP S61218885A
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- Japan
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- valve
- pressure
- motor
- rotating shaft
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- Pending
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- Mechanically-Actuated Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、圧力制御装置に係り、特に真空室を真空排気
して圧力制御するのに好適な圧力制御装置に関するもの
である。
して圧力制御するのに好適な圧力制御装置に関するもの
である。
従来の圧力制御装置には、第４図と＠合図とＩこ示すよ
うなスロットルバルブ方式のものがあった。
うなスロットルバルブ方式のものがあった。
第４図は反応処理装置の構成を示したもので、反応ガス
供給＃４から流量コントローラ５および導入管２を経て
処理室１に反応ガスを供給し、また一方では、スロット
バルブ６の回転角なモータ７で制御しながら排気系３の
排気コンダクタンスを変え、処理室１の圧力を一定に保
つ。ところが、円筒状の配管の排気系３と、円板状のス
ロヴトパルブ６によるこの構成では、’ｌｉＳ＠図に示
すように、スロットバルブ６が全閉（こ近い状態におい
てスロットルバルブ６の開度ザ化童に対（〕て処理室ｌ
の圧力変化量が非常に大きく、逆に、スロットルバルブ
６の開度がある開度以上着こなると、スロットルバルブ
６の開度変化量に対する処理室１内の圧力変化量が非常
Ｇこ小さく、いずれの場合も制御しに（（、ハンチング
現象を起すなどの問題があった。
供給＃４から流量コントローラ５および導入管２を経て
処理室１に反応ガスを供給し、また一方では、スロット
バルブ６の回転角なモータ７で制御しながら排気系３の
排気コンダクタンスを変え、処理室１の圧力を一定に保
つ。ところが、円筒状の配管の排気系３と、円板状のス
ロヴトパルブ６によるこの構成では、’ｌｉＳ＠図に示
すように、スロットバルブ６が全閉（こ近い状態におい
てスロットルバルブ６の開度ザ化童に対（〕て処理室ｌ
の圧力変化量が非常に大きく、逆に、スロットルバルブ
６の開度がある開度以上着こなると、スロットルバルブ
６の開度変化量に対する処理室１内の圧力変化量が非常
Ｇこ小さく、いずれの場合も制御しに（（、ハンチング
現象を起すなどの問題があった。
なお、この種に関連するものとしては、例えば特開昭５
９−６７６１９号公報等が挙けられる。
９−６７６１９号公報等が挙けられる。
本発明の目的は、バルブを動かす駆動装置はそのままの
動きとし、真空室の圧力変化が大きくなるバルブの開き
始めにオσいてバルブの開度な遅くし、真空室の圧力が
あまり変化しないバルブの開度範囲においてはバルブの
開度を早鳴して、駆動を提供することにある。
動きとし、真空室の圧力変化が大きくなるバルブの開き
始めにオσいてバルブの開度な遅くし、真空室の圧力が
あまり変化しないバルブの開度範囲においてはバルブの
開度を早鳴して、駆動を提供することにある。
本発明は、真空室を真空排気する真空排気系の圧力制御
装置において、排気系の通路の大きさをと 可変するバルブと、該バルブる可変させる駆動装置と、
該駆動装置と前記バルブとの間の動力伝達として少なく
とも１組の楕円を用いた動力伝達手段とから成ることを
特徴とし、バルブを動かす駆動装置はそのままの動きと
し、真空室の圧力変化が大きくなるバルブの開き始めに
おいてバルブの開度な遅くし、真空室の圧力があまり変
化しないバルブの開度範囲においてはバルブの開度を早
くだものである。
装置において、排気系の通路の大きさをと 可変するバルブと、該バルブる可変させる駆動装置と、
該駆動装置と前記バルブとの間の動力伝達として少なく
とも１組の楕円を用いた動力伝達手段とから成ることを
特徴とし、バルブを動かす駆動装置はそのままの動きと
し、真空室の圧力変化が大きくなるバルブの開き始めに
おいてバルブの開度な遅くし、真空室の圧力があまり変
化しないバルブの開度範囲においてはバルブの開度を早
くだものである。
以下、本発明の一実施例を第１図、第２図および＠３図
により説明する。
により説明する。
第１図は、スロットバルブの駆動系を示すものである。
真空排気系３の内部に位置するスロットバルブ６は、バ
ルブ回転軸１１に取り付けられ、バルブ回転軸１１と、
楕円ギア９．ｌＯと、モータ駆動軸８とで構成する動力
伝達手段および駆動装置であるモータにより回転制御さ
れる。スロットルバルブ６がバルブ回転軸１１を中心に
９０°回転することにより、全閉から全開まで開口面積
を変える。
ルブ回転軸１１に取り付けられ、バルブ回転軸１１と、
楕円ギア９．ｌＯと、モータ駆動軸８とで構成する動力
伝達手段および駆動装置であるモータにより回転制御さ
れる。スロットルバルブ６がバルブ回転軸１１を中心に
９０°回転することにより、全閉から全開まで開口面積
を変える。
動力伝達部分に楕円ギア９．ｌＯを用いることにより、
モータ駆動軸の回転角に対するバルブ回転軸の回転角度
の変化は、第２図の実線毘に示すようヤ９，１０のピッ
チ円の長袖と短軸の比を２対ｌにした場合、スロットバ
ルブ６の全閉付近ではバルブ角度が鎖線で示す１対１の
ときのｂ倍となり、全開付近では２倍となって、モータ
軸回転角で表１斗 わしだ処理室圧力は第３図に示すように、鎖線稔で示す
従来のときと比べ、実線１５で示すようになだらかな曲
線となり、処理室圧力はモータ駆動軸の回転角に対応し
安定した圧力を示す。
モータ駆動軸の回転角に対するバルブ回転軸の回転角度
の変化は、第２図の実線毘に示すようヤ９，１０のピッ
