JP2002028469A - 真空装置 - Google Patents
真空装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】真空槽自体の設置状況によらず搬送ロボットの
取り外し作業を容易に行うことが可能な真空装置を提供
すること。 【解決手段】本発明に係る真空装置１は、天板６と取付
孔２１とを有する真空槽２と、真空槽２内で基板Ｍを移
動可能に構成された搬送機構部１２と、搬送機構部１２
に連結され、搬送機構部１２を駆動させるための駆動機
構部１５と、搬送機構部１２と駆動機構部１５との連結
部分に設けられた連結フランジ部１６とを有する搬送ロ
ボット１０と、真空槽２の下段部分２３に真空槽２の上
側から係合可能な第１の係合部３１ａと、搬送ロボット
１０の連結フランジ部１６を真空槽２の下側から支持し
かつその連結フランジ部１６と係合可能な第２の係合部
３１ｂとを有する取付アダプタ３０とを備えている。
取り外し作業を容易に行うことが可能な真空装置を提供
すること。 【解決手段】本発明に係る真空装置１は、天板６と取付
孔２１とを有する真空槽２と、真空槽２内で基板Ｍを移
動可能に構成された搬送機構部１２と、搬送機構部１２
に連結され、搬送機構部１２を駆動させるための駆動機
構部１５と、搬送機構部１２と駆動機構部１５との連結
部分に設けられた連結フランジ部１６とを有する搬送ロ
ボット１０と、真空槽２の下段部分２３に真空槽２の上
側から係合可能な第１の係合部３１ａと、搬送ロボット
１０の連結フランジ部１６を真空槽２の下側から支持し
かつその連結フランジ部１６と係合可能な第２の係合部
３１ｂとを有する取付アダプタ３０とを備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空槽に取り付け
るべき装置構成部として特に搬送ロボットを着脱可能に
構成した真空装置に関する。
るべき装置構成部として特に搬送ロボットを着脱可能に
構成した真空装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、真空装置のうちの特定の真空槽
には、例えば成膜やエッチングの対象物である基板等を
搬送するための搬送ロボットが設けらている。この種の
搬送ロボットは、例えば、基板を把持可能なアーム部材
を備えた搬送機構部と、この搬送機構部を駆動させる駆
動機構部とから構成されている。また、搬送機構部と駆
動機構部とが連結した部分の外周には、フランジ状の取
付部が設けられている。一方、真空槽の底部には、搬送
ロボットの取付部より小さな取付孔が設けられている。
には、例えば成膜やエッチングの対象物である基板等を
搬送するための搬送ロボットが設けらている。この種の
搬送ロボットは、例えば、基板を把持可能なアーム部材
を備えた搬送機構部と、この搬送機構部を駆動させる駆
動機構部とから構成されている。また、搬送機構部と駆
動機構部とが連結した部分の外周には、フランジ状の取
付部が設けられている。一方、真空槽の底部には、搬送
ロボットの取付部より小さな取付孔が設けられている。
【０００３】従来、このような搬送ロボットは、真空槽
の上側から取り付ける場合と、真空槽の下側から取り付
ける場合とがある。例えば、搬送ロボットを真空槽の上
側から取り付ける場合には、駆動機構部を真空槽の取付
孔に挿入し、また、搬送ロボットを真空槽の下側から取
り付ける場合には、搬送機構部を真空槽の取付孔に挿入
し、そして、それぞれの場合において、搬送ロボットの
取付部を真空槽の取付孔の縁部分に対して合わせた状態
で双方をボルトなどを用いて固定している。これによ
り、搬送ロボットは、上側部分の搬送機構部が真空槽内
に配置される一方で、下側部分の駆動機構部が真空槽の
下側に配置されるようになっている。
の上側から取り付ける場合と、真空槽の下側から取り付
ける場合とがある。例えば、搬送ロボットを真空槽の上
側から取り付ける場合には、駆動機構部を真空槽の取付
孔に挿入し、また、搬送ロボットを真空槽の下側から取
り付ける場合には、搬送機構部を真空槽の取付孔に挿入
し、そして、それぞれの場合において、搬送ロボットの
取付部を真空槽の取付孔の縁部分に対して合わせた状態
で双方をボルトなどを用いて固定している。これによ
り、搬送ロボットは、上側部分の搬送機構部が真空槽内
に配置される一方で、下側部分の駆動機構部が真空槽の
下側に配置されるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
従来の真空装置においては、搬送ロボットをメインテナ
ンスのため定期的に真空槽から取り外す必要があるが、
その際に真空槽の設置状況によっては、真空槽の上側又
は下側に搬送ロボットを移動させるための空間を確保で
きないことがある。
従来の真空装置においては、搬送ロボットをメインテナ
ンスのため定期的に真空槽から取り外す必要があるが、
その際に真空槽の設置状況によっては、真空槽の上側又
は下側に搬送ロボットを移動させるための空間を確保で
きないことがある。
【０００５】そのため、上側から固定した搬送ロボット
を引き上げる空間の大きさが十分にない場合、真空槽自
