JP2682904B2 - スリット・バルブ装置と方法 - Google Patents
スリット・バルブ装置と方法Info
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- JP2682904B2 JP2682904B2 JP3086498A JP8649891A JP2682904B2 JP 2682904 B2 JP2682904 B2 JP 2682904B2 JP 3086498 A JP3086498 A JP 3086498A JP 8649891 A JP8649891 A JP 8649891A JP 2682904 B2 JP2682904 B2 JP 2682904B2
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- door
- valve device
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K13/00—Other constructional types of cut-off apparatus; Arrangements for cutting-off
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
- F16K1/02—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with screw-spindle
- F16K1/06—Special arrangements for improving the flow, e.g. special shape of passages or casings
- F16K1/10—Special arrangements for improving the flow, e.g. special shape of passages or casings in which the spindle is inclined to the general direction of flow
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
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- Sliding Valves (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、一般にスリット・バル
ブ装置と方法に関し、さらに詳しくは、半導体製造装置
に使用するスリット・バルブ装置と方法に関する。半導
体製造装置は、隣接しているが独立して密閉可能な多数
のチャンバを有する。たとえば、１台の半導体製造装置
が、中央の自動搬送チャンバの周囲に配設された多数の
処理チャンバと１つ以上のロード・ロック・チャンバ
（load-lock chambrs)を有する場合がある。チャンバ間
で半導体ウェーハを通過させるため、長いアパチャ、す
なわち「スリット」がこれらのチャンバの間の壁に設け
られている。これらのアパチャはスリット・バルブによ
って選択的に開閉することができる。
ブ装置と方法に関し、さらに詳しくは、半導体製造装置
に使用するスリット・バルブ装置と方法に関する。半導
体製造装置は、隣接しているが独立して密閉可能な多数
のチャンバを有する。たとえば、１台の半導体製造装置
が、中央の自動搬送チャンバの周囲に配設された多数の
処理チャンバと１つ以上のロード・ロック・チャンバ
（load-lock chambrs)を有する場合がある。チャンバ間
で半導体ウェーハを通過させるため、長いアパチャ、す
なわち「スリット」がこれらのチャンバの間の壁に設け
られている。これらのアパチャはスリット・バルブによ
って選択的に開閉することができる。
【０００２】非常に多種のスリット・バルブが従来技術
で周知である。たとえば、トシマの米国特許第4,785,96
2 号では、真空チャンバ・スリット・バルブが開示さ
れ、このバルブは、アパチャの近くで回転自在に取り付
