KR102523112B1 - 슬릿 밸브 장치 및 이를 이용한 기판 처리 설비 - Google Patents

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KR102523112B1 KR1020160106286A KR20160106286A KR102523112B1 KR 102523112 B1 KR102523112 B1 KR 102523112B1 KR 1020160106286 A KR1020160106286 A KR 1020160106286A KR 20160106286 A KR20160106286 A KR 20160106286A KR 102523112 B1 KR102523112 B1 KR 102523112B1
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이광재
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Abstract

본 발명은 슬릿 밸브 장치 및 이를 이용한 기판 처리 설비에 관한 것이다. 본 발명의 슬릿 밸브 장치는 슬릿 도어; 및 상기 슬릿 도어를 이동시켜, 공정 챔버의 슬릿을 개폐하기 위한 도어 구동 유닛을 포함하고, 상기 슬릿 도어는: 상기 공정 챔버의 슬릿과 마주보는 제1 면; 상기 제1 면에 대향되는 제2 면; 및 상기 제1 면에 형성된 적어도 하나의 반사 홈을 포함한다.

Description

슬릿 밸브 장치 및 이를 이용한 기판 처리 설비{Silt valve apparatus and substrate treating facility using the same}
본 발명은 슬릿 밸브 장치 및 이를 이용한 기판 처리 설비에 관한 것이다.
일반적으로 기판 처리 설비는 공정이 수행되는 공정 챔버와, 가공을 위한 기판을 로드 및/또는 언로드하는 로드락 챔버와, 공정 챔버와 로드락 챔버 사이에 설치되어, 기판이 이송되는 공간을 제공하는 트랜스퍼 챔버를 포함할 수 있다. 이러한, 공정 챔버는 트랜스퍼 챔버와 연결되며, 기판이 이동하는 통로인 슬릿을 가지고 있다.
또한, 기판 처리 설비는 공정 챔버의 슬릿을 개폐하는 슬릿 밸브 장치를 구비할 수 있으며, 슬릿 밸브 장치는 공정 챔버 내에서 공정이 진행될 때, 슬릿을 폐쇄할 수 있다. 이에 따라, 공정 챔버는 공정이 수행되는 동안, 밀폐될 수 있다. 하지만, 공정이 진행되는 동안에 발생하는 입자에 의해 슬릿 밸브 장치가 파손되는 경우가 있어, 이를 방지하기 위한 연구가 진행 중인 추세이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 기판 처리 공정에서 발생된 입자에 의해 손상을 방지하기 위한 슬릿 밸브 장치 및 이를 이용한 기판 처리 설비를 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명에 따른 슬릿 밸브 장치는, 슬릿 도어; 및 상기 슬릿 도어를 이동시켜, 공정 챔버의 슬릿을 개폐하기 위한 도어 구동 유닛을 포함하고, 상기 슬릿 도어는: 상기 공정 챔버의 슬릿과 마주보는 제1 면; 상기 제1 면에 대향되는 제2 면; 및 상기 제1 면에 형성된 적어도 하나의 반사 홈을 포함한다.
본 발명에 따른 기판 처리 설비는, 트랜스퍼 챔버; 슬릿을 통해 상기 트랜스퍼 챔버와 연결되는 공정 챔버; 및 상기 슬릿을 개폐하기 위해 상기 트랜스퍼 챔버 내에 배치되는 슬릿 밸브 장치를 포함하고, 상기 슬릿 밸브 장치는; 상기 슬릿과 마주보는 제1 면과, 상기 제1 면과 대향된 제2 면을 갖는 슬릿 도어를 포함하되, 상기 제1 면에는 적어도 하나의 반사 홈이 형성된 슬릿 도어를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 공정 중 발생된 입자에 의해 슬릿 밸브 장치의 패킹 부재가 손상되는 것을 방지할 수 있고, 슬릿의 기밀성이 유지될 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 기판 처리 설비를 설명하기 위한 개략도이다.
도 2는 도 1의 기판 처리 설비에 구비된 슬릿 밸브 장치를 설명하기 위한 개략도이다.
도 3은 도 2의 슬릿 도어를 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 도 3의 I-I' 선에 따른 단면도이다.