体を広い空間のある場所に移動しなければならず、その
ような取り外し作業に手間がかかるという問題があっ
た。また、下側から固定した搬送ロボットを取り外す場
合においても真空槽の下側に設置された種々の障害物を
除去しなければならず、上記同様取り外し作業に手間が
かかるという問題があった。
を引き上げる空間の大きさが十分にない場合、真空槽自
体を広い空間のある場所に移動しなければならず、その
ような取り外し作業に手間がかかるという問題があっ
た。また、下側から固定した搬送ロボットを取り外す場
合においても真空槽の下側に設置された種々の障害物を
除去しなければならず、上記同様取り外し作業に手間が
かかるという問題があった。
【０００６】本発明は、このような従来の技術の課題を
解決するためになされたもので、その目的とするところ
は、真空槽自体の設置状況によらず搬送ロボットの取り
外し作業を容易に行うことが可能な真空装置を提供する
ことにある。
解決するためになされたもので、その目的とするところ
は、真空槽自体の設置状況によらず搬送ロボットの取り
外し作業を容易に行うことが可能な真空装置を提供する
ことにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
になされた請求項１記載の発明は、開閉可能な蓋体と、
所定の大きさの取付孔とを有する真空槽と、真空槽に部
分的に取り付けるために構成された装置であって、真空
槽内に配置されるべき第１の構成部と、第１の構成部に
連結され、真空槽外に配置されるべき第２の構成部と、
第１の構成部と第２の構成部との連結部に真空槽の取付
孔より小さい大きさで設けられた取付部とを有する装置
構成部と、真空槽の取付孔の近傍の所定の部位に真空槽
の一方の側から係合可能な第１の係合部と、装置構成部
の取付部を真空槽の他方の側から支持しかつ当該取付部
と係合可能な第２の係合部とを有する取付アダプタとを
備えたことを特徴とする真空装置である。
になされた請求項１記載の発明は、開閉可能な蓋体と、
所定の大きさの取付孔とを有する真空槽と、真空槽に部
分的に取り付けるために構成された装置であって、真空
槽内に配置されるべき第１の構成部と、第１の構成部に
連結され、真空槽外に配置されるべき第２の構成部と、
第１の構成部と第２の構成部との連結部に真空槽の取付
孔より小さい大きさで設けられた取付部とを有する装置
構成部と、真空槽の取付孔の近傍の所定の部位に真空槽
の一方の側から係合可能な第１の係合部と、装置構成部
の取付部を真空槽の他方の側から支持しかつ当該取付部
と係合可能な第２の係合部とを有する取付アダプタとを
備えたことを特徴とする真空装置である。
【０００８】請求項１記載の発明の場合、装置構成部の
取付部を第２の係合部で真空槽の他方の側（例えば下
側）から支持した取付アダプタを、第１の係合部で真空
槽にその上側から係合するようにしたことから、取付ア
ダプタを取り付けたままの装置構成部を真空槽の上側か
ら抜くことができるとともに、装置構成部のみを真空槽
の下側から抜くことができる。
取付部を第２の係合部で真空槽の他方の側（例えば下
側）から支持した取付アダプタを、第１の係合部で真空
槽にその上側から係合するようにしたことから、取付ア
ダプタを取り付けたままの装置構成部を真空槽の上側か
ら抜くことができるとともに、装置構成部のみを真空槽
の下側から抜くことができる。
【０００９】その結果、装置構成部を真空槽の上側又は
下側のいずれからでも取り外せることができるため、真
空槽自体の設置状況によらず装置構成部の取り外し作業
を容易に行うことができる。
下側のいずれからでも取り外せることができるため、真
空槽自体の設置状況によらず装置構成部の取り外し作業
を容易に行うことができる。
【００１０】一方、請求項２記載の発明は、開閉可能な
蓋体と、所定の大きさの取付孔とを有する真空槽と、真
空槽内で対象物を移動可能に構成された搬送機構部と、
搬送機構部に連結され、搬送機構部を駆動させるための
駆動機構部と、搬送機構部と駆動機構部との連結部分に
真空槽の取付孔より小さい大きさで設けられた取付部と
を有する搬送ロボットと、真空槽の取付孔の近傍の所定
の部位に真空槽の一方の側から係合可能な第１の係合部
と、搬送ロボットの取付部を真空槽の他方の側から支持
しかつ当該取付部と係合可能な第２の係合部とを有する
取付アダプタとを備えたことを特徴とする真空装置であ
る。
蓋体と、所定の大きさの取付孔とを有する真空槽と、真
空槽内で対象物を移動可能に構成された搬送機構部と、
搬送機構部に連結され、搬送機構部を駆動させるための
駆動機構部と、搬送機構部と駆動機構部との連結部分に
真空槽の取付孔より小さい大きさで設けられた取付部と
を有する搬送ロボットと、真空槽の取付孔の近傍の所定
の部位に真空槽の一方の側から係合可能な第１の係合部
と、搬送ロボットの取付部を真空槽の他方の側から支持
しかつ当該取付部と係合可能な第２の係合部とを有する
取付アダプタとを備えたことを特徴とする真空装置であ
る。
【００１１】請求項２記載の発明によれば、請求項１記
載の発明において装置構成部を搬送ロボットとした場合
