KR20210092342A - 전자 디바이스 제조 로드 포트 장치, 시스템들, 및 방법들 - Google Patents
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Abstract
전자 디바이스 제조 시스템은 로드 포트를 갖는 팩토리 인터페이스를 포함한다. 로드 포트는 내부에 개구를 갖는 패널, 및 도어가 폐쇄될 때 개구를 밀봉하는 캐리어 도어 오프너를 포함할 수 있다. 캐리어 도어 오프너는 도어의 외측 부분을 따라 그루브를 가질 수 있다. 그루브는 삼각형 프리즘 절두체의 단면 형상을 가질 수 있다. 중공 O-링은 그루브에 놓일 수 있으며, 캐리어 도어 오프너가 패널에 접할 때 패널과 맞물리도록 구성된다. 전자 디바이스 제조 시스템을 위한 팩토리 인터페이스를 조립하는 방법들이 다른 양상들로서 또한 제공된다.
Description
[001]
본원은, 2016년 11월 10일자로 출원되고, 발명의 명칭이 "ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING LOAD PORT APPARATUS, SYSTEMS, AND METHODS"인 미국 정규 특허 출원 번호 제15/348,947호(대리인 관리 번호 제24538-02/USA호)를 우선권으로 주장하며, 이 미국 정규 특허 출원은 이로써 그 전체가 모든 목적들을 위해 인용에 의해 본원에 포함된다.
[002]
본 개시내용은 전자 디바이스 제조에 관한 것으로, 더 구체적으로는 팩토리 인터페이스 로드 포트(factory interface load port)들에 관한 것이다.
[003]
반도체 전자 디바이스 제조에서 기판들을 프로세싱하는 것은 일반적으로, 다수의 프로세스 툴들에서 수행되며, 여기서, 기판들은, 예컨대 전방 개방 통합 포드(Front Opening Unified Pod)들 또는 FOUP들과 같은 기판 캐리어들에서 프로세스 툴들 사이를 이동한다. 기판 캐리어는, 예컨대 장비 전단 모듈(Equipment Front End Module) 또는 EFEM과 같은 팩토리 인터페이스의 로드 포트에 도킹될 수 있다. 팩토리 인터페이스는 기판 캐리어와 프로세스 툴 사이에서 기판들을 이송하도록 동작가능한 로봇 기판 핸들러를 포함할 수 있다. 환경적으로-제어되는 분위기(environmentally-controlled atmosphere)가 기판 캐리어와 팩토리 인터페이스 내에 그리고 이들 사이에, 그리고 팩토리 인터페이스와 프로세스 툴 내에 그리고 이들 사이에 제공될 수 있다. 다양한 환경 팩터들, 이를테면, 예컨대 습도, 온도, 산소 및/또는 오염물들/입자들의 레벨들의 불충분한 제어는 기판 특성들 및 기판 프로세싱에 악영향을 미칠 수 있다. 따라서, 기존의 전자 디바이스 제조 시스템들은 팩토리 인터페이스에서의 개선된 환경 제어로부터 이익을 얻을 수 있다.
[004]
따라서, 개선된 전자 디바이스 제조 로드 포트 장치, 시스템들, 및 방법들이 필요하다.
[005]
제1 양상에 따르면, 전자 디바이스 제조 시스템의 팩토리 인터페이스가 제공된다. 팩토리 인터페이스는 기판 캐리어와 인터페이싱하도록 구성된 로드 포트를 포함한다. 로드 포트는 패널 개구를 갖는 패널 및 캐리어 도어 오프너(carrier door opener)를 포함한다. 캐리어 도어 오프너는 캐리어 도어 오프너가 폐쇄될 때 패널 개구를 밀봉하고, 로드 포트에 위치된 기판 캐리어의 도어에 접촉하여 도어를 개방하고, 그리고 캐리어 도어 오프너의 외측 부분을 따라 그루브(groove)를 포함한다. 로드 포트는 또한, 그루브에 놓인 중공 O-링(hollow O-ring)을 포함한다. 중공 O-링은, 캐리어 도어 오프너가 패널에 접할 때 패널과 맞물리도록(engage) 구성된다.
[006]
제 2 양상에 따르면, 전자 디바이스 제조 시스템이 제공된다. 전자 디바이스 제조 시스템은 기판 프로세스 툴 및 팩토리 인터페이스를 포함한다. 팩토리 인터페이스는 전방측 및 후방측을 갖는 하우징을 포함하며, 전방측은 전방측 개구를 갖고, 후방측은 기판 프로세스 툴에 커플링된다. 팩토리 인터페이스는 또한, 기판 캐리어와 인터페이싱하도록 구성된 로드 포트를 포함한다. 로드 포트는 패널을 포함하며, 패널은 전방측 개구에서 전방측에 커플링되고 패널 개구를 갖는다. 로드 포트는 또한, 캐리어 도어 오프너를 포함하며, 캐리어 도어 오프너는 캐리어 도어 오프너가 폐쇄될 때 패널 개구를 밀봉하고, 로드 포트에 위치된 기판 캐리어의 도어에 접촉하여 도어를 개방하고, 그리고 캐리어 도어 오프너의 외측 부분을 따라 그루브를 포함한다. 로드 포트는 그루브에 놓인 중공 O-링을 더 포함한다. 중공 O-링은, 캐리어 도어 오프너가 패널에 접할 때 패널과 맞물리도록 구성된다.
