JPH11135600A - ロボット装置および処理装置 - Google Patents

ロボット装置および処理装置

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JPH11135600A
JPH11135600A JP10206270A JP20627098A JPH11135600A JP H11135600 A JPH11135600 A JP H11135600A JP 10206270 A JP10206270 A JP 10206270A JP 20627098 A JP20627098 A JP 20627098A JP H11135600 A JPH11135600 A JP H11135600A
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arm body
arm
pulley
piston rod
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Hideshi Tono
秀史 東野
Atsushi Konase
淳 木名瀬
Kimio Kogure
公男 小暮
Hisataka Komatsu
久高 小松
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Shibaura Mechatronics Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Shibaura Mechatronics Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明はタクトタイムの短縮化を計ること
ができるようにしたロボット装置を提供することを目的
とする。 【解決手段】 半導体ウエハＵを受け渡すためのロボッ
ト装置において、取付体１３と、取付体に回転自在に設
けられたア−ム体３１と、ア−ム体を回転駆動する駆動
源１５と、取付体に設けられア−ム体の回転中心部に位
置した固定プ−リ３８と、ア−ム体の両端部に回転自在
に設けられた一対の回転プ−リ４１、４２と、各回転プ
−リに一端部が取り付けられ回転プ−リとともに回転し
てワ−クを搬送する一対のフィンガ４７、４８と、固定
プ−リと回転プ−リとにわたって設けられ駆動源によっ
てア−ム体を回転させたときに固定プ−リと回転プ−リ
との外径寸法比に応じて回転プ−リを回転させるタイミ
ングベルト４３とを具備したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はワ−クの受け渡し
を行うためのロボット装置およびワ−クを真空中で処理
する処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば、液晶用ガラス基板や半導体ウ
エハなどのワ−クに回路パタ−ンを形成する製造工程に
おいては、そのワ−クに対して種々の処理を行うことが
要求され、その処理を行うのに真空チャンバが用いられ
ている。
【０００３】上記ワ−クの処理を効率よく行うために複
数の処理チャンバを設置し、各処理チャンバでの処理を
同時あるいは順次行う、いわゆるマルチチャンバ方式が
知られている。
【０００４】マルチチャンバ方式でのワ−クの処理は、
ロボット装置によって未処理のワ−クを供給部から受け
取り、そのワ−クを処理チャンバへ供給する。ワ−クが
処理チャンバで処理されたならば、そのワ−クをロボッ
ト装置によって処理チャンバから受け取り、つぎの処理
チャンバへ受け渡したり、別の処理部へ搬送するなどの
ことが行われる。
【０００５】そのため、生産性を向上させるためには、
上記ロボット装置の性能としてワ−クの受け取りと供給
を迅速に行えることが要求され、さらには小型であるこ
となどが要求されている。
【０００６】従来、このようなマルチチャンバ方式に用
いられるロボット装置としては、特開平８−２７４１４
０号公報に示される先行技術がある。この公報に示され
たロボット装置は、回転駆動される胴体を有し、この胴
体には複数のア−ムが伸縮自在に連設されてなる一対の
フィンガが左右対称に設けられている。
【０００７】したがって、一方のフィンガの先端ア−ム
に未処理のワ−クを保持させた状態で、他方のフィンガ
のア−ムを処理チャンバ内へ伸張させて処理済みのワ−
クを取り出したならば、一方のフィンガを処理チャンバ
内へ伸張させ、未処理のワ−クを処理チャンバへ供給す
る。
【０００８】ついで、各フィンガのア−ムを縮小させた
状態で、胴体を所定角度回動させ、他方のフィンガに保
持された処理済みのワ−クを所定の箇所に受け渡し、一
方のフィンガには未処理のワ−クを供給し、その状態で
処理が終了するまで待機させ、終了後に同じ動作を繰り
返すようにしている。
【０００９】このようなロボット装置によれば、２つの
フィンガの一方は未処理のワ−クを保持した状態で待機
しているから、受け渡し時に未処理のワークを供給する
場合に比べてワ−クの受け渡し時間を短縮することがで
きる。
【００１０】しかしながら、ワ−クの受け渡し時間を短
縮するために２つのフィンガを備えるようにしている。
つまり、実質的には２つのロボット装置によって作業を
行うことで、タクトタイムの短縮化を計るようにしてい
る。そのため、ロボット装置が大型化するばかりか、各
フィンガを別々の駆動源で駆動しているから、コストも
高くなるということがあった。
【００１１】さらに、１台のロボット装置でワ−クの受
け渡しを行う場合に比べれば、タクトタイムを短縮する
ことはできるものの、各フィンガの動きは、ア−ムを縮
小させて待機し、ワ−クを受け取るときには伸張させ、
受け取り後は再び縮小させるようになっている。その状
態で、受け取ったワ−クを所定の部位に受け渡すために
は胴体を所定角度回転させなければならない。つまり、
フィンガは、ア−ムの伸張や縮小、さらには所定方向へ
の方向変換の各動作を別々（順次）に行わなければなら
ないため、タクトタイムを大幅に短縮するということが
できなかった。
【００１２】一方、マルチチャンバ方式によってワ−ク
を処理する場合、複数の処理チャンバやロ−ドロックチ
ャンバがロボット装置を中心にして周方向に所定間隔で
配置されている。つまり、従来のロボット装置は上記公
報に示されているように、胴体を回転させてフィンガの
方向を変える構成であるため、複数の処理チャンバをロ
ボット装置の周囲に周方向に所定間隔で配置するという
ことが行われていた。
【００１３】そのため、処理チャンバを周方向に所定の
間隔で配置しなければならない構造上、隣り合う処理チ
ャンバ間に無駄なスペ−スが生じるから、全体の配置ス
ペ−スが大きくなるということがあったり、ワ−クを処
理チャンバ間で移動させるのにロボットのフィンガを所
定方向へ回転させなければならないから、それに時間が
掛り、全体のタクトタイムが長くなるなどのことがあっ
た。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来のロ
ボット装置は、ワ−クの受け渡し時間を短縮化するため
に実質的に２つのロボット装置を用いるようにしている
から、大型化やコスト高を招くということがあった。し
かも、２つのロボット装置を用いることで、ワ−クの受
け渡し時間をある程度は短縮することができても、その
ロボット装置は種々の動作を順次行う構成であるから、
タクトタイムを短縮することができないということがあ
った。
【００１５】また、マルチチャンバ方式によってワ−ク
を処理する場合、複数の処理チャンバはロボット装置を
中心にして周方向に所定間隔で配置するようにしている
から、隣り合う処理チャンバ間に無駄なスペ−スが生
じ、全体のスペ−スが大きくなるということがあった
り、ワ−クを処理チャンバ間で移動させる場合、その移