と同様に、真空槽自体の設置状況によらず搬送ロボット
の取り外し作業を容易に行うことができる。
載の発明において装置構成部を搬送ロボットとした場合
と同様に、真空槽自体の設置状況によらず搬送ロボット
の取り外し作業を容易に行うことができる。
【００１２】また、請求項３記載の発明のように、請求
項２記載の発明において、取付アダプタは、第１の係合
部及び第２の係合部としての、搬送ロボットの取付部の
外形に対応して所定の大きさで環状に形成されたプレー
ト部と、真空槽の当該所定の部位と搬送ロボットの取付
部との隙間を埋めることが可能なスペーサ部とから構成
されていることも効果的である。
項２記載の発明において、取付アダプタは、第１の係合
部及び第２の係合部としての、搬送ロボットの取付部の
外形に対応して所定の大きさで環状に形成されたプレー
ト部と、真空槽の当該所定の部位と搬送ロボットの取付
部との隙間を埋めることが可能なスペーサ部とから構成
されていることも効果的である。
【００１３】請求項３記載の発明によれば、真空槽の上
側から真空槽に係合するとともに搬送ロボットを真空槽
の下側から支持できるような取付アダプタの形状を、必
要最小の大きさの形状にすることができる。
側から真空槽に係合するとともに搬送ロボットを真空槽
の下側から支持できるような取付アダプタの形状を、必
要最小の大きさの形状にすることができる。
【００１４】さらに、請求項４記載の発明のように、請
求項２又は３のいずれか１項記載の発明において、取付
アダプタの第１の係合部及び第２の係合部には、それぞ
れ、所定のねじのねじ部を貫通可能な貫通孔が複数配列
されてなる第１の貫通孔列及び第２の貫通孔列が形成さ
れていることも効果的である。
求項２又は３のいずれか１項記載の発明において、取付
アダプタの第１の係合部及び第２の係合部には、それぞ
れ、所定のねじのねじ部を貫通可能な貫通孔が複数配列
されてなる第１の貫通孔列及び第２の貫通孔列が形成さ
れていることも効果的である。
【００１５】請求項４記載の発明の場合、取付アダプタ
の第１の貫通孔列及び第２の貫通孔列に対応して真空槽
の当該所定の部位及び搬送ロボットの取付部にそれぞれ
第１の雌ねじ群及び第２の雌ねじ群を形成すれば、これ
らに対応する第１のボルト群及び第２のボルト群をすべ
て同じ側から締結することができるため、ボルトの取り
外しの際にドライバ等の工具を一方向から用いることが
でき、その結果このような取り外しの作業性が向上する
という利点がある。
の第１の貫通孔列及び第２の貫通孔列に対応して真空槽
の当該所定の部位及び搬送ロボットの取付部にそれぞれ
第１の雌ねじ群及び第２の雌ねじ群を形成すれば、これ
らに対応する第１のボルト群及び第２のボルト群をすべ
て同じ側から締結することができるため、ボルトの取り
外しの際にドライバ等の工具を一方向から用いることが
でき、その結果このような取り外しの作業性が向上する
という利点がある。
【００１６】さらにまた、請求項５記載の発明におい
て、請求項１〜４のいずれか１項記載の発明において、
取付アダプタには、シール部材が設けられていることも
効果的である。
て、請求項１〜４のいずれか１項記載の発明において、
取付アダプタには、シール部材が設けられていることも
効果的である。
【００１７】請求項５記載の発明によれば、取付アダプ
タにシール部材を設けたことから、このような取付アダ
プタを真空槽と搬送ロボットとの間に介在させても、真
空槽の気密性を損なうことはない。
タにシール部材を設けたことから、このような取付アダ
プタを真空槽と搬送ロボットとの間に介在させても、真
空槽の気密性を損なうことはない。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る真空処理装置
の好ましい実施の形態を図面を参照して詳細に説明す
る。図１は、本実施の形態の真空装置の概略構成を示す
図である。図２は、同真空装置の取付アダプタの要部を
示す図である。
の好ましい実施の形態を図面を参照して詳細に説明す
る。図１は、本実施の形態の真空装置の概略構成を示す
図である。図２は、同真空装置の取付アダプタの要部を
示す図である。
【００１９】図１に示すように、本実施の形態の真空装
置１は、例えば基板Ｍに対して成膜処理やエッチング処
理等の真空処理を行うことが可能な複数の真空処理槽４
と、各真空処理槽４に基板Ｍを搬送する際に中継となる
搬送室としての真空槽２を有している。この真空槽２
は、各真空処理槽４とゲートバルブ５を介して接続され
るとともに、これらの真空処理槽４とともに図示しない
真空排気系に接続されている。
置１は、例えば基板Ｍに対して成膜処理やエッチング処
理等の真空処理を行うことが可能な複数の真空処理槽４
と、各真空処理槽４に基板Ｍを搬送する際に中継となる
搬送室としての真空槽２を有している。この真空槽２
は、各真空処理槽４とゲートバルブ５を介して接続され
るとともに、これらの真空処理槽４とともに図示しない
真空排気系に接続されている。
【００２０】本実施の形態の場合、真空槽２は、所定の
長さの脚部材３によって支持されることによって地上か
ら所定の高さに設置されるようになっている。真空槽２
