JPH0241410Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は真空配管経路の開閉並びにコンダクタ
ンス調整の両機能を兼備する真空排気制御用のバ
ルブに関する。

（従来の技術） 従来、周知の如く例えば第４図の如くチヤンバ
ー３０に真空ポンプ（高真空ポンプ３１、補助ポ
ンプ３２）を接続して真空装置を構成する場合に
は、その両者間の配管経路に真空封止用のストツ
プバルブ３３と、真空度調整及び排気速度調整用
のコンダクタンスバルブ３４との両者が夫々設け
られており、前者のストツプバルブ３３としては
例えばバタフライ型のバルブの如き配管経路の開
閉機能を有するものが用いられ、また後者のコン
ダクタンスバルブ３４としては第５図の如くバル
ブケーシング３５内に複数の翼３６を回転自在に
設けて該翼３６の回転角度の調整により流路面積
の増減を行うタイプのものが主流として使用され
ていたのである。

（考案が解決しようとする問題点） しかるに、前記従来に於いては、真空装置を構
成する際にストツプバルブ３３とコンダクタンス
バルブ３４とを夫々個々に設けてなるために、該
二個のバルブのコストが高価となるに限らず、該
バルブの取付設置スペースが大きくなつて装置の
小型化を図る上での支障になるという大なる問題
点を有していた。

また、前記従来のコンダクタンスバルブ３４は
ケーシング３５内に設けられた翼３６の角度調整
を行つて該ケーシング３５内の流路面積を増減さ
せるものであるために、該ケーシング３５の流路
面積と翼３６の回転角度とは殆ど比例する関係に
なく、従つて前記ケーシング３５内の流路面積の
調整に際しての翼３６の回転角度の決定が非常に
難しいものとなつて、コンダクタンスの精密な微
調整が困難となる問題点をも有していた。

本考案は上記の如き従来の問題点に鑑みて考案
されたもので、その目的とするところは、真空装
置を構成する際に於けるバルブの必要個数の削減
を可能ならしめてバルブのコストの低減化並びに
装置設置の省スペース化を図ると共に、コンダク
タンスの微調整を容易にならしめる点にある。

（問題点を解決するための手段） 本考案は一つのバルブケーシングに対して流路
の開閉を行うための弁体とコンダクタンスを調整
するための弁体との両者を好適に設けてストツプ
バルブとコンダクタンスバルブとの両機能を兼備
させると共に、コンダクタンスの調整は従来の如
き角度可変の翼を使用することなく別途新たな簡
易な手段で行わせることにより、上記従来の問題
点を解決せんとして構成されたものである。

すなわち、本考案の構成の要旨は、相互に連通
する開口部３，３ａを有するバルブケーシング１
の一方の開口部３ａを開閉自在とすべく流路開閉
用の弁体１３を該開口部３ａの周縁部に形成され
た弁座１７に対面させて往復動自在に設けると共
に、側壁に開口部５を有するコンダクタンス調整
用の弁体４を、該弁体４の側壁が前記開口部３に
対面する状態を保持させてバルブケーシング１の
内周壁に沿つて回転自在に設けて、該コンダクタ
ンス調整用の弁体４の回転により該弁体４の開口
部５と前記バルブケーシング１の開口部３との重
なり状態を調整して該開口部３の開口面積を増減
可能にしてなる点にある。

（作用） 従つて、上記構成を特徴とする真空排気制御用
バルブに於いては、流路開閉用の弁体１３を往復
動させて、バルブケーシング１に設けられてなる
開口部３，３ａのうち一方の開口部３ａを開閉さ
せることにより、真空排気経路の開閉操作が行え
ることとなつてストツプバルブとしての機能が得
られると共に、他方のコンダクタンス調整用の弁
体４を回転させて該弁体４の開口部５とバルブケ
ーシング１の他方の開口部３との重なり状態の調
整により該開口部３の開口面積を増減調整して配
管経路のコンダクタンス調整が行えることとな
り、一個のバルブで真空排気経路の開閉制御及び
コンダクタンス調整の両機能を発揮できることと
なるである。

また、前記バルブケーシング１の開口部３の開
口面積を調整させる場合には、弁体４の回転角度
に比例した状態で該弁体４の開口部５をバルブケ
ーシング１の開口部３に対して重ねることができ
るために、該両開口部３，５に重なりを生じさせ
た部分の面積即ち開口部３の開口面積を弁体４の
回転角度に略比例させた状態で増減させることが
できることとなつて、その微調整が容易なものと
なるのである。

（実施例） 以下、本考案の実施態様について図面に示した
一実施例に従つて説明する。

第１図に於いて、１は略円筒状のケーシング本
体１９の上部を蓋部材２にて閉塞してなるバルブ
ケーシングを示し、該バルブケーシング１の側面
部及び下面部には配管接続用フランジ２０，２０
ａが接続されて90度の角度で屈曲交差した状態で
連通する二個の円形状の開口部３，３ａが夫々設
けられている。