[007]
제3 양상에 따르면, 전자 디바이스 제조 시스템을 위한 팩토리 인터페이스를 조립하는 방법이 제공된다. 방법은 기판 캐리어와 인터페이싱하도록 구성된 로드 포트를 제공하는 단계를 포함하며, 로드 포트는 패널 개구를 갖는 패널을 포함한다. 방법은 또한, 캐리어 도어 오프너를 제공하는 단계를 포함하며, 캐리어 도어 오프너는 캐리어 도어 오프너가 폐쇄될 때 패널 개구를 밀봉하고, 로드 포트에 위치된 기판 캐리어의 도어에 접촉하여 도어를 개방하고, 그리고 캐리어 도어 오프너의 외측 부분을 따라 그루브를 포함한다. 방법은 그루브에 중공 O-링을 놓는 단계를 더 포함하며, 중공 O-링은, 캐리어 도어 오프너가 패널에 접할 때 패널과 맞물리도록 구성된다.
[008]
본 개시내용의 이러한 그리고 다른 실시예들에 따른 또 다른 양상들, 특징들, 및 장점들은 다음의 상세한 설명, 첨부된 청구항들, 및 첨부 도면들로부터 자명해질 수 있다. 따라서, 본원의 도면들 및 설명들은 본질적으로 예시적인 것으로 간주되어야 하며, 제한적인 것으로 간주되어서는 안된다.
[009]
이하에 설명되는 도면들은 단지 예시의 목적들을 위한 것이며 반드시 실척대로 그려진 것은 아니다. 도면들은 어떤 방식으로도 본 개시내용의 범위를 제한하도록 의도되지 않는다.
[0010] 도 1은 본 개시내용의 실시예들에 따른 전자 디바이스 제조 시스템의 개략적인 측면도를 예시한다.
[0011] 도 2는 본 개시내용의 실시예들에 따른 로드 포트의 전면 사시도를 예시한다.
[0012] 도 3은 본 개시내용의 실시예들에 따른 로드 포트의 간략화된 후면 입면도를 예시한다.
[0013] 도 4a는 본 개시내용의 실시예들에 따른 캐리어 도어 오프너의 전면 입면도를 예시한다.
[0014] 도 4b는 본 개시내용의 실시예들에 따른 도 4a의 단면선(4B-4B)을 따라 취해진 캐리어 도어 오프너의 부분 단면도를 예시한다.
[0015] 도 5는 본 개시내용의 실시예들에 따른 전자 디바이스 제조 시스템을 위한 팩토리 인터페이스를 조립하는 방법을 예시한다.
[0010] 도 1은 본 개시내용의 실시예들에 따른 전자 디바이스 제조 시스템의 개략적인 측면도를 예시한다.
[0011] 도 2는 본 개시내용의 실시예들에 따른 로드 포트의 전면 사시도를 예시한다.
[0012] 도 3은 본 개시내용의 실시예들에 따른 로드 포트의 간략화된 후면 입면도를 예시한다.
[0013] 도 4a는 본 개시내용의 실시예들에 따른 캐리어 도어 오프너의 전면 입면도를 예시한다.
[0014] 도 4b는 본 개시내용의 실시예들에 따른 도 4a의 단면선(4B-4B)을 따라 취해진 캐리어 도어 오프너의 부분 단면도를 예시한다.
[0015] 도 5는 본 개시내용의 실시예들에 따른 전자 디바이스 제조 시스템을 위한 팩토리 인터페이스를 조립하는 방법을 예시한다.
[0016]
이제, 첨부 도면들에서 예시되는 본 개시내용의 예시적인 실시예들에 대한 참조가 상세하게 이루어질 것이다. 가능한 경우에는 항상, 동일한 참조 번호들이 도면들 전반에 걸쳐 동일하거나 유사한 부분들을 참조하도록 이용될 것이다.