動を迅速に行うことができないなどのことがあった。
【００１６】この発明の目的は、大型化やコスト高を招
くことなく、タクトタイムを短縮することができるよう
にしたロボット装置を提供することにある。
【００１７】この発明の目的は、無駄なスペ−スが生じ
ることなく、複数の処理チャンバを配置できるようにし
た処理装置を提供することにある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、ワ−
クを受け渡すためのロボット装置において、取付体と、
この取付体に回転自在に設けられたア−ム体と、このア
−ム体を回転駆動する駆動手段と、上記取付体に設けら
れ上記ア−ム体の回転中心部に位置した固定プ−リと、
上記ア−ム体の両端部に回転自在に設けられた一対の回
転プ−リと、各回転プ−リに一端部が取り付けられこの
回転プ−リとともに回転して上記ワ−クを搬送する一対
のフィンガと、上記固定プ−リと上記回転プ−リとにわ
たって設けられ上記駆動手段によって上記ア−ム体を回
転させたのに基づき上記固定プ−リと回転プ−リとの外
径寸法比に応じて上記回転プ−リを回転させる動力伝達
手段とを具備したことを特徴とする。
【００１９】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、上記固定プ−リと上記回転プ−リとの外径寸法比は
２：１に設定されていることを特徴とする。
【００２０】請求項３の発明は、請求項１の発明におい
て、上記動力伝達手段は、上記一対の回転プーリ及び上
記固定プーリに掛け渡されるとともに上記固定プーリの
回転によって走行させられる無端状のベルトであること
を特徴とする。
【００２１】請求項４の発明は、請求項１の発明におい
て、上記アーム体は、上記回転プーリと固定プーリとを
収容した収容空間を有する中空状に形成されていて、上
記駆動手段は駆動源及び一端がこの駆動源に連結され他
端が上記アーム体に連結された駆動軸を有し、上記駆動
軸には一端が上記アーム体の収容空間に連通し他端がこ
の駆動軸の外周面に開放した通孔が形成されていて、こ
の駆動軸の上記通孔の他端が開放した外周面には上記通
孔を介して上記収容空間内を減圧する吸引手段が接続さ
れることを特徴とする。
【００２２】請求項５の発明は、ワ−クを真空中で処理
するための処理装置において、一側に複数の受け渡し口
が並列に形成されたトランスファチャンバと、このトラ
ンスファチャンバの受け渡し口にそれぞれ接続されて並
設された複数の処理チャンバと、上記トランスファチャ
ンバ内の上記受け渡し口と対向する位置にそれぞれ設け
られ外部から未処理のワ−クが供給されるとともに上記
処理チャンバで処理されたワ−クが供給されるトランス
ファテ−ブルと、各トランスファテ−ブルと各受け渡し
口との間にそれぞれ設けられトランスファテ−ブルと処
理チャンバとの間でワ−クを受け渡す第１のロボット装
置とを具備したことを特徴とする。
【００２３】請求項６の発明は、請求項５の発明におい
て、上記第１のロボット装置は請求項１に記載された構
成であることを特徴とする処理装置。
【００２４】請求項７の発明は、請求項５または請求項
６の発明において、隣り合うトランスファテ−ブルの間
には、これらのトランスファ−テブル間でワ−クを受け
渡すための第２のロボット装置が設けられていることを
特徴とする。
【００２５】請求項８の発明は、請求項５の発明におい
て、上記トランスファチャンバの上記一側と対向する他
側には大気バルブによって開閉される第２の受け渡し口
が形成されていて、上記大気バルブは、上記第２の受け
渡し口を開閉する弁体と、この弁体に一端が連結された
アーム体と、このアーム体の他端が連結されアーム体を
介して上記弁体を上記第２の受け渡し口に対して接離す
る方向に直線駆動するとともにこの接離する方向を中心
軸にして回転駆動する駆動手段とを有することを特徴と
する。
【００２６】請求項９の発明は、請求項８の発明におい
て、上記駆動手段は、シリンダと、このシリンダに軸方
向に移動可能に設けられ空気圧によって上記シリンダの
軸方向に駆動されるとともに上記シリンダから外部に突
出した一端に上記アーム体の他端が連結されたピストン
ロッドと、このピストンロッドの外周面に形成されたカ
ム溝と、上記カム溝に係合して設けられ上記ピストンロ
ッドがシリンダ内を軸方向に駆動されたのに基づきこの
ピストンロッドを上記カム溝の形状に応じて周方向に回
転させるガイド軸とを有することを特徴とする。
【００２７】請求項１０の発明は、請求項８の発明にお
いて、上記駆動手段は、シリンダと、このシリンダに軸
方向に移動可能に設けられ空気圧によって軸方向に駆動
されるピストンロッドと、このピストンロッドに一端が
回転自在に連結され他端に上記アーム体の他端が連結さ
れた連動軸と、この連動軸をスライド自在に支持すると
ともに内周面にカム溝が形成された支持体と、上記連動
軸に設けられ上記カム溝に係合するとともに上記連動軸
が上記ピストンロッドと連動して軸方向に駆動されたの
に基づき上記カム溝の形状に応じて上記連動軸を周方向
に回転させるカムフォロアとを有することを特徴とす
る。
【００２８】請求項１の発明によれば、ア−ム体を回転
させることで、このア−ム体に対して相対的に回転する
固定プ−リの回転が回転プ−リに伝達されるから、この
回転プ−リに設けられたフィンガがア−ム体に対して伸
長方向や縮小方向に回転する。そのため、フィンガはア
−ム体の方向変換と同時に伸縮が行われるため、ワ−ク
の受け渡しに要するタクトタイムを短縮化することがで
きる。
【００２９】請求項２の発明によれば、固定プ−リと上
記回転プ−リとの外径寸法比が２：１に設定されている
ことで、ア−ム体の回転角度に対してフィンガを２倍の
角度で回転させることができるから、一対のフィンガ
を、ア−ム体の回転角度に応じてア−ム体に重なり合う
状態と、ア−ム体の長手方向両端から延長線上に突出す
る状態とに位置決めできる。
【００３０】請求項３の発明によれば、回転プ−リと固
定プ−リとに無端状のベルトを掛け渡すことで、取付体
の回転に回転プーリを連動させるようにしたから、簡単
な構成で上記回転プーリを回転させることができる。
【００３１】請求項４の発明によれば、回転プーリと固
定プーリとが収容されたアーム体内の収容空間を吸引手
段で減圧するようにしたことで、このアーム体内で発生
する塵埃が外部に飛散するのを防止することができる。
【００３２】請求項５の発明によれば、トランスファチ
ャンバに対して複数の処理チャンバを並列に接続したこ
とで、全体の配置スペ−スを小さくすることが可能とな
る。
【００３３】請求項６の発明によれば、請求項５の処理
装置に第１のロボット装置として請求項１のロボット装
置を用いたことで、処理チャンバに対するワ−クの受け
渡しとトランスファテ−ブルに対するワ−クの受け渡し
とを同時に行うことができる。
【００３４】請求項７の発明によれば、隣り合うトラン
スファテ−ブル間に、これらのトランスファテ−ブル間
でワ−クを受け渡す第２のロボット装置を設けたので、
第１のロボット装置と併用することで、ワ−クを隣り合
う処理チャンバ間で受け渡すことができる。
【００３５】請求項８の発明によれば、トランスファチ
ャンバに形成された第２の受け渡し口を開閉する弁体
を、上記第２の受け渡し口に対して接離する方向に直線
駆動するとともにこの接離する方向を中心軸にして回転
駆動するようにしたから、直線運動と回転運動との組み
合わせによって上記弁体をトランスファチャンバに対し
て摺接させることなく開閉することができる。
【００３６】請求項９の発明によれば、ピストンロッド
にカム溝を形成し、このカム溝にガイド軸を係合させる
ことで、上記ピストンロッドを直線運動させながら回転
運動させ、この運動にピストンロッドに連結された弁体
を連動させることができる。
【００３７】請求項１０の発明によれば、ピストンロッ