けられたドアと開位置と閉位置との間でこのドアを選択
的に回転させる空圧作動のカム・フォロワ・ローラを有
する。Hutchinsonは米国特許第4,715,764 号で別のアプ
ローチを行い、Hutchinsonは、ここで角度を付けて配設
されたシート部をこのシート部に対して直角に移動しこ
れと対応する角度のついた閉鎖部を有するゲート・バル
ブを教示している。第３のアプローチが、１９８９年５
月１日付のVacuum Valve 90 というＶＡＴ社の製品のカ
タログの２４ページから２９ページに開示されている。
ＶＡＴ社は長方形のバルブを提供し、このバルブは、ア
パチャに対して直角に移動する相手のゲートと係合する
段の付いたシートを有する。
で周知である。たとえば、トシマの米国特許第4,785,96
2 号では、真空チャンバ・スリット・バルブが開示さ
れ、このバルブは、アパチャの近くで回転自在に取り付
けられたドアと開位置と閉位置との間でこのドアを選択
的に回転させる空圧作動のカム・フォロワ・ローラを有
する。Hutchinsonは米国特許第4,715,764 号で別のアプ
ローチを行い、Hutchinsonは、ここで角度を付けて配設
されたシート部をこのシート部に対して直角に移動しこ
れと対応する角度のついた閉鎖部を有するゲート・バル
ブを教示している。第３のアプローチが、１９８９年５
月１日付のVacuum Valve 90 というＶＡＴ社の製品のカ
タログの２４ページから２９ページに開示されている。
ＶＡＴ社は長方形のバルブを提供し、このバルブは、ア
パチャに対して直角に移動する相手のゲートと係合する
段の付いたシートを有する。
【０００３】従来技術によるゲート・バルブには幾つか
の問題がある。第１に、これらのゲート・バルブ全てチ
ャンバ内にベアリングの面を有し、これらの面は面同志
の摩擦によって微粒子を発生する。第２に、ゲート・バ
ルブを閉位置に保持するのに必要な力は、この閉鎖力が
シート面に対して常にある角度にあるため、比較的大き
くなりやすい。この結果、従来技術によるスリット・バ
ルブのドアをバルブ・シートに対して適切に密閉するに
は、かなりの力をドアに加えなければならない。
の問題がある。第１に、これらのゲート・バルブ全てチ
ャンバ内にベアリングの面を有し、これらの面は面同志
の摩擦によって微粒子を発生する。第２に、ゲート・バ
ルブを閉位置に保持するのに必要な力は、この閉鎖力が
シート面に対して常にある角度にあるため、比較的大き
くなりやすい。この結果、従来技術によるスリット・バ
ルブのドアをバルブ・シートに対して適切に密閉するに
は、かなりの力をドアに加えなければならない。
【０００４】
【発明の概要】従って、本発明の目的は、従来技術のゲ
ート・バルブ装置よりも密閉力が小さくてすみ、このゲ
ート・バルブ装置と連動するチャンバ内に微粒子を発生
する摩擦面を有さないゲート・バルブ装置を提供するこ
とである。本発明によるこの装置は、集積回路のウェー
ハを搬送面に沿って通過させることのできるアパチャを
形成したチャンバ壁を有する。このスリット・バルブ装
置は、さらにアパチャを取り囲み、搬送面に対して角度
をつけて配設されたシート面を形成する第１着座面を有
するシートと第１着座面と相対して係合可能な第２着座
面を有するドアとを含む。最後に、このスリット・バル
ブ装置は着座面に対して実質的に直角なアクチュエータ
軸に沿ってドアをシートに向って、またはこのシートか
ら直線的に移動させる直線アクチュエータ機構を有す
る。この直線アクチュエータ機構の摩擦係合部分は、伸
縮可能なベロー・スリーブによって取り囲まれ、全ての
摩擦係合面をチャンバの内部から隔離する。
ート・バルブ装置よりも密閉力が小さくてすみ、このゲ
ート・バルブ装置と連動するチャンバ内に微粒子を発生
する摩擦面を有さないゲート・バルブ装置を提供するこ
とである。本発明によるこの装置は、集積回路のウェー
ハを搬送面に沿って通過させることのできるアパチャを
形成したチャンバ壁を有する。このスリット・バルブ装
置は、さらにアパチャを取り囲み、搬送面に対して角度
をつけて配設されたシート面を形成する第１着座面を有
するシートと第１着座面と相対して係合可能な第２着座