도 5는 도 4의 A 부분을 확대한 확대도이다.
도 6은 도 3의 슬릿 도어의 변형 실시예를 설명하기 위한 단면도이다.
도 7 및 도 8은 도 2의 슬릿 밸브 장치가 공정 챔버에서 입사된 이온을 반사하는 모습을 설명하기 위한 개략도들이다.
도 9은 도 8의 B 부분을 확대한 확대도이다.
도 10은 본 발명 실시예들에 따른 기판 처리 설비에 구비된 슬릿 밸브 장치를 설명하기 위한 개략도이다.
도 11은 도 10의 슬릿 도어를 설명하기 위한 평면도이다.
도면을 참조하여, 본 발명의 개념 및 이에 따른 실시예들에 대해 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 기판 처리 설비를 설명하기 위한 개략도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예들에 따른 기판 처리 설비(1)는 트랜스퍼 챔버(10), 적어도 하나의 공정 챔버(20), 적어도 하나의 로드락 챔버(30), 적어도 하나의 슬릿 밸브 장치(100), 및 설비 전방 단부 모듈(EFEM: equipment front end module, 40) 을 포함할 수 있다.
트랜스퍼 챔버(10)는 기판 처리 설비(1)의 중앙에 배치될 수 있다. 트랜스퍼 챔버(10)는 평면적 관점에서 다각형으로 제공될 수 있고, 공정 챔버(20)와 로드락 챔버(30)를 연결할 수 있다. 예를 들면, 트랜스퍼 챔버(10)는 평면적 관점에서 육각형으로 제공될 수 있다. 트랜스퍼 챔버(10)는 내부 공간을 가질 수 있다. 실시예들에 따르면, 트랜스퍼 챔버(10)의 내부 공간은 진공 상태로 유지될 수 있다.
트랜스퍼 챔버(10)의 내부 공간에 제1 기판 이송 장치(15)가 배치될 수 있다. 제1 기판 이송 장치(15)는 기판을 로드락 챔버(30), 및 공정 챔버(20)로 이송시킬 수 있다. 예를 들면, 제1 기판 이송 장치(15)는 로드락 챔버(30) 내의 기판을 공정 챔버(20) 내로 이송할 수 있고, 공정 챔버(20) 내의 기판을 로드락 챔버(30) 내로 이송할 수 있다.
공정 챔버(20)는 내부에 다양한 기판 처리 공정들(예를 들면, 식각 공정, 증착 공정, 열처리 공정 등)이 수행되는 내부 공간을 제공할 수 있다. 실시예들에 따르면, 공정 챔버(20)는 플라즈마를 이용한 식각 공정이 수행되는 공간을 제공할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 공정 챔버(20)는 복수개 제공될 수 있다. 복수의 공정 챔버들(20)은 트랜스퍼 챔버(10)의 둘레를 따라 배치될 수 있다. 공정 챔버(20)들의 각각은 트랜스퍼 챔버(10)의 일측면과 연결되는 슬릿 밸브 인서트(25)를 포함할 수 있다. 슬릿 밸브 인서트(25)에 대한 자세한 사항은 도 2에서 후술한다.
슬릿 밸브 장치(100)는 공정 챔버(20)의 내부 공간과 트랜스퍼 챔버(10)의 내부 공간을 분리하거나 연결할 수 있다. 이에 대한 자세한 사항은 도 2 내지 도 5에서 후술한다.
설비 전방 단부 모듈(40)은 카세트(55)가 로딩 및 언로딩되는 로드 포트(load port, 50)를 포함할 수 있다. 실시예들에 따르면, 카세트(55)는 푸웁(FOUP: front open unified pod)일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 설비 전방 단부 모듈(40)은 로드락 챔버(30)와 카세트(55) 상호간에 기판을 이송할 수 있다. 설비 전방 단부 모듈(40)은 내부에 제2 기판 이송 장치(45)를 포함할 수 있다. 제2 기판 이송 장치(45)는 카세트(50) 내에 수용된 기판 (이하, 미처리 기판)을 로드락 챔버(30)로 이송할 수 있다. 또한, 제2 기판 이송 장치(45)는 로드락 챔버(30)에 배치된 처리 기판을 카세트(50)으로 이송할 수 있다. 여기서, 처리 기판이란, 공정 챔버들(20)에서 기판 처리 공정을 마친 기판을 의미할 수 있다. 또한, 제2 기판 이송 장치(45)는 대기압 상태에서 작동할 수 있다. 이에 따라, 설비 전방 단부 모듈(40)의 내부 공간은 대기압 상태일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 실시예에 따르면, 제1 및 제2 기판 이송 장치(45)는 암 구조로 제공되나, 이에 한정되지 않고, 기판 처리 공정에서 사용되는 다양한 로봇들로 제공될 수 있다.
