JPH11300682A - 防水型搬送ロボット - Google Patents
防水型搬送ロボットInfo
- Publication number
- JPH11300682A JPH11300682A JP10809898A JP10809898A JPH11300682A JP H11300682 A JPH11300682 A JP H11300682A JP 10809898 A JP10809898 A JP 10809898A JP 10809898 A JP10809898 A JP 10809898A JP H11300682 A JPH11300682 A JP H11300682A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- transfer robot
- movable
- gantry
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- Prior art date
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- Pending
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- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 排水処理の簡素化を図るとともに電気配線処
理を不要とすること。 【解決手段】 防水型搬送ロボット１は、薄型基板を保
持するハンド部４０と、ハンド部４０を支持する可動部
２０と、可動部２０を昇降可能に支持する固定部１０と
を備える。固定部１０の上部には、架台３に取着される
フランジ部１２が設けられている。架台３とフランジ部
１２との間には、シール部材が配されている。
理を不要とすること。 【解決手段】 防水型搬送ロボット１は、薄型基板を保
持するハンド部４０と、ハンド部４０を支持する可動部
２０と、可動部２０を昇降可能に支持する固定部１０と
を備える。固定部１０の上部には、架台３に取着される
フランジ部１２が設けられている。架台３とフランジ部
１２との間には、シール部材が配されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、シリコンウエハ
又は液晶表示器用ガラス基板等薄型基板を搬送する防水
型搬送ロボットに関する。
又は液晶表示器用ガラス基板等薄型基板を搬送する防水
型搬送ロボットに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、シリコンウエハ又は液晶表示器用
ガラス基板等薄型基板を搬送する防水型搬送ロボットと
して、図３に示す防水型搬送ロボットが知られている。
ガラス基板等薄型基板を搬送する防水型搬送ロボットと
して、図３に示す防水型搬送ロボットが知られている。
【０００３】図３に示す防水型搬送ロボット５０は、機
台（固定部）５１と、機台５１に対して回動及び昇降す
るとともに屈伸可能なアーム体（ハンド部の一部を構成
する。）５２と、アーム体５２の先端部に配設されアー
ム体５２に対して回動可能なハンド（ハンド部の一部を
構成する。）５３とを有する。アーム体５２は第１アー
ム５４と第２アーム５５とからなり、第１アーム５４
は、機台５１内に配置された図示しない減速機付きモー
タによって機台５１に対して回動可能とされ、第２アー
ム５５は、第１アーム５４の内部に配設された図示しな
いプーリー及びタイミングベルトの第１アーム５４の回
動に基づく位相差運動により、第１アーム５４の回動に
従動して第１アーム５４に対し回動する。また、アーム
体５２及びハンド５３は、可動部５６によって支持さ
れ、可動部５６は機台５１内に昇降可能に支持されてい
る。可動部５６は、例えばモータとボールねじからなる
駆動手段５７によって昇降駆動され、ボールねじのスト
ローク分昇降する。ロボット５０は、通常、図示しない
カセット内に収納されている薄型基板をハンド５３で真
空吸着し、水処理が行なわれる加工ステージまで搬送し
たり、加工ステージで処理の終了した薄型基板をハンド
５３で真空吸着し、カセット内まで搬送する作業などを
行なう。
台（固定部）５１と、機台５１に対して回動及び昇降す
るとともに屈伸可能なアーム体（ハンド部の一部を構成
する。）５２と、アーム体５２の先端部に配設されアー
ム体５２に対して回動可能なハンド（ハンド部の一部を
構成する。）５３とを有する。アーム体５２は第１アー
ム５４と第２アーム５５とからなり、第１アーム５４
は、機台５１内に配置された図示しない減速機付きモー
タによって機台５１に対して回動可能とされ、第２アー
ム５５は、第１アーム５４の内部に配設された図示しな
いプーリー及びタイミングベルトの第１アーム５４の回
動に基づく位相差運動により、第１アーム５４の回動に
従動して第１アーム５４に対し回動する。また、アーム
体５２及びハンド５３は、可動部５６によって支持さ
れ、可動部５６は機台５１内に昇降可能に支持されてい
る。可動部５６は、例えばモータとボールねじからなる
駆動手段５７によって昇降駆動され、ボールねじのスト
ローク分昇降する。ロボット５０は、通常、図示しない
カセット内に収納されている薄型基板をハンド５３で真
空吸着し、水処理が行なわれる加工ステージまで搬送し
たり、加工ステージで処理の終了した薄型基板をハンド
５３で真空吸着し、カセット内まで搬送する作業などを
行なう。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の防水型
搬送ロボットの設置の仕方は、図３に示すように、加工
ステージ等が配置される架台５８の凹部５８ａに防水型
搬送ロボット５０の機台５１を収容し、機台５１の下部
に設けられたフランジ部５１ａを凹部５８ａの底に固定
金具によって取り付けるようにしており、フランジ部５
１ａを架台凹部５８ａの底に取り付ける作業が容易では
ない。
搬送ロボットの設置の仕方は、図３に示すように、加工
ステージ等が配置される架台５８の凹部５８ａに防水型
