CN100453276C - 工业用机械手装置 - Google Patents

Abstract

一种具有简单结构的移动机构的工业用机械手装置。其具有：能旋转的机械手臂(3)；设置在该机械手臂(3)的前端、可保持工件的手部(4)；对手部(4)和机械手臂(3)进行驱动的驱动部(9)；具有安装了驱动部(9)的安装部(2A)的支承基座；使所述支承基座(2)移动的平行连杆机构(5)。

Description

工业用机械手装置

技术领域

本发明涉及工业用机械手装置。

背景技术

作为工业用机械手装置，例如有在日本专利特开2001-157974号公报中所揭示的可在真空环境内使用的基板搬送机械手装置。

图12表示该基板搬送机械手装置。机座101被分离成大气槽102和真空槽103，通过利用有驱动电动机104和滚珠丝杠120的移动机构使大气槽102内的驱动箱105上下移动，能使真空槽103内的旋转基座106上下移动。又，通过利用第3驱动电动机107使第3轴108旋转，能使旋转基座106转动。

在旋转基座106上设有第1臂体109和第2臂体110。通过利用第1驱动电动机111使第1轴112旋转，能使第1臂体109旋转。又，通过利用第2驱动电动机113使第2轴114旋转，能使第2臂体110旋转。

在第3轴108内配置着第2轴114，在第2轴114内配置着第1轴112。对于第3轴108的外侧的空间，通过在本体壳体上壁115与外壳部116之间将真空波纹管117安装成围住第3轴108的状态，使真空槽103与大气槽102分离。还尤其，虽然没有明示，但对于第3轴108与第2轴114之间及第2轴114与第1轴112之间的空间，可认为通过设有磁性流体密封而使真空槽103与大气槽102分离。

[专利文献1]日本专利特开2001-157974号公报

然而，专利文献1中所示的基板搬送机械手装置，通过具有驱动电动机104和滚珠丝杠120的移动机构而使驱动箱105向上下方向进行移动。因此，当增大移动距离(行程)时，需要对驱动箱105进行支承的构件，存在移动用的结构变得更复杂的问题。另外，还存在变得大型化的问题。

另外，在上述的基板搬送机械手装置中，在真空环境内进行使用的场合，由于需要适合于使旋转基座106上下移动的移动距离的磁性流体密封及真空波纹管117，故需要使磁性流体密封及真空波纹管117与上下移动距离成正比地大型化。因此，使机械手装置整体大型化、并成为高价。

又，真空波纹管117是利用焊接所制作的折皱结构，随着大型化使清洗变得困难，还容易引起微粒的发生(起尘)。

另外，一般与机械手装置本体的耐久性相比、真空波纹管117的反复动作耐久性较差。因此，作为真空机械手装置整体的耐久性恶化，并使可靠性恶化。

发明内容

本发明的目的在于，提供具有简单结构的移动机构的工业用机械手装置。目的还在于，提供在真空环境内进行使用的场合、即使是工业用机械手装置、也不需要使用真空波纹管的工业用机械手装置。另外，目的在于，提供能与上下移动距离无关地进行磁性流体密封的设计的工业用机械手装置。

为了达到上述目的，本发明的工业用机械手装置，具有：能旋转的机械手臂；设置在该机械手臂的前端、可保持工件的手部；对该手部和所述机械手臂进行驱动的驱动部；具有安装该驱动部的安装部的支承基座；以及为了使所述支承基座移动而转动自如地连结在所述支承基座与台座之间的平行连杆机构，所述驱动部被安装在隔着所述支承基座与所述机械手臂和所述手部相反的一侧，所述平行连杆机构在所述支承基座上的转动支点和在所述台座上的转动支点被安装在所述驱动部的外侧，所述驱动部被配置在所述平行连杆机构的内侧，所述平行连杆机构由多组平行连杆构成，在所述台座上设置有分别对所述各组平行连杆在所述台座上的转动支点予以支承的多个支承体，在所述支承基座下降到最低位置时，所述驱动部进入到由所述台座上的多个支承体形成的空间内。

因此，通过利用简单结构的平行连杆机构使支承基座移动，能使机械手臂、手部和驱动部进行移动。此外，由于驱动部安装在支承基座的安装部上，故可将机械手臂、手部和驱动部的重心位置接近支承基座进行保持。由此，可提高平行连杆机构的刚性。