の上部には、天板（蓋体）６が設けられており、この天
板６は、ヒンジ７を中心に回動して開閉できるように構
成されている。
長さの脚部材３によって支持されることによって地上か
ら所定の高さに設置されるようになっている。真空槽２
の上部には、天板（蓋体）６が設けられており、この天
板６は、ヒンジ７を中心に回動して開閉できるように構
成されている。
【００２１】真空槽２の底部には、搬送ロボット（装置
構成部）１０が取り付けられるようになっている。この
搬送ロボット１０は、所定の大きさの本体ケース部１１
を有しており、本体ケース部１１の上側中央部には、基
板Ｍを移動させるための搬送機構部（第１の構成部）１
２が設けられている。この搬送機構部１２は、センタ駆
動軸１３に連結されたアーム部材１４が所定の方向に所
定の距離だけ移動するように構成されている。
構成部）１０が取り付けられるようになっている。この
搬送ロボット１０は、所定の大きさの本体ケース部１１
を有しており、本体ケース部１１の上側中央部には、基
板Ｍを移動させるための搬送機構部（第１の構成部）１
２が設けられている。この搬送機構部１２は、センタ駆
動軸１３に連結されたアーム部材１４が所定の方向に所
定の距離だけ移動するように構成されている。
【００２２】本体ケース部１１内には、搬送機構部１２
を駆動させるための駆動機構部（第２の構成部、詳細は
図示しない）１５が設けられている。この駆動機構部１
５は、所定の動力をセンタ駆動軸１３に伝達させるよう
に構成されている。本体ケース部１１の上側部分には、
その外周部分より張り出した連結フランジ部１６が形成
されている。
を駆動させるための駆動機構部（第２の構成部、詳細は
図示しない）１５が設けられている。この駆動機構部１
５は、所定の動力をセンタ駆動軸１３に伝達させるよう
に構成されている。本体ケース部１１の上側部分には、
その外周部分より張り出した連結フランジ部１６が形成
されている。
【００２３】一方、真空槽２の底部には、搬送ロボット
１０の連結フランジ部１６の外形に対応してそれより所
定量だけ大きい取付孔２１が形成されている。この取付
孔２１の内周部分には、図２に示すように、上段部分２
２と下段部分２３とからなる段差状の受部２４が形成さ
れている。さらに、この受部２４の下段部分２３は、上
段部分２２より取付孔２１側に張り出して、取付孔２１
内に配置される搬送ロボット１０の連結フランジ部１６
に対して所定の間隔をおくように形成されている。そし
て、図１に示すように、本実施の形態の場合、以下に説
明する取付アダプタ３０によって搬送ロボット１０が真
空槽２に取り付けられるようになっている。
１０の連結フランジ部１６の外形に対応してそれより所
定量だけ大きい取付孔２１が形成されている。この取付
孔２１の内周部分には、図２に示すように、上段部分２
２と下段部分２３とからなる段差状の受部２４が形成さ
れている。さらに、この受部２４の下段部分２３は、上
段部分２２より取付孔２１側に張り出して、取付孔２１
内に配置される搬送ロボット１０の連結フランジ部１６
に対して所定の間隔をおくように形成されている。そし
て、図１に示すように、本実施の形態の場合、以下に説
明する取付アダプタ３０によって搬送ロボット１０が真
空槽２に取り付けられるようになっている。
【００２４】図２に示すように、この取付アダプタ３０
は、所定の大きさで環状に形成されたプレート部３１を
有している。ここで、プレート部３１は、搬送ロボット
１０の本体ケース部１１の形状に応じて形成される。例
えば、本体ケース部１１が円筒形又は四角柱である場合
には、それぞれに対応して、連結フランジ部１６と同様
にプレート部３１も、円形のリング状又は四角形の枠状
になる。
は、所定の大きさで環状に形成されたプレート部３１を
有している。ここで、プレート部３１は、搬送ロボット
１０の本体ケース部１１の形状に応じて形成される。例
えば、本体ケース部１１が円筒形又は四角柱である場合
には、それぞれに対応して、連結フランジ部１６と同様
にプレート部３１も、円形のリング状又は四角形の枠状
になる。
【００２５】また、プレート部３１の大きさについて
は、その外形が真空槽２の上段部分２２の内側面の間隔
より小さく、プレート部３１の幅が真空槽２の下段部分
２３と搬送ロボット１０の連結フランジ部１６との間隔
より大きくなるように形成されている。
は、その外形が真空槽２の上段部分２２の内側面の間隔
より小さく、プレート部３１の幅が真空槽２の下段部分
２３と搬送ロボット１０の連結フランジ部１６との間隔
より大きくなるように形成されている。
【００２６】このようなプレート部３１の下方配置側の
部位には、プレート部３１に応じてリング状又は四角形
枠状のスペーサ部３２が突出形成されている。また、ス
ペーサ部３２の厚さは、真空槽２の下段部分２３の内側
面と搬送ロボット１０の連結フランジ部１６の外周面と
の間隔より若干小さく設定されている。
部位には、プレート部３１に応じてリング状又は四角形
枠状のスペーサ部３２が突出形成されている。また、ス
ペーサ部３２の厚さは、真空槽２の下段部分２３の内側
面と搬送ロボット１０の連結フランジ部１６の外周面と
の間隔より若干小さく設定されている。
