KR101668687B1 - 퍼니스형 기판 처리 설비 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 보트 승강 장치를 제공한다. 본 발명의 보트 승강 장치는 수직하게 제공되는 레일과, 상기 레일에 대하여 자기적으로 부상되는 이송블록을 구비한 자기부상 부재; 상기 이송블록에 추진력을 제공하는 드라이브 유닛; 및 상기 드라이브 유닛의 추진력을 상기 이송블록에 전달하는 커플링 부재를 포함할 수 있다.

Description

퍼니스형 기판 처리 설비{Substrate processing Apparatus of Furnace Type}
본 발명은 기판 제조 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 기판들이 적재된 보트를 승강시키는 보트 승강 장치 및 이를 갖는 퍼니스형 기판 처리 설비에 관한 것이다.
피처리판, 예를 들면 반도체 기판의 각종 처리에 있어서는, CVD장치, 에피택셜 성장장치등의 박막(璞膜)형성장치, 산화막형성장치, 불순물의 도핑을 위해 열확산 장치등의 열처리장치가 사용된다.
상기 반도체 기판의 각종 열처리에 사용되는 일반적인 확산형 열처리장치는, 공정튜브와, 공정튜브를 둘러싸도록 설치되는 히터 어셈블리 그리고 기판들이 적재된 보트를 공정 튜브로 반입 또는 반출하기 위한 보트 승강 장치를 포함한다.
확산형 열처리장치에서 사용되는 보트 승강장치는 보트를 승강시키기 위해 LM(Linear Motion)을 사용하여 컴팩트하게 구성된다. 그리나, 공정 중 챔버 내부에 LM을 구동시키기 위한 윤활제에서 나오는 유분과 업/다운시 마찰에 의한 파티클은 양품의 반도체 생산을 저해하는 주 원인이 되고 있다.
본 발명은 챔버 내에서의 보트 승강시 발생하는 파티클 발생을 방지할 수 있는 보트 승강 장치 및 퍼니스형 기판 처리 설비를 제공하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 수직하게 제공되는 레일과, 상기 레일에 대하여 자기적으로 부상되는 이송블록을 구비한 자기부상 부재; 상기 이송블록에 추진력을 제공하는 드라이브 유닛; 및 상기 드라이브 유닛의 추진력을 상기 이송블록에 전달하는 커플링 부재를 포함하는 보트 승강 장치를 제공하고자 한다.
또한, 상기 레일은 제1부상용 자성체를 포함하고, 상기 이송블록은 상기 제1부상용 자성체와 대향되어 반발력이 작용하는 제2부상용 자성체를 포함할 수 있다.
또한, 상기 커플링 부재는 상기 드라이브 유닛에 의해 승강되는 제1커플러; 및 상기 제1커플러와는 일정한 간격이 유지되도록 배치되고 상기 제1커플러와 자기적으로 결합되어 상기 제1커플러와 함께 승강되는 제2커플러를 포함할 수 있다.
또한, 상기 커플링 부재는 상기 제1커플러와 상기 제2커플러 사이를 격리하면서 상기 제1커플러의 이동 경로를 실링하는 실링부재를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1커플러는 소정 두께를 갖는 원통형 몸체; 및 상기 원통형 몸체로부터 연장되어 상기 드라이브 유닛에 연결되는 연결부를 포함하고, 상기 제2커플러는 상기 원통형 몸체의 일부를 감싸도록 일부가 오픈된 링형 몸체를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1커플러는 제1영구자석부를 포함하고; 상기 제2커플러는 상기 제1영구자석부와 자기적으로 결합되는 제2영구자석부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1영구자석부는 이웃하는 자극이 서로 다른 극성을 갖도록 배치되는 복수개의 제1영구자석들을 포함하고, 상기 제2영구자석부는 이웃하는 자극이 서로 다른 극성을 갖도록 배치되고, 또 대응하는 상기 제1 영구자석들에 대하여도 서로 다른 극성을 갖도록 배치되는 복수개의 제2영구자석들을 포함할 수 있다.