又，本发明的工业用机械手装置最好是，使所述工业用机械手装置的驱动部设成与所述支承基座嵌合。由此，能使所述机械手臂及所述手部的重心接近于对所述平行连杆机构进行支承的支承基座，能提高平行连杆机构的刚性。

本发明的平行连杆机构既可以是使支承基座进行上下移动的机构，该平行连杆机构也可以是使支承基座进行平面移动的机构。即，通过使支承基座上下移动能使机械手臂和手部进行上下移动、或通过使支承基座进行平面移动能使机械手臂和手部进行平面移动、或通过使支承基座进行上下移动和平面移动能使机械手臂和手部进行上下移动和平面移动。

另外，本发明的工业用机械手装置最好是，构成所述平行连杆机构的平行连杆有1根第1臂和2根第2臂，所述第2臂被配置在所述支承基座侧，并与2根连接轴一起构成平行四边形。由此，能提高平行连杆的刚性。

又，最好是，在所述2根连接轴中，连接所述第1臂和第2臂的连接轴的移动轨迹是在水平方向比另外连接轴的移动轨迹还外侧。构成所述支承基座与所述第2臂的角度是锐角。由此，在使平行连杆机构向上下方向移动时，即使在平行连杆机构的动作中发生外部干扰，也能使支承基座向上下方向移动。

另外，最好是，所述第1臂的长度小于等于所述第2臂的长度。

又，最好是，所述工业用机械手装置是被设置在真空环境内进行作业的装置。

因此，平行连杆机构能设置在真空环境内。由于平行连杆机构被设置在真空环境内，故能不使用真空波纹管地对真空环境内进行密封。还能与支承基座的上下移动距离无关地对磁性流体密封进行设计。

本发明的工业用机械手装置具有：能旋转的机械手臂；设置在该机械手臂的前端、可保持工件的手部；对该手部和所述机械手臂进行驱动的驱动部；具有安装该驱动部的安装部的支承基座；为了使所述支承基座移动而转动自如地连结在所述支承基座与台座之间的平行连杆机构，所述驱动部被安装在隔着所述支承基座与所述机械手臂和所述手部相反的一侧，所述平行连杆机构在所述支承基座上的转动支点和在所述台座上的转动支点被安装在所述驱动部的外侧，所述驱动部被配置在所述平行连杆机构的内侧。由此，通过利用简单结构的平行连杆机构使支承基座移动，能使机械手臂、手部和驱动部进行移动。此外，由于将驱动部安装在支承基座的安装部上，故可将机械手臂、手部和驱动部的重心位置接近支承基座进行保持。由此，可提高平行连杆机构的刚性。

附图说明

图1是表示本发明的工业用机械手装置的实施例1的侧视图。

图2是使该机械手装置的机械手上升后状态的立体图。

图3是使该机械手装置的机械手下降后状态的立体图。

图4是该机械手装置的台座的仰视图。

图5是将该机械手装置的平行连杆局部剖切地表示、且伸展后状态的图。

图6是表示驱动该机械手装置的平行连杆的机构的剖视图。

图7是表示本发明的工业用机械手装置的实施例2的侧视图。

图8是将该机械手装置的平行连杆局部剖切地表示、且伸展后状态的图。

图9是表示从图8的箭头IX方向看的第2臂的图。

图10是表示该机械手装置的3组平行连杆和连杆驱动电动机的配置的图。

图11是表示对该机械手装置的连杆驱动电动机的驱动力进行传递的机构的剖视图。

图12是以往的真空机械手装置的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图所示的最佳形态对本发明的结构详细地进行说明。

图1～图6表示本发明的工业用机械手装置的实施例1。工业用机械手装置是例如在真空环境1内对未图示的工件进行搬送的真空环境内工件搬送机械手装置。工业用机械手装置是设在真空环境1内进行作业用的装置，具有：安装在支承基座2上并能旋转的机械手臂3；设置在该机械手臂3的前端、可保持工件的手部4；使支承基座2移动的平行连杆机构5。平行连杆机构5是使支承基座2在图1中向上下方向移动的移动机构。并且，驱动平行连杆机构5的驱动源6被配置在真空环境1的外部。

在本实施例中，使2根第2机械手臂3B与1根第1机械手臂3A的两端连接，使手部4与各第2机械手臂3B的前端连接。

设置着工业用机械手装置的台座7上用未图示的隔壁遮盖着，在隔壁内成为真空环境1。也就是说，在真空环境1内利用平行连杆机构5对由支承基座2、机械手臂3、手部4及它们的驱动机构构成的机械手8机构性地进行支承。包含驱动机械手臂3和手部4的多个未图示的电动机等的驱动部9被配置在支承基座2的底面(安装部2A)，并被外壳90遮盖着。