로드락 챔버(30)는 트랜스퍼 챔버(10)와 설비 전방 단부 모듈(40) 사이에 배치되어, 트랜스퍼 챔버(10)와 설비 전방 단부 모듈(40)을 연결할 수 있다. 로드락 챔버(30)는 내부 공간의 압력을 조절하는 압력 조절 유닛(미도시)을 가질 수 있다. 로드락 챔버(30)는 제1 기판 이송 장치(15)가 기판을 로딩 또는 언로딩하는 때, 트랜스퍼 챔버(10)와 유사한 진공압 상태를 형성할 수 있다. 또한, 로드락 챔버(30)는 제2 기판 이송 장치(45)가 기판을 로딩 또는 언로딩하는 때, 대기압 상태를 형성할 수 있다. 이에 따라, 로드락 챔버(30)는 트랜스퍼 챔버(10)의 기압 상태가 변화되는 것을 방지할 수 있다. 실시예에 따르면, 로드락 챔버(30)는 2개가 구비될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.
도 2는 도 1의 기판 처리 설비에 구비된 슬릿 밸브 장치를 설명하기 위한 개략도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 공정 챔버들(20)의 각각은 전술한 슬릿 밸브 인서트(25)를 포함할 수 있다. 슬릿 밸브 인서트(25)는 공정 챔버(20)와 트랜스퍼 챔버(10) 사이에서, 기판이 이동하는 통로인 슬릿(21)을 가질 수 있다.
슬릿(21)은 공정 챔버(20)의 내부 공간과 트랜스퍼 챔버(10)의 내부 공간을 연결할 수 있다. 슬릿(21)은 공정 챔버(20)로부터 트랜스퍼 챔버(10)를 향하는 제1 방향(D1)을 따라 형성될 수 있다. 즉, 슬릿(21)의 길이 방향은 제1 방향(D1)일 수 있다. 또한, 슬릿 밸브 인서트(25)의 내측면은 제1 방향(D1)과 평행할 수 있다.
실시예들에 따르면, 기판은 원형의 웨이퍼(wafer)를 의미할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 이에 따라, 기판은 대략 200mm 또는 300mm의 직경을 가질 수 있다. 이에 따라, 슬릿(21)은 제1 방향(D1)과 수직한 제2 방향(D2)의 폭이 기판의 직경보다 크게 형성될 수 있다. 또한, 슬릿(21)의 일단은 제1 방향(D1)과 소정의 각도로 경사질 수 있다. 여기서, 슬릿(21)의 일단은 슬릿(21)의 제1 방향(D1)의 끝단을 의미할 수 있고, 이하, 슬릿(21)의 일단은 출입구(22)로 지칭하기로 한다. 예를 들면, 출입구(22)는 제1 방향(D1)과 대략 120도(deg)의 각도로 경사질 수 있다.
슬릿 밸브 장치(100)는 슬릿 밸브 인서트(25)의 슬릿(21)을 개폐할 수 있다. 슬릿 밸브 장치(100)는 트랜스퍼 챔버(10) 내에 배치될 수 있다. 또한, 슬릿 밸브 장치(100)는 출입구(22)와 인접하게 배치될 수 있다. 슬릿 밸브 장치(100)는 슬릿 도어(110), 및 도어 구동 유닛(120)을 포함할 수 있다.