ドの軸方向の動きに連動軸を連動させ、この連動軸に設
けられたカムフォロアを上記連動軸を支持した支持体に
形成されたカム溝に係合させることで、この連動軸に連
結された弁体を直線運動及び回転運動させることがで
き、しかもピストンロッドは直線運動させるだけである
から、耐摩耗性の向上を計ることができる。
【００３８】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面を参照して説明する。
【００３９】図１乃至図１８はこの発明の第１の実施の
形態で、図５に示す処理装置は内部が減圧されるトラン
スファチャンバ１を有する。このトランスファチャンバ
１の一側壁には複数、この実施の形態では２つの第１の
受け渡し口２が並列に形成されていて、各受け渡し口２
には第１の処理チャンバ３ａと第２の処理チャンバ３ｂ
とがその内部空間を連通させて接続されている。つま
り、第１の処理チャンバ３ａと第２の処理チャンバ３ｂ
とはトランスファチャンバ１の一側壁外面に並設されて
いる。
【００４０】なお、各第１の受け渡し口２はそれぞれ内
部バルブ４によって開閉されるようになっている。
【００４１】上記トランスファチャンバ１内には、一方
の第１の受け渡し口２と対向する位置に第１のトランス
ファテ−ブル５ａが設けられ、他方の第１の受け渡し口
２と対向する位置に第２のトランスファテ−ブル５ｂが
設けられている。一対のトランスファテ−ブル５ａ、５
ｂは上下駆動されるとともに、各テ−ブルの盤面の中央
部分にはそれぞれ上下駆動される３本の押上げピン６が
設けられている。
【００４２】各押上げピン６は通常下降位置にあり、ト
ランスファテ−ブル５ａ、５ｂ上に後述するように供給
されたワ−クとしての半導体ウエハＵを受け渡すとき
に、上記押上げピン６が上昇駆動される。それによっ
て、半導体ウエハＵはトランスファテ−ブル５ａ、５ｂ
の盤面から所定寸法上昇させられるようになっている。
【００４３】上記トランスファチャンバ１の上部壁の、
上記第１、第２のトランスファテ−ブル５ａ，５ｂに対
向する部分には、図６と図７に示すようにトランスファ
チャンバ１の内部空間に連通するロ−ドロックチャンバ
７が形成されている。
【００４４】各ロ−ドロックチャンバ７は上記各トラン
スファテ−ブル５ａ，５ｂが上昇方向に駆動されること
で、このテ−ブル５ａ，５ｂによってトランスファチャ
ンバ１の内部空間と気密に隔別されるようになってい
る。さらに、上記ロ−ドロックチャンバ７の一側壁には
第２の受け渡し口８が形成され、この受け渡し口８は大
気バルブ９によって開閉されるようになっている。
【００４５】上記大気バルブ９は、図８に示すように上
記第２の受け渡し口８の開口面積よりも大きな面積を有
する矩形状をなした帯板状の弁体１０１を備えている。
この弁体１０１の上記ロードロックチャンバ７の外壁面
に接合する一側面には図示しない環状のアリ溝が形成さ
れ、このアリ溝にはＯリング１０２が径方向の一部を一
側面から突出させて脱落しないよう取着されている。
【００４６】上記弁体１０１の他側面の長手方向中途部
には帯状のアーム体１０３の一端部が取付板１０３ａを
介在させて連結固定されている。このアーム体１０３は
上記ロードロックチャンバ７の側方に配置された駆動手
段１０４によって駆動されるようになっている。なお、
アーム体１０３と弁体１０１だけでも、同様の機能が果
たせれば取付板１０３ａがなくてもよい。
【００４７】上記駆動手段１０４は図９に示すようにシ
リンダ１０５を備えている。このシリンダ１０５内には
外周面にピストンパッキン１０６が設けられたピストン
１０７がスライド自在に収容されている。このピストン
１０７にはピストンロッド１０８の一端が連結固定され
ている。
【００４８】上記ピストンロッド１０８の他端側は上記
シリンダ１０５の一端側の開口部に取着された筒状のロ
ッドカバー１０９に通されて外部に突出している。この
ロッドカバー１０９の内周面にはロッドパッキン１１０
が設けられ、このロッドカバー１０９と上記ピストンロ
ッド１０８との間の気密を維持している。
【００４９】上記ピストンロッド１０８の上記シリンダ
１０５内に位置する部分の外周面にはカム溝１１１が形
成されている。図１０はカム溝１１１の展開図で、この
カム溝１１１はピストンロッド１０８の軸線に平行な直
線部１１１ａと、この直線部１１１ａの一端に連続し上
記ピストンロッド１０８の周方向に沿う傾斜部１１１ｂ
とからなる。
【００５０】上記シリンダ１０５には上記カム溝１１１
に係合するガイド軸１１２が気密に捩じ込まれている。
したがって、ピストンロッド１０８は上記カム溝１１１
がガイド軸１１２にガイドされて駆動されるようになっ
ている。
【００５１】上記シリンダ１０５には上記ピストン１０
７の一側面側と他側面側に対して圧縮空気を供給排出す
る第１のポート１１３と第２のポート１１４が形成され
ている。各ポート１１３，１１４は流路１１３ａ，１１
４ａを介してシリンダ１０５の内部に連通している。
【００５２】図９に示すようにピストン１０７が後退限
の位置において、第１のポート１１３から圧縮空気が供
給されると、その圧縮空気は流路１１３ａからシリンダ
１０５の内底部に形成された環状溝１１５に流入する。
したがって、上記ピストン１０７は同図に矢印Ｘで示す
前進方向へ駆動される。
【００５３】上記ピストン１０７が前進限まで駆動され
た状態において、第２のポート１１４から圧縮空気が供
給されると、上記ピストン１０７は矢印Ｘとは逆方向で
ある後退方向へ駆動される。
【００５４】ピストン１０７の動きにはピストンロッド
１０８が連動する。上記ピストン１０７が後退限から矢
印Ｘ方向へ駆動されると、ガイド軸１１２がカム溝１１
１の直線部１１１ａを経て傾斜部１１１ｂへ至る。した
がって、ピストンロッド１０８は、ガイド軸１１２がカ
ム溝１１１の直線部１１１ａを移動するときには直線駆
動され、傾斜部１１１ｂを移動するときには回転駆動も
直線運動に付加される。上記ピストンロッド１０８には
上記アーム体１０３の他端が継手１１６を介して接続さ
れる。
【００５５】したがって、上記ピストンロッド１０８に
アーム体１０３を介して連結された弁体１０１は上記ピ
ストンロッド１０８の動きに連動するようになってい
る。なお、図８中１１８は吸引管１１７が接続されたダ
ストカバーで、このダストカバー１１８は上記ロッドカ
バー１０９を覆い、この部分で発生する塵埃を排出する
ようになっている。
【００５６】図１１（ａ），（ｂ）及び図１２（ｃ）〜
（ｅ）に上記ピストンロッド１０８の動きに連動する弁
体１０１の動きを示す。つまり、図１１（ａ）はピスト
ン１０７が後退限の状態で、この状態では弁体１０１は
ロードロックチャンバ７の第２の受け渡し口８を気密に
閉塞している。上記ピストン１０７が後退限からピスト
ンロッド１０８がカム溝１１１の直線部１１１ａによっ
て直線駆動されている間は、図１１（ｂ）に示すように
上記弁体１０１が上記第２の受け渡し口８から平行に離
反する方向へ駆動される。
【００５７】上記ピストンロッド１０８がカム溝１１１
の傾斜部１１１ｂによって回転されながら前進限まで駆
動されると、上記弁体１０１は図１２（ｃ），（ｄ），
（ｅ）に示すように下方向へ回動し、上記第２の受け渡
し口８の前方から退避することになる。したがって、上
記第２の受け渡し口８を介してロードロックチャンバ７
に対し半導体ウエハＵを出し入れすることが可能とな
る。
【００５８】上記ピストンロッド１０８を前進限から後
退限まで駆動すれば、上記弁体１０１は先程とは逆に動
作して上記第２の受け渡し口８を気密に閉塞することに
なる。
【００５９】このように、弁体１０１を直線運動および
回転運動させることで、第２の受け渡し口８を開閉させ
るようにしたことで、開放時及び閉塞時に上記弁体１０
１に設けられたＯリング１０２がロードロックチャンバ