【００２７】そして、このような構成により、取付アダ
プタ３０のスペーサ部３２を境にして、プレート部３１
の外側の部分には、真空槽２の受部２４のうち下段部分
２３に真空槽２の上側から係合可能な第１の係合部３１
ａが形成される一方で、プレート部３１の内側の部分に
は、搬送ロボット１０の連結フランジ部１６を真空槽２
の下側から支持し、かつ、その連結フランジ部１６と係
合可能な第２の係合部３１ｂが形成されるようになって
いる。
プタ３０のスペーサ部３２を境にして、プレート部３１
の外側の部分には、真空槽２の受部２４のうち下段部分
２３に真空槽２の上側から係合可能な第１の係合部３１
ａが形成される一方で、プレート部３１の内側の部分に
は、搬送ロボット１０の連結フランジ部１６を真空槽２
の下側から支持し、かつ、その連結フランジ部１６と係
合可能な第２の係合部３１ｂが形成されるようになって
いる。
【００２８】プレート部３１の第１の係合部３１ａに
は、本実施の形態で用いられるボルト（３４ａ、３４
ｂ）のねじ部の外形より大きい貫通孔が所定の間隔ごと
に複数配列されてなる第１の貫通孔列３３ａが形成され
ており、第２の係合部３１ｂにも、同様の第２の貫通孔
列３３ｂが形成されている。
は、本実施の形態で用いられるボルト（３４ａ、３４
ｂ）のねじ部の外形より大きい貫通孔が所定の間隔ごと
に複数配列されてなる第１の貫通孔列３３ａが形成され
ており、第２の係合部３１ｂにも、同様の第２の貫通孔
列３３ｂが形成されている。
【００２９】一方、真空槽２の下段部分２３には、取付
アダプタ３０の第１の貫通孔列３３ａにはめられるべき
第１のボルト群３４ａのねじピッチに対応して第１の雌
ねじ群３５ａが形成されている。また、搬送ロボット１
０の連結フランジ部１６にも、同様に、取付アダプタ３
０の第２の貫通孔列３３ｂにはめられるべき第２のボル
ト群３４ｂのねじピッチに対応して第２の雌ねじ群３５
ｂが形成されている。
アダプタ３０の第１の貫通孔列３３ａにはめられるべき
第１のボルト群３４ａのねじピッチに対応して第１の雌
ねじ群３５ａが形成されている。また、搬送ロボット１
０の連結フランジ部１６にも、同様に、取付アダプタ３
０の第２の貫通孔列３３ｂにはめられるべき第２のボル
ト群３４ｂのねじピッチに対応して第２の雌ねじ群３５
ｂが形成されている。
【００３０】また、取付アダプタ３０は、真空槽２の気
密性を保つため、環状のシール部材４０とともに真空槽
２に取り付けられるようになっている。このシール部材
４０は、スペーサ部３２の根元部分の周囲であってプレ
ート部３１の下面に配置される。
密性を保つため、環状のシール部材４０とともに真空槽
２に取り付けられるようになっている。このシール部材
４０は、スペーサ部３２の根元部分の周囲であってプレ
ート部３１の下面に配置される。
【００３１】そして、図１に示すように、取付アダプタ
３０は、この第２の係合部３１ｂが搬送ロボット１０の
連結フランジ部１６に当接した状態で双方が第２のボル
ト群３４ｂによって締結されることにより、搬送ロボッ
ト１０に取り付けられる。
３０は、この第２の係合部３１ｂが搬送ロボット１０の
連結フランジ部１６に当接した状態で双方が第２のボル
ト群３４ｂによって締結されることにより、搬送ロボッ
ト１０に取り付けられる。
【００３２】さらに、搬送ロボット１０が取り付けられ
た取付アダプタ３０は、この第１の係合部３１ａが真空
槽２の下段部分２３に支持された状態で双方が第１のボ
ルト群３４ａによって締結されることにより、真空槽２
に取り付けられる。
た取付アダプタ３０は、この第１の係合部３１ａが真空
槽２の下段部分２３に支持された状態で双方が第１のボ
ルト群３４ａによって締結されることにより、真空槽２
に取り付けられる。
【００３３】このように真空槽２に取り付けられた搬送
ロボット１０のうち、搬送機構部１２は、真空槽２内に
配置される一方で、駆動機構部１５は、真空槽２の下側
に配置されるようになっている。また、搬送ロボット１
０は、その下面が地上より所定の高さ分だけ高くなるよ
うに設置され、その下側に受台４１が配置されている。
ロボット１０のうち、搬送機構部１２は、真空槽２内に
配置される一方で、駆動機構部１５は、真空槽２の下側
に配置されるようになっている。また、搬送ロボット１
０は、その下面が地上より所定の高さ分だけ高くなるよ
うに設置され、その下側に受台４１が配置されている。
【００３４】図３は、同真空装置の搬送ロボットについ
て上側から取り外す動作を示す図である。図４は、同真
空装置の搬送ロボットについて下側から取り外す動作を
示す図である。
て上側から取り外す動作を示す図である。図４は、同真
空装置の搬送ロボットについて下側から取り外す動作を
示す図である。
【００３５】本実施の形態において、図３に示すよう
に、搬送ロボット１０をメインテナンスのため真空槽２
から取り外す際に真空槽２の設置状況によって真空槽２
の下側に搬送ロボット１０を引き出すための空間を十分
に確保できず、真空槽２の上側から搬送ロボット１０を
引き出す場合、真空槽２の天板６を開けて取付アダプタ
３０の第１の係合部３１ａと真空槽２の下段部分２３と