슬릿 도어(110)는 서로 대향된 제1 면(111)과 제2 면(112)을 가질 수 있다. 제1 면(111)은 출입구(22)와 마주보게 배치될 수 있다. 또한, 슬릿 도어(110)는 제1 면(111)에 형성된 적어도 하나의 반사 홈(113)과, 제1 면(111) 상에 배치된 패킹 부재(115)를 포함할 수 있다. 슬릿 도어(110)의 제1 면(111)은 출입구(22)와 대략 평행할 수 있다. 제1 면(111)은 매끄럽게 형성될 수 있다. 예를 들면, 제1 면(111)은 대략 1nmRa 이하의 표면 거칠기(roughness)를 가질 수 있다
또한, 반사 홈(113)은 제1 방향(D1)과 수직한 제2 방향(D2)을 따라 형성될 수 있다. 슬릿 도어(110)에 대한 자세한 사항은 도 3 내지 도 5에서 후술한다.
도어 구동 유닛(120)은 슬릿 도어(110)를 이동시켜, 슬릿 밸브 인서트(25)의 슬릿(21)을 개폐시킬 수 있다.
도어 구동 유닛(120)은 슬릿 도어(110)와 연결될 수 있다. 실시예들에 따르면, 도어 구동 유닛(120)은 슬릿 도어(110)를 직선 왕복 운동시킬 수 있다. 예를 들면, 도어 구동 유닛(120)은 슬릿 도어(110)를 제3 방향(D3)으로 직선 왕복 운동시킬 수 있다. 제3 방향(D3)는 출입구(22)와 대략 수직한 방향일 수 있다. 제3 방향(D3)은 제1 방향(D1)과 소정의 각도(예를 들면, 대략 120도(deg))만큼 경사질 수 있다. 이와 달리, 다른 실시예에서, 도어 구동 유닛(120)는 슬릿 도어(110)를 회전 운동시킬 수 있다. 또한, 도어 구동 유닛(120)은 도어 구동 유닛(120)은 공압 실린더일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 또한, 도어 구동 유닛(120)은 트랜스퍼 챔버(10)에 설치될 수 있다. 예를 들면, 도어 구동 유닛(120)은 트랜스퍼 챔버(10)의 바닥면에 설치될 수 있다. 또한, 도어 구동 유닛(120)은 일단에 슬릿 도어(110)와 연결되는 연결부(미도시)를 포함할 수 있다.
도 3은 도 2의 슬릿 도어를 설명하기 위한 평면도이다. 도 4는 도 3의 I-I' 선에 따른 단면도이다. 도 5는 도 4의 A 부분을 확대한 확대도이다. 도 6은 도 3의 슬릿 도어의 변형 실시예를 설명하기 위한 단면도이다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 실시예에 따른 슬릿 도어(110)는 제2 방향(D2)으로 길게 연장된 플레이트 형상으로 제공될 수 있다. 예를 들면, 슬릿 도어(110)의 제2 방향(D2)의 길이는 대략 200mm일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 또한, 슬릿 도어(110)는 제2 면(112)에 도어 구동 유닛(120)의 연결부(미도시)가 삽입되는 연결 홈(114)이 제공될 수 있다. 연결 홈(114)은 슬릿 도어(110)의 대략 중심에 배치될 수 있다.
슬릿 도어(110)의 반사 홈(113)은 슬릿 도어(110)의 길이 방향을 따라 길게 제공될 수 있다. 여기서, 슬릿 도어(110)의 길이 방향은 제2 방향(D2)을 의미할 수 있다. 반사 홈(113)은 복수개 제공될 수 있다. 실시예들에 따르면, 슬릿 도어(110)는 5개의 반사 홈들(113)을 포함할 수 있다. 복수의 반사 홈들(113) 중 적어도 2개는 제2 방향(D2)의 길이가 상이할 수 있다. 예를 들면, 반사 홈들(113) 중 가운데에 배치된 반사 홈은 나머지 반사 홈들의 길이보다 제2 방향(D2)의 길이가 클 수 있다. 또한, 슬릿 도어(110)는 제2 방향(D2)의 양단이 곡률지게 제공될 수 있다.