７の壁面に擦られることがないから、早期に損傷するの
を防ぐことができる。
【００６０】また、上記弁体１０１の上下方向及び前後
方向の駆動を１つのシリンダ１０５からなる駆動手段１
０４によって行うことができるから、構成の簡略化や小
型化を図ることができる。
【００６１】上記トランスファチャンバ１内の各第１の
受け渡し口２と各トランスファテ−ブル５ａ、５ｂの間
にはそれぞれ第１のロボット装置１１が配置されてい
る。この第１のロボット装置１１は図１に示すように上
記トランスファチャンバ１の底壁に形成された取付孔１
ａにＯリング１２を介して気密に嵌入固定された取付体
１３を有する。この取付体１３の下面側には連結ロッド
１４によって駆動源１５が取り付けられている。この駆
動源１５はモ−タ１５ａと減速機１５ｂとが一体化され
てなる。
【００６２】上記駆動源１５の出力軸１６には駆動軸１
７がカップリング１８を介して接続されている。この駆
動軸１７は、上記取付体１３に穿設された通孔１９に軸
受２１によって回転自在に支持され、先端部を上記トラ
ンスファチャンバ１内に突出させている。なお、駆動軸
１７は上端側に向かうにつれて段階的に大径に形成され
ている。
【００６３】駆動軸１７のトランスファチャンバ１内に
突出した先端部は、押え部材２２に形成された通孔２３
に回転自在かつ気密に挿通されている。この押え部材２
２の下部にはフランジ２４が形成され、このフランジ２
４は上記取付体１３の上面に接合されてねじ２５によっ
て固定されている。
【００６４】上記駆動軸１７の上記押え部材２２の通孔
２３から突出した先端にはア−ム体３１の長手方向中央
部が連結固定されている。つまり、ア−ム体３１は下ケ
−ス３２と上ケ−ス３３とを接合してなり、これらの接
合面間には収納空間３４が形成されている。
【００６５】下ケ−ス３２の中央部分には通孔３５が穿
設され、この通孔３５には上記押え部材２２の上端部が
軸受３５ａによって回転自在に支持されている。上記押
え部材２２に支持された上記駆動軸１７の先端部は上記
収納空間３４に突出している。そして、駆動軸１７の先
端面は上ケ−ス３３の内面に接合され、この接合部分が
ねじ３６によって固定されている。
【００６６】上記収納空間３４に突出した押え部材２２
の先端部には固定プ−リ３８が取り付け固定されてい
る。つまり、固定プ−リ３８はア−ム体３１の長手方向
中央部に位置している。
【００６７】上記収納空間３４の長手方向一端部内には
第１の回転プ−リ４１が回転自在に設けられ、他端部内
には第２の回転プ−リ４２が回転自在に設けられてい
る。一対の回転プ−リ４１、４２と固定プ−リ３８とに
は動力伝達手段としての無端状のタイミングベルト４３
が掛け渡されている。固定プ−リ３８と各回転プ−リ４
１、４２との間にはそれぞれ調整板４４に取り付けられ
た一対のテンションロ−ラ４５が所定の間隔で設けられ
ている。上記調整板４４はア−ム体３１の長手方向に沿
って位置調整できる。それによって、上記一対のテンシ
ョンロ−ラ４５により上記タイミングベルト４３のテン
ションを調整できるようになっている。
【００６８】上記固定プ−リ３８と回転プ−リ４１、４
２との歯数比（外径寸法比）は２対１に設定されてい
る。それによって、固定プ−リ３８と回転プ−リ４１、
４２とが後述するように相対的に回転する場合、これら
の回転比は２対１となる。
【００６９】各回転プ−リ４１、４２の上面には取付軸
４１ａ、４２ａが突設されている。各取付軸４１ａ、４
２ａは上ケ−ス３３から外部へ突出している。第１の回
転プ−リ４１の取付軸４１ａには第１のフィンガ４７が
取り付けられ、第２の回転プ−リ４２の取付軸４２ａに
は第２のフィンガ４８が取り付けられている。
【００７０】第１の回転プ−リ４１の取付軸４１ａは第
２の回転プ−リ４２の取付軸４２ａよりも短く設定され
ている。それによって、第１のフィンガ４７は第２のフ
ィンガ４８よりも高さ位置が低くなっている。
【００７１】第１のフィンガ４７と第２のフィンガ４８
との高さ位置を違えたことで、各フィンガ４７、４８が
図４に示すようにア−ム体３１の長手方向の延長線上に
位置する状態から９０度回転して図５に示すようにア−
ム体３１上に位置しても、これらフィンガ４７、４８は
ぶつからずに、上下方向に所定間隔で離間対向位置する
ことになる。
【００７２】なお、図２に示すように上記ア−ム体３１
の上ケ−ス３３には一対の蓋板４９が開閉自在に設けら
れ、この蓋板４９を取り外すことで、収納空間３４を点
検できるようになっている。
【００７３】図１及び図１３に示すように、上記駆動軸
１７には、その軸方向に沿って通孔６１が形成されてい
る。上記駆動軸１７の外周面の上記通孔６１の下端部に
対応する部分には周回溝６２が形成されている。この周
回溝６２と上記通孔６１とは駆動軸１７の径方向に沿っ
て形成された下部開放孔６３によって連通している。上
記通孔６１の上端は駆動軸１７の上端面に開放し、この
上端面には径方向に上部開放溝６４が形成されている。
この上部開放溝６４によって上記通孔６１がアーム体３
１の収容空間３４に連通している。
【００７４】なお、この実施の形態では、下部開放孔６
３と上部開放溝６４を複数形成したが、これらは１つで
あっても差し支えない。
【００７５】上記駆動軸１７の周回溝６２の部分には円
筒状のハウジング６５が回転自在かつＯリング６６を介
して気密に設けられている。このハウジング６５には上
記周回溝６２に連通した吸引孔６７が形成されている。
この吸引孔６７には吸引ポンプ６８の吸引側が吸引チュ
ーブ６９を介して接続されている。吸引ポンプ６８から
の排出空気は排気チューブ７１によって所望の個所、た
とえばロボット装置１１が配設されたトランスファチャ
ンバ1 の外部に排出されるようになっている。
【００７６】なお、上記ハウジング６５は連結部材６５
ａによって上記連結ロッド１４に連結固定されている。
【００７７】図３に示すように、上記アーム体３１の側
部にはその収容空間３４を外部に連通させる導入孔７２
が形成されている。この導入孔７２には逆止弁７３が外
気を収容空間３４に導入することができる方向で接続さ
れている。
【００７８】したがって、上記吸引ポンプ６８が作動し
て収容空間３４が減圧されると、逆支弁７３から収容空
間３４に外気が導入され、上記通孔６１を通じて排気チ
ューブ７１からトランスファチャンバ1 の外部に排出さ
れるようになっている。
【００７９】それによって、ロボット装置１１が作動す
ることで固定プーリ３８、回転プーリ４２あるいはテン
ションローラ４５がタイミングベルト４３と摺動して発
生する塵埃や上記回転プーリ４２の回転部分から発生す
る塵埃がアーム体３１の収容空間３４からトランスファ
チャンバ1 内に流出するのが防止されるようになってい
る。
【００８０】上記構成の第１のロボット装置１１による
と、駆動源１５を作動させて駆動軸１７を回転させる
と、その回転にア−ム体３１が連動する。図３におい
て、ア−ム体３１が矢印Ａ方向に回転すると、固定プ−
リ３８は回転しないから、タイミングベルト４３は矢印
Ｂ方向に走行する。それによって、一対の回転プ−リ４
１、４２は矢印Ｃ方向に回転するから、この回転に一対
のフィンガ４７、４８が連動する。
【００８１】一対のフィンガ４７、４８がア−ム体３１
上で上下方向に離間して重合位置した状態を、このア−
ム体３１の回転角度が０度の状態とする。ア−ム体３１
を回転角度０度から矢印Ａ方向へ９０度回転させれば、
一対のフィンガ４７、４８は１８０度回転するから、ア
−ム体３１の長手方向延長線上に位置することになる。
つまり、一対のフィンガ４７、４８はア−ム体３１の両
端から突出し、ア−ム体３１と一直線となる。
【００８２】一方、上記トランスファチャンバ１内の上
記第１のトランスファテ−ブル５ａと第２のトランスフ
ァテ−ブル５ｂとの間には、図５に示すように第２のロ