搬送ロボット５０の機台５１を収容し、機台５１の下部
に設けられたフランジ部５１ａを凹部５８ａの底に固定
金具によって取り付けるようにしており、フランジ部５
１ａを架台凹部５８ａの底に取り付ける作業が容易では
ない。
【０００５】また、加工ステージで使用された排水を処
理するためには、配管５９を架台５８の上面から床側へ
引き出す必要があることは勿論のこと、その他、架台凹
部５８ａにも排水が侵入するおそれがあるため、別系統
で配管６０を凹部５８ａから床側へ引き出す必要が生
じ、二系統の配管５９、６０を要し排水処理が複雑なも
のとなる。
理するためには、配管５９を架台５８の上面から床側へ
引き出す必要があることは勿論のこと、その他、架台凹
部５８ａにも排水が侵入するおそれがあるため、別系統
で配管６０を凹部５８ａから床側へ引き出す必要が生
じ、二系統の配管５９、６０を要し排水処理が複雑なも
のとなる。
【０００６】また、架台凹部５８ａへの排水の侵入によ
り、機台５１内部に通じる外部からの電気配線６１に漏
電が発生しないという保証はなく、また、電気配線６１
を架台凹部５８ａから床側へ引き出すための配線処理６
２が必要となる。
り、機台５１内部に通じる外部からの電気配線６１に漏
電が発生しないという保証はなく、また、電気配線６１
を架台凹部５８ａから床側へ引き出すための配線処理６
２が必要となる。
【０００７】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、その目的とするところは、排水処理の簡素化を図
るとともに電気配線処理を不要とすることにある。
あり、その目的とするところは、排水処理の簡素化を図
るとともに電気配線処理を不要とすることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明による防水型搬
送ロボットは、薄型基板を保持するハンド部と、前記ハ
ンド部を支持する可動部と、前記可動部を昇降可能に支
持する固定部とを備える防水型搬送ロボットにおいて、
前記固定部の上部に、架台に取着されるフランジ部を設
けるとともに、前記架台と前記フランジ部との間にシー
ル部材を配することを特徴とする。
送ロボットは、薄型基板を保持するハンド部と、前記ハ
ンド部を支持する可動部と、前記可動部を昇降可能に支
持する固定部とを備える防水型搬送ロボットにおいて、
前記固定部の上部に、架台に取着されるフランジ部を設
けるとともに、前記架台と前記フランジ部との間にシー
ル部材を配することを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施形態を図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【００１０】図１は、一実施形態に係る防水型搬送ロボ
ット（以下、ロボットという。）の設置状態を示す。
ット（以下、ロボットという。）の設置状態を示す。
【００１１】図１に示すロボット１は、薄型基板を保持
するハンド部４０と、ハンド部４０を支持する可動部２
０と、可動部２０を昇降可能に支持する固定部１０と、
可動部２０を昇降駆動する駆動手段８０とを備える。
するハンド部４０と、ハンド部４０を支持する可動部２
０と、可動部２０を昇降可能に支持する固定部１０と、
可動部２０を昇降駆動する駆動手段８０とを備える。
【００１２】固定部１０の上部にはフランジ部１２が設
けられている。フランジ部１２は、図２に示すように、
取付ボルト等取付金具８１によって架台３に取着されて
いる。
けられている。フランジ部１２は、図２に示すように、
取付ボルト等取付金具８１によって架台３に取着されて
いる。
【００１３】図２に示すように、固定部１０の上面と可
動部２０の外周面との間には、高撥水性を有するカーボ
ン硬質膜がコーティングされた円筒状の伸縮自在な蛇腹
部材８３が配設されている。蛇腹部材８３は、その上端
部８３ａが可動部２０の回動を許容するようベアリング
等を介して可動部２０の外周面に取着され、下端部８３
ｂは固定部１０の上面に固着されている。
動部２０の外周面との間には、高撥水性を有するカーボ
ン硬質膜がコーティングされた円筒状の伸縮自在な蛇腹
部材８３が配設されている。蛇腹部材８３は、その上端
部８３ａが可動部２０の回動を許容するようベアリング
等を介して可動部２０の外周面に取着され、下端部８３
ｂは固定部１０の上面に固着されている。
【００１４】架台３には、上述した従来例と同様、加工
ステージで使用された排水を処理するために、架台３の
上面から床側（架台の下面側）に通じる配管５９が設け
られている。
ステージで使用された排水を処理するために、架台３の
上面から床側（架台の下面側）に通じる配管５９が設け
られている。
【００１５】フランジ部１２の下面と架台３の上面との
間には、シール部材８２が配設されており、このシール
部材８２により、架台３の上面に配置される加工ステー
ジで使用された排水は、架台３の開口部を経て架台３の
下面側に回り込まなくなる。このため、上述した従来例
では必要とされた架台凹部５８ａからの配管６０が不要
となり、また、電気配線処理６２も不要となる。
間には、シール部材８２が配設されており、このシール
部材８２により、架台３の上面に配置される加工ステー
ジで使用された排水は、架台３の開口部を経て架台３の
下面側に回り込まなくなる。このため、上述した従来例
では必要とされた架台凹部５８ａからの配管６０が不要
となり、また、電気配線処理６２も不要となる。
【００１６】このように、本実施形態に係るロボットに
よると、排水処理を簡素化することができるとともに電
気配線処理が不要となる。
よると、排水処理を簡素化することができるとともに電
気配線処理が不要となる。
【００１７】また、防水型搬送ロボット１を架台３に取
り付けるにあたっては、架台３の開口部に固定部１０を
挿入し、フランジ部１２を架台３に取付金具８１により
取着することで防水型搬送ロボット１を架台３に取り付
けるようにする。このため、防水型搬送ロボット１を架
台３に取り付ける作業が極めて簡単になる。