반사 홈들(113)의 각각은 제1 경사면들(1131)과 제2 경사면(1132)을 포함할 수 있다. 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132)은 제1 면(111)으로부터 제2 면(112)을 향해 경사지게 연장될 수 있다. 제2 면(112)을 향해 연장된 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132)은 서로 연결되어, 소정의 각도(α)를 형성할 수 있다. 즉, 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132)은 서로 연결되어, 반사 홈(113)을 형성할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132)은 평면으로 제공될 수 있다. 이에 따라, 반사 홈들(113)은 대략 V자 형상의 단면을 갖도록 제공될 수 있다.
제1 및 제2 경사면들(1131, 1132)은 제1 면(111)과 대략 45도의 각도를 형성하며, 연장될 수 있다. 또한, 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132)이 이루는 각도(α)는 대략 85도 내지 대략 95도일 수 있다. 예를 들면, 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132)이 이루는 각도(α)는 대략 90도일 수 있다.
제1 및 제2 경사면들(1131, 1132) 중 어느 하나는 슬릿 밸브 인서트(25)의 슬릿(21)의 길이 방향과 수직하게 배치될 수 있다. 또한, 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132) 중 나머지 하나는 슬릿(21)의 길이 방향과 평행하게 배치될 수 있다. 실시예에 따르면, 슬릿(21)의 길이 방향은 제1 방향(D1)일 수 있다.
또한, 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132) 중 어느 하나는 슬릿 밸브 인서트(25)의 슬릿(21) 내의 입자의 이동 방향과 수직하게 배치될 수 있다. 또한, 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132) 중 나머지 하나는 슬릿(21) 내의 입자의 이동 방향과 평행할 수 있다. 실시예들에 따르면, 슬릿(21) 내에서 이동하는 입자는 공정 챔버(20)에서 수행되는 공정 중에서 발생되는 이온일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 이에 대한 자세한 사항은 도 7에서 후술한다.
다른 실시예에 따르면, 반사 홈(113)의 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132)은 곡면으로 제공될 수 있다. 이에 따라, 반사 홈(113)은, 도 6에 도시된 바와 같이, 대략 U자 또는 물결 형상의 단면을 가질 수 있다. 그러나, 본 실시예들이 이에 한정되는 것은 아니다.
제1 및 제2 경사면들(1131, 1132)은 대략 1nmRa 이하의 표면 거칠기(roughness)를 가질 수 있다. 예를 들면, 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132)는 샌딩 공정 등을 통해 대략 1nmRa 이하의 표면 거칠기를 가질 수 있다. 이에 따라, 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132)과 부딪치는 입자가 난반사되는 것을 줄이거나 방지할 수 있다.
패킹 부재(115)는 슬릿(21)과 슬릿 도어(110) 사이의 기밀을 유지할 수 있다. 실시예에 따르면, 패킹 부재(115)는 오링(O-ring)일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 또한, 패킹 부재(115)는 탄성 재질일 수 있다. 예를 들면, 패킹 부재(115)는 고무 재질로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.
패킹 부재(115)는 슬릿 도어(110)가 슬릿(21)을 폐쇄할 때, 출입구(22)의 경계를 둘러쌀 수 있다. 또한, 패킹 부재(115)는 반사 홈들(113)을 둘러쌀 수 있다. 패킹 부재(115)는 슬릿 도어(110)와 유사한 형상으로 제공될 수 있다. 실시예에 따르면, 슬릿 도어(110)는 하나의 패킹 부재(115)를 구비하나, 이에 한정되지 않고, 복수 개를 구비할 수 있다. 이에 따라, 슬릿(21)과 슬릿 도어(110) 사이의 기밀성이 향상될 수 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 슬릿 밸브 장치(100)의 작용을 설명하면 다음과 같다.
도 7 및 도 8은 도 2의 슬릿 밸브 장치가 공정 챔버에서 입사된 이온을 반사하는 모습을 설명하기 위한 개략도들이다. 도 9은 도 8의 B 부분을 확대한 확대도이다. 도 7은 슬릿 도어(110)에 반사 홈들(113)이 없는 경우, 이온이 반사되는 모습을 설명하기 위한 개략도이고, 도 8은 슬릿 도어(110)에 반사 홈들(113)이 있는 경우, 이온이 반사되는 모습을 설명하기 위한 개략도이다.