ボット装置５１が配設されている。この第２のロボット
装置５１は、図５に示すように基部５２を有し、この基
部５２から突設された駆動軸５３にフィンガ５４の基端
部が連結されている。このフィンガ５４は図５に矢印で
示す範囲、つまり、第１のトランスファテ−ブル５ａ上
に位置する状態と、第２のトランスファテ−ブル５ｂ上
に位置する状態との間で回転駆動されるようになってい
る。
【００８３】なお、フィンガ５４の高さは、トランスフ
ァテ−ブル５ａ、５ｂの上面よりも高く、第１のロボッ
ト装置１１の第１のフィンガ４７よりも低い位置に設定
されている。それによって、トランスファテ−ブル５
ａ、５ｂ上に第１のフィンガ４７が位置する状態で、こ
のテ−ブル５ａ、５ｂと第１のフィンガ４７との間に入
り込むことができるようになっている。
【００８４】つぎに、上記構成の処理装置によって半導
体ウエハＵを処理する場合について図１４乃至図１８を
参照して説明する。図１４（ａ）は待機状態であり、こ
の待機状態においては第１のトランスファテ−ブル５ａ
は下降しており、一対の第１のロボット装置１１は各ア
−ム体３１が０度の回転角度にある。さらに、第２のロ
ボット装置５１はフィンガ５４を一対のトランスファテ
−ブル５ａ、５ｂの中間に位置させている。
【００８５】このような状態で、まず図１４（ｂ）に示
すように第１のトランスファテ−ブル５ａが上昇駆動さ
れて図６に示すように一方のロ−ドロックチャンバ７を
密閉すると、大気バルブ９が作動して第２の受け渡し口
８を開放し、この第２の受け渡し口８から第１のトラン
スファテ−ブル５ａ上に未処理の半導体ウエハＵ１が供
給される。半導体ウエハＵ１が供給されると、押上げピ
ン６が上昇駆動され、大気バルブ９が作動し、第２の受
け渡し口８を気密に閉塞する。
【００８６】つぎに、図１４（ｃ）に示すように上記第
１のトランスファテ−ブル５ａは下降する。これによ
り、半導体ウエハＵ１が第１のトランスファテ−ブル５
ａの上面から浮いた状態で保持される。
【００８７】ついで、図１５（ｄ）に示すように第１の
トランスファテ−ブル５ａ側に配置された第１のロボッ
ト装置１１のア−ム体３１を０度の状態から９０度の状
態に回転駆動する。それと同時に、第１の処理チャンバ
３ａ側の内部バルブ４を作動させ、第１の受け渡し口２
を開放する。
【００８８】ア−ム体３１の回転によって一対のフィン
ガ４７、４８はア−ム体３１の回転速度の２倍の回転速
度で回転する。それによって、ア−ム体３１が９０度回
転すると、一対のフィンガ４７、４８は１８０度回転す
るから、第１のフィンガ４７は第１のトランスファテ−
ブル５ａ上で持ち上げられて保持されている半導体ウエ
ハＵ１の下面に入り込み、第２のフィンガ４８は受け渡
し口２から第１の処理チャンバ３ａ内に入り込む。第１
のフィンガ４７が半導体ウエハＵ１の下側に入り込む
と、押上げピン６が下降して半導体ウエハＵ１が第１の
フィンガ４７に受け渡される。
【００８９】ついで、図１５（ｅ）に示すように、ア−
ム体３１を図１５（ｄ）に示す状態から１８０度回転さ
せる。それによって、半導体ウエハＵ１を保持した第１
のフィンガ４７が第１の処理チャンバ３ａに入り込むか
ら、未処理の半導体ウエハＵ１が第１の処理チャンバ３
ａに受け渡される。
【００９０】図１５（ｅ）に示す工程において、ア−ム
体３１を１８０度回転させると、一対のフィンガ４７，
４８は３６０度回転するから、その回転の途中でア−ム
体３１の上面で行き違うが、これらフィンガ４７，４８
は異なる高さに設定されているため、ぶつかることがな
い。
【００９１】半導体ウエハＵ１を第１の処理チャンバ３
ａに受け渡した後、図１５（ｆ）に示すようにア−ム体
３１は回転角度が０度の状態となる。つまり、ア−ム体
３１は初期状態となる。
【００９２】半導体ウエハＵ１が第１の処理チャンバ３
ａで処理されている間に、第１のトランスファテ−ブル
５ａ上にはつぎの未処理の半導体ウエハＵ２が供給され
る。この状態を図１６（ｇ）に示す。
【００９３】半導体ウエハＵ１の処理が終了すると、図
１６（ｈ）に示すように第１のトランスファテ−ブル５
ａの押上げピン６が上昇駆動されて半導体ウエハＵ２が
持ち上げられ、図１６（ｉ）に示すようにア−ム体３１
が９０度回転駆動される。それによって、第１のフィン
ガ４７が第１のトランスファテ−ブル５ａ上の半導体ウ
エハＵ２を受け取り、第２のフィンガ４８が第１の処理
チャンバ３ａ内に入り込んで、ここで処理された半導体
ウエハＵ１を受け取る。
【００９４】それぞれのフィンガ４７、４８が半導体ウ
エハＵ１，Ｕ２を受け取ると、図１７（ｊ）に示すよう
にア−ム体３１が１８０度回転するのに基づき、第２の
ロボット装置５１のフィンガ５４が第１のトランスファ
テ−ブル５ａ上へ回転し、第２のフィンガ４８の下側に
位置する。
【００９５】その状態で第１のトランスファテ−ブル５
ａの押上げピン６が上昇し、第２のフィンガ４８に保持
された処理ずみの半導体ウエハＵ１が第１のトランスフ
ァテ−ブル５ａに受け渡される。また、第１のフィンガ
４７に保持された未処理の半導体ウエハＵ２は第１の処
理チャンバ３ａに受け渡される。
【００９６】ついで、図１７（ｋ）に示すように第１の
ロボット装置１１のア−ム体３１が０度の角度に回転さ
れるとともに、第１のトランスファテ−ブル５ａの押上
げピン６が下降して半導体ウエハＵ１が第２のロボット
装置５１のフィンガ５４に受け渡される。
【００９７】半導体ウエハＵ１を受け取ると、図１７
（ｌ）に示すようにフィンガ５４は第２のトランスファ
テ−ブル５ｂ上へ回動し、ついでこのテ−ブル５ｂの押
上げピン６が上昇して半導体ウエハＵ１が受け渡され
る。
【００９８】ついで、図１８（ｍ）に示すように第２の
トランスファテ−ブル５ｂ側、つまり第２の処理チャン
バ３ｂ側の第１のロボット装置１１のア−ム体３１が０
度の状態から９０度回転し、その第１のフィンガ４７が
半導体ウエハＵ１の下側と第２のロボット装置５１のフ
ィンガ５４の上側との間に入り込む。そして、押上げピ
ン６が下降することで、第１の処理チャンバ３ａで処理
された半導体ウエハＵ１が第１のフィンガ４７に受け渡
される。
【００９９】第１のフィンガ４７が半導体ウエハＵ１を
受け取ると、図１８（ｎ）に示すようにア−ム体３１が
１８０度回転する。この回転に基づき第２の処理チャン
バ３ｂに連通する第１の受け渡し口２が開放される。そ
れによって、半導体ウエハＵ１を保持した第１のフィン
ガ４７が第２の処理チャンバ３ｂ内に入り込むから、第
１の処理チャンバ３ａで処理された半導体ウエハＵ１が
第２の処理チャンバ３ｂに受け渡される。
【０１００】半導体ウエハＵ１を第２の処理チャンバ３
ｂに受け渡すと、ア−ム体３１は図１８（ｏ）に示すよ
うに９０度回転して待機状態となる。その間に、半導体
ウエハＵ１は第２の処理チャンバ３ｂでさらに処理され
ることになる。
【０１０１】半導体ウエハＵ１が第２の処理チャンバ３
ｂで処理され終わると、第２の処理チャンバ３ｂ側の第
１のロボット装置１１によって取り出されて第２のトラ
ンスファテ−ブル５ｂへ渡される。
【０１０２】半導体ウエハＵ１が第２のトランスファテ
−ブル５ｂに受け渡されると、このテ−ブル５ｂがロ−
ドロックチャンバ７を密閉する状態に上昇する。つい
で、大気バルブ９が駆動されて第２の受け渡し口８が開
放され、この第２の受け渡し口８から半導体ウエハＵ１
が外部に搬出されることになる。
【０１０３】このような処理装置によれば、上述したよ
うに第１のロボット装置１１はア−ム体３１の回転によ
る方向変換と同時に一対のフィンガ４７、４８が回転、
つまりア−ム体３１に対して回転して伸縮する。
【０１０４】そのため、半導体ウエハＵを所定の部位か
ら受け取り、所定の部位へ受け渡す場合のタクトタイム
を短縮することができる。
【０１０５】ア−ム体３１と一対のフィンガ４７、４８
との回転比は１：２に設定されている。そのため、ア−