另外，在本实施例中，形成为旋转轴81从外壳9内贯通支承基座2地延伸的状态，并作成通过旋转轴81将外壳9内的电动机的驱动力向机械手臂3及手部4传递的状态。这样，由于驱动机械手臂3及手部4的驱动部的一部分贯通于作为形成于支承基座2的安装部2A的孔，且驱动部9安装在支承基座2的底面上，故通过使机械手臂3及手部4和驱动部的重心位置与支承平行连杆机构5的支承基座2接近，能使平行连杆机构5(平行连杆12)的刚性提高。

又，搭载在支承基座2上的机械手8，能使其重心位置下降、即能使其重心位置与支承基座2接近，例如，即使在动作时发生振动的场合，也能对该振动进行抑制。

又，在本实施例中，是将机械手8配置在真空环境内，而电动机的配线通过安装在外壳90的底面上的柔性管10内与未图示的控制部连接着。因此，柔性管10内及外壳90内成为大气环境11。

然而，在支承基座2与外壳90之间、在外壳90与柔性管10之间，例如利用未图示的O形圈进行真空密封。并且，为了将外壳90内的电动机的驱动力向机械手臂3及手部4传递，在从外壳90内贯通支承基座2地延伸的旋转轴81与其相对构件之间利用未图示的磁性流体密封来进行真空密封。

由此，能使配置有机械手8的真空环境1与配置有电动机的大气环境11可靠地分离。又，由于贯通于支承基座2地延伸的所述旋转轴81不是向其轴线方向移动的构件，故与以往那样对在轴向移动的旋转轴进行真空密封的情况相比，能使磁性流体密封的范围变小。另外，在图2和图3中省略了柔性管10的记载。

在本实施例中，平行连杆机构5利用例如3组平行连杆12来构成，并利用1个连杆驱动电动机(驱动源)6对它们进行驱动。但是，平行连杆12的数目不限于3组。平行连杆12将台座7上的支承体13与支承基座2进行连接，机构性地对机械手8进行限制。3组平行连杆12以120度的间隔被配置成从上面看将支承基座2和外壳9围住的形态。

平行连杆12，如图5所示，具有台座7侧的1根第1臂12a和支承基座2侧的2根第2臂12b。2根第2臂12b与作为2根连接轴的中间连接轴17、连接轴18一起构成平行四边形，使其刚性提高。且在本实施例中，第1臂12a的长度La比第2臂12b的长度Lb短。

另外，如图1所示，连接第1臂12a和第2臂12b的中间连接轴17的移动轨迹是在水平方向比连接轴18的移动轨迹还外侧。

由此，在平行连杆12的动作范围中，使构成第2臂12b与支承基座2的角度α的角度变化减小，并将该角度α保持在小于90度的锐角的角度范围。这样，通过保持锐角的角度，在使平行连杆机构5向上下方向移动时，即使在平行连杆12的移动中发生外部干扰，也能使支承基座2向上下方向稳定地移动。

另外，第1臂12a的长度La与第2臂12b的长度Lb也可以是相同的。

第1臂12a的下端固定在通过大气用轴承14及真空用轴承15旋转自如地支承于支承体13上的连杆驱动轴16上。

在本实施例中，3个连杆驱动轴16以120度的间隔被配置成从上方看围住支承基座2及外壳9的形态。

另外，在本实施例中，连杆驱动轴16被配置在比台座7高的位置。即，如图1所示，将第1臂12a与第2臂12b重叠地进行折叠，使第1臂12a成为朝向斜下方，将中间连接轴17与台座7抵接的位置确保成为最下降位置的高度。换句话说，连杆驱动轴16的高度确保外壳9的收容空间。

平行连杆12的行程(向上下方向的移动距离)，用连杆长度La、Lb与连杆动作角θ的乘积来求得，由于将第1臂12a的移动范围取得较大，故能以短的连杆长度La、Lb来确保规定的行程。因此，①能提高平行连杆12的刚性、②能使驱动电动机6的转矩减小而使减速机小型化、③能减小机械手8的占有空间。