도 7을 참조하면, 슬릿 밸브 장치(101)의 슬릿 도어(110)가 슬릿(21)을 폐쇄한 때, 공정 챔버(20)의 내부 공간은 밀폐될 수 있다. 공정 챔버(20)는 내부 공간이 밀폐된 후, 플라즈마 식각 공정이 수행될 수 있다. 플라즈마 식각 공정시, 이온이 발생하게 되고, 이온(II)은 슬릿(21)으로 유입될 수 있다. 유입된 이온(II)은 슬릿(21) 내에서 의해 직선 운동을 할 수 있다. 예를 들면, 유입된 이온(II)은 슬릿(21)의 길이 방향인 제1 방향(D1)으로 직선 운동할 수 있다.
이온(II)은 출입구(22)을 폐쇄한 슬릿 도어(110)의 제1 면(111)에 부딪칠 수 있다. 슬릿 도어(110)의 제1 면(111)이 제1 방향(D1)과 대략 120도(deg)의 경사를 형성하기 때문에, 유입된 이온(II)는 패킹 부재(115)를 향해 반사될 수 있다. 이에 따라, 패킹 부재(115)는 제1 면(111)에서 반사된 이온(RI)에 의해 손상될 수 있다. 또한, 패킹 부재(115)의 손상에 의해 슬릿(21)과 슬릿 도어(110)의 기밀성이 저하될 수 있다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 슬릿(21)으로 유입된 이온(II)은 제1 면(111)에 형성된 반사 홈들(113)에 부딪칠 수 있다. 반사 홈들(113)의 제1 및 제2 경사면들(1131, 1132) 중 어느 하나는 제1 방향(D1)과 수직하게 배치될 수 있다. 실시예에 따르면, 제2 경사면(1132)이 제1 방향(D1)과 수직하게 배치될 수 있다. 이에 따라, 제2 경사면(1132)에 부딪친 이온(RI)은 제1 방향(D1)과 반대 방향으로 반사될 수 있다. 그러므로, 이온(RI)은 패킹 부재(115)로 반사되지 않아, 반사된 이온(RI)에 의해 패킹 부재(115)의 손상이 방지될 수 있다. 또한, 제2 경사면(1132)이 매끄럽게 형성됨으로써, 난반사로 인해 이온(RI)이 패킹 부재(115)를 향해 반사되는 것을 방지할 수 있다.
도 10은 본 발명 실시예들에 따른 기판 처리 설비에 구비된 슬릿 밸브 장치를 설명하기 위한 개략도이다. 도 11은 도 10의 슬릿 도어를 설명하기 위한 평면도이다. 설명의 간결함을 위해, 도 2 내지 도 3을 참조하여 설명한 실시예와 실질적으로 동일한 구성요소에 대한 설명은 생략하거나 간략히 설명한다.
도 10 및 도 11의 슬릿 밸브 장치(101)는 도 2 및 도 3의 슬릿 밸브 장치(100, 도 2 참조)가 슬릿 도어(110, 도 2 참조)를 경사지게 왕복 이동시키는 것과 달리, 슬릿 도어(110)를 수직하게 왕복 이동시킬 수 있다. 실시예들에 따르면, 도어 구동 유닛(120)은 슬릿 도어(110)를 제1 및 제2 방향들(D1, D2)과 수직한 제4 방향(D4)으로 왕복 이동시킬 수 있다.
도 10 및 도 11의 패킹 부재(115)는 도 2 및 도 3의 패킹 부재(115, 도 2 참조)와 달리, 복수의 오링들(1152, 1151)를 포함할 수 있다. 실시예들에 따르면, 패킹 부재(115)는 반사 홈들(113)을 둘러싸는 제1 오링(1151) 및 제1 오링(1151)을 둘러싸는 제2 오링(1152)을 포함할 수 있다. 이에 따라, 패킹 부재(115)는 슬릿 도어(110)와 슬릿(21) 사이의 기밀을 향상시킬 수 있다. 또한, 슬릿 밸브 인서트(25)는 슬릿 도어의 제1 면(111)과 마주보는 면에 제1 오링(1151)과 제2 오링(1152)이 삽입되는 삽입 홈들(미도시)을 가질 수 있다. 슬릿 도어(110)의 제1 면(111)은 매끄럽게 형성될 수 있다. 예를 들면, 제1 면(111)은 대략 1nmRa 이하의 표면 거칠기(roughness)를 가질 수 있다. 이에 따라, 플라즈마의 입자들을 반사하는 제1 면(111)의 반사 성능이 향상될 수 있다.