또한, 상기 드라이브 유닛은 액츄에이터에 연동회전되는 볼스크류; 상기 볼스크류의 회전에 연동하여 상기 볼스크류의 길이방향을 따라 상하로 직성이동되고 상기 제1커플러와 연결되는 이동 베이스를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판들이 배치식으로 적재되는 보트가 구비된 로드락 챔버; 상기 로드락 챔버의 상부 또는 하부에 배치되고, 상기 보트에 적재된 기판들을 공정 처리하는 공정 챔버; 상기 공정챔버로 상기 보트를 로딩/언로딩시키는 보트 승강 장치를 포함하되; 상기 로드락 챔버 내에 수직하게 설치되는 레일, 상기 레일에 대하여 자기적으로 부상되는 이송블록을 구비한 자기부상 부재; 상기 로드락 챔버의 외부에 위치되고, 상기 이송블록에 추진력을 제공하는 드라이브 유닛; 및 상기 드라이브 유닛의 추진력을 상기 이송블록에 전달하는 커플링 부재를 포함하는 퍼니스형 기판 처리 설비를 제공하고자 한다.
또한, 상기 커플링 부재는 상기 드라이브 유닛에 의해 승강되는 제1커플러; 및 상기 제1커플러와는 일정한 간격이 유지되도록 배치되고 상기 제1커플러와 자기적으로 결합되어 상기 제1커플러와 함께 승강되는 제2커플러를 포함할 수 있다.
또한, 상기 로드락 챔버는 일 측면에 상기 커플링 부재의 이동 경로를 따라 수직방향으로 길게 형성된 이동 통로를 제공하고, 상기 제1커플러는 상기 로드락 챔버 내에 위치되고 소정 두께를 갖는 원통형 몸체; 및 상기 원통형 몸체로부터 연장되어 상기 이동 통로를 통해 상기 로드락 챔버의 외부에 위치한 상기 드라이브 유닛에 연결되는 연결부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 커플링 부재는 상기 제1커플러와 상기 제2커플러 사이를 격리하면서 상기 제1커플러의 이동 경로인 상기 이동 통로를 실링하는 실링부재를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제2커플러는 상기 원통형 몸체의 일부를 감싸도록 일부가 오픈된 링형 몸체를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1커플러는 제1영구자석부를 포함하고; 상기 제2커플러는 상기 제1영구자석부와 자기적으로 결합되는 제2영구자석부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1영구자석부는 이웃하는 자극이 서로 다른 극성을 갖도록 배치되는 복수개의 제1영구자석들을 포함하고, 상기 제2영구자석부는 이웃하는 자극이 서로 다른 극성을 갖도록 배치되고, 또 대응하는 상기 제1 영구자석들에 대하여도 서로 다른 극성을 갖도록 배치되는 복수개의 제2영구자석들을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 자기부상 방식으로 승강되고, 추진력은 챔버 외부에서 제공됨으로써 보트 승강시 발생하는 파티클 발생을 방지할 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 제1커플러와 제2커플러가 영구자석에 의해 상호 결합되어 있고, 제1커플러가 드라이브 유닛에 연결됨으로써 보트 승강 장치로 제공되는 전력이 차단되더라도 이송 블록이 낙하하는 사고를 예방할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리용 클러스터 설비를 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리를 위한 클러스터 설비를 나타내는 측면도이다.
도 3은 공정 처리 모듈을 보여주는 도면이다.
도 4는 보트 승강 장치를 보여주는 단면도이다.
도 5는 보트 승강 장치를 제2로드락 챔버 안쪽에서 바라본 사시도이다.
도 6은 보트 승강 장치를 제2로드락 챔버 바깥쪽에서 바라본 사시도이다.