チ円の長袖と短軸の比を２対ｌにした場合、スロットバ
ルブ６の全閉付近ではバルブ角度が鎖線で示す１対１の
ときのｂ倍となり、全開付近では２倍となって、モータ
軸回転角で表１斗 わしだ処理室圧力は第３図に示すように、鎖線稔で示す
従来のときと比べ、実線１５で示すようになだらかな曲
線となり、処理室圧力はモータ駆動軸の回転角に対応し
安定した圧力を示す。
以上、本実施例Ｇこよれば、モータを一定で回転させて
おいても、スロットルバルブは圧力変化の大きい全開付
近ではゆっくり動作し、圧力変化の小さい全開付近では
早々動作して、圧力の変化率が一定値に近くなって、圧
力制御が容易になる。
おいても、スロットルバルブは圧力変化の大きい全開付
近ではゆっくり動作し、圧力変化の小さい全開付近では
早々動作して、圧力の変化率が一定値に近くなって、圧
力制御が容易になる。
なお、本−実施例では、動力伝達手段に楕円ギヤを使用
したが、楕円をチェーンやベルトでつないで駆動しても
良い。
したが、楕円をチェーンやベルトでつないで駆動しても
良い。
本発明によれば、バルブを動かす駆動装置はそのままの
動きとし、真空室の圧力変化が大きくなるバルブの開き
始めにおいてバルブの開度を遅くでき、真空室の圧力が
あまり変化しないバルブの開度範囲においてはバルブの
開度な早くできて、駆動装置の動きによって圧力変化が
小さくなだらかな変化にできるので、真空室の圧力制御
をしやすくできるという効果がある。
動きとし、真空室の圧力変化が大きくなるバルブの開き
始めにおいてバルブの開度を遅くでき、真空室の圧力が
あまり変化しないバルブの開度範囲においてはバルブの
開度な早くできて、駆動装置の動きによって圧力変化が
小さくなだらかな変化にできるので、真空室の圧力制御
をしやすくできるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例である圧力制御装置を示す構
成図、第２図は第１図のモータ軸と回転軸との回転角度
関係を示す線図、第３図は第１図におけるモータ軸と処
理室圧力との関係を示す線図、第４図は従来例である圧
力制御装置を示す構成図、第５図は第４図におけるバル
ブ開度と処理室圧力との関係を示す線図である。 １・・・・・・処理室、２・・・・・・反応ガス導入管
、３・・・・・・真空排気系、４・・・・・・反応ガス
供給源、５・・・・・・流量コントローラ、６・・・・
・・スロットルバルブ、７・・・・・・モータ。８・・
・・・・モータ駆動軸、９，１０・・・・・・楕円ギヤ
、１１・・・・・・バルブ回転軸 オ Ｉ ■ ；＋２ 目 ０ 七−７軸回私門 第３目 ｔ−ｙ軸回私角
成図、第２図は第１図のモータ軸と回転軸との回転角度
関係を示す線図、第３図は第１図におけるモータ軸と処
理室圧力との関係を示す線図、第４図は従来例である圧
力制御装置を示す構成図、第５図は第４図におけるバル
ブ開度と処理室圧力との関係を示す線図である。 １・・・・・・処理室、２・・・・・・反応ガス導入管
、３・・・・・・真空排気系、４・・・・・・反応ガス
供給源、５・・・・・・流量コントローラ、６・・・・
・・スロットルバルブ、７・・・・・・モータ。８・・
・・・・モータ駆動軸、９，１０・・・・・・楕円ギヤ
、１１・・・・・・バルブ回転軸 オ Ｉ ■ ；＋２ 目 ０ 七−７軸回私門 第３目 ｔ−ｙ軸回私角
Claims (1)
- １、真空室を真空排気する真空排気系の圧力制御装置に
おいて、排気系の通路の大きさを可変するバルブと、該
バルブを可変させる駆動装置と、該駆動装置と前記バル
ブとの間の動力伝達として少なくとも１組の楕円を用い
た動力伝達手段とから成ることを特徴とする圧力制御装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5841685A JPS61218885A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 圧力制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5841685A JPS61218885A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 圧力制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61218885A true JPS61218885A (ja) | 1986-09-29 |
Family
ID=13083775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5841685A Pending JPS61218885A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 圧力制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61218885A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2514374A (en) * | 2013-05-21 | 2014-11-26 | Johnson Electric Sa | Electrically operated valve assembly |
-
1985
- 1985-03-25 JP JP5841685A patent/JPS61218885A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2514374A (en) * | 2013-05-21 | 2014-11-26 | Johnson Electric Sa | Electrically operated valve assembly |
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