JPS6311719Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は反応管を用いて半導体基板（ウエー
ハ）を減圧気密下で処理する装置に係り、特に反
応管の開口を開閉する扉の自動化に関する。

従来の反応応管の自動開閉扉は、反応管開口を
閉じ得る位置まで扉をスライドさせ、この位置で
扉を反応管開口に密着させることができる構造に
なつており、かつ、扉をスライドさせる機構と反
応管開口に密着させる機構を別々の駆動源で作動
させる構造になつているため、自動で制御するた
めのシーケンス制御装置が複雑化する欠点がある
ばかりでなく、駆動源の単一化を図つてもスライ
ド機構の設置に広いスペースを要するので、制限
されたスペース内に装置全体を収められない場合
があり、自動化できないことがある。

本考案は上記の欠点を解消するためになされた
ものであつて、以下図面についてその一実施例を
説明する。

第１図は本考案自動開閉扉の一実施例を示す正
面図、第２図はその側面図である。図面につい
て、１は反応管、２はその開口フランジ部に装着
したシール、３は扉で、扉ホルダ４の対向する２
点に扉ピン６により揺動自在に支持されている。
１６は扉ホルダ４の扉ピン６と直角位置関係にあ
る２点とそれに対向する扉３の２点間に介挿した
揺動抑制用のスプリングである。５は扉ホルダ４
を介して扉３を支持した扉アーム、１５は反応管
１の軸心に平行なサポート軸で、このサポート軸
１５に駆動ヘツド１４及び回転ヘツド１３を互い
に摺動自在に枢支している。駆動ヘツド１４と回
転ヘツド１３間には例えば回転ヘツド１３の外周
に設けた爪１８ａ，爪１８ｂち、爪１８ａ，１８
ｂに内装する駆動ヘツド１４のリング部１４ａ側
で、かつリング部１４ａと回転ヘツド１３の外周
との間の部分に設けた爪１７との間には回転方向
に作用するスプリング７が介挿されており、爪１
７は爪１８ｂに対接し爪１８ｂを係止する役目を
果し、リング部１４ａはスプリング７の飛び出し
を防止する役目を果す。図例では爪１８ａ，１８
ｂと爪１７は２組設けた場合を示している。５ａ
は扉アーム５の基部よりヘツド１３，１４側へ直
角に延びる延長部で、この延長部５ａの途中は回
転ヘツド１３にサポート軸１５に対して直角な位
置関係にある枢支部、例えば扉アームピン９によ
り回動自在に支持されている。１０ａ，１０ｂは
それぞれ延長部５ａの先端部とこの先端部に対向
する駆動ヘツド１４の位置に設けたカム係合部、
例えばカム係合切欠溝及びこれに係合するカム突
起、例えばカムピンであり、８は回転ヘツド１３
と扉アーム５の基部間に介在させた扉アーム弾発
用のスプリングである。１１は駆動ヘツド１４に
設けた駆動アームで、例えばシリンダに連結さ
れ、シリンダの操作により駆動アーム１１を介し
て駆動ヘツド１４を回転するものである。駆動ヘ
ツド１４の回転操作はソレノイドにより、あるい
はギヤ機構を介してモータにより行うようにして
もよく任意の手段を用いることができる。１２は
扉アーム５の回転を扉３が反応管１の開口を閉じ
得る位置（第１図の仮想線で示す位置）で規制
し、かつ扉３を反応管開口に密着させる扉アーム
５の動作（第１図の仮想線で示す位置で紙面に垂
直な方向の動作、第２図では下方向の動作）を容
易に行うための回転形ストツパー、例えばコロス
トツパーで、その軸受部１２ａは適当なサポート
に固定されている。なお１９は駆動ストツパーで
ある。