본 발명의 다른 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술 되는 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
만일 정의되지 않더라도, 여기서 사용되는 모든 용어들(기술 혹은 과학 용어들을 포함)은 이 발명이 속한 종래 기술에서 보편적 기술에 의해 일반적으로 수용되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적인 사전들에 의해 정의된 용어들은 관련된 기술 그리고/혹은 본 출원의 본문에 의미하는 것과 동일한 의미를 갖는 것으로 해석될 수 있고, 그리고 여기서 명확하게 정의된 표현이 아니더라도 개념화되거나 혹은 과도하게 형식적으로 해석되지 않을 것이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다' 및/또는 이 동사의 다양한 활용형들 예를 들어, '포함', '포함하는', '포함하고', '포함하며' 등은 언급된 조성, 성분, 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 조성, 성분, 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 본 명세서에서 '및/또는' 이라는 용어는 나열된 구성들 각각 또는 이들의 다양한 조합을 가리킨다.
도 1 및 도 2는 각각 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리용 클러스터 설비를 나타내는 평면도 및 측면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 처리용 클러스터 설비(1)는 설비 전방 단부 모듈(900), 로드락 챔버(200), 트랜스퍼 챔버(300) 및 공정 처리 모듈(400)을 포함한다.
설비 전방 단부 모듈(Equipment Front End Module, EFEM)(900)은 클러스터 설비(1)의 전면에 배치된다. 설비 전방 단부 모듈(900)은 카세트(C)가 로딩 및 언로딩되는 로드 포트(load port)(910)와, 카세트(C)로부터 기판을 인출하는 제 1 기판 이송 로봇(930)이 구비되어 카세트(C)와 로드락 챔버(200) 간에 기판을 이송하도록 하는 인덱스 챔버(920)를 포함한다. 여기서, 제 1 기판 이송 로봇(930)은 ATM(Atmosphere) 로봇이 사용된다.
본 실시예에서 기판은 반도체 웨이퍼일 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고, 기판은 유리 기판 등과 같이 다른 종류의 기판일 수 있다.
인덱스 챔버(920)는 로드 포트(910)와 로드락 챔버(200) 사이에 위치된다. 인덱스 챔버(920)는 전면 패널(922), 후면 패널(924) 그리고 양측면 패널(926)을 포함하는 직육면체의 형상을 가지며, 그 내부에는 기판을 이송하기 위한 제 1 기판 이송 로봇(930)이 제공된다. 도시하지는 않았지만, 인덱스 챔버(920)는 내부 공간으로 입자 오염물이 유입되는 것을 방지하기 위하여, 벤트들(vents), 층류 시스템(laminar flow system)과 같은 제어된 공기 유동 시스템을 포함할 수 있다.
인덱스 챔버(920)는 로드락 챔버(200)와 접하는 후면 패널(924)에 로드락 챔버(200)와의 웨이퍼 이송을 위한 통로가 게이트 밸브(GV1)에 의해 개폐된다.
로드 포트(910)는 인덱스 챔버(920)의 전면 패널(922) 상에 일렬로 배치된다. 로드 포트(204)에는 카세트(C)가 로딩 및 언로딩된다. 카세트(C)는 전방이 개방된 몸체와 몸체의 전방을 개폐하는 도어를 갖는 전면 개방 일체식 포드(front open unified pod)일 수 있다.
인덱스 챔버(920)의 양측면 패널(926)에는 더미(dummy) 기판 저장부(940)가 제공된다. 더미 기판 저장부(940)는 더미 기판(DW)이 적층 보관되는 더미 기판 보관 용기(942)를 제공한다. 더미 기판 보관 용기(942)에 보관되는 더미 기판(DW)은 공정 처리 모듈(400)에서 기판이 부족할 경우 사용된다.
도시하지는 않았지만, 더미 기판 보관 용기(942)는 인덱스 챔버의 측면이 아닌 다른 챔버로 변경하여 제공될 수 있다. 일 예로, 더미 기판 보관 용기(942)는 트랜스퍼 챔버(300)에 설치될 수도 있다.