ム体３１の回転角度が０度のときに、一対のフィンガ４
７、４８がア−ム体３１上に重合するよう位置決めすれ
ば、ア−ム体３１を９０度回転させれば、一対のフィン
ガ４７、４８をア−ム体３１の長手方向の延長線上にア
−ム体３１と一直線となるよう位置させることができ
る。その状態からア−ム体３１を１８０度回転させる
と、一対のフィンガ４７、４８の位置を逆にしてこれら
フィンガ４７、４８をア−ム体３１の長手方向の延長線
上に位置させることができる。
【０１０６】したがって、一対のフィンガ４７、４８の
どちらか一方で半導体ウエハＵを所定の部位から受け取
り、他方で所定の部位へ受け渡すことができる。
【０１０７】しかも、一対のフィンガ４７、４８がア−
ム体３１の長手方向の延長線上に位置する状態から上記
ア−ム体３１を回転角度が０度になる方向へ回転させる
と、上記フィンガ４７、４８はア−ム体３１に重合する
方向に回転するから、ア−ム体３１を回転させるときに
要する回転半径を小さくすることができる。
【０１０８】一方、トランスファチャンバ１には２つの
受渡し口２を並設し、これら受け渡し口２にそれぞれ処
理チャンバ３ａ、３ｂを連通させて配置した。つまり、
２つの処理チャンバ３ａ、３ｂを並設するようにした。
【０１０９】そのため、従来のようにロボット装置を中
心にして複数の処理チャンバを周方向に所定間隔で配置
する場合に比べて全体の配置スペ−スを小さくすること
ができる。
【０１１０】しかも、各処理チャンバ３ａ、３ｂと各ト
ランスファテ−ブル５ａ、５ｂとの間にそれぞれ第１の
ロボット装置１１を配置した。それによって、各トラン
スファテ−ブル５ａ、５ｂに対する半導体ウエハＵの受
け渡しと、各処理チャンバ３ａ、３ｂに対する半導体ウ
エハＵの受け渡しとを同期させて行うことができるか
ら、タクトタイムを短縮することができる。
【０１１１】さらに、一対のトランスファテ−ブル５
ａ、５ｂの間に第２のロボット装置５１を配置し、これ
らテ−ブル５ａ、５ｂ間で半導体ウエハＵを受け渡すこ
とができるようにした。そのため、第１の処理チャンバ
３ａで処理された半導体ウエハＵを第１、第２のトラン
スファテ−ブル５ａ、５ｂを介して第２の処理チャンバ
３ｂへ供給することができるから、半導体ウエハＵに２
つの処理を連続して行うことが可能となる。
【０１１２】上記第１の実施の形態では一対のトランス
ファテ−ブル５ａ、５ｂの間に第２のロボット装置５１
を配置し、第１の処理チャンバ３ａで処理された半導体
ウエハＵをさらに第２の処理チャンバ３ｂで処理する場
合について説明したが、半導体ウエハＵに２つの処理を
連続して行う必要がない場合には、第１の処理チャンバ
３ａ側と第２の処理チャンバ３ｂ側とを並列に使用すれ
ばよい。
【０１１３】また、並設される処理チャンバの数は２つ
に限定されず、３つ以上であってもよい。
【０１１４】さらに、第１のロボット装置１１におい
て、図示しないが固定プ−リ３８を上下二段のプ−リ部
に形成し、一方のプ−リ部と一方の回転プ−リ４１とに
無端状の第１のタイミングベルトを掛け渡し、他方のプ
−リ部と他方の回転プ−リ４２とに無端状の第２のタイ
ミングベルトを掛け渡すようにしても、ア−ム体３１を
回転させることで一対の回転プ−リ４１、４２を回転さ
せることができる。
【０１１５】図１９乃至図２１はこの発明の第２の実施
の形態を示す。この第２の実施の形態は大気バルブ９を
駆動する駆動手段の変形例で、この駆動手段１０４Ａは
図１９に示すようにシリンダ１３１を有する。このシリ
ンダ１３１は空気圧によって直線駆動されるピストンロ
ッド１３２を有し、このピストンロッド１３２の上記シ
リンダ１３１から突出した一端部には連結部材１３３の
一端部が取り付けられている。
【０１１６】上記シリンダ１３１の下方には支持体１３
４が配置されている。この支持体１３４には挿通孔１３
５が軸方向に貫通して形成されている。この挿通孔１３
５には連動軸１３６が上記挿通孔１３５の軸方向両端部
に設けられたブッシュ１３７によって回転自在かつ軸方
向にスライド自在に支持されている。
【０１１７】上記連動軸１３６は、一端部が上記連結部
材１３３の他端部に軸受１３７を介して回転自在に連結
され、他端部には大気バルブ９の弁体１０１とアーム体
１０３との一端部が連結されている。
【０１１８】上記連動軸１３６の上記支持体１３４内に
位置する中途部の外周面には図２０に示すようにカムフ
ォロア１３８が回転自在に設けられている。このカムフ
ォロア１３８は上記支持体１３４の周壁を厚さ方向に貫
通して形成されたカム溝１３９に転動自在に係合してい
る。
【０１１９】図２１は上記支持体１３４の側面図で、上
記カム溝１３９は傾斜部１３９ａの両端部にそれぞれ所
定長さの直線部１３９ｂが形成されてなる。したがっ
て、上記ピストンロッド１３２が駆動され、その動きに
連動軸１３６が連動すると、カムフォロア１３８がカム
溝１３９に沿って転動する。
【０１２０】それによって、上記連動軸１３６は直線運
動と回転運動をし、その運動にアーム体１０３を介して
弁体１０１を連動させることになるから、この弁体１０
１によって第２の受け渡し口８が開閉されることにな
る。なお、カム溝１３９は第１の実施の形態に示す形状
であってもよい。
【０１２１】この実施の形態では、ピストンロッド１３
２の直線運動に連動軸１３６を連動させるとともに、こ
の連動軸を支持した支持体１３４にカム溝１３９を形成
し、このカム溝１３９に上記連動軸１３６に設けられた
カムフォロア１３８を係合させるようにした。
【０１２２】そのため、上記第１の実施の形態のように
ピストンロッド１３２にカム溝１３９を形成せずにすむ
から、ピストンロッド１３２の剛性を低下させることが
なく、しかも回転自在に支持された連動軸１３６を回転
させるようにしたため、ピストンロッド１３２を回転さ
せる場合に比べてその回転、つまり弁体１０１の回転を
円滑に行うことが可能となる。
【０１２３】図２２はこの発明の第３の実施の形態で、
この実施の形態は大気バルブ９を駆動する構造の変形例
である。なお、第１の実施の形態と同一部分には同一記
号を付して説明を省略する。
【０１２４】すなわち、弁体１０１が連結されるアーム
体１０３Ａは、第１の実施の形態よりも長尺に形成さ
れ、その中途部が駆動手段１０４のピストンロッド（図
２２には図示されていない）に連結されている。このア
ーム体１０３Ａの一端部には弁体１０１が取付板１０３
ａを介して取り付けられ、他端部は上記弁体１０１が第
２の受け渡し口９を閉塞した状態で、駆動手段１０４の
側方に配置されたダミーロード１４１に当接するように
なっている。なお、この他端部の当接面には弁体１０１
に取着されるＯリング１０２と断面形状が同じ径のＯリ
ング１４２が設けられている。つまり、アーム体１０３
Ａの他端部は、弁体１０１が第２の受け渡し口８を閉塞
する条件に近い条件でダミーロード１４１に当接するよ
うになっている。
【０１２５】このように、アーム体１０３Ａの他端部を
ダミーロード１４１に当接させるようにしたことで、弁
体１０１をロードロックチャンバ７に当接させて第２の
受け渡し口８を閉塞した状態において、その当接によっ
てアーム体１０３Ａの他端部に生じる反力が上記ダミー
ロード１４１によって吸収される。それによって、上記
アーム体１０３Ａの一端部側が反るのが阻止されるか
ら、弁体１０１による第２の受け渡し口８の密閉状態が
損なわれるのが防止される。
【０１２６】図２３はこの発明の第４の実施の形態で、
この実施の形態は２つのロードロックチャンバ７が並設
されている場合に有効な構成である。つまり、一対のロ
ードロックチャンバ７の間に１つの駆動手段１０４を配
置する。この駆動手段１０４のピストンロッド（図２３
には図示されていない）にはアーム体１０３Ｂの中途部
が連結固定されている。このアーム体１０３Ｂには取付
板１０３ｂを介して、２つのロードロックチャンバ７の