を固定している第１のボルト群３４ａをすべて外す。
に、搬送ロボット１０をメインテナンスのため真空槽２
から取り外す際に真空槽２の設置状況によって真空槽２
の下側に搬送ロボット１０を引き出すための空間を十分
に確保できず、真空槽２の上側から搬送ロボット１０を
引き出す場合、真空槽２の天板６を開けて取付アダプタ
３０の第１の係合部３１ａと真空槽２の下段部分２３と
を固定している第１のボルト群３４ａをすべて外す。
【００３６】これにより、取付アダプタ３０を取り付け
たままの搬送ロボット１０を、真空槽２の上側から抜く
ことができるため、例えばクレーン（図示せず）を用い
て引き上げることによって真空槽２から取り外す。
たままの搬送ロボット１０を、真空槽２の上側から抜く
ことができるため、例えばクレーン（図示せず）を用い
て引き上げることによって真空槽２から取り外す。
【００３７】一方、図４に示すように、真空槽２の上側
に搬送ロボット１０を引き出すための空間を十分に確保
できず、真空槽２の下側から搬送ロボット１０を引き出
す場合、真空槽２の天板６を開けて取付アダプタ３０の
第２の係合部３１ｂと搬送ロボット１０の連結フランジ
部１６とを固定している第２のボルト群３４ｂをすべて
外す。
に搬送ロボット１０を引き出すための空間を十分に確保
できず、真空槽２の下側から搬送ロボット１０を引き出
す場合、真空槽２の天板６を開けて取付アダプタ３０の
第２の係合部３１ｂと搬送ロボット１０の連結フランジ
部１６とを固定している第２のボルト群３４ｂをすべて
外す。
【００３８】これにより、取付アダプタ３０を真空槽２
に取り付けたままにして、搬送ロボット１０のみを、真
空槽２の下側から抜くことができるため、真空槽２から
取り外して受台４１上に載置する。
に取り付けたままにして、搬送ロボット１０のみを、真
空槽２の下側から抜くことができるため、真空槽２から
取り外して受台４１上に載置する。
【００３９】以上述べたように本実施の形態によれば、
搬送ロボット１０を下側から抜ける状態で取り付けた取
付アダプタ３０を、真空槽２に上側から抜ける状態で取
り付けることによって、このような搬送ロボット１０を
真空槽２の上側又は下側のいずれからでも取り外せるよ
うにしたことから、真空槽２自体の設置状況によらず搬
送ロボット１０の取り外し作業を容易に行うことができ
る。
搬送ロボット１０を下側から抜ける状態で取り付けた取
付アダプタ３０を、真空槽２に上側から抜ける状態で取
り付けることによって、このような搬送ロボット１０を
真空槽２の上側又は下側のいずれからでも取り外せるよ
うにしたことから、真空槽２自体の設置状況によらず搬
送ロボット１０の取り外し作業を容易に行うことができ
る。
【００４０】一方、上述のことは、裏を返せば、真空槽
２自体の設置状況によらず搬送ロボット１０の取り付け
作業を真空槽２の上側又は下側のいずれからでも行うこ
とができることにつながる。
２自体の設置状況によらず搬送ロボット１０の取り付け
作業を真空槽２の上側又は下側のいずれからでも行うこ
とができることにつながる。
【００４１】また、本実施の形態によれば、取付アダプ
タ３０に第１の貫通孔列３３ａ及び第２の貫通孔列３３
ｂを形成し、これらに対応して真空槽２の下段部分２３
及び搬送ロボット１０の連結フランジ部１６にそれぞれ
第１の雌ねじ群３５ａ及び第２の雌ねじ群３５ｂを形成
したことから、第１のボルト群３４ａ及び第２のボルト
群３４ｂのヘッド部分をすべて同じ側に配列できるた
め、ボルトの取り外しの際にドライバ等の工具を一方向
から用いることができ、その結果このような取り外しの
作業性が向上するという利点がある。
タ３０に第１の貫通孔列３３ａ及び第２の貫通孔列３３
ｂを形成し、これらに対応して真空槽２の下段部分２３
及び搬送ロボット１０の連結フランジ部１６にそれぞれ
第１の雌ねじ群３５ａ及び第２の雌ねじ群３５ｂを形成
したことから、第１のボルト群３４ａ及び第２のボルト
群３４ｂのヘッド部分をすべて同じ側に配列できるた
め、ボルトの取り外しの際にドライバ等の工具を一方向
から用いることができ、その結果このような取り外しの
作業性が向上するという利点がある。
【００４２】さらに、本実施の形態によれば、取付アダ
プタ３０にシール部材４０を設けたことから、このよう
な取付アダプタ３０を真空槽２と搬送ロボット１０との
間に介在させても、真空槽２の気密性を損なうことはな
い。
プタ３０にシール部材４０を設けたことから、このよう
な取付アダプタ３０を真空槽２と搬送ロボット１０との
間に介在させても、真空槽２の気密性を損なうことはな
い。
【００４３】なお、本発明は上述の実施の形態に限られ
ることなく、種々の変更を行うことができる。例えば、
上記実施の形態においては、真空槽２に取り付けられる
べき装置構成部の一例として搬送ロボット１０を挙げた
が、本発明はこれに限られることなく、真空槽２内に配
置されるべき構成部分と、真空槽２外に配置されるべき
構成部分とからなるものに適用することができる。
ることなく、種々の変更を行うことができる。例えば、
上記実施の形態においては、真空槽２に取り付けられる
べき装置構成部の一例として搬送ロボット１０を挙げた