４は該バルブケーシング１の側面部側の開口部
３と略同形状、同面積の開口部５を外周壁に有す
る上下開口の略円筒状のコンダクタンス調整用弁
体を示し、該弁体４はその上縁部外周に突設され
た鍔部６が蓋部材２の下面に適宜複数箇所設けら
れた受ローラ７のＶ溝８に嵌入係止されて、前記
バルブケーシング１内にて水平方向に回転可能に
内装着されている。９はバルブケーシング１の外
部に設けられた電動機を示し、該電動機９に接続
された回転軸１０の先端部には該電動機９の駆動
力にて弁体４を回転させるべく弁体４の上部に別
途設けられた平歯車１１と歯合する歯車１２が設
けられている。

１３は蓋部材２に上下貫通されてバルブケーシ
ング１内に垂設されてなる弁軸１４の下端部に取
着された略円板状の流路開閉用の弁体を示し、該
弁体１３は弁軸１４の上部に連結してなるシリン
ダ１５の駆動によつて、バルブケーシング１の下
側の開口部３ａの内周壁１６の上面に形成された
弁座１７に対面して上下動自在である。１８は前
記弁軸１４と蓋部材２との間の軸シールを行うべ
く弁軸１４に外嵌して弁体１３と蓋部材２との間
に設けられたベローズを示す。

本実施例に係る真空排気制御用バルブは以上の
構成からなるために、先ずバルブケーシング１の
上面部のシリンダ１５を動作させて一方の弁体１
３を昇降させることにより、該弁体１３を第１図
の実線で示す如くバルブケーシング１の弁座１７
に当接させて一方の開口部３ａを全閉状態にでき
ると共に、同図二点鎖線に示す如く弁体１３を上
昇させて開口部３ａを開放でき、よつて該弁体１
３の操作により真空配管経路の開閉が自在となつ
て、所謂ストツプバルブとしての機能が果たせる
こととなる。

次に、前記弁体１３を上昇させて開口部３ａを
開放させた真空排気作業時に於いて、電動機９の
駆動力により他方の弁体４を水平方向に回転せし
めれば、例えば第１図ロに示す如く開口部３，５
が全く一致した状態に重なつて開口部３を全開状
態にできることは勿論のこと、例えば第２図に示
す如く両開口部３，５の一部を相互に重ねて開口
部３の開口面積Ａを減少させるようなことが自在
となつて、該開口部３の開口面積Ａは弁体４を回
転させることにより、その開口率が０〜100％の
範囲内で任意に調整できるのである。よつて、前
記弁体４の回転制御により真空排気経路のコンダ
クタンス調整も好適に行えるのである。

また、前記コンダクタンス調整作業即ち開口部
３の開口面積の増減調整作業時に於いては、弁体
４の開口部５を該弁体４の回転角度に比例させた
状態で変位させてバルブケーシング１の開口部３
に重ねることができるために、両開口部３，５の
重なり部分の面積Ａは弁体４の回転角度と略比例
した関係状態となつて、その微調整が容易で高精
度のコンダクタンス調整が行えることとなる。更
に、バルブケーシング１内には弁軸１４及び流路
開閉用の弁体１３等が常時存在するものの、バル
ブケーシング１内に於けるエア流通開口面積はそ
のバルブ構造上充分に確保でき、前記弁軸１４や
弁体１３がバルブケーシング１の開口部３の全開
時に於ける最大コンダクタンスを不当に制約する
ようなこともない。

尚、上記実施例に於いては、バルブケーシング
１の開口部３及び弁体４の開口部５の形状を円形
状にしてなるが、本考案に係る開口部の具体的な
形状は問うものではなく、例えば第３図に示す如
く一方の開口部５の側部に矩形状の切欠部２１を
延設して、該切欠部２１とバルブケーシング１の
開口部３との重なり部分の面積Ａの調整を一層精
密に行わせて小コンダクタンスの制御性の向上を
図るようなことは自在であり、前記開口部３，５
及び他の開口部３ａの形状は前記形状の他に四角
形状等であつても何ら構わないのである。

また、本考案はバルブケーシング１、コンダク
タンス調整用の弁体４、及び流路開閉用の弁体１
３等の具体的な形状、位置、取付手段も決して上
記の如く限定されず、要はバルブケーシング１は
相互に連通する開口部３，３ａを有しておればよ
く、該開口部３，３ａの具体的な形成位置等は問
うものでない。