面を有するドアとを含む。最後に、このスリット・バル
ブ装置は着座面に対して実質的に直角なアクチュエータ
軸に沿ってドアをシートに向って、またはこのシートか
ら直線的に移動させる直線アクチュエータ機構を有す
る。この直線アクチュエータ機構の摩擦係合部分は、伸
縮可能なベロー・スリーブによって取り囲まれ、全ての
摩擦係合面をチャンバの内部から隔離する。
【０００５】本発明の方法は、前記のアパチャを通って
延びる搬送面に対して角度を付けて配設された密閉面を
形成する第１密閉面によって長いアパチャを取り囲むス
テップと、密閉面に対して実質的に直角方向に第２着座
面を直線的に移動させることによって、第２着座面を第
１着座面と係合させまたはこの係合を解くステップを有
する。第１着座面と第２着座面の方向は、第２着座面の
位置をロックするロック機構を解除し、第１着座面と第
２着座面を係合させ、次にこのロック機構を再び作動さ
せることによって調整される。
延びる搬送面に対して角度を付けて配設された密閉面を
形成する第１密閉面によって長いアパチャを取り囲むス
テップと、密閉面に対して実質的に直角方向に第２着座
面を直線的に移動させることによって、第２着座面を第
１着座面と係合させまたはこの係合を解くステップを有
する。第１着座面と第２着座面の方向は、第２着座面の
位置をロックするロック機構を解除し、第１着座面と第
２着座面を係合させ、次にこのロック機構を再び作動さ
せることによって調整される。
【０００６】本発明の利点は、ドアの開閉動作が直線的
かつバルブ・シートに対して直角に行われることであ
る。ドアに加わる全ての力は着座面に対して直角であ
り、より小さな圧力をドアに加えるだけで効率的な密閉
が行われることである。本発明の他の利点は、全ての摩
擦面がベロー・スリーブによってチャンバの内部から隔
離されることである。これによって、微粒子の形成を劇
的に減少させ、半導体製造装置内で処理されるウェーハ
の歩留を増加させることが可能である。
かつバルブ・シートに対して直角に行われることであ
る。ドアに加わる全ての力は着座面に対して直角であ
り、より小さな圧力をドアに加えるだけで効率的な密閉
が行われることである。本発明の他の利点は、全ての摩
擦面がベロー・スリーブによってチャンバの内部から隔
離されることである。これによって、微粒子の形成を劇
的に減少させ、半導体製造装置内で処理されるウェーハ
の歩留を増加させることが可能である。
【０００７】本発明のこれら及び他の利点は、本発明の
詳細な説明及び幾つかの図面を検討することによって当
業者に明らかとなる。
詳細な説明及び幾つかの図面を検討することによって当
業者に明らかとなる。
【０００８】
【実施例】図１で、本発明によるスリット・バルブ装置
１０は用紙の平面に対して直角な長軸１６と短軸１８と
を有するアパチャ１４を設けたチャンバ壁１２を有す
る。このアパチャ１４は、集積回路のウェーハのような
対象物を長軸１６に平行で短軸１８に対して直角な搬送
面２０に対して実質的に平行に通過させる。矢印２１で
示すように、この対象物もまた搬送面２０と平行な全て
の面またはこの搬送面２０に対して平行に近い全ての面
に沿ってアパチャ１４を通って移動される。シート２２
は第１着座面２４を有し、この着座面２４によって密閉
面２６が形成され、この密閉面２６は搬送面２０に対し
て角度を付けて配設される。ドア２８は第２着座面３０
を有し、この第２着座面３０は密閉面２６に沿って第１
着座面２４と相対して係合可能である。ドア２８は直線
アクチュエータ機構３２と結合されている。Ｏリング・
シール３４がドア２８上に設けられ、ドア２８とシート
２２を効果的に密閉する。
１０は用紙の平面に対して直角な長軸１６と短軸１８と
を有するアパチャ１４を設けたチャンバ壁１２を有す
る。このアパチャ１４は、集積回路のウェーハのような
対象物を長軸１６に平行で短軸１８に対して直角な搬送
面２０に対して実質的に平行に通過させる。矢印２１で
示すように、この対象物もまた搬送面２０と平行な全て
の面またはこの搬送面２０に対して平行に近い全ての面
に沿ってアパチャ１４を通って移動される。シート２２