로드락 챔버(200)는 게이트 밸브(GV1)를 통해 설비 전방 단부 모듈(900)과 연결된다. 로드락 챔버(200)는 설비 전방 단부 모듈(900)과 트랜스퍼 챔버(300) 사이에 배치된다. 설비 전방 단부 모듈(900)과 트랜스퍼 챔버(300) 사이에는 3 개의 로드락 챔버(200)가 제공될 수 있다. 로드락 챔버(200)는 내부 공간이 대기압와 진공압으로 선택적 전환이 가능하다. 로드락 챔버(200)에는 기판이 적재되는 적재 용기(210)가 제공된다.
트랜스퍼 챔버(300)는 게이트 밸브(GV2)를 통해 로드락 챔버(200)와 연결된다. 트랜스퍼 챔버(300)는 로드락 챔버(200)와 공정 처리 모듈(400) 사이에 배치된다. 트랜스퍼 챔버(300)는 직육면체의 박스 형상을 가지며, 그 내부에는 기판을 이송하기 위한 제 2 기판 이송 로봇(330)이 제공된다. 제 2 기판 이송 로봇(330)은 로드락 챔버(200)와 공정 처리 모듈(400)의 처리 모듈용 제2로드락 챔버(410)에 구비된 보트(130) 간에 기판을 이송한다. 제 2 기판 이송 로봇(330)은 1장의 기판 또는 5장의 기판을 반송할 수 있는 앤드 이펙터를 포함할 수 있다. 여기서, 제 2 기판 이송 로봇(330)은 진공 환경에서 기판을 이송시킬 수 있는 진공 로봇이 사용된다.
트랜스퍼 챔버(300)에는 복수 개의 공정 처리 모듈(400)이 게이트 밸브(GV3)를 통해 연결될 수 있다. 일 예로, 트랜스퍼 챔버(300)에는 3 개의 공정 처리 모듈(400)이 연결될 수 있으며, 그 개수는 이에 제한되지 않는다.
도 2를 참조하면, 클러스터 설비(1)는 진공 배기부(500)와 가스 공급부(600)를 포함한다. 진공 배기부(500)는 로드락 챔버(200), 트랜스퍼 챔버(300), 처리 모듈용 로드락 챔버(410) 그리고 프로세스 챔버(100) 각각에 연결되어 각 챔버에 진공압을 제공하는 진공 라인(510)을 포함한다. 가스 공급부(600)는 로드락 챔버(200), 트랜스퍼 챔버(300), 처리 모듈용 로드락 챔버(410) 그리고 프로세스 챔버(100) 간의 차압 형성을 위해 각각의 챔버에 가스를 공급하는 가스 공급라인(610)을 포함한다.
또한, 인덱스 챔버(920)와 로드락 챔버(200), 로드락 챔버(200)와 트랜스퍼 챔버(300), 그리고 트랜스퍼 챔버(300)와 처리 모듈용 로드락 챔버(410)는 게이트밸브(GV1, GV2, GV3)를 통해 연결되어, 각각의 챔버 압력을 독립적으로 제어할 수 있다.
퍼니스형 반도체 설비인 공정 처리 모듈(400)은 제2로드락 챔버(410)와 프로세스 챔버(100)를 포함한다.
제2로드락 챔버(410)는 게이트 밸브(GV3)를 통해 트랜스퍼 챔버(300)와 연결된다. 제2로드락 챔버(410)에는 기판들이 배치식으로 적재되는 보트(130)를 프로세스 챔버(100)의 공정튜브(110)의 내부공간으로 로딩/언로딩시키기 위한 보트 승강 장치(800)가 제공된다. 일 예로, 보트(130)는 기판들이 25매, 50매씩 적재될 수 있도록 슬롯들을 포함할 수 있다. 제2로드락 챔버(410)의 상부에는 프로세스 챔버(100)가 배치된다.
도 3은 공정 처리 모듈을 보여주는 도면이다.
도 3을 참조하면, 프로세스 챔버(100)는 박막 증착을 위한 장치 구성을 포함할 수 있다. 일 예로, 프로세스 챔버(100)는 공정튜브(110), 히터 어셈블리(120), 기판 적재 유닛인 보트(130), 사이드 노즐부(140) 그리고 공급부(190)를 포함한다.