更に、コンダクタンス調整用の弁体４は、バル
ブケーシング１の一方の開口部３に対面する状態
を保持して該バルブケーシング１の内周壁に沿つ
て回転自在に設けられ且つ該開口部３と対面する
側壁にはその回転時に前記開口部３と重なつて該
開口部３の開口面積を増減させるための開口部５
が設けられておればよいのである。従つて、その
回転手段は前記の如き電動機９に限らず手動のハ
ンドル等であつても何ら構わない他、その回転駆
動伝達手段としては実施例の如き歯車１１，１２
を使用することなく例えばチエーン駆動連結を用
いる等の設計変更も自在である。

更に、流路開閉用の弁体１３は、バルブケーシ
ング１に他方の開口部３ａを開閉すべく該開口部
３ａの周縁部に形成された弁座１７に対面して往
復動自在に設けられておけばよく、該弁体１３の
往復動手段としてシリンダ１５以外のものを使用
する等の変更は自在である。

このように、本考案に係る真空排気制御用のバ
ルブは各部の具体的な構成は全て本考案の意図す
る範囲内にて設計変更自在であり、またその具体
的な使用態様は一切問うものではない。

（考案の効果） 叙上のように、本考案はバルブケーシングの一
方の開口部の周縁に形成した弁座に対面させて流
路開閉用の弁体を往復動自在に設けることにより
前記一方の開口部を開閉自在にすると共に、前記
バルブケーシングの他方の開口部に対しては、側
壁に開口部を有するコンダクタンス調整用の弁体
をバルブケーシングの内周壁に沿つて回転自在に
設けてその開口面積を増減調整可能にしてなるた
めに、真空配管経路の真空封止の如き配管経路の
開閉制御並びに配管経路のコンダクタンス調整を
行うに際しては、何ら従来の如くストツプバルブ
とコンダクタンス調整バルブの二個のバルブを使
用する必要が無く、一個のバルブで前記各調整作
業を行えることとなり、その結果真空装置を構成
する上でのバルブの使用個数を減少せしめて該バ
ルブに係るコストを大幅に低減させることができ
る他、真空装置全体のコンパクト化が図れ、更に
は装置設置に要するスペースを小さくしてその取
付性の向上を図れるという格別な効果を得るに至
つた。

しかも、本考案はコンダクタンス調整用の弁体
に形成せしめた開口部とバルブケーシングの一方
の開口部との重なり状態を弁体の回転によつて変
化させることにより該バルブケーシングの開口部
の開口面積を調整させて、コンダクタンス調整を
行うように構成してなるために、従来の翼を回転
させて流路面積を増減させていたコンダクタンス
バルブの如くコンダクタンスの微調整が困難とな
るようなことがなく、前記コンダクタンス用の弁
体の回転角度をバルブケーシングの開口部の開口
面積に対応させて容易に微調整できることとな
り、コンダクタンス調整精度の向上を容易に図れ
るという効果をも得るに至つた。

このように、本考案は一つのバルブケーシング
内に二種類の弁体を設けて流路開閉機能及びコン
ダクタンス調整機能を一個のバルブに兼備させる
という従来には存在しない全く新規な技術思想の
下に構成されて、上記の如き優れた効果を得たも
ので、その実用的価値は多大なものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るバルブの一実施例を示
し、同図イは正面断面図、同図ロは同図イのＸ−
Ｘ線端面図。第２図は動作状態を示し、同図イは
要部側面図、同図ロは同図イのＹ−Ｙ線概略端面
図。第３図は弁体の他実施例を示す正面図。第４
図及び第５図は従来例を示し、第４図は真空装置
の概略説明図、第５図はコンダクタンスバルブの
概略断面図。 １……バルブケーシング、３，３ａ……開口
部、４……コンダクタンス調整用の弁体、５……
開口部、１３……流路開閉用の弁体、１７……弁
座。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 相互に連通する開口部３，３ａを有するバル
   ブケーシング１と、該バルブケーシング１の一
   方の開口部３ａを開閉すべく該開口部３ａの周
   縁部に形成された弁座１７に対面して往復動自
   在に設けられた流路開閉用の弁体１３と、前記
   バルブケーシング１の他方の開口部３に対面す
   る状態を保持して該バルブケーシング１の内周
   壁に沿つて回転自在に設けられ且つ該開口部３
   と対面する側壁にはその回転時に前記開口部３
   と重なつて該開口部３の開口面積を増減させる
   ための開口部５が設けられてなるコンダクタン
   ス調整用の弁体４とからなることを特徴とする
   真空排気制御用バルブ。 ２ 前記バルブケーシング１が上部に蓋部材２を
   装着してなる略円筒状のケーシング本体１９の
   側面部及び下面部に開口部３，３ａを夫々設け
   てなる実用新案登録請求の範囲第１項記載の真
   空排気制御用バルブ。 ３ 前記コンダクタンス調整用の弁体４が略円筒
   状である実用新案登録請求の範囲第１項記載の
   真空排気制御用バルブ。