は第１着座面２４を有し、この着座面２４によって密閉
面２６が形成され、この密閉面２６は搬送面２０に対し
て角度を付けて配設される。ドア２８は第２着座面３０
を有し、この第２着座面３０は密閉面２６に沿って第１
着座面２４と相対して係合可能である。ドア２８は直線
アクチュエータ機構３２と結合されている。Ｏリング・
シール３４がドア２８上に設けられ、ドア２８とシート
２２を効果的に密閉する。
【０００９】直線アクチュエータ機構３２は、長いシャ
フト３６、シャフト３６の第１端部をドアと結合する調
整機構３８、およびシャフト３６の第２端部に結合され
た直線往復駆動機構４０を有する。機構４０は、ブラケ
ット４１によって壁１２に強固に結合されている。シャ
フト・ガイト４２は壁１２に結合され、Ｏリング４４が
設けられて壁にシャフト・ガイト４２を密閉する。伸縮
可能なベロー・スリーブ４６は調節機構３８の一端およ
びシャフト・ガイド４２の他端で密閉されている。この
ようにして、シャフト３６とシャフト・ガイド４２との
間の滑動的摩擦による係合は、チャンバの内部４８から
隔離される。この直線駆動機構は、市販の空圧アクチュ
エータであることが好ましく、これによって空気圧が第
１送入口５０に加えられると、シャフト３６は機構４０
から離れ、空気圧が第２送入口５２に供給されると、機
構４０から離れる。
フト３６、シャフト３６の第１端部をドアと結合する調
整機構３８、およびシャフト３６の第２端部に結合され
た直線往復駆動機構４０を有する。機構４０は、ブラケ
ット４１によって壁１２に強固に結合されている。シャ
フト・ガイト４２は壁１２に結合され、Ｏリング４４が
設けられて壁にシャフト・ガイト４２を密閉する。伸縮
可能なベロー・スリーブ４６は調節機構３８の一端およ
びシャフト・ガイド４２の他端で密閉されている。この
ようにして、シャフト３６とシャフト・ガイド４２との
間の滑動的摩擦による係合は、チャンバの内部４８から
隔離される。この直線駆動機構は、市販の空圧アクチュ
エータであることが好ましく、これによって空気圧が第
１送入口５０に加えられると、シャフト３６は機構４０
から離れ、空気圧が第２送入口５２に供給されると、機
構４０から離れる。
【００１０】図２において、送入口５２から空気圧を加
えると、ドア２８は密閉面２６に対して実質的に垂直な
アクチュエータ軸５４に沿って密閉面２６から直線的に
離れる。シャフト・ガイド４２は、直線駆動機構４０に
向かうシャフト３６の動作を制限するストッパの作用を
する。ドア２８は、適当な傾斜機構（図示せず）によっ
て開位置、閉位置または何らかの中間位置に向かって付
勢されることができる。
えると、ドア２８は密閉面２６に対して実質的に垂直な
アクチュエータ軸５４に沿って密閉面２６から直線的に
離れる。シャフト・ガイド４２は、直線駆動機構４０に
向かうシャフト３６の動作を制限するストッパの作用を
する。ドア２８は、適当な傾斜機構（図示せず）によっ
て開位置、閉位置または何らかの中間位置に向かって付
勢されることができる。
【００１１】摩擦を生ずる面は全て、ベロー・スリーブ
４６によってチャンバの内部４８から隔離されているこ
とに留意する必要がある。したがってスリット・バルブ
装置１０がチャンバの内部４８に微粒子を発生する可能
性は非常に低い、これによって汚染の潜在的発生源を排
除している。直線駆動機構４０によって、バルブ・シー
ト２２に対して直角にアクチュエータ軸５４に沿ってそ
の力が全てがバルブ・シート２２に伝達されることにも
また留意する必要がある。これによって、アクチュエー
タ機構３２の加えなければならない力が減少するだけで
なく、Ｏリング３４と第１着座面２４との間に生ずる摩
擦が極小化し、従って微粒子の発生およびＯリングの摩
耗が減少する。
４６によってチャンバの内部４８から隔離されているこ
とに留意する必要がある。したがってスリット・バルブ
装置１０がチャンバの内部４８に微粒子を発生する可能
性は非常に低い、これによって汚染の潜在的発生源を排
除している。直線駆動機構４０によって、バルブ・シー
ト２２に対して直角にアクチュエータ軸５４に沿ってそ
の力が全てがバルブ・シート２２に伝達されることにも