が、本発明はこれに限られることなく、真空槽２内に配
置されるべき構成部分と、真空槽２外に配置されるべき
構成部分とからなるものに適用することができる。
【００４４】また、上記実施の形態においては、取付ア
ダプタ３０を取り付けた状態の搬送ロボット１０を真空
槽２の上側から抜けるようにしたが、本発明は、真空槽
２の上段部分２２及び下段部分２３、並びに、取付アダ
プタ３０の連結フランジ部１６及びスペーサ部３２の上
下関係を逆にすることによって、取付アダプタ３０を取
り付けた状態の搬送ロボット１０を真空槽２の下側から
抜けるようにし、搬送ロボット１０のみを真空槽２の上
側から抜けるようにすることもできる。
ダプタ３０を取り付けた状態の搬送ロボット１０を真空
槽２の上側から抜けるようにしたが、本発明は、真空槽
２の上段部分２２及び下段部分２３、並びに、取付アダ
プタ３０の連結フランジ部１６及びスペーサ部３２の上
下関係を逆にすることによって、取付アダプタ３０を取
り付けた状態の搬送ロボット１０を真空槽２の下側から
抜けるようにし、搬送ロボット１０のみを真空槽２の上
側から抜けるようにすることもできる。
【００４５】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、真空
槽自体の設置状況によらず搬送ロボットの取り外し作業
を容易に行うことが可能な真空装置を得ることができ
る。
槽自体の設置状況によらず搬送ロボットの取り外し作業
を容易に行うことが可能な真空装置を得ることができ
る。
【図１】本実施の形態の真空装置の概略構成を示す図で
ある。
ある。
【図２】同真空装置の取付アダプタの要部を示す図であ
る。
る。
【図３】同真空装置の搬送ロボットについて上側から取
り外す動作を示す図である。
り外す動作を示す図である。
【図４】同真空装置の搬送ロボットについて下側から取
り外す動作を示す図である。
り外す動作を示す図である。
２…真空槽 ６…天板（蓋体） １０…搬送ロボット
（装置構成部） １２…搬送機構部（第１の構成部）
１５…駆動機構部（第２の構成部） １６…連結フラン
ジ部（取付部） ２１…取付孔 ３０…取付アダプタ
３１…プレート部 ３１ａ…第１の係合部 ３１ｂ…第２の係合部 ３２…
スペーサ部 ３３ａ…第１の貫通孔列 ３３ｂ…第２の
貫通孔列 ４０…シール部材
（装置構成部） １２…搬送機構部（第１の構成部）
１５…駆動機構部（第２の構成部） １６…連結フラン
ジ部（取付部） ２１…取付孔 ３０…取付アダプタ
３１…プレート部 ３１ａ…第１の係合部 ３１ｂ…第２の係合部 ３２…
スペーサ部 ３３ａ…第１の貫通孔列 ３３ｂ…第２の
貫通孔列 ４０…シール部材
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｃ２３Ｃ 14/50 Ｃ２３Ｃ 14/50 Ｋ 16/44 16/44 Ｆ Ｆターム(参考） 3F060 AA01 AA07 AA08 AA09 CA00 HA00 HA28 4K029 KA01 KA05 4K030 GA12 KA10 4K055 HA02 HA29 4K063 AA16 BA04 CA04 DA01
Claims (5)
- 【請求項１】開閉可能な蓋体と、所定の大きさの取付孔
とを有する真空槽と、 該真空槽に部分的に取り付けるために構成された装置で
あって、前記真空槽内に配置されるべき第１の構成部
と、該第１の構成部に連結され、前記真空槽外に配置さ
れるべき第２の構成部と、前記第１の構成部と前記第２
の構成部との連結部に前記真空槽の取付孔より小さい大
きさで設けられた取付部とを有する装置構成部と、 前記真空槽の取付孔の近傍の所定の部位に前記真空槽の
一方の側から係合可能な第１の係合部と、前記装置構成
部の取付部を前記真空槽の他方の側から支持しかつ当該
取付部と係合可能な第２の係合部とを有する取付アダプ
タとを備えたことを特徴とする真空装置。 - 【請求項２】開閉可能な蓋体と、所定の大きさの取付孔
とを有する真空槽と、 該真空槽内で対象物を移動可能に構成された搬送機構部
と、該搬送機構部に連結され、前記搬送機構部を駆動さ
せるための駆動機構部と、前記搬送機構部と前記駆動機
構部との連結部分に前記真空槽の取付孔より小さい大き
さで設けられた取付部とを有する搬送ロボットと、 前記真空槽の取付孔の近傍の所定の部位に前記真空槽の
一方の側から係合可能な第１の係合部と、前記搬送ロボ
ットの取付部を前記真空槽の他方の側から支持しかつ当
該取付部と係合可能な第２の係合部とを有する取付アダ
プタとを備えたことを特徴とする真空装置。 - 【請求項３】前記取付アダプタは、前記第１の係合部及
び前記第２の係合部としての、前記搬送ロボットの取付
部の外形に対応して所定の大きさで環状に形成されたプ
レート部と、前記真空槽の当該所定の部位と前記搬送ロ
ボットの取付部との隙間を埋めることが可能なスペーサ
部とから構成されていることを特徴とする請求項２記載
の真空装置。 - 【請求項４】前記取付アダプタの第１の係合部及び第２
の係合部には、それぞれ、所定のねじのねじ部を貫通可
能な貫通孔が複数配列されてなる第１の貫通孔列及び第