[0017]
전자 디바이스 제조는, 기판 특성들 및/또는 기판 프로세싱에 악영향을 미칠 수 있는 바람직하지 않은 습도, 온도, 산소, 및/또는 오염물/입자 레벨들을 감소시키기 위해, 예컨대 기판 캐리어들, 로드 포트들, 팩토리 인터페이스들, 및 프로세스 툴들과 같은 다양한 컴포넌트들 사이에 제어된 환경들을 유지 및/또는 제공하는 것을 수반할 수 있다. 컴포넌트들 사이의 인터페이스들은 다양한 밀봉부들을 포함할 수 있다. 이러한 인터페이스들은, 기판들이 하나의 컴포넌트로부터 다른 컴포넌트로 이송되는 것을 가능하게 하기 위해 다양한 도어들, 도어 오프너들, 또는 유사한 메커니즘들이 이동됨에 따라, 반복되는 개방 및 폐쇄(밀봉해제 및 밀봉)에 노출될 수 있다. 일부 밀봉 메커니즘들의 반복되는 개방 및/또는 폐쇄는 컴포넌트 인터페이스들을 밀봉하는 데 사용되는 재료들의 마모에 의해 야기되는 바람직하지 않은 입자 생성을 초래할 수 있다. 생성된 입자들은 (예컨대, 프로세싱되는 기판들을 오염시켜, 기판들 상에서 수행되는 프로세스들 등에 영향을 미침으로써) 기판 프로세싱을 불리하게 방해할 수 있다.
[0018]
일 양상에서, 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른 전자 디바이스 제조 시스템들은 개선된 로드 포트 밀봉부들을 포함한다. 일부 실시예들에서, 개선된 로드 포트 밀봉부들은 캐리어 도어 오프너의 외측 부분을 따라 연장되는 특정하게 형상화되고 치수가 정해진 그루브에 놓이는 중공 O-링을 이용할 수 있다. 중공 O-링과 그루브 구성의 조합은, 기판들이 팩토리 인터페이스들의 로드 포트들을 통해 기판 캐리어들과 프로세스 툴들 사이에서 이송됨에 따른 캐리어 도어 오프너의 반복되는 개방 및 폐쇄에도 불구하고 입자 생성을 감소시키거나 제거할 수 있다. 중공 O-링과 그루브 구성의 조합은, 예컨대 캐리어 도어 오프너를 폐쇄하는 데 더 적은 힘을 필요로 하고, 캐리어 도어 오프너 및 관련된 구동 컴포넌트들 및 다른 부분들의 덜 강건한 설계를 필요로 하고, 그리고/또는 더 큰 밀봉 표면적을 갖는 것을 포함하는 다른 장점들을 가질 수 있다.
[0019]
개선된 로드 포트 밀봉부들뿐만 아니라 전자 디바이스 제조 시스템을 위한 팩토리 인터페이스를 조립하는 방법들을 포함하는 다른 양상들을 예시하고 설명하는 예시적인 실시예들의 추가의 세부사항들은 도 1-도 5와 관련하여 아래에서 더 상세하게 설명될 것이다.
[0020]
도 1은 하나 이상의 실시예들에 따른 전자 디바이스 제조 시스템(100)의 개략적인 측면도를 예시한다. 전자 디바이스 제조 시스템(100)은 기판 캐리어(102), 로드 포트(104), 팩토리 인터페이스(106), 및 기판 프로세스 툴(108)을 포함할 수 있다. 로드 포트(104)는 팩토리 인터페이스(106)에 커플링될 수 있으며, 팩토리 인터페이스(106)는 기판 프로세스 툴(108)에 커플링될 수 있다. 일부 실시예들에서, 전자 디바이스 제조 시스템(100) 내의 그리고/또는 전자 디바이스 제조 시스템(100)에 커플링된 장비(예컨대, 가스 공급 라인들, 진공 펌프들 등(도시되지 않음))는 메커니즘들(예컨대, 도어들, 도어 오프너들, 게이트 또는 슬릿 밸브들 등)의 인터페이스들에서 이들의 개방 또는 폐쇄 상태에 따라 환경적으로-제어된 분위기(예컨대, 비-반응성 및/또는 불활성 가스 환경 내, 진공 하 등)에 기판 캐리어(102), 로드 포트(104), 팩토리 인터페이스(106), 및 기판 프로세스 툴(108) 중 하나 이상을 배치할 수 있다.
[0021]
기판 캐리어(102)는 하나 이상의 기판들을 운반하도록 구성될 수 있다. 기판들은 전자 디바이스들 또는 회로 컴포넌트들을 제조하는 데 사용되는 임의의 적절한 물품, 이를테면, 실리콘-함유 디스크들 또는 웨이퍼들, 패터닝된 웨이퍼들, 유리 플레이트들 등일 수 있다. 일부 실시예들에서, 기판 캐리어(102)는, 예컨대 전방 개방 통합 포드 또는 FOUP일 수 있고, 캐리어 도어(110)를 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서, 캐리어 도어(110)는 FOUP 도어일 수 있다.