また留意する必要がある。これによって、アクチュエー
タ機構３２の加えなければならない力が減少するだけで
なく、Ｏリング３４と第１着座面２４との間に生ずる摩
擦が極小化し、従って微粒子の発生およびＯリングの摩
耗が減少する。
【００１２】転送面２０と密閉面２６との間の角度Ａ
は、３０゜〜６０゜の範囲が好ましく、約４５゜がもっ
とも好ましい。もし角度Ａが約６０゜よりかなり大きく
なると、ドア２８がアパチャ１４の底面５６から離れさ
せるため、シャフト３６のストロークを非常に長くしな
ければならない。もし角度Ａが３０゜よりかなり小さく
なると、第１着座面２４が大きくなり過ぎて、リークの
可能性が高まり、直線駆動機構４０はより大きな圧力を
出さなければならない。４５゜の角度Ａが、シャフト３
６の過剰なストローク長さと直線駆動機構４０に要求さ
れる適当な閉鎖圧力との間の適当な妥協点である。
は、３０゜〜６０゜の範囲が好ましく、約４５゜がもっ
とも好ましい。もし角度Ａが約６０゜よりかなり大きく
なると、ドア２８がアパチャ１４の底面５６から離れさ
せるため、シャフト３６のストロークを非常に長くしな
ければならない。もし角度Ａが３０゜よりかなり小さく
なると、第１着座面２４が大きくなり過ぎて、リークの
可能性が高まり、直線駆動機構４０はより大きな圧力を
出さなければならない。４５゜の角度Ａが、シャフト３
６の過剰なストローク長さと直線駆動機構４０に要求さ
れる適当な閉鎖圧力との間の適当な妥協点である。
【００１３】図３は調整機構３８の分解斜視図であり、
ブラケット・アセンブリ５８、回転軸６０および１対の
回転軸のベアリング６２を示す。ブラケット・アセンブ
リの円板６４は、シャフト３６に取り付けられてベロー
・スリーブ４６によって密閉され、また１対のフィンガ
６６は、ピボット・ピン７０によって回転軸６０の中心
部６８に係合される。回転軸６０のベアリング面７２
は、回転軸用ベアリング６２の穴７４と係合する。回転
軸用ベアリング６２の耳７６は、ドア２８に取り付けら
れる。多くの機械ねじ７８によって、シャフト３６に対
してドア２８を所定の位置にロックし、調整機構３８を
共に保持するロック機構が形成される。
ブラケット・アセンブリ５８、回転軸６０および１対の
回転軸のベアリング６２を示す。ブラケット・アセンブ
リの円板６４は、シャフト３６に取り付けられてベロー
・スリーブ４６によって密閉され、また１対のフィンガ
６６は、ピボット・ピン７０によって回転軸６０の中心
部６８に係合される。回転軸６０のベアリング面７２
は、回転軸用ベアリング６２の穴７４と係合する。回転
軸用ベアリング６２の耳７６は、ドア２８に取り付けら
れる。多くの機械ねじ７８によって、シャフト３６に対
してドア２８を所定の位置にロックし、調整機構３８を
共に保持するロック機構が形成される。
【００１４】調整機構３８によって、バルブ・シート２
２に対するドア２８の位置について４つの別個の調整が
行われる。第１の調整８０によって、ドア２８の左右の
角度位置を調整する。第２の調整８２によって、ドア２
８の上下の角度位置を調整する。第３の調整８４によっ
て、バルブ・シート２２に対するドア２８の左右の直線
位置を調整する。最後に第４の調整によって、ドア２８
の上下の直線位置を調整する。
２に対するドア２８の位置について４つの別個の調整が
行われる。第１の調整８０によって、ドア２８の左右の
角度位置を調整する。第２の調整８２によって、ドア２
８の上下の角度位置を調整する。第３の調整８４によっ
て、バルブ・シート２２に対するドア２８の左右の直線
位置を調整する。最後に第４の調整によって、ドア２８
の上下の直線位置を調整する。
【００１５】ドア２８をバルブ・シート２２に対して正
確に調整するため、ねじ７８を緩め、直線駆動機構４０
の送入口５０に空気圧を加えてドア２８を閉める。第１
着座面２４を第２着座面３０に押し付けることによっ
て、角度の調整８０および８２を自動的に行ない、直線
の調整８４および８６は、もし必要であれば、手動で行
なう。ドア２８を正確に位置決めすると、ねじ７８を締
めてドア２８を所定の位置にロックする。調整機構３８
