JP4928562B2 - ロボット装置およびこれを備えた処理装置、処理システム、処理方法 - Google Patents
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Description
処理室4a、4bには、処理容器10と、この処理容器10の上面に設けられた平板状の誘電体板からなる導波体(透過窓)54と、導波体54の外側に設けられた導入導波管50と、が設けられている。処理容器10の内部には、導波体54の下方の処理空間においてウェーハなどの被処理物Wを載置して保持するためのステージ16が設けられている。
例えば、この処理室4a、4bを用いて被処理物Wの表面にアッシング処理を施す際には、まず、被処理物Wが、その表面を上方に向けた状態でステージ16の上に載置される。尚、処理室4a、4bへの搬入、搬出については後述する。
次いで、減圧排気系Eによって処理空間が減圧状態にされた後、この処理空間に、処理ガスとしての所定のアッシングガスが導入される。その後、処理空間に処理ガスの雰囲気が形成された状態で、図示しないマイクロ波電源から、例えば2.45GHzのマイクロ波Mが導入導波管50に導入される。導波管50を伝搬したマイクロ波Mは、スロットアンテナ52を介して導波体54に向けて放射される。導波体54は、石英やアルミナなどの誘電体からなり、マイクロ波Mは、表面波として導波体54の表面を伝搬し、チャンバ10内の処理空間に放射される。このようにして処理空間に放射されたマイクロ波Mのエネルギーにより、処理ガスのプラズマPが形成される。こうして発生したプラズマP中の電子密度が導波体54を透過して供給されるマイクロ波Mを遮蔽できる密度(カットオフ密度)以上になると、マイクロ波Mは導波体54の下面からチャンバ内の処理空間に向けて一定距離(スキンデプス)dだけ入るまでの間に反射され、マイクロ波Mの定在波が形成されるようになる。
図3に示すように、ロボット装置11a、11bには、トランスファー室3の底壁に形成された図示しない取付孔に気密に嵌入固定される取付体13が設けられている。この取付体13の下面側には駆動源15が取り付けられている。この駆動源15はモータ15aと減速機15bとが一体化されてなるものである。
駆動源15を作動させて駆動軸17を回転させると、その回転にアーム体31が連動する。図3において、アーム体31が矢印B方向に回転すると、固定プーリ38は回転しないので、タイミングベルト43は矢印C方向に走行する。それにより、一対の回転プーリ41、42は矢印D方向に回転し、この回転にフィンガ47、48が連動して回転する。
図示しない駆動源を作動させて駆動軸61a、61bを回転させると、その回転にフィンガ62a、62bが連動する。フィンガ62aとフィンガ62bとは、互いに逆方向に90°回転する。前述したように、フィンガ62a、62bは略L字状を呈しているので、フィンガ62a、62bが90°回転すると、フィンガ62a、62bの先端は受け渡し位置8aと8c、8bと8cの間を移動する。その結果、それぞれの受け渡し位置で被処理物Wの受け渡しが可能となる。
図4は、本実施の形態に係る処理装置1を備えたアッシング処理システム100について説明をするための模式図である。
図4に示すように、アッシング処理システム100には、前述の処理装置1、搬送装置101、徐冷手段102、収納装置103とが備えられている。
搬送装置101には、上下に離間した関節を有するアーム101aが設けられている。アーム101aの先端には、被処理物であるウェーハUを載置、保持可能な図示しない保持手段が設けられている。また、アーム101aが備えられるアーム基台101cは移動手段101bと接続されており、アーム基台101cは矢印F13の方向に移動可能となっている。そのため、アーム101aを屈曲させるようにして伸縮させ、2枚のウェーハUを同時にアーム101aの先端に載置、保持し、その状態のまま矢印F13の方向に移動可能となっている。また、図示しないウェーハUの回転方向や上下方向の位置を調整する手段や、アーム101aの基部を回転させてアーム101aの方向を変換させる手段が設けられている。
図5、図6は、アッシング処理システム100の作用を説明するための模式図である。 まず、図4に示すように、搬送装置101のアーム基台101cを所定の収納装置103の正面まで移動させる。尚、収納装置103の扉は図示しない開閉装置により開かれている。次に、アーム101aを屈曲させるようにして矢印F2の方向に伸ばし、2枚のウェーハUを上下に所定の間隔を持った状態で受け取る。そして、アーム101aを屈曲させるようにして矢印F1の方向に縮め収納装置103からウェーハUを受け取る。
尚、図面が煩雑となるため、ロボット装置60b側(上側)のフィンガのみを記載することとし、ロボット装置60a側(下側)のフィンガは記載を省略する。
図19(a)に示すように、収納装置103には下側から順番にNo.1〜No.6の6枚のウェーハが収納されている。尚、アッシング処理システムの図中のハッチング部分は、減圧状態を示している。
以下、この手順を繰り返すことでウェーハUのアッシング処理を連続して行う。
また、ロードロック室内に設けられたロボット装置のフィンガの形態によっては、毎回このような動作をさせることもできるし、前述したように所定の回数毎にこのような動作をさせることもできる。
また、ウェーハUの搬送状態を記憶する手段を設け、ウェーハU毎の搬送記録を持ち、どのフィンガのアーム部に戻せばよいのかを判断の上、フィンガを動作させるようにすることもできる。例えば、処理前のウェーハの搬送時に使用したアーム部を記憶しておき、同じアーム部に処理後のウェーハUを受け渡せるよう、フィンガの交換動作をさせるようにしてもよい。
Claims (4)
- 被処理物を保持する保持手段を備えるフィンガを所定の角度だけ回転させて前記被処理物の受け渡しを行うロボット装置であって、
前記ロボット装置の駆動軸には、第1のフィンガと、第2のフィンガとが互いに離間して設けられ、
前記第1のフィンガは、その回転中心から互いに離間するように所定の角度をもって延出する第1のアーム部と第2のアーム部とを有し、
前記第2のフィンガは、その回転中心から互いに離間するように所定の角度をもって延出する第3のアーム部と第4のアーム部とを有し、
前記第1のアーム部と前記第3のアーム部とが、第3の受け渡し位置で重なったときには、
前記第2のアーム部は第1の受け渡し位置にあり、前記第4のアーム部は第2の受け渡し位置にあり、
前記第2のアーム部と前記第4のアーム部とが、第3の受け渡し位置で重なったときには、
前記第1のアーム部は第2の受け渡し位置にあり、前記第3のアーム部は第1の受け渡し位置にあること、を特徴とするロボット装置。 - 請求項1記載の第1のロボット装置を設けたロードロック室と、
被処理物の処理を行うための処理室と、
前記第1のロボット装置から受け取った被処理物を前記処理室に搬送するための第2のロボット装置を設けたトランスファー室と、を備えることを特徴とする処理装置。 - 請求項2記載の処理装置と、
ウェーハを収納するための収納装置と、
前記収納装置から2枚の前記ウェーハを同時に受取り前記処理装置に搬送する搬送装置と、
前記処理装置により処理をされた前記ウェーハを徐冷する徐冷手段と、を備えることを特徴とする処理システム。 - ロードロック室内に設けられた請求項1記載のロボット装置の第1のフィンガと、第2のフィンガと、にウェーハが載置されていないときに、
処理前の前記ウェーハの搬送時に使用したアーム部と同じアーム部に、処理後の前記ウェーハを受け渡すことができるように、前記第1のフィンガと、前記第2のフィンガと、の回転動作が制御されること、を特徴とする処理方法。
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