[0022]
로드 포트(104)는 상부에 기판 캐리어(102)를 수용하도록 구성될 수 있다. 로드 포트(104)는 내부에 캐리어 도어(110)를 수용하도록 구성된 패널 개구(114)를 갖는 패널(112)을 가질 수 있다. 로드 포트(104)는 또한, 캐리어 도어 오프너(116)를 가질 수 있으며, 캐리어 도어 오프너(116)는 캐리어 도어(110)에 접촉하고(즉, 예컨대, 캐리어 도어(110) 상에 래칭되거나 또는 다른 방식으로 캐리어 도어(110)에 부착됨) 캐리어 도어(110)를 개방하여 기판 캐리어(102)로의 그리고 기판 캐리어(102)로부터의 기판들의 이송을 가능하게 하도록 구성된다. 일부 실시예들에서, 캐리어 도어 오프너(116)는 캐리어 도어(110)에 접촉하고, 패널(112)을 클리어(clear)하기에 충분히 안쪽으로(즉, 도 1에 도시된 바와 같이 우측으로) 캐리어 도어(110)를 이동시키고, 이어서, 캐리어 도어(110)를 아래쪽으로 이동시켜 기판 캐리어(102)로의 액세스를 제공할 수 있다.
[0023]
팩토리 인터페이스(106)는 하우징(117)을 갖는 임의의 적절한 인클로저일 수 있으며, 하우징(117)은 전방측(118), 후방측(120), 최상부(122), 최하부(124), 및 2개의 측벽들(개별적으로 도시되지 않음)을 갖는다. 전방측(118)은, 개개의 로드 포트(104)를 수용하도록 그리고 개개의 로드 포트(104)에 커플링되도록 구성된 하나 이상의 전방측 개구들(126)을 가질 수 있다. 팩토리 인터페이스(106)는 기판들을 기판 캐리어(102)로부터 팩토리 인터페이스(106)를 통해 기판 프로세스 툴(108)로 이송하도록 구성된 로봇 기판 핸들러(도시되지 않음)를 포함할 수 있다.
[0024]
기판 프로세스 툴(108)은 하나 이상의 기판들 상에서, 예컨대 물리 기상 증착(PVD; physical vapor deposition), 화학 기상 증착(CVD; chemical vapor deposition), 에칭, 어닐링, 사전-세정, 금속 또는 금속 옥사이드 제거 등과 같은 하나 이상의 프로세스들을 수행할 수 있다. 다른 프로세스들이 내부의 기판들 상에서 수행될 수 있다. 기판 프로세스 툴(108)은 하나 이상의 로드 록 챔버들, 이송 챔버, 및 하나 이상의 프로세스 챔버들(어느 것도 도시되지 않음)을 포함할 수 있다. 하나 이상의 로드 록 챔버들은 팩토리 인터페이스(106)에 커플링될 수 있는 한편, 이송 챔버는 하나 이상의 로드 록 챔버들 및 하나 이상의 프로세스 챔버들에 커플링될 수 있다. 팩토리 인터페이스(106)의 로봇 기판 핸들러는 기판들을 하나 이상의 로드 록 챔버들 내로 그리고 하나 이상의 로드 록 챔버들 밖으로 이송할 수 있다. 기판 프로세스 툴(108)은 이송 챔버 내에 적어도 부분적으로 하우징된 이송 로봇(도시되지 않음)을 포함할 수 있다. 이송 로봇은 기판들을 하나 이상의 로드 록 챔버들 및 하나 이상의 프로세스 챔버들로 그리고 하나 이상의 로드 록 챔버들 및 하나 이상의 프로세스 챔버들로부터 이송하도록 구성될 수 있다.
[0025]
도 2는 하나 이상의 실시예들에 따른 로드 포트(204)의 전면 사시도를 예시한다. 일부 실시예들에서, 로드 포트(204)는 로드 포트(104)와 동일하거나 유사할 수 있다. 로드 포트(204)는 패널 개구(214)를 갖는 패널(212)을 포함할 수 있다. 로드 포트(204)는 또한, 캐리어 도어 오프너(216)가 패널(212)에 접할 때 패널 개구(214)를 밀봉하는 캐리어 도어 오프너(216)를 포함할 수 있다. 캐리어 도어 오프너(216)는 기판 캐리어(102)의 캐리어 도어(110)에 접촉 및 부착되도록 구성된 하나 이상의 커넥터들(228)을 가질 수 있다. 커넥터들(228)은, 예컨대 흡인형 디바이스들, 진공 디바이스들 등일 수 있다. 캐리어 도어(110)에 부착될 수 있는 다른 적절한 유형들의 커넥터 디바이스들이 사용될 수 있다. 패널(212)로부터 바깥쪽으로 연장되는 장착 테이블(230)이 제공될 수 있다. 장착 테이블(230)은 상부에 기판 캐리어(102)를 수용하도록 구성될 수 있다. 기판 캐리어(102)를 장착 테이블(230) 상의 적합한 포지션에 로킹하기 위해, 다양한 메커니즘들(도시되지 않음)이 장착 테이블(230) 상에 그리고/또는 장착 테이블(230) 둘레에 포함될 수 있다. 로드 포트(204)는, 일부 실시예들에서, 도 1과 관련하여 위에서 설명된 바와 같이 캐리어 도어 오프너(216)를 캐리어 도어(110)에 부착시켜 캐리어 도어(110)를 개방할 수 있는, 캐리어 도어 오프너(216)에 커플링된 개방/폐쇄 메커니즘(도 2에 도시되지 않음)을 하우징할 수 있는 하부 부분(232)을 더 포함할 수 있다.