２つの第２の受け渡し口８を同時に閉塞できる長さ寸法
に形成された弁体１０１Ａが取り付けられている。つま
り、弁体１０１Ａはその長手方向一端側が一方の第２の
受け渡し口８を閉塞し、他端側が他方の第２の受け渡し
口８を閉塞するようになっている。
【０１２７】したがって、一対の第２の受け渡し口８が
閉塞された状態において、弁体１０１Ａの一端側と他端
側とには逆方向の反力が発生するから、この弁体１０１
Ａの一端側と他端側とによる第２の受け渡し口8 の閉塞
状態が損なわれるのが防止されるようになっている。
【０１２８】図２４はこの発明の第５の実施の形態で、
この実施の形態は駆動手段１０４のピストンロッド１０
８に一端が連結されたアーム体１０３Ｃの他端部にばね
作用を呈する切り欠きばね部１５１を形成する。このア
ーム体１０３Ｃの他端部にはばね作用を呈する帯状連結
部材１５２の一端部の一側面に形成された第1 の凸部１
５３ａを連結固定する。上記帯状連結部材１５２の他端
部の他側面には第２の凸部１５３ｂが形成され、この第
2 の凸部１５３ｂに弁体１０１の中途部が連結固定され
ている。
【０１２９】上記弁体１０１のロードロックチャンバ７
に接合する一側面にはアリ溝１５４が環状に形成され、
このアリ溝１５４にはＯリング１０２が脱落しないよう
に保持されている。
【０１３０】上記切り欠きばね部１５１、帯状連結部材
１５２及び弁体１０１の長手方向の中心Ｃは一致するよ
うに位置決めされ、上記帯状連結部材１５２の他端部は
上記弁体１０１の長手方向中心部より一端側（ピストン
ロッド１０８側）にずれた位置に連結されている。
【０１３１】このような構成によれば、上記弁体１０１
がロードロックチャンバ７の外壁に押し当てられて第２
の受け渡し口８を閉塞すると、弁体１０１からの反力が
帯状連結部材１５２とアーム体１０３Ｃとに伝達され
る。
【０１３２】帯状連結部材１５２とアーム体１０３Ｃと
に加わる反力は等しく、各々のばね定数が等しいとき、
帯状連結部材１５２とアーム体１０３Ｃの反り（変形）
は等しくなる。これによって、反力による弁体１０１の
閉塞口に対する平行度が保たれ、上記弁体１０１が反っ
て第２の受け渡し口８の閉塞状態が損なわれるのが防止
される。
【０１３３】この第５の実施の形態において、アーム体
１０３Ｃの端部に切り欠きばね部１５１を形成したが、
アーム体１０３Ｃをばね鋼板で形成することで、全長に
わたってばね作用を持たせるようにしてもよい。つま
り、アーム体１０３Ｃには、その少なくとも帯状連結部
材１５２が連結される端部側にばね作用を有する構成で
あればよい。しかも、アーム体１０３Ｃに切り欠きばね
部１５１を一体形成したことで、通常のフローティング
機構のように摺動部分がないから、ゴミなどのパーティ
クルの発生のないフローティング機構を実現できる。
【０１３４】
【発明の効果】請求項１の発明によれば、ア−ム体を回
転させることで、このア−ム体に対して相対的に回転す
る固定プ−リの回転が一対の回転プ−リに伝達されるか
ら、この回転プ−リに設けられたフィンガをア−ム体に
対して伸長方向や縮小方向に回転させることができる。
【０１３５】そのため、ア−ム体を回転させてフィンガ
を方向変換する動作と同時に、フィンガをア−ム体に対
して回転させて伸縮させるということが行えるから、ワ
−クの受け渡しに要するタクトタイムを短縮化すること
ができる。
【０１３６】請求項２の発明によれば、固定プ−リと回
転プ−リとの外径寸法比を２：１に設定することで、ア
−ム体の回転角度に対してフィンガを２倍の角度で回転
させることができるようにした。
【０１３７】そのため、一対のフィンガを、ア−ム体の
回転角度に応じてア−ム体に重なり合う状態と、ア−ム
体の長手方向両端から延長線上に突出する状態とに位置
決めできるから、一対のフィンガをア−ム体の延長線上
に突出する状態に位置決めすることで、一方のフィンガ
に未処理のワ−クを受け渡し、他方のフィンガに処理済
みのワ−クを受け渡す作業を同時に行える。
【０１３８】しかも、一対のフィンガがア−ム体の延長
線上に突出する状態からア−ム体を回転させると、上記
一対のフィンガはア−ム体に重合する方向に回転するか
ら、ア−ム体の回転スペ−スを小さくすることができ
る。
【０１３９】請求項３の発明によれば、回転プ−リと固
定プ−リとに無端状のベルトを掛け渡すことで、取付体
の回転に回転プーリを連動させるようにした。
【０１４０】そのため、簡単な構成で上記アーム体の回
転に基づき上記回転プーリを回転させることができる。
【０１４１】請求項４の発明によれば、回転プーリと固
定プーリとが収容されたアーム体内の収容空間を吸引手
段で減圧するようにした。
【０１４２】そのため、アーム体内で発生する塵埃が外
部に飛散してワークに付着するのを防止することができ
る。
【０１４３】請求項５の発明によれば、トランスファチ
ャンバに対して複数の処理チャンバを並列に接続するよ
うにした。
【０１４４】そのため、トランスファチャンバと複数の
処理チャンバとからなる処理装置の配置スペ−スを小さ
くすることが可能となる。
【０１４５】請求項６の発明によれば、請求項５の処理
装置に第１のロボット装置として請求項１のロボット装
置を用いるようにした。
【０１４６】そのため、ワ−クの受け渡しを処理チャン
バとトランスファテ−ブルに対して同時に行うことがで
きるから、タクトタイムを短くすることができ、しかも
処理チャンバ、トランスファテ−ブルおよび第１のロボ
ット装置を一列に配置できるから、そのことによっても
複数の処理チャンバを並設して全体の配置スペ−スを小
さくすることができるということがある。
【０１４７】請求項７の発明によれば、隣り合うトラン
スファテ−ブル間に、これらのトランスファテ−ブル間
でワ−クを受け渡すことができる第２のロボット装置を
設けるようにした。
【０１４８】そのため、第２のロボット装置と第１のロ
ボット装置とを併用することで、ワ−クを一対のトラン
スファテ−ブルを介して隣り合う処理チャンバ間で受け
渡すことができるから、ワ−クを複数の処理チャンバで
順次処理することが可能となる。
【０１４９】請求項８の発明によれば、トランスファチ
ャンバに形成された第２の受け渡し口を開閉する弁体
を、上記第２の受け渡し口に対して接離する方向に直線
駆動するとともにこの接離する方向を中心にして回転駆
動するようにした。
【０１５０】そのため、直線運動と回転運動との組み合
わせによって上記弁体をトランスファチャンバに対して
摺接させることなく開閉することができるから、上記弁
体が早期に損耗するのを防止でき、しかも弁体には１つ
のシリンダによって２つの運動を与えることができるた
め、構成の簡略化や小型化を計ることができる。
【０１５１】請求項９の発明によれば、ピストンロッド
にカム溝を形成し、このカム溝にガイド軸を係合させる
ことで、上記ピストンロッドを直線運動させながら回転
運動させ、この運動にピストンロッドに連結された弁体
を連動させるようにした。
【０１５２】そのため、弁体には１つのシリンダによっ
て２つの運動を与えることができるから、構成の簡略化
や小型化を計ることができる。
【０１５３】請求項１０の発明によれば、ピストンロッ
ドの軸方向の動きに連動軸を連動させ、この連動軸に設
けられたカムフォロアを上記連動軸を支持した支持体に
形成されたカム溝に係合させることで、この連動軸に連
結された弁体を直線運動及び回転運動させるようにし
た。
【０１５４】そのため、弁体には１つのシリンダによっ
て２つの運動を与えることができるから、構成の簡略化
や小型化を計ることができ、しかもピストンロッドは直
線運動させるだけで、連動軸を直線運動及び回転運動さ
せることができるため、ピストンロッドを直接回転運動
させる場合に比べて耐摩耗性や剛性などの向上を計るこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施の形態を示す第１のロボット