슬릿 도어(110)는 제2 방향(D2)으로 길게 형성된 플레이트 형상으로 제공될 수 있다. 예를 들면, 슬릿 도어(110)의 제2 방향(D2)의 길이는 대략 300mm일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안될 것이다.
1: 기판 처리 설비 10: 트랜스퍼 챔버
15: 제1 기판 이송 장치 20: 공정 챔버
21: 슬릿 25: 슬릿 밸브 인서트
30: 로드락 챔버 40: 설비 전방 단부 모듈
45: 제2 기판 이송 장치 50: 로드 포트
55: 카세트 100, 101: 슬릿 밸브 장치
110: 슬릿 도어 111: 제1 면
112: 제2 면 113: 반사 홈
1131: 제1 경사면 1132: 제2 경사면
115: 패킹 부재 120: 도어 구동 유닛

Claims (10)

  1. 슬릿 도어; 및
    상기 슬릿 도어를 이동시켜, 공정 챔버의 슬릿을 개폐하기 위한 도어 구동 유닛을 포함하고,
    상기 슬릿 도어는:
    상기 공정 챔버의 슬릿과 마주보는 제1 면;
    상기 제1 면에 대향되는 제2 면; 및
    상기 제1 면에 형성된 적어도 하나의 반사 홈을 포함하되,
    상기 반사 홈은:
    상기 제1 면으로부터 상기 제2 면을 향해 경사지게 연장되는 제1 경사면; 및
    상기 제1 면으로부터 상기 제2 면을 향해 경사지게 연장되고, 상기 제1 경사면과 연결되는 제2 경사면을 포함하는 슬릿 밸브 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 반사 홈은, 상기 슬릿 도어의 길이 방향을 따라 길게 제공되는 슬릿 밸브 장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 상기 제2 경사면들 중 어느 하나는 상기 공정 챔버의 상기 슬릿의 길이 방향과 수직하게 배치되는 슬릿 밸브 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 경사면들은 1nmRa 이하의 표면 거칠기(roughness)를 갖는 슬릿 밸브 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 경사면들은 평면 또는 곡면인 슬릿 밸브 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 경사면들이 이루는 각도는 85도 내지 95도인 슬릿 밸브 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제1 면 상에 배치되고, 상기 반사 홈을 둘러싸는 패킹 부재를 더 포함하는 슬릿 밸브 장치.
  9. 트랜스퍼 챔버;
    슬릿을 통해 상기 트랜스퍼 챔버와 연결되는 공정 챔버; 및
    상기 슬릿을 개폐하기 위해 상기 트랜스퍼 챔버 내에 배치되는 슬릿 밸브 장치를 포함하고,
    상기 슬릿 밸브 장치는;
    상기 슬릿과 마주보는 제1 면과, 상기 제1 면과 대향된 제2 면을 갖는 슬릿 도어를 포함하되, 상기 제1 면에는 적어도 하나의 반사 홈이 형성되고,
    상기 반사 홈은:
    상기 제1 면으로부터 상기 제2 면을 향해 경사지게 연장되는 제1 경사면; 및
    상기 제1 면으로부터 상기 제2 면을 향해 경사지게 연장되고, 상기 제1 경사면과 연결되는 제2 경사면을 포함하는 기판 처리 설비.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 경사면들 중 어느 하나는 상기 공정 챔버의 상기 슬릿의 길이 방향과 수직한 경사면을 갖는 기판 처리 설비.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100210693B1 (ko) * 1990-04-20 1999-07-15 조셉 제이. 스위니 슬릿밸브장치 및 방법
JP3012019B2 (ja) 1991-03-30 2000-02-21 芝浦メカトロニクス株式会社 ゲートバルブ
US20030129044A1 (en) 2002-01-07 2003-07-10 Applied Materials, Inc. Erosion resistant slit valve
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