[0026]
도 3은 하나 이상의 실시예들에 따른 로드 포트(304)의 후면도를 예시한다. 일부 실시예들에서, 로드 포트(304)는 로드 포트들(104 및/또는 204)과 동일하거나 유사할 수 있다. 로드 포트(304)는 패널(312), 및 패널(312)의 외측 부분 및/또는 주변부 둘레로 연장되는 밀봉부(334)를 포함할 수 있다. 밀봉부(334)는, 로드 포트(304)와 팩토리 인터페이스, 이를테면, 팩토리 인터페이스(106)가 함께 커플링될 때 이들 사이의 인터페이스를 밀봉할 수 있다. 로드 포트(304)는 또한, 캐리어 도어 오프너(316)가 패널(312)에 접할 때 패널 개구(도 3에 도시되지 않음)를 밀봉하는 캐리어 도어 오프너(316)를 포함할 수 있다. 로드 포트(304)는, 도 1 및/또는 도 2와 관련하여 위에서 설명된 바와 같이 캐리어 도어 오프너(316)를 개방 및 폐쇄할 수 있는 개방/폐쇄 메커니즘(336)(도 3에 부분적으로 도시됨)을 더 포함할 수 있다. 캐리어 도어 오프너(316)가 기판 캐리어 도어(이를테면, 도 1의 기판 캐리어(102)의 기판 캐리어 도어(110))에 부착될 때, 개방/폐쇄 메커니즘(336)은 패널 개구로부터 멀어지게 후퇴하여 기판 캐리어 도어(110)를 패널 개구 아래로 하강시켜 기판 캐리어에 있는 기판들에 대한 액세스를 가능하게 할 수 있다. 리프트/하강 메커니즘(도시되지 않음)은 캐리어 도어 오프너(316) 및 캐리어 도어 오프너(316)에 의해 지지되는 임의의 기판 캐리어 도어를 패널 개구(도 2의 패널 개구(214))에 대해 하강 및 상승시킬 수 있다. 아래에서 더 상세하게 설명되는 바와 같이, 캐리어 도어 오프너(316)가 패널(312)의 후방 표면(338)과 맞물림으로써 패널 개구를 밀봉할 수 있도록, 캐리어 도어 오프너(316)는 패널 개구보다 약간 더 클 수 있다.
[0027]
도 4a 및 도 4b는 하나 이상의 실시예들에 따른 캐리어 도어 오프너(416)를 예시한다. 일부 실시예들에서, 캐리어 도어 오프너(416)는 캐리어 도어 오프너들(116, 216, 및/또는 316)과 동일하거나 유사할 수 있다. 도 4a는 캐리어 도어 오프너(416)의 전면(440)을 도시한다. 일부 실시예들에서, 캐리어 도어 오프너(416)는, 도 1-도 3과 관련하여 위에서 설명된 바와 같은 기판 캐리어(102)의 캐리어 도어(110)와 동일하거나 유사할 수 있는 FOUP 도어에 부착되도록 구성된 2개 이상의 래치 키들(448)을 가질 수 있다. 캐리어 도어 오프너(416)는, 일부 실시예들에서 형상이 직사각형인 외측 주변부(442)를 가질 수 있다. 다른 적절한 형상들이 가능하다. 캐리어 도어 오프너(416)는, 캐리어 도어 오프너(416)의 외측 부분을 따라 연장되고 일부 실시예들에서는 전체 외측 주변부(442)를 따라 연장되어 그 주변에 연속적인 그루브를 형성하는 그루브(444)를 가질 수 있다. 캐리어 도어 오프너(416)는 또한, 캐리어 도어 오프너(416)가 패널에 접할 때 로드 포트의 패널(이를테면, 도 1-도 3의 개개의 로드 포트들(104, 204, 및/또는 304)의 패널들(112, 212, 및/또는 312))의 후방 표면(438)(도 4b) 또는 후방 표면(338)(도 3)과 맞물리도록 구성된, 그루브(444)에 놓인 중공 O-링(446)을 가질 수 있다. 도 4b에 도시된 바와 같이, 캐리어 도어 오프너(416)가 폐쇄될 때 후방 표면(438)과 맞물림으로써 캐리어 도어 오프너(416)가 패널 개구(414)를 밀봉할 수 있도록, 캐리어 도어 오프너(416)는 패널 개구(414)의 주변부 둘레에서 약간 더 클 수 있다.
