KR101114807B1 - 기재를 진공실내로 유입하는 로드-락 장치 - Google Patents
기재를 진공실내로 유입하는 로드-락 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (12)
- 기재를 진공실내로 유입하는 로드-락 장치로서,기재를 입구측 개구부의 전방에 위치한 대기 영역에서부터 로드-락 챔버 안에 위치한 내부 공간안으로 유입시키는 적어도 하나의 입구측 개구부와, 로드-락 챔버의 내부 공간을 밸브를 통하여 진공실의 내부 공간에 연결시키는 적어도 하나의 출구측 개구부를 구비하는 로드-락 챔버와,적어도 하나의 캐리어 로드를 통하여 구동 장치와 연결되어 있고 구동 장치에 의해 입구측 개구부가 개방된 위치와 입구측 개구부가 밀폐된 위치 사이에서 조절가능한 밀폐 부재를 포함하며, 입구측 개구부 각각에 연결된 적어도 하나의 진공 도어를 포함하며,상기 밀폐 부재는 로드-락 챔버의 접촉면과 접촉하고,입구측 개구부의 전방에 위치한 대기 영역에서 볼 때, 상기 구동 장치는, 입구측 개구부의 축선에 수직하게 로드-락 챔버의 접촉면을 통하여 연장하는 평면 뒤에 배열되며,상기 구동 장치는, 입구측 개구부의 전방에 위치한 대기 영역에서 볼 때, 적어도 하나의 커버 플레이트에 의해 적어도 부분적으로 덮여지는 것을 특징으로 하는 로드-락 장치.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서, 구동 장치는 적어도 하나의 공기압 피스톤-실린더 유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 로드-락 장치.
- 제 1 항에 있어서, 적어도 하나의 캐리어 로드는, 밀폐 부재에서 구동 유닛으로 볼 때, 적어도 일부 영역에서 진공실 방향으로 연장하는 것을 특징으로 하는 로드-락 장치.
- 제 1 항에 있어서, 2 개의 캐리어 로드는 밀폐 부재의 측가장자리 영역에 배열되는 것을 특징으로 하는 로드-락 장치.
- 제 1 항에 있어서, 진공실 방향으로 연장하는 캐리어 로드의 일부가 돌출하는 구멍이 적어도 하나의 커버 플레이트에 배열되는 것을 특징으로 하는 로드-락 장치.
- 제 1 항에 있어서, 입구측 개구부의 전방에 위치한 대기 영역과 대면하는 적어도 하나의 커버 플레이트의 전방측과 로드-락 챔버의 접촉면은 적어도 실질적으로 동일한 평면에 놓이는 것을 특징으로 하는 로드-락 장치.
- 제 1 항에 있어서, 적어도 하나의 커버 플레이트와 로드-락 챔버는 단일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 로드-락 장치.
- 제 8 항에 있어서, 상기 구동 장치는, 로드-락 챔버내에 배열된 적어도 하나의 리세스에 적어도 부분적으로 배열되고, 상기 리세스는 커버 플레이트에 인접하며, 진공실 방향으로 연장되고, 또한 적어도 로드-락 챔버의 바닥 또는 상부 쪽으로 개방되어 있는 것을 특징으로 하는 로드-락 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 구동 장치는 제 1 및 제 2 피스톤-실린더 유닛을 포함하는 적어도 하나의 구동 유닛을 구비하고, 제 1 피스톤-실린더 유닛의 피스톤은 캐리어 로드에 연결되며, 밀폐 부재는, 입구측 개구부가 완전히 개방된 위치와 밀폐 부재가 입구측 개구부의 맞은편에서 로드-락 챔버로부터 떨어져 있는 위치 사이에서 제 1 피스톤-실린더 유닛에 의해 조절가능하고, 밀폐부재는, 이 밀폐 부재가 입구측 개구부의 맞은편에서 로드-락 챔버로부터 떨어져 있는 위치와 밀폐 부재가 로드-락 챔버와 접촉하는 완전 밀폐 위치 사이에서 적어도 하나의 제 2 피스톤-실린더 유닛에 의해 조절가능한 것을 특징으로 하는 로드-락 장치.
- 제 10 항에 있어서, 상기 구동 장치가 2 개 제공되는 것을 특징으로 하는 로드-락 장치.
- 제 1 항에 있어서, 입구측 개구부의 축선에 수직한 공기 유동이 입구측 개구부의 전방에 위치한 대기 영역에서 안내되는 것을 특징으로 하는 로드-락 장치.
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