공정 튜브(110)는 보트(130)가 수용되는 이너 튜브(112)와, 이너 튜브(112)를 감싸는 아웃 터 튜브(114)를 포함한다. 공정 튜브(110)는 기판이 적재된 보트(130)가 로딩되어 기판들 상에 박막 증착 공정이 진행되는 내부 공간을 제공한다. 공정 튜브(110)는 높은 온도에서 견딜 수 있는 재질, 예컨대 석영으로 제작될 수 있다.
이너 튜브(112)와 아웃터 튜브(114)는 상부가 막혀 있는 원통관 형상으로 이루어진다. 도시하지 않았지만, 이너 튜브(112)는 일측에 길이방향(수직한 방향)을 따라 절개부가 형성될 수 있다. 일 예로, 절개부는 슬롯형태로 제공될 수 있다. 절개부는 사이드 노즐부(140)와 일직선상에 형성될 수 있다.
다시 도 1 내지 도 3을 참조하면, 공정 튜브(110)는 플랜지(118) 일측에 내부를 감압시키기 위해 내부 공기를 강제 흡입하여 배기하기 위한 배기 포트(119)와, 배기 포트(119) 반대편에 공정 튜브(110) 내부로 공정 가스를 주입하기 위한 사이드 노즐부(140) 장착을 위한 노즐 포트(117)가 제공된다. 배기 포트(119)는 공정 시 공정 튜브(110) 내 공기를 외부로 배출시키기 위해 제공된다. 배기 포트(119)에는 진공 배기 장치(미도시)가 연결되며, 배기 포트(119)를 통해 공정 튜브(110)로 공급되는 공정 가스의 배기 및 내부 감압이 이루어진다. 히터 어셈블리(120)는 공정튜브(110)를 둘러싸도록 설치된다.
보트(130)는 복수 개(일 예로 50장)의 기판들이 삽입되는 슬롯들을 구비할 수 있다. 보트(130)는 시일 캡(180) 상에 장착되며, 시일 캡(180)은 엘리베이터 장치인 보트 승강 장치(800)에 의해 공정 튜브(110) 안으로 로딩되거나 또는 공정 튜브(110) 밖으로 언로딩된다. 보트(130)는 공정 튜브(110)에 로딩되면, 시일 캡(180)은 공정 튜브(110)의 플랜지(118)와 결합된다. 한편, 공정 튜브(110)의 플랜지(118)와 시일 캡(180)이 접촉하는 부분에는 실링(sealing)을 위한 오-링(O-ring)과 같은 밀폐 부재가 제공되어 공정가스가 공정 튜브(110)와 시일 캡(180) 사이에서 새어나가지 않도록 한다.
사이드 노즐부(140)는 공급부(190)를 통해 기판 표면에 박막 성장에 기여하는 가스들을 공급받는다. 공급부(190)는 제1공정가스, 제2공정가스, 세정용 가스 그리고 불활성 가스(퍼지 가스)를 선택적으로 사이드 노즐부(140)로 제공할 수 있다. 일 예로, 제2공정가스에는 DCS, SiH4, Si2H6 등의 데포 가스가 사용될 수 있고, 제1공정가스에는 Cl2, HCL 등의 식각 가스가 사용될 수 있으며, 불순물 도핑을 목적으로 할 경우에는 B2H6 , PH3 등과 같은 도핑 가스가 사용될 수 있다.
도 4는 보트 승강 장치를 보여주는 단면도이고, 도 5는 보트 승강 장치를 제2로드락 챔버 안쪽에서 바라본 사시도이며, 도 6은 보트 승강 장치를 제2로드락 챔버 바깥쪽에서 바라본 사시도이다.
도 3 내지 도 6을 참조하면, 보트 승강 장치(800)는 자기부상 부재(810), 드라이브 유닛(850) 그리고 커플링 부재(860)를 포함한다.
자기부상 부재(810)는 레일(812)과 이송블록(816)을 포함한다. 레일(812)은 제2로드락 챔버(410)를 구성하는 측면 패널(412)의 내측면(413)에 수직하게 제공된다. 레일(812)은 제1부상용 자성체(814)를 포함한다. 이송블록(816)은 보트의 시일캡(180)과 연결된다.