装置の一部断面した正面図。
【図２】同じくア−ム体の平面図。
【図３】同じくア−ム体の上ケ−スを除去して内部構造
を示した平面図。
【図４】同じく第１のロボット装置の斜視図。
【図５】同じく処理装置のロードロックチャンバの部分
を除去した概略的構成を示す斜視図。
【図６】同じくトランスファチャンバの縦断面図。
【図７】同じくトランスファチャンバの外観を示す斜視
図。
【図８】同じく大気バルブの分解斜視図。
【図９】同じく駆動手段であるシリンダの縦断面図。
【図１０】同じくピストンロッドに形成されたカム溝の
展開図。
【図１１】（ａ），（ｂ）は大気バルブの動作を示す斜
視図。
【図１２】（ｃ）〜（ｅ）は大気バルブの動作を示す斜
視図。
【図１３】同じくロボット装置の駆動軸に形成された通
孔を説明する断面図。
【図１４】（ａ）〜（ｃ）は同じく処理装置の動作の説
明図。
【図１５】（ｄ）〜（ｆ）は同じく処理装置の動作の説
明図。
【図１６】（ｇ）〜（ｉ）は同じく処理装置の動作の説
明図。
【図１７】（ｊ）〜（ｌ）は同じく処理装置の動作の説
明図。
【図１８】（ｍ）〜（ｏ）は同じく処理装置の動作の説
明図。
【図１９】この発明の第２の実施の形態を示す大気バル
ブの駆動手段の断面図。
【図２０】同じく支持体の断面図。
【図２１】同じく支持体に形成されたカム溝を展開して
示す支持体の側面図。
【図２２】この発明の第３の実施の形態を示すロードロ
ックチャンバの斜視図。
【図２３】この発明の第４の実施の形態を示すロードロ
ックチャンバの斜視図。
【図２４】この発明の第５の実施の形態の弁体の駆動手
段の概略的構成を示す平面図。
【符号の説明】
１…トランスファチャンバ ２…受渡し口 ３ａ、３ｂ…処理チャンバ ５ａ、５ｂ…トランスファテ−ブル １１…第１のロボット装置 １３…取付体 １５…駆動源（駆動手段） ３１…ア−ム体 ３８…固定プ−リ ４１、４２…回転プ−リ ４３…タイミングベルト（動力伝達手段） ４７、４８…フィンガ ５１…第２のロボット装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小暮 公男 神奈川県横浜市栄区笠間町1000番地１ 株 式会社芝浦製作所横浜事業所内 (72)発明者 小松 久高 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地 株 式会社東芝生産技術研究所内

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ワ−クを受け渡すためのロボット装置に
    おいて、 取付体と、 この取付体に回転自在に設けられたア−ム体と、 このア−ム体を回転駆動する駆動手段と、 上記取付体に設けられ上記ア−ム体の回転中心部に位置
    した固定プ−リと、 上記ア−ム体の両端部に回転自在に設けられた一対の回
    転プ−リと、 各回転プ−リに一端部が取り付けられこの回転プ−リと
    ともに回転して上記ワ−クを搬送する一対のフィンガ
    と、 上記固定プ−リと上記回転プ−リとにわたって設けられ
    上記駆動手段によって上記ア−ム体を回転させたのに基
    づき上記固定プ−リと回転プ−リとの外径寸法比に応じ
    て上記回転プ−リを回転させる動力伝達手段とを具備し
    たことを特徴とするロボット装置。
  2. 【請求項２】 上記固定プ−リと上記回転プ−リとの外
    径寸法比は２：１に設定されていることを特徴とする請
    求項１記載のロボット装置。
  3. 【請求項３】 上記動力伝達手段は、上記一対の回転プ
    ーリ及び上記固定プーリに掛け渡されるとともに上記固
    定プーリの回転によって走行させられる無端状のベルト
    であることを特徴とする請求項１記載のロボット装置。
  4. 【請求項４】 上記アーム体は、上記回転プーリと固定
    プーリとを収容した収容空間を有する中空状に形成され
    ていて、 上記駆動手段は駆動源及び一端がこの駆動源に連結され
    他端が上記アーム体に連結された駆動軸を有し、 上記駆動軸には一端が上記アーム体の収容空間に連通し
    他端がこの駆動軸の外周面に開放した通孔が形成されて
    いて、 この駆動軸の上記通孔の他端が開放した外周面には上記
    通孔を介して上記収容空間内を減圧する吸引手段が接続
    されることを特徴とする請求項１記載のロボット装置。
  5. 【請求項５】 ワ−クを真空中で処理するための処理装
    置において、 一側に複数の第１の受け渡し口が並列に形成されたトラ
    ンスファチャンバと、 このトランスファチャンバの第１の受け渡し口にそれぞ
    れ接続されて並設された複数の処理チャンバと、 上記トランスファチャンバ内の上記第１の受け渡し口と
    対向する位置にそれぞれ設けられ外部から未処理のワ−
    クが供給されるとともに上記処理チャンバで処理された
    ワ−クが供給されるトランスファテ−ブルと、 各トランスファテ−ブルと各第１の受け渡し口との間に
    それぞれ設けられトランスファテ−ブルと処理チャンバ
    との間でワ−クを受け渡す第１のロボット装置とを具備
    したことを特徴とする処理装置。
  6. 【請求項６】 上記第１のロボット装置は請求項１に記
    載された構成であることを特徴とする請求項５記載の処
    理装置。
  7. 【請求項７】 隣り合うトランスファテ−ブルの間に
    は、これらのトランスファ−テブル間でワ−クを受け渡
    すための第２のロボット装置が設けられていることを特
    徴とする請求項５または請求項６記載の処理装置。
  8. 【請求項８】 上記トランスファチャンバの上記一側と
    対向する他側には大気バルブによって開閉される第２の
    受け渡し口が形成されていて、 上記大気バルブは、上記第２の受け渡し口を開閉する弁
    体と、この弁体に一端が連結されたアーム体と、このア
    ーム体の他端が連結されアーム体を介して上記弁体を上
    記第２の受け渡し口に対して接離する方向に直線駆動す
    るとともにこの接離する方向を中心軸にして回転駆動す
    る駆動手段とを有することを特徴とする請求項５記載の
    処理装置。
  9. 【請求項９】 上記駆動手段は、シリンダと、このシリ
    ンダに軸方向に移動可能に設けられ空気圧によって上記
    シリンダの軸方向に駆動されるとともに上記シリンダか
    ら外部に突出した一端に上記アーム体の他端が連結され
    たピストンロッドと、このピストンロッドの外周面に形
    成されたカム溝と、上記カム溝に係合して設けられ上記
    ピストンロッドがシリンダ内を軸方向に駆動されたのに
    基づきこのピストンロッドを上記カム溝の形状に応じて
    周方向に回転させるガイド軸とを有することを特徴とす
    る請求項８記載の処理装置。
  10. 【請求項１０】 上記駆動手段は、シリンダと、このシ
    リンダに軸方向に移動可能に設けられ空気圧によって軸
    方向に駆動されるピストンロッドと、このピストンロッ
    ドに一端が回転自在に連結され他端に上記アーム体の他
    端が連結された連動軸と、この連動軸をスライド自在に
    支持するとともに内周面にカム溝が形成された支持体
    と、上記連動軸に設けられ上記カム溝に係合するととも
    に上記連動軸が上記ピストンロッドと連動して軸方向に
    駆動されたのに基づき上記カム溝の形状に応じて上記連
    動軸を周方向に回転させるカムフォロアとを有すること
    を特徴とする請求項８記載の処理装置。
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