又，如图5所示，第1臂12a的上端被固定在中间连接轴17的中央。第2臂12b的下端通过真空用轴承15旋转自如地与中间连接轴17的两端连接着。且第2臂12b的上端，通过真空用轴承15旋转自如地与贯通支承基座2的凸部2a的连接轴18的两端连接着。即，第1臂12a用1个自由度来构成，第2臂12b也用1个自由度来构成，机械手8利用3组平行连杆12机构性地在上下方向被限制。

另外，在本实施例中，第1臂12a、第2臂12b、中间连接轴17、连接轴18，例如构成为管子形状，可保持一定的刚性并实现轻量化。

如上所述，平行连杆机构5如下那样地进行动作。

在连杆驱动轴16未旋转的状态(最下降位置)下，如图1中用实线所示，第1臂12a朝向斜下方，作成第2臂12b重叠的状态而将平行连杆12折叠。当使连杆驱动轴16旋转而从该状态将第1臂12a抬起时，第2臂12b的折弯角度减小，使平行连杆12伸展而抬起支承基座2(图1的双点划线位置)。并且，当连杆驱动轴16反转时，将伸展的平行连杆12折叠而使支承基座2下降(图1的实线位置)。

连杆驱动电动机6，如图6所示，被配置在真空环境1的外部。在本实施例中，通过将连杆驱动电动机6设置在遮盖台座7的孔7a的罩19内，将连杆驱动电动机6配置于台座7的下侧的大气环境11(真空环境1的外部)。连杆驱动电动机6的驱动力按以下顺序传递：皮带轮20→同步皮带21→同步皮带轮22→旋转轴23→伞形齿轮24→伞形齿轮25→大气轴承减速机26→连杆驱动轴16。对于每个平行连杆12设置着同步皮带轮22；旋转轴23；伞形齿轮24、25；大气轴承减速机26。同步皮带21卷挂在3组平行连杆12的同步皮带轮22上，利用1个连杆驱动电动机6能以相同的角度同时对3组平行连杆12进行驱动。同步皮带21利用2个空转皮带轮27(参照图4)施加张力而能防止松弛的发生。

在本实施例中，由于将连杆驱动电动机6配置在大气环境11中，故连杆驱动电动机6的驱动力的传递路径也在大气环境11中。在大气环境11侧的支承体13与连杆驱动轴16之间设有磁性流体密封28，使真空环境1与大气环境11分离。这样，通过对平行连杆12的连杆驱动轴16设置磁性流体密封28，即使不使用在图12所示的机械手装置中所需的真空波纹管也能进行向上下方向移动的移动机构的真空密封。

通过将连杆驱动电动机6配置在罩19内，就能配置成使连杆驱动电动机6向台座7上突出的状态，能有效地利用空余的空间来配置连杆驱动电动机6。

在该工业用机械手装置中，通过利用连杆驱动电动机6使3组平行连杆12同时进行动作，能使机械手8以水平维持支承基座2的姿势的形态在真空环境1内向上下方向进行移动。即，不使用在图12所示的机械手装置中所需的真空波纹管，能在真空环境1内使机械手8向上下进行移动。又，由于利用平行连杆机构5使机械手8向上下移动，并由于不需要图12所示的机械手装置那样使旋转轴相对其相对构件向轴向进行移动，故能与机械手8的向上下方向的移动距离无关地设计使真空环境1与大气环境11分离的磁性流体密封28。由此，能抑制装置整体的大型化，并能实现低价格化。

在上述的工业用机械手装置中，具有：可旋转的机械手臂3；设在该机械手臂3的前端、可保持工件的手部4；对手部4和机械手臂3进行驱动的驱动部9；具有安装了驱动部9的安装部2A的支承基座2；使支承基座2移动的平行连杆机构5。

因此，就能使工业用机械手装置小型化，并能降低制造成本。且只要用相同的机械手装置尺寸就能使支承基座2的向上下方向的行程增大。另外，即使增大支承基座2的向上下方向的行程，也不会使机械手装置尺寸过度增大，故适合于支承基座2的向上下方向的行程大的机械手装置的制造。

又，由于将平行连杆机构5用于支承基座2的移动中，故能提供支承基座2的向上下方向的行程(移动距离)大而廉价的机械手装置。

又，在上述的工业用机械手装置中，由于不使用真空波纹管，故能防止因真空波纹管引起的微粒的发生，并能提高整体装置的可靠性。

另外，能与支承基座2的向上下方向的移动距离无关地设计磁性流体密封28，能实现机械手装置的更小型化，且能使制造成本更便宜。

作为上述的工业用机械手装置，例如可以是真空标量(日文：スカラ)机械手装置、真空臂机械手装置等的任一种，通过利用平行连杆机构5使机械手8上下移动，就能作成小型化，还能使向上下方向的移动距离变大，进行廉价的真空机械手装置的制作。