[0028]
도 4b에 도시된 바와 같이, 그루브(444)는 삼각형 프리즘 절두체(triangular prism frustum)의 형상과 유사한 단면 형상을 가질 수 있다. 즉, 그루브(444)의 단면 형상은 삼각형 프리즘의 베이스 부분(basal part)(그 베이스 부분은 삼각형 프리즘의 상부 부분이 베이스에 평행한 평면에 의해 컷오프된 것임)과 비슷할 수 있다. 도시된 실시예에서, 삼각형 프리즘의 베이스와 측부들 사이의 인터페이스는 평활화되거나 라운딩된다. 더 급격한(abrupt) 측부/베이스 인터페이스들 및/또는 다른 측부/베이스 인터페이스 구성들이 사용될 수 있다. 일부 실시예들에서, 그루브(444)는 대략 5 내지 6 mm의 범위의 최상부 폭(TW), 대략 8.5 내지 9.5 mm의 범위의 최하부 폭(BW), 및 대략 4 내지 5 mm의 범위의 깊이(D)를 가질 수 있다. 하나 이상의 실시예들에서, 깊이(D)는 O-링(446)의 직경보다 더 작을 수 있다. 일부 실시예들에서, 그루브(444)는 최상부 폭(TW) 대 최하부 폭(BW) 비율이 대략 0.58 내지 대략 0.65일 수 있다. 다른 적절한 그루브 폭들 및/또는 깊이들이 사용될 수 있다.
[0029]
일부 실시예들에서, 중공 O-링(446)은 대략 0.762 내지 1.016 mm의 범위의 벽 두께를 가질 수 있다. 일부 실시예들에서, 중공 O-링(446)은 대략 0.22 내지 0.27 인치(대략 5.6 내지 6.85 mm)의 외측 직경을 가질 수 있다. 일부 실시예들에서, 중공 O-링(446)은 대략 60 내지 75의 범위의 듀로미터 경도(durometer hardness)를 가질 수 있다. 다른 적절한 벽 두께들, 직경들 및/또는 경도들이 사용될 수 있다. 일부 실시예들에서, 중공 O-링(446)은 슬러리 마무리 표면(slurry finish surface)을 가질 수 있다. 하나 이상의 실시예들에서, 후방 표면(438)은 대략 14.5 내지 17.5 μin 이하의 표면 거칠기(Ra)를 가질 수 있다. 예컨대, O-링(446)의 직경 대 그루브(444)의 깊이(D)의 비율은 대략 1.35 내지 1.45일 수 있다. 다른 적절한 표면 마무리들, 후방 표면 거칠기들 및/또는 직경 대 깊이 비율들이 이용될 수 있다. 중공 O-링(446)은, 중공 O-링(446)을 후방 표면(438)에 대해 압축 및 밀봉하는 데 더 적은 힘이 요구될 수 있다는 점에서 중실형 코어 O-링보다 유리할 수 있다. 예컨대, 중공 O-링(446)을 25% 압축상태로 밀봉하는 데 사용되는 힘은 대략 52 인치(대략 132.1 cm)의 길이에 대해 대략 84 내지 216 N(뉴턴)의 범위일 수 있다. 또한, 일부 실시예들에서, 중공 O-링(446)이, 이러한 컴포넌트들 사이에서 비-평행(out-of-parallel) 또는 비-평탄(out-of-flat) 컨디션, 이를테면, +/- 0.5 mm 비-평행 또는 비-평탄 컨디션을 수용하고 그리고 효과적인 밀봉을 여전히 제공할 수 있도록, 캐리어 도어 오프너(416)/그루브(444)/후방 표면(438)의 설계가 이루어질 수 있다. 다른 비-평행 또는 비-평탄 컨디션들이 수용될 수 있다.
[0030]
일부 실시예들에서, 기판 캐리어는, 기판 캐리어 도어를 기판 캐리어에 고정시키는 로킹 또는 래칭 메커니즘을 가질 수 있다. 하나 이상의 실시예들에서, 캐리어 도어 오프너(416)는 (예컨대, 예를 들어 시계방향 또는 반시계방향 회전을 통해) 기판 캐리어 도어와 인터페이싱하고 그리고 기판 캐리어 도어를 래칭, 언래칭, 로킹 또는 언로킹하는 하나 이상의 키들 또는 래칭 메커니즘들(448)(도 4a)을 포함할 수 있다.
[0031]
도 5는 하나 이상의 실시예들에 따른 전자 디바이스 제조 시스템을 위한 팩토리 인터페이스를 조립하는 방법(500)을 예시한다. 프로세스 블록(502)에서, 방법(500)은 기판 캐리어와 인터페이싱하도록 구성된 로드 포트를 제공하는 단계를 포함할 수 있으며, 로드 포트는 패널 개구를 갖는 패널을 포함한다. 예컨대, 도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 캐리어(102)와 인터페이싱하도록 구성되고, 패널 개구(114 또는 214)를 갖는 패널(112 또는 212)을 포함할 수 있는 로드 포트(104 또는 204)가 제공될 수 있다.