がロックされれば、チャンバの内部４８には摩擦を発生
する動作部品は存在しないことに留意する必要がある。
確に調整するため、ねじ７８を緩め、直線駆動機構４０
の送入口５０に空気圧を加えてドア２８を閉める。第１
着座面２４を第２着座面３０に押し付けることによっ
て、角度の調整８０および８２を自動的に行ない、直線
の調整８４および８６は、もし必要であれば、手動で行
なう。ドア２８を正確に位置決めすると、ねじ７８を締
めてドア２８を所定の位置にロックする。調整機構３８
がロックされれば、チャンバの内部４８には摩擦を発生
する動作部品は存在しないことに留意する必要がある。
【００１６】本発明をつくつかの好適な実施例によって
説明したが、当業者にとって本発明の種々の変形と変更
が明らかであると考えられる。従って、添付の特許請求
の範囲は、かかる変形と変更を全て本特許の真の精神と
範囲内に包含することを意図するものである。
説明したが、当業者にとって本発明の種々の変形と変更
が明らかであると考えられる。従って、添付の特許請求
の範囲は、かかる変形と変更を全て本特許の真の精神と
範囲内に包含することを意図するものである。
【図１】本発明によるスリット・バルブ装置の部分断面
正面図であり、スリット・バルブは閉位置にある。
正面図であり、スリット・バルブは閉位置にある。
【図２】図１と同じ図であるが、スリット・バルブは開
位置にある。
位置にある。
【図３】本発明のバルブ・ドアの調整可能な支持体の分
解斜視図である。
解斜視図である。
１０ スリット・バルブ装置 ２０ 転送面 ２２ シート ２４ 第１着座面 ２６ 密閉面 ２８ ドア ３０ 第２着座面 ３２ 直線アクチュエータ機構 ４０ 往復直線駆動機構
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ダナ エル アンドリュース アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94043 マウンテン ヴィュー ビトロ アベニュー 2541 (56)参考文献 特開 平１−40779（ＪＰ，Ａ) 実公 昭51−9736（ＪＰ，Ｙ２) 特許84236（ＪＰ，Ｃ１)
Claims (5)
- 【請求項１】 長軸と短軸を有する細長いほぼ矩形のア
パチャを形成する壁手段であって、上記のアパチャが長
軸に対して平行であり、短軸に対して直角な転送面に沿
って固体の対象物を通過させるように設けられた壁手段
と、 上記のアパチャを取り囲む細長いシート手段であって、
このシート手段が転送面に対して角度をつけて配設され
た密閉面を形成する第１着座面を有する上記シート手段
と、 上記の密閉面に平行な第１着座面と相対して係合可能な
第２着座面を有する細長いドア手段と、 上記の密閉面に直角なアクチュエータ軸に沿って上記の
密閉手段に向かってまたは密閉手段から上記のドア手段
を選択的に移動させる直線アクチュエータ手段と、 を有することを特徴とするスリット・バルブ装置。 - 【請求項２】 上記の転送面と密閉面との間の内角が３
０°〜６０°の範囲であることを特徴とする請求項１記
載のスリット・バルブ装置。 - 【請求項３】 上記の直線アクチュエータ手段が、第１
端部で上記のドア手段と結合され第２端部で往復直線駆
動機構と結合される長いシャフトを有することを特徴と
する請求項１記載のスリット・バルブ装置。 - 【請求項４】 上記のシャフトの第１端部を上記のドア
手段に結合する多軸調整手段をさらに有することを特徴
とする請求項３記載のスリット・バルブ装置。 - 【請求項５】 壁に細長いアパチャが設けられこれを介
して対象物が転送面に平行に通過するアパチャを選択的
に開閉する方法において、 上記の方法が、 上記の転送面に対して角度を付けて配設された密閉面を
形成する第１着座面によってアパチャを取り囲むステッ
プと、 上記の密閉面に直角方向に上記の第２着座面を直線的に
移動させることによって、第２着座面を上記の第１着座
面に係合させまたはこの係合を解くステップと、 を有することを特徴とする方法。
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