이송 블록(816)은 레일(812)에 대하여 자기적으로 부상될 수 있도록 제1부상용 자성체(814)와 대향되어 반발력이 작용하는 제2부상용 자성체(818)를 포함한다. 이송 블록(816)은 일면에 제1부상용 자성체(814)가 삽입되는 홈(816)이 제공되며, 홈(816)에는 제1부상용 자성체(814)를 둘러싸도록 제2부상용 자성체(818)가 설치된다.
드라이브 유닛(850)은 이송블록(816)이 수직방향으로 이동될 수 있는 추진력을 제공한다. 드라이드 유닛(850)은 로드락 챔버(410)의 측면 패널(412) 외측면(414)에 설치된다. 일 예로, 드라이브 유닛(850)은 액츄에이터(미도시됨)에 연동회전되는 볼스크류(852)와, 볼스크류(852)의 회전에 연동하여 볼스크류(852)의 길이방향을 따라 상하로 직성이동되는 이동 베이스(854) 그리고 이동 베이스(854)의 수직 이동을 안내하는 가이드 레일(856) 그리고 케이스(858)를 포함한다. 이동 베이스(854)는 커플링 부재(860)의 제1커플러(870)와 연결된다. 드라이브 유닛(850)은 볼스크류 방식 이외에도 이송블록을 수직방향으로 이동시키기 위한 LM(Linear Motion) 방식 등의 다양한 직선 이동 방식이 적용될 수 있다.
커플링 부재(860)는 드라이브 유닛(850)의 추진력을 이송블록(816)으로 전달하기 위해 제공된다. 커플링 부재(860)는 제1커플러(870), 제2커플러(880) 그리고 실링부재(890)를 포함한다.
제1커플러(870) 드라이브 유닛(850)에 의해 이동된다. 일 예로, 제1커플러(870)는 소정 두께를 갖는 원통형 몸체(872)와 원통형 몸체(872)로부터 연장되어 드라이브 유닛(850)에 연결되는 연결부(874)를 포함할 수 있다. 연결부(874)는 로드락 챔버(410)의 측면 패널(412)에 커플링 부재(860)의 이동 경로를 따라 수직방향으로 길게 형성된 이동 통로(419)를 통해 이동 베이스(854)와 연결된다. 원통형 몸체(872)는 제1영구자석부(873)를 포함한다. 제1영구자석부(873)는 이웃하는 자극이 서로 다른 극성을 갖도록 배치되는 복수개의 제1영구자석(873a)들을 포함할 수 있다.
제2커플러(880)는 제1커플러(870)와는 일정한 간격이 유지되도록 배치되고 제1커플러(870)와 자기적으로 결합되어 제1커플러(870)와 함께 승강될 수 있다. 일 예로, 제2커플러(880)는 원통형 몸체(872)의 일부를 감싸도록 일부가 오픈된 링형 몸체로 제공될 수 있다. 링형 몸체는 이송 블록(816)에 고정될 수 있다. 링형 몸체는 제1영구자석부(873)와 자기적으로 결합되는 제2영구자석부(883)를 포함할 수 있다. 제2영구자석부(883)는 이웃하는 자극이 서로 다른 극성을 갖도록 배치되고, 또 대응하는 제1 영구자석(873a)들에 대하여도 서로 다른 극성을 갖도록 배치되는 복수개의 제2영구자석(883a)들을 포함할 수 있다.
실링부재(890)는 제1커플러(870)와 제2커플러(880) 사이를 격리하면서 제1커플러(870)의 이동 경로를 실링하기 위해 제공된다. 실링 부재(890)는 제1커플러(870)의 원통형 몸체(872)가 이동될 수 있는 내부 공간을 갖는 원기둥 형상으로, 원통형 몸체보다 큰 내경을 갖으며, 일측은 측면 패널(412)의 내측면(413)에 고정되어 이동 통로(419)를 제2로드락 챔버(410)의 내부와 격리되도록 밀폐한다.