本考案は上記のような構成であるから、扉を閉
じる場合には駆動アーム１１を第１図のｂ方向に
操作して駆動ヘツド１４をサポート軸１５を中心
に回転させれば、その回転はスプリング７を介し
て回転ヘツド１３に伝えられ、更に扉アームピン
９を介して扉アーム５に伝えられ、扉アーム５は
第１図のＢ方向に回転せしめられる。扉アーム５
の回転はコロストツパー１２に当つた位置で停止
され、扉３は反応管１の開口を閉じ得る位置に保
たれる。駆動ヘツド１４を更にｂ方向に回転させ
ると、回転ヘツド１３及び扉アーム５は回転でき
ないので、スプリング７が圧縮されていくと同時
にカムピン１０ｂの回転によりカム係合切欠溝１
０ａに押圧力を作用させ、これによつて扉アーム
５は扉アームピン９を中心に第２図のＣ方向に回
転せしめられて扉３が反応管開口フランジ部のシ
ール２に密着して反応管開口を閉じることにな
る。この場合、図例のように扉３が扉ピン６を中
心に揺動できるようにしておけば扉３とシール２
の対向面が平行でなくても扉３の揺動とシール２
の可撓性により扉３をシール２に密着できるもの
である。反応管１内を減圧状態にすると、シール
２が圧縮されて扉３との密着が一層良好となり扉
３の閉動作が完了する。しかる後、反応管１の内
部に反応ガスを送つて反応管１内に搬入したウエ
ーハに気相成長層を生成させる等の処理を行えば
よい。

処理後のウエーハを搬出するため扉３を開ける
場合は、反応管１内を大気宛に戻し、駆動アーム
１１を第１図ａ方向に操作して駆動ヘツド１４を
サポート軸１５を中心に回転させれば、圧縮され
ていたスプリング７が復元し、カムピン１０ｂの
回転によりカム係合切欠溝１０ａに作用する上記
とは逆方向の押圧力によつて扉アーム５は扉アー
ムピン９を中心に第２図のｄ方向に回転せしめら
れて扉３が反応管開口フランジ部のシール２より
離間し、スプリング８の弾発力により離間状態を
保つ。駆動アーム１１をこの状態から更にａ方向
に回転させればその回転は爪１７から爪１８ｂを
介して回転ヘツド１３に伝えられ、更に扉アーム
ピン９を介して扉アーム５に伝えられ、扉アーム
５は第１図のＡ方向に回転せしめられる。駆動ア
ーム１１が駆動ストツパー１９によつて位置決め
された位置まで戻つたところで扉３の開動作が完
了する。なお駆動ストツパー１９は駆動ヘツド１
４の回転量が一定（例えばシリンダ操作の場合は
ストローク量で決まる）であるので設けなくても
よい。

上述の説明より明らかなように本考案によれ
ば、扉を回転させる機構と反応管開口に密着させ
る機構の組合せよりなり、しかも回転操作だけで
一連の開閉動作を遂行できるように構成したの
で、１つの駆動源により扉を自動開閉することが
でき、従来よりもシーケンス制御装置を簡単にで
きるばかりでなく、回転機構の採用により設置ス
ペースを小さくできるので、制限されたスペース
内に装置全体を収めることができ、自動化の目的
を達成できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案自動開閉扉の一実肢例を示す正
面図、第２図はその側面図である。 １……反応管、２……シール、３……扉、４…
…扉ホルダ、５……扉アーム、５ａ……延長部、
６……扉ピン、７，８……スプリング、９……扉
アームピン、１０……カム係合切欠溝、１０ｂ…
…カムピン、１１……駆動アーム、１２……コロ
ストツパー、１３……回転ヘツド、１８ａ，１８
ｂ……爪、１４……駆動ヘツド、１４ａ……リン
グ部、１７……爪、１５……サポート軸。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 反応管軸心に平行なサポート軸に、駆動ヘツド
   及び回転ヘツドを互いに摺動自在に枢支し、この
   駆動ヘツドと回転ヘツド間に回転方向に作用する
   スプリングを介挿せしめ、回転ヘツドには反応管
   開口を開閉する扉を支持した扉アームの基部より
   ヘツド側へ直角に延びる延長部の途中を、サポー
   ト軸に対して直角な位置関係にある枢支部により
   回動自在に支持し、前記延長部の先端部とこの先
   端部に対向する駆動ヘツドの位置に、それぞれカ
   ム係合部とこれに係合するカム突起を設け、かつ
   回転ヘツドと扉アームの基部間に、扉アームを弾
   発するスプリングを介在させると共に、扉アーム
   の回転を扉が反応管開口を閉じ得る位置で規制
   し、かつ扉を反応管開口に密着させる扉アームの
   動作を容易に行うための回転形ストツパーを設置
   せしめてなる反応管の自動開閉扉。