[0032]
프로세스 블록(504)에서, 캐리어 도어 오프너가 제공될 수 있으며, 캐리어 도어 오프너는, 캐리어 도어 오프너가 폐쇄될 때 패널 개구를 밀봉하고, 로드 포트에 위치된 기판 캐리어의 도어에 접촉하여 도어를 개방하고, 그리고 캐리어 도어 오프너의 외측 부분을 따라 연장되는 그루브를 포함한다. 도 1, 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 예컨대 캐리어 도어 오프너(416)가 제공될 수 있으며, 캐리어 도어 오프너(416)는, 캐리어 도어 오프너(416)가 폐쇄될 때 패널 개구(414)를 밀봉할 수 있고, 로드 포트(104)에 위치된 기판 캐리어(102)의 캐리어 도어(110)에 접촉하여 캐리어 도어(110)를 개방할 수 있고, 그리고 캐리어 도어 오프너(416)의 외측 부분을 따라 그루브(444)를 가질 수 있다.
[0033]
그리고 프로세스 블록(506)에서, 방법(500)은 그루브에 중공 O-링을 놓는 단계를 포함할 수 있으며, 중공 O-링은, 캐리어 도어 오프너가 패널에 접할 때 패널과 맞물린다. 예컨대, 중공 O-링(446)은, 도 4b에 도시된 바와 같이 그루브(444)에 놓일 수 있다. 캐리어 도어 오프너(416)가 폐쇄될 때, 중공 O-링(446)은 로드 포트의 패널의 후방 표면(438)과 맞물릴 수 있다.
[0034]
방법(500)의 상기 프로세스 블록들은 도시되고 설명된 순서 또는 순차로 제한되지 않는 순서 또는 순차로 실행 또는 수행될 수 있다. 예컨대, 일부 실시예들에서, 프로세스 블록(504)은 프로세스 블록(502)과 동시에 또는 프로세스 블록(502) 후에 수행될 수 있다.
[0035]
전술한 설명은 본 개시내용의 단지 예시적인 실시예들을 개시한다. 위에서 개시된 장치, 시스템들, 및 방법들의 수정들은 본 개시내용의 범위 내에 포함될 수 있다. 따라서, 본 개시내용의 예시적인 실시예들이 개시되었지만, 다른 실시예들이, 아래의 청구항들에 의해 정의되는 바와 같은 본 개시내용의 범위 내에 포함될 수 있다는 것이 이해되어야 한다.
Claims (15)
- 기판 캐리어와 인터페이싱하도록 구성된 로드 포트를 위한 캐리어 도어 오프너(carrier door opener)로서,
상기 캐리어 도어 오프너의 외측 부분을 따르는 그루브(groove); 및
상기 그루브에 놓인 중공 O-링(hollow O-ring)을 포함하며,
상기 중공 O-링은, 상기 캐리어 도어 오프너가 상기 로드 포트의 패널에 접할 때 상기 패널과 맞물리도록(engage) 구성되고,
상기 캐리어 도어 오프너는, 상기 캐리어 도어 오프너가 폐쇄될 때 상기 로드 포트의 패널 개구를 밀봉하도록, 그리고 상기 로드 포트에 위치된 기판 캐리어의 도어에 접촉하여 상기 도어를 개방하도록 구성되는,
기판 캐리어와 인터페이싱하도록 구성된 로드 포트를 위한 캐리어 도어 오프너. - 전자 디바이스 제조 시스템의 팩토리 인터페이스로서,
기판 캐리어와 인터페이싱하도록 구성된 로드 포트를 포함하며,
상기 로드 포트는,
패널 개구를 갖는 패널; 및
제1 항의 캐리어 도어 오프너를 포함하는,
전자 디바이스 제조 시스템의 팩토리 인터페이스. - 제2 항에 있어서,
상기 캐리어 도어 오프너의 그루브는 상기 캐리어 도어 오프너의 외측 주변부를 따라 연장되거나 또는 삼각형 프리즘 절두체(triangular prism frustum)의 단면 형상을 갖는,
전자 디바이스 제조 시스템의 팩토리 인터페이스. - 제2 항에 있어서,
상기 O-링의 직경 대 상기 그루브의 깊이의 비율은 대략 1.35 내지 1.45이거나, 또는 상기 O-링은 대략 0.762 mm 내지 대략 1.016 mm의 벽 두께를 갖는,
전자 디바이스 제조 시스템의 팩토리 인터페이스. - 제2 항에 있어서,
상기 O-링은 슬러리 마무리 표면(slurry finish surface)을 갖는,