另外，上述实施例是本发明的较佳形态的一例，但不限于此，在不脱离本发明宗旨的范围内能进行各种变形实施。

例如，在上述说明中，将平行连杆12的第1臂12a和第2臂12b分别作成1个自由度，限制成支承基座2仅可在上下方向移动，但未必限于该结构。例如，利用平行连杆机构5也可以使支承基座2进行平面移动(向水平方向的移动)。即，除了上下方向以外在水平方向也能进行移动，或也可以仅在水平方向上进行移动。

图7～图11表示能使支承基座2在上下方向与水平方向的合成方向进行移动的工业用机械手装置的一例。当然能使支承基座2向上下方向与水平方向的合成方向(斜方向)进行移动，还可使其仅向上下方向移动(向水平方向的移动距离为0)、或仅向水平方向移动(向上下方向的移动距离为0)。

在本实施例中，平行连杆机构5如图10所示，利用例如3组平行连杆12来构成，利用3个连杆驱动电动机(驱动源)6对它们进行驱动。即，各平行连杆12利用专用的连杆驱动电动机6分别独立地被驱动。然而，平行连杆12及连杆驱动电动机6的数目不限于3个。平行连杆12使台座7上的支承体13与支承基座2连接，机构性地对机械手8进行限制。3组平行连杆12以120度的间隔被配置成从上方看围住支承基座2及外壳90的形态。

又，连杆驱动电动机6与上述实施例同样，被配置在真空环境1的外部。在本实施例中，通过在遮盖台座7的孔7a的罩19内设置连杆驱动电动机6，将连杆驱动电动机6配置于台座7的下侧的大气环境11(真空环境1的外部)。连杆驱动电动机6的驱动力按以下顺序传递：皮带轮20→同步皮带21→同步皮带轮22→旋转轴23→伞形齿轮24→伞形齿轮25→大气轴承减速机26→连杆驱动轴16。将该传递路径设置于每个平行连杆12。因此，通过对3个连杆驱动电动机6分别独立地进行控制，能对各平行连杆12的连杆驱动轴16独立地进行控制，能使各平行连杆12独立地进行上下(伸缩)。

由于将连杆驱动电动机6配置在大气环境11中，故连杆驱动电动机6的驱动力的传递路径也在大气环境11中。在大气环境11侧的支承体13与连杆驱动轴16之间设有磁性流体密封28，使真空环境1与大气环境11分离。这样，通过对平行连杆12的连杆驱动轴16设置磁性流体密封28，即使不使用在图12所示的机械手装置中所需的真空波纹管也能进行真空密封。

通过将连杆驱动电动机6配置在罩19内，就能配置成使连杆驱动电动机6向台座7上突出的状态，能有效地利用空余的空间来配置连杆驱动电动机6。

在本实施例中，平行连杆12如图8所示，具有1根第1臂12a和2根第2臂12b。第1臂12a的下端固定在通过大气用轴承14和真空用轴承15旋转自如地支承在支承体13上的连杆驱动轴16上。且第1臂12a的上端被固定在中间连接轴17的中央。第2臂12b的下端通过旋转中心轴的方向正交的2个真空用轴承15、15旋转自如地连接在中间连接轴17的两端。且第2臂12b的上端通过旋转中心轴的方向正交的2个真空用轴承15、15旋转自如地连接在贯通支承基座2的凸部2B的连接轴18的两端。即，第1臂12a用1个自由度构成，第2臂12b用2个自由度构成，机械手8利用3组平行连杆12机构性地被限制。通过用对应的连杆驱动电动机6分别独立地对3组平行连杆12的第1臂12a进行控制，能机构性地使机械手8向上下方向、水平方向、它们的合成方向进行移动。

如上所述，平行连杆机构5如下地进行动作。

在连杆驱动轴16未旋转的状态下，如图7中用实线所示，第1臂12a朝向水平(最下端位置)，将平行连杆12折叠。当使3个连杆驱动电动机6从该状态同时动作、将3组平行连杆12的第1臂12a同时以相同角度抬起时，使第2臂12b的折弯角度减小，使平行连杆12伸展而以维持其水平姿势地抬起支承基座2(图7的双点划线)。并且，当同时使3个连杆驱动电动机6反转时，将原来伸展着的3组平行连杆12同时折叠而使支承基座2维持其水平姿势地下降(图7的实线)。即，使机械手8向上下方向移动。