り付けるにあたっては、架台３の開口部に固定部１０を
挿入し、フランジ部１２を架台３に取付金具８１により
取着することで防水型搬送ロボット１を架台３に取り付
けるようにする。このため、防水型搬送ロボット１を架
台３に取り付ける作業が極めて簡単になる。
【００１８】
【発明の効果】本発明の防水型搬送ロボットは、固定部
の上部に、架台に取着されるフランジ部を設けたことを
特徴とする。このため、架台の開口部に固定部を挿入
し、フランジ部を架台に取付金具により取着することで
防水型搬送ロボットを架台に取り付けることができるた
め、防水型搬送ロボットを架台に取り付ける作業が極め
て簡単になる。また、フランジ部と架台との間にシール
部材を配設したため、加工ステージで使用された排水が
架台とフランジ部との隙間から架台の下面側に回り込む
ことを簡単に防止できるため、排水処理を簡素化するこ
とができるとともに電気配線処理が不要となる。
の上部に、架台に取着されるフランジ部を設けたことを
特徴とする。このため、架台の開口部に固定部を挿入
し、フランジ部を架台に取付金具により取着することで
防水型搬送ロボットを架台に取り付けることができるた
め、防水型搬送ロボットを架台に取り付ける作業が極め
て簡単になる。また、フランジ部と架台との間にシール
部材を配設したため、加工ステージで使用された排水が
架台とフランジ部との隙間から架台の下面側に回り込む
ことを簡単に防止できるため、排水処理を簡素化するこ
とができるとともに電気配線処理が不要となる。
【００１９】また、固定部の上面と可動部の外周面との
間に、高撥水性を有するカーボン硬質膜がコーティング
された円筒状の蛇腹部材を配設することにより、従来か
らの特殊シールユニット等を用いた防水構造と比べ、簡
単な構造によって防水作用を発揮できる。
間に、高撥水性を有するカーボン硬質膜がコーティング
された円筒状の蛇腹部材を配設することにより、従来か
らの特殊シールユニット等を用いた防水構造と比べ、簡
単な構造によって防水作用を発揮できる。
【図１】本発明の一実施形態に係る防水型搬送ロボット
の設置状態を示す図である。
の設置状態を示す図である。
【図２】同防水型搬送ロボットのフランジ部の架台への
取付状態を示す図である。
取付状態を示す図である。
【図３】従来の防水型搬送ロボットの設置状態を示す図
である。
である。
１…防水型搬送ロボット ３…架台 １０…固定部 １２…フランジ部 ２０…可動部 ４０…ハンド部 ８２…シール部材 ８３…蛇腹部材
Claims (2)
- 【請求項１】 薄型基板を保持するハンド部と、前記ハ
ンド部を支持する可動部と、前記可動部を昇降可能に支
持する固定部とを備える防水型搬送ロボットにおいて、 前記固定部の上部に、架台に取着されるフランジ部を設
けるとともに、前記架台と前記フランジ部との間にシー
ル部材を配することを特徴とする防水型搬送ロボット。 - 【請求項２】 請求項１において、前記固定部の上面と
前記可動部の外周面との間に、高撥水性を有するカーボ
ン硬質膜がコーティングされた円筒状の蛇腹部材が配設
されることを特徴とする防水型搬送ロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10809898A JPH11300682A (ja) | 1998-04-17 | 1998-04-17 | 防水型搬送ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10809898A JPH11300682A (ja) | 1998-04-17 | 1998-04-17 | 防水型搬送ロボット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11300682A true JPH11300682A (ja) | 1999-11-02 |
Family
ID=14475834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10809898A Pending JPH11300682A (ja) | 1998-04-17 | 1998-04-17 | 防水型搬送ロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11300682A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002028469A (ja) * | 2000-07-12 | 2002-01-29 | Ulvac Japan Ltd | 真空装置 |
| JP2013157561A (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-15 | Yaskawa Electric Corp | 搬送ロボット |
-
1998
- 1998-04-17 JP JP10809898A patent/JPH11300682A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002028469A (ja) * | 2000-07-12 | 2002-01-29 | Ulvac Japan Ltd | 真空装置 |
| JP2013157561A (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-15 | Yaskawa Electric Corp | 搬送ロボット |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20040916 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20040916 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20041117 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20041117 |