전자 디바이스 제조 시스템의 팩토리 인터페이스. - 제2 항에 있어서,
상기 그루브는 최상부 폭 대 최하부 폭 비율이 대략 0.58 내지 대략 0.65이거나, 또는 상기 그루브는 상기 O-링의 직경보다 더 작은 깊이를 갖는,
전자 디바이스 제조 시스템의 팩토리 인터페이스. - 전자 디바이스 제조 시스템으로서,
기판 프로세스 툴; 및
팩토리 인터페이스를 포함하며,
상기 팩토리 인터페이스는,
전방측 및 후방측을 갖는 하우징 ― 상기 전방측은 전방측 개구를 갖고 그리고 상기 후방측은 상기 기판 프로세스 툴에 커플링됨 ―, 및
기판 캐리어와 인터페이싱하도록 구성된 로드 포트를 포함하며,
상기 로드 포트는,
상기 전방측 개구에서 상기 전방측에 커플링되고 그리고 패널 개구를 갖는 패널,
캐리어 도어 오프너 ― 상기 캐리어 도어 오프너는 상기 캐리어 도어 오프너가 폐쇄될 때 상기 패널 개구를 밀봉하고, 상기 로드 포트에 위치된 기판 캐리어의 도어에 접촉하여 상기 도어를 개방하고, 그리고 상기 캐리어 도어 오프너의 외측 부분을 따라 그루브를 포함함 ―, 및
상기 그루브에 놓인 중공 O-링을 포함하며,
상기 중공 O-링은, 상기 캐리어 도어 오프너가 상기 패널에 접할 때 상기 패널과 맞물리도록 구성되는,
전자 디바이스 제조 시스템. - 제7 항에 있어서,
상기 캐리어 도어 오프너의 그루브는 상기 캐리어 도어 오프너의 외측 주변부를 따라 연장되는,
전자 디바이스 제조 시스템. - 제7 항에 있어서,
상기 그루브는 최상부 폭 대 최하부 폭 비율이 대략 0.58 내지 대략 0.65이거나, 또는 삼각형 프리즘 절두체의 단면 형상을 갖는,
전자 디바이스 제조 시스템. - 제7 항에 있어서,
상기 그루브는 상기 O-링의 직경보다 더 작은 깊이를 갖는,
전자 디바이스 제조 시스템. - 제7 항에 있어서,
상기 O-링의 직경 대 상기 그루브의 깊이의 비율은 대략 1.35 내지 대략 1.45인,
전자 디바이스 제조 시스템. - 전자 디바이스 제조 시스템을 위한 팩토리 인터페이스를 조립하는 방법으로서,
기판 캐리어와 인터페이싱하도록 구성된 로드 포트를 제공하는 단계 ― 상기 로드 포트는 패널 개구를 갖는 패널을 포함함 ―;
캐리어 도어 오프너를 제공하는 단계 ― 상기 캐리어 도어 오프너는 상기 캐리어 도어 오프너가 폐쇄될 때 상기 패널 개구를 밀봉하고, 상기 로드 포트에 위치된 기판 캐리어의 도어에 접촉하여 상기 도어를 개방하고, 그리고 상기 캐리어 도어 오프너의 외측 부분을 따라 그루브를 포함함 ―; 및
상기 그루브에 중공 O-링을 놓는 단계를 포함하며,
상기 중공 O-링은, 상기 캐리어 도어 오프너가 상기 패널에 접할 때 상기 패널과 맞물리도록 구성되는,
전자 디바이스 제조 시스템을 위한 팩토리 인터페이스를 조립하는 방법. - 제12 항에 있어서,
상기 캐리어 도어 오프너를 제공하는 단계는, 삼각형 프리즘 절두체의 단면 형상을 갖거나 또는 최상부 폭 대 최하부 폭 비율이 대략 0.58 내지 대략 0.65인 그루브를 포함하는 캐리어 도어 오프너를 제공하는 단계를 포함하는,
전자 디바이스 제조 시스템을 위한 팩토리 인터페이스를 조립하는 방법. - 제12 항에 있어서,
상기 중공 O-링을 놓는 단계는 상기 중공 O-링을 상기 그루브에 놓은 단계를 포함하며,
상기 O-링의 직경 대 상기 그루브의 깊이의 비율은 대략 1.35 내지 대략 1.45인,
전자 디바이스 제조 시스템을 위한 팩토리 인터페이스를 조립하는 방법. - 제12 항에 있어서,
상기 로드 포트에 커플링되도록 구성된 전방측을 갖는 팩토리 인터페이스 하우징을 제공하는 단계를 더 포함하며,
상기 전방측은 상기 로드 포트를 수용하도록 구성된 전방측 개구를 갖는,
전자 디바이스 제조 시스템을 위한 팩토리 인터페이스를 조립하는 방법,
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