상술한 구성을 갖는 보트 승강 장치(800)는 제2로드락 챔버(410) 내부에서는 자기부상 방식으로 이송 블록(816)이 승강되고, 이송 블록(816)의 추진력은 제2로드락 챔버(410) 외부에 설치된 드라이브 유닛(850)에 의해 제공됨으로써 제2로드락 챔버(410) 내부에서 보트 승강 장치(800)의 구동에 따른 마찰 및 윤활제 등에 의한 파티클 발생을 방지할 수 있다.
또한, 보트 승강 장치(800)는 제1커플러(870)와 제2커플러(880)가 영구자석에 의해 상호 결합되어 있고, 제1커플러(870)가 드라이브 유닛(850)에 연결됨으로써 보트 승강 장치(800)로 제공되는 전력이 차단되더라도 이송 블록(816)이 낙하하는 사고를 예방할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 프로세스 챔버 110 : 공정 튜브
120 : 히터 어셈블리 130 : 보트
140 : 사이드 노즐부 800 : 보트 승강 장치
810 : 자기부상 부재 850 : 드라이브 유닛
860 : 커플링 부재

Claims (7)

  1. 퍼니스형 기판 처리 설비에 있어서:
    기판들이 배치식으로 적재되는 보트가 구비된 로드락 챔버;
    상기 로드락 챔버의 상부 또는 하부에 배치되고, 상기 보트에 적재된 기판들을 공정 처리하는 공정 챔버;
    상기 공정챔버로 상기 보트를 로딩/언로딩시키는 보트 승강 장치를 포함하되;
    상기 로드락 챔버 내에 수직하게 설치되는 레일, 상기 레일에 대하여 자기적으로 부상되는 이송블록을 구비한 자기부상 부재;
    상기 로드락 챔버의 외부에 위치되고, 상기 이송블록에 추진력을 제공하는 드라이브 유닛; 및
    상기 드라이브 유닛의 추진력을 상기 이송블록에 전달하는 커플링 부재를 포함하되;
    상기 커플링 부재는
    상기 드라이브 유닛에 의해 승강되는 제1커플러; 및
    상기 제1커플러와는 일정한 간격이 유지되도록 배치되고 상기 제1커플러와 자기적으로 결합되어 상기 제1커플러와 함께 승강되는 제2커플러를 포함하고,
    상기 로드락 챔버는
    일 측면에 상기 커플링 부재의 이동 경로를 따라 수직방향으로 길게 형성된 이동 통로를 제공하며,
    상기 제1커플러는
    상기 로드락 챔버 내에 위치되고 소정 두께를 갖는 원통형 몸체; 및
    상기 원통형 몸체로부터 연장되어 상기 이동 통로를 통해 상기 로드락 챔버의 외부에 위치한 상기 드라이브 유닛에 연결되는 연결부를 포함하는 퍼니스형 기판 처리 설비.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 커플링 부재는
    상기 제1커플러와 상기 제2커플러 사이를 격리하면서 상기 제1커플러의 이동 경로인 상기 이동 통로를 실링하는 실링부재를 더 포함하는 퍼니스형 기판 처리 설비.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2커플러는
    상기 원통형 몸체의 일부를 감싸도록 일부가 오픈된 링형 몸체를 포함하는 퍼니스형 기판 처리 설비.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1커플러는 제1영구자석부를 포함하고;
    상기 제2커플러는 상기 제1영구자석부와 자기적으로 결합되는 제2영구자석부를 포함하는 퍼니스형 기판 처리 설비.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제1영구자석부는 이웃하는 자극이 서로 다른 극성을 갖도록 배치되는 복수개의 제1영구자석들을 포함하고,
    상기 제2영구자석부는 이웃하는 자극이 서로 다른 극성을 갖도록 배치되고, 또 대응하는 상기 제1 영구자석들에 대하여도 서로 다른 극성을 갖도록 배치되는 복수개의 제2영구자석들을 포함하는 퍼니스형 기판 처리 설비.
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