２の貫通孔列が形成されていることを特徴とする請求項
２又は３のいずれか１記載の真空装置。 - 【請求項５】前記取付アダプタには、シール部材が設け
られていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか
１項記載の真空装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000211491A JP4906999B2 (ja) | 2000-07-12 | 2000-07-12 | 真空装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000211491A JP4906999B2 (ja) | 2000-07-12 | 2000-07-12 | 真空装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002028469A true JP2002028469A (ja) | 2002-01-29 |
| JP4906999B2 JP4906999B2 (ja) | 2012-03-28 |
Family
ID=18707586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000211491A Expired - Fee Related JP4906999B2 (ja) | 2000-07-12 | 2000-07-12 | 真空装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4906999B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2006003880A1 (ja) * | 2004-06-30 | 2008-04-17 | 株式会社アルバック | 真空処理装置 |
| CN100453276C (zh) * | 2005-01-21 | 2009-01-21 | 日本电产三协株式会社 | 工业用机械手装置 |
| JP2021190558A (ja) * | 2020-05-29 | 2021-12-13 | 株式会社安川電機 | 搬送ロボットおよび搬送システム |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09209147A (ja) * | 1995-12-05 | 1997-08-12 | Applied Materials Inc | 基板支持装置および堆積チャンバシールド組立体 |
| JPH11135600A (ja) * | 1997-08-25 | 1999-05-21 | Shibaura Mechatronics Corp | ロボット装置および処理装置 |
| JPH11300682A (ja) * | 1998-04-17 | 1999-11-02 | Mecs Corp | 防水型搬送ロボット |
-
2000
- 2000-07-12 JP JP2000211491A patent/JP4906999B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09209147A (ja) * | 1995-12-05 | 1997-08-12 | Applied Materials Inc | 基板支持装置および堆積チャンバシールド組立体 |
| JPH11135600A (ja) * | 1997-08-25 | 1999-05-21 | Shibaura Mechatronics Corp | ロボット装置および処理装置 |
| JPH11300682A (ja) * | 1998-04-17 | 1999-11-02 | Mecs Corp | 防水型搬送ロボット |
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|---|---|---|---|---|
| JPWO2006003880A1 (ja) * | 2004-06-30 | 2008-04-17 | 株式会社アルバック | 真空処理装置 |
| JP4673308B2 (ja) * | 2004-06-30 | 2011-04-20 | 株式会社アルバック | 真空処理装置 |
| CN100453276C (zh) * | 2005-01-21 | 2009-01-21 | 日本电产三协株式会社 | 工业用机械手装置 |
| JP2021190558A (ja) * | 2020-05-29 | 2021-12-13 | 株式会社安川電機 | 搬送ロボットおよび搬送システム |
| JP7441728B2 (ja) | 2020-05-29 | 2024-03-01 | 株式会社安川電機 | 搬送ロボットおよび搬送システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4906999B2 (ja) | 2012-03-28 |
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