在图7所示的工业用机械手装置中，具有：可旋转的机械手臂3；设在该机械手臂3的前端、可保持工件的手部4；对手部4和机械手臂3进行驱动的驱动部9；具有安装了驱动部9的安装部2A的支承基座2；使支承基座2移动的平行连杆机构5。

因此，就能使工业用机械手装置小型化，并能降低制造成本。且只要用相同的机械手装置尺寸就能使支承基座2的向上下方向的行程增大。另外，即使增大支承基座2的向上下方向的行程，也不会使机械手装置尺寸过度增大，故适合于支承基座2的向上下方向的行程大的机械手装置的制造。

又，由于将平行连杆机构5用于支承基座2的移动中，故能提供支承基座2的向上下方向的行程(移动距离)大而廉价的机械手装置。

又，在本实施例中，通过使3个连杆驱动电动机6独立地进行动作，能使机械手8不改变其高度地向水平进行移动、或向斜上下方向进行移动。

在图7的工业用机械手装置中，也与图1的工业用机械手装置同样，可不需要真空波纹管，还能与机械手8的移动距离无关地设计磁性流体密封28。由此，能抑制装置整体的大型化，并能实现低价格化。且由于能不需要真空波纹管，故能防止因真空波纹管引起的微粒的发生，并能提高装置整体的可靠性。另外，通过利用平行连杆机构5使机械手8移动，能作成小型化，还能使移动距离增大而进行廉价的真空机械手装置的制作。

又，在上述说明中，使用同步皮带21对连杆驱动电动机6的驱动力进行传递，但未必限于该结构。例如，也可使用旋转轴等代替同步皮带21来传递驱动力。

另外，在上述说明中，使用磁性流体密封28来进行真空密封，但也可以用磁性流体密封28以外的方法来进行真空密封。

又，在本实施例中，工业用机械手装置是在真空环境内对未图示的工件进行搬送用的真空环境内工件搬送机械手装置，但不限于此，例如也可以在大气环境中使用。

此外，形成于支承基座的安装部2A并不限于本实施例那样的无底的孔形状，也可是有底的形状。另外，支承基座2也可形成为兼用外壳90的功能。

Claims (7)

1、一种工业用机械手装置，其特征在于，具有：能旋转的机械手臂；设置在该机械手臂的前端、可保持工件的手部；对该手部和所述机械手臂进行驱动的驱动部；具有安装该驱动部的安装部的支承基座；为了使所述支承基座移动而转动自如地连结在所述支承基座与台座之间的平行连杆机构，

所述驱动部被安装在隔着所述支承基座与所述机械手臂和所述手部相反的一侧，

所述平行连杆机构在所述支承基座上的转动支点和在所述台座上的转动支点被安装在所述驱动部的外侧，

所述驱动部被配置在所述平行连杆机构的内侧，

所述平行连杆机构由多组平行连杆构成，

在所述台座上设置有分别对所述各组平行连杆在所述台座上的转动支点予以支承的多个支承体，

在所述支承基座下降到最低位置时，所述驱动部进入到由所述台座上的多个支承体形成的空间内。

2、如权利要求1所述的工业用机械手装置，其特征在于，所述平行连杆机构使所述支承基座进行上下移动。

3、如权利要求1所述的工业用机械手装置，其特征在于，所述平行连杆机构使所述支承基座进行平面移动。

4、如权利要求1所述的工业用机械手装置，其特征在于，构成所述平行连杆机构的平行连杆有1根第1臂和2根第2臂，所述第2臂被配置在所述支承基座侧，与2根连接轴一起构成平行四边形。

5、如权利要求4所述的工业用机械手装置，其特征在于，在所述2根连接轴中，连接所述第1臂和第2臂的连接轴的移动轨迹是在水平方向比另外的连接轴的移动轨迹更处于外侧。

6、如权利要求4所述的工业用机械手装置，其特征在于，所述第1臂的长度小于等于所述第2臂的长度。

7、如权利要求1～6中任一项所述的工业用机械手装置，其特征在于，所述工业用机械手装置是被设置在真空环境